JPS63236559A

JPS63236559A - 液吐出装置

Info

Publication number: JPS63236559A
Application number: JP62067873A
Authority: JP
Inventors: Koichi Tagami; 田上　公一; 修平河
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1987-03-24
Filing date: 1987-03-24
Publication date: 1988-10-03
Anticipated expiration: 2010-12-25
Also published as: JPH07121380B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（発明の目的〕（産業上の利用分野）本発明は、半導体、医薬品、食料品等の製造に際し使用
される高精度の液吐出装置に関する。

（従来の技術）一般に、吐出液量に精度が要求される工程、例えば半導
体製造工程等においては、第２図〜５図に示すような液
吐出装置が使用される。

第２図において、ソレノイドバルブ１を作動させスピー
ドコントローラ２を介してポンプ３を吸引状態にする。

この時、クローズバルブ４は閉じているので、ポンプ３
は逆止弁５を介して容器６に収容されている処理液７を
吸引する。

次に、ソレノイドバルブ１の作動を中止するとスピード
コントローラ８を介してポンプ３は吐出状態になり、ク
ローズバルブ４、サックバックバルブ９を介してノズル
１０先端から処理液７を吐出する。そして、吐出が終了
するとソレノイドバルブ１を作動させ、ポンプ３を吸引
状態にすると共に、サックバッグバルブ９によりノズル
１０内にある処理液７をサラパックバルブ９方向に引き
戻す。

一方、第４図において、ポンプ４３により逆止弁４５を
介して容器４６に収容されている処理液４７を吸引する
０次に、ポンプ４３を吐出状態にすると、ポンプ４３内
に吸引されていた処理液４７は、逆止弁４４、サックバ
ックバルブ４９を介してノズル５０の先端よリ吐出され
る。そして、吐出が終了すると前述と同様にノズル５０
内の処理液４７を引き戻す。

（発明が解決しようとする問題点）しかしながら、上述の装置には次に述べるような問題が
ある。

先ず、第２図の装置において、クローズバルブ４が閉じ
る動作をする際、このクローズバルブ４内の処理液７を
外に向って吐出しようとするポンピング作用をするのを
禁じ得す吐出量が安定しない。

第３図は、クローズバルブ４の内部構成を示すもので、
シリンダ１１により弁１２を弁座１３に押圧して液密に
する。一般に弁１２はダイアフラム１４等に固着されて
いるので、弁１２が下降して閉じる動作をすると、ダイ
アフラム１４は弁座１３側に変形する。

したがって、液体室１５の容積が減少することとなり、
クローズバルブ４外に処理液を吐出してしまう。

この吐出の影響を減少させるために、ポンプ３の吸引力
によってクローズバルブ４のボンピング作用を吸収しよ
うと、ポンプ３とクローズバルブ４の動作タイミングを
調整する。しかし、一般にポンプ３、クローズバルブ４
共、空気圧によって駆動されるので、両者のタイミング
を常時安定させることは極めて難しい。

例えば、もしポンプ３の吸引速度に対してクローズバル
ブ４の閉じる速度が速ければ、ノズル１０側に処理液７
を押出してしまう。

逆に、遅ければノズル１０側から大量の処理液７がポン
プ３に吸収されてしまう。

次に、第４図の装置においては、逆止弁４４．４５の安
定性、信頼性が問題であり、処理液４７のノズル５０か
らの液垂れ、容器４６への逆流が生じ易い。

逆止弁４４．４５は弁に圧力が加わっている時は逆止機
能を果すが、圧力が加わっていない時例えばポンプ４３
が休止している時は、液漏れ逆流を生じることがある。

すなわち、第５図に示すように逆止弁４４．４５はボー
ル５１が座５２に当接し液密になるが、圧力が加わらな
い時はボール５１の自重のみによって液密にすることと
なる。

したがって、ボール５１．座５２に極めて微少であって
もキズ、表面粗さ等があれば液漏れが発生する。例えば
、ノズル５０が容器４６より高い位置に有れば長時間放
置すると容器４６に向って処理液４７が逆流し、またノ
ズル５０が容器４６より低い位置に有れば、ノズル５０
先端より処理液４７が漏れ落ちてしまう。

ここで、逆止弁４４．４５をより信頼性の高いもの、例
えばスプリング等にて強制的にボール５１を押圧する逆
止弁４４．４５や、逆止弁４４．４５の使用数を増やし
たもの等も用いられる。しかし、この場合には、逆上弁
４４．４５を開くために強い力が必要であり流路抵抗が
増すので高粘度液体を取扱い得ない。

また、逆止弁４４．４５を直列に重ねて使用した場合や
、逆止弁４４．４５内にスプリング等の抑圧材を入れる
と、内部に気泡等が溜り易くなり吐出量が不安定になる
。

本発明は、上述の従来の事情に対処してなされたもので
、調整が容易で吐出精度の高い液吐出装置を提供しよう
とするものである。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段）すなわち本発明は、被吐出液を吸引吐出するポンプ、前
記被吐出液の流れを断続制御する第１のバルブ、前記被
吐出液を一方向にのみ通過する逆止弁、前記被吐出液を
吐出終了時に吐出方向とは逆方向に引き戻す第２のバル
ブを備え、吐出液の流路に向って前記ポンプ、前記第１
のバルブ、前記逆止弁、前記第２のバルブの順に設ける
ことを特徴とする。

