JPH06100628B2

JPH06100628B2 - モノリシツク水晶フイルタの特性周波数の計測方法及び計測装置

Info

Publication number: JPH06100628B2
Application number: JP61279542A
Authority: JP
Inventors: エル．ザウアーランドフランツ
Original assignee: フランツエル．ザウア−ランド
Priority date: 1985-11-25
Filing date: 1986-11-22
Publication date: 1994-12-12
Anticipated expiration: 2009-12-12
Also published as: JPS62247272A; US4725771A

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は、モノリシック水晶フィルタ（以下「MCF」と
いう）の特性周波数の計測方法及び計測装置に係り、よ
り詳細には、MCFの４つの特性周波数（２つの共振子周
波数、対称周波数、及び斜対称周波数）を極めて簡便且
つ正確に計測できる装置を提供するものであり、更にそ
れら特性周波数を調整する装置と相まって中心周波数や
フィルタの帯域幅を正確且つ容易に調整できる装置とし
て、またMCFの試験装置としても適用できるものであ
る。

［従来の技術］ MCFは圧電材料としての水晶の機械振動の結合を利用し
たものであり、一枚の水晶ウェハの表面に複数対の電極
を配置した構造を有するものである。例えば、２電極MC
Fについてみると、１枚の水晶ウェハの表面に２つの音
響的に結合された共振子が構成されていることになる。
この２つの共振子は、水晶ウェハを介して取付けられた
２対の対向電極で構成される場合と、水晶ウエハの片側
面には１つの電極が取付けられるが他方の面に間隔を隔
てて２つの電極が取付けられて構成される場合のものが
ある。

このMCFのフィルタとしての原理は次のようなものであ
る。

電極部分の厚みすべり振動の共振周波数は電極の影響に
よって電極のない部分より低下することから、電極部に
発生した共振振動エネルギが電極部に閉じ込められ、一
方、電極のない部分ではこれが急激に減衰する。

ところで、電極のない部分へ漏れ出したエネルギは電極
間隔が適当に設定してあると、隣接した電極に結合して
ゆき、この部分に振動が励振され、その結果、所謂帯域
通過フィルタが構成されることになる。

そして、MCFにおける通過帯域幅は、隣接した電極間の
結合度を決定するファクターである水晶ウェハの寸法、
電極の厚さ、電極間間隔等を適宜設定することにより容
易に設計することができ、また、構造が簡単で安定性及
び信頼性に優れていることから、150MHzまでの狭帯域ろ
波器として利用され、その更なる開発が注目されてい
る。

通常、このMCFの正確な調整を行なうには、中心周波数
とフィルタの通過帯域幅の調整が必要不可欠である。

中心周波数については、２つの共振子周波数によって決
まり、電極の質量を変化させることによって調整するこ
とができる。

一方、通過帯域幅は前記の電極間結合度によって決定さ
れることになるが、具体的には、電極によって覆われて
いる部分が上の質量の配分を変化させることにより、ま
たは電極間の間隔部分の質量の配分を変化させることに
より調整することができる。

より具体的には、通過帯域幅の拡大は、電極間の間隔部
分ないしその近辺（間隔に隣接した電極の縁等がよく利
用される）の質量を増すことにより実現され、逆に、通
過帯域幅を狭くするときには、前記の部分の質量を減ら
すことにより、または間隔から最も離れた電極の縁に質
量を増すことにより実現される。

尚、この質量の増減の制御は、真空中での金属蒸着手段
やイオンプレーティング等の化学的手段によって増量
し、またレーザを用いて減量することによって行なわ
れ、またその選択的な質量の配分は固定または可動的な
マスキング手段を用いることによって行なわれる。

ところで、MCFにおける周波数の調整や試験において
は、周波数の測定精度が非常に重要であることはいうま
でもない。

従って、従来からMCFの特性周波数の計測は、その周波
数特性の調整手段の一環として間接的または直接的に開
示されてきている。即ち、２電極MCFの直列共振周波数
の特性を調整することに基づいてMCFの周波数特性を調
整するものである。

第１の調整手段として、表示装置を使用する伝送法によ
り、短絡回路振幅度と周波数応答を見ながら調整するも
のであり（米国特許4,343,827号）、この方法による
と、周波数と振幅調整を必要とし、表示装置に描かれる
曲線に基づいて周波数を判断するために正確さに限度が
あるといわれている。

第２の調整手段として、「水晶フィルタのパラメータ測
定方法」と称されるものがあり（米国特許4,093,914
号）、２電極の片側の２つの短絡回路周波数と２つの開
回路周波数の測定により、２つの共振子周波数と帯域幅
を計算する方法である。この方法は、測定が簡単である
という点はよいが、周波数が高くなると精度に限界が生
じるという問題がある。

その他にも、種々の調整手段があり、その中で周波数の
計測方法が開示されているが、何れにしても高い周波数
帯域（100MHz以上）においては正確な周波数の測定が困
難であり、また自動的な測定手段が確立されていないた
め、作業性に劣るという問題を含んでいる。

［発明が解決しようとする問題点］この従来技術における問題点は、具体的には次のような
点にあると考えられる。

MCFの特性周波数は３つのフィルタ端子の相異なる２端
子の相互接続に関係するものであるが、調整手段等で用
いられてきた従来の特性周波数の計測手段は次の２つの
方法によっている。

手作業により各フィルタ端子を相互接続し、これを２
端子計測用機器に接続して計測を行なう方法。

フィルタを電気的な切換えにより相異なる２端子を相
互接続させる３端子の測定回路へ接続せしめて計測を行
なう方法。

ところで、前記のの方法によると、計測のためのプロ
セスを自動化することができず、作業性が劣る。また、
の方法によると、高い周波数帯域では測定回路自体の
浮遊リアクタンスがMCFの有するフィルタ・リアクタン
スの大きさに近づき、その測定結果を歪めてしまうこと