（作　用）本発明の液吐出装置では、液の吐出方向に向って、ポン
プ、第１のバルブ、逆止弁、第２のバルブの順に配置接
続されているで、前記ポンプの吸引時に前記第２のバル
ブ側の液が逆流することはなく、また前記ポンプの休止
時に液が装置内を流動することを防止できる。

（実施例）以下、本発用の液吐出装置の一実施例を１図面を参照し
て説明する。

液吐出用のノズル１０１に向って順に、ポンプ１０２、
第１のバルブ例えばクローズバルブ１０３、逆止弁１０
４　、第２のバルブ例えばサックバックバルブ１０５、
ノズル１０１が直列に配置接続されている。

ポンプ１０２の吸引口１０６は逆止弁１０７に配管接続
されており、この逆止弁１０７を介して容器１０８に収
容されている処理液１０９を吸引可能に構成されている
。

また、ポンプ１０２はソレノイドバルブ１１０に接続さ
れたポンプ１０２の吸引速度を調整するためのスピード
コントローラ１１１．吐出速度を調整するためのスピー
ドコントローラ１１２により吸引吐出動作を行なう。

次に、クローズバルブ１０３には閉動作の速度を調整す
るスピードコントローラ１１３が、吐出終了後ノズル１
０１内の処理液１０９を引き戻すサックバックバルブ１
０５には吸引速度を調整するスピードコントローラ１１
４が接続されている。

そして、この両スピードコントローラ１１３．１１４は
ポンプ１０２のスピードコントローラ１１１　と同一の
ソレノイドバルブ１１０出力に接続されている。

次に動作を説明する。

先ず、図示しない空圧源に接続されたソレノイドバルブ
１１０を作動させ、ポンプ１０２の動作を吐出状態にす
るとポンプ１０２に吸引されていた処理液１０９を押し
出し、クローズバルブ１０３、逆止弁１０４、サックバ
ックバルブ１０５を通ってノズル１０１の先端から吐出
する。

吐出終了後、ソレノイドバルブ１１０の作動を停止する
とポンプ１０２は吸引状態になり、クローズバルブ１０
３は閉じ、サックバックバルブ１０５はノズル１０１内
の処理液を吸引して引き戻す。

この時、スピードコントローラ１１１　、１１３を調整
して、ポンプ１０２が処理液１０９を逆止弁１０７を介
して吸引開始してから終了するまでの時間内にクローズ
バルブ１０３が先に閉じるようにしておく。

そうすると、ポンプ１０２が吸引状態であるので逆止弁
１０４が作用し、サックバックバルブ１０５側からの液
の逆流はなく、クローズバルブ１０３が閉じる際のポン
ピング作用による押出液はポンプ１０２に完全に吸収さ
れるのでノズル１０１より処理液１０９が押し出される
ことはない。

また、ポンプ１０２が休止状態で本装置を放置しても、
逆止弁１０４　、１０７の他にクローズバルブ１０３が
有るので、流路は完全に閉ざされているので、処理液１
０９が容器１０８に向って逆流したり。

ノズル１０１から漏れ落ちることはない。

なお、本装置の調整方法として１例えば、次のように調
整する。

先ず、ポンプ１０２のスピードコントローラ１１２によ
り適正吐出速度にＷｓ整する０次に、クローズバルブ１
０３のスピードコントローラ１１３を絞った状態から徐
々に緩めながら、ポンプ１０２の吸引開始から吸引終了
までの間にクローズバルブ１０３が閉じるように調整す
る。この調整は、ポンプ１０２の吸引時間が長いので容
易に行える。

その後、サックバックバルブ１０５の吸引量を調整ネジ
１１５にて、吸引速度をスピードコントローラ１１４に
て調整する。

なお、逆止弁１０４とサックバックバルブ１０５を逆に
配置すると、液吐出終了時ノズル１０１内の処理液１０
９を引き戻すサックバック動作ができない。

したがって、本実施例のように逆止弁１０４は、クロー
ズバルブ１０３とサックバックバルブ１０５の間に配置
する。

〔発明の効果〕

上述のように本発明によれば、被吐出液が逆流したり漏
れ落ちたりすることがないので、吐出精度が高く、調整
が容易で、安定した液吐出を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の液吐出装置の一実施例を示す構成図、
第２図第３図は一従来例を示す構成図、第４図第５図は
他の従来例を示す構成図である。１０２・・・ポンプ、　　　１０３・・・クローズバル
ブ、１０４・・・逆止弁、　　　１０５・・・サックバ
ックバルブ。１０７・・・逆止弁、１１１、１１３・・・スピードコントローラ。第３図第５図

Claims

【特許請求の範囲】

被吐出液を吸引吐出するポンプ、前記被吐出液の流れを
断続制御する第１のバルブ、前記被吐出液を一方向にの
み通過する逆止弁、前記被吐出液を吐出終了時に吐出方
向とは逆方向に引き戻す第２のバルブを備え、吐出液の
流路に向って、前記ポンプ、前記第１のバルブ、前記逆
止弁、前記第２のバルブの順に設けることを特徴とする
液吐出装置。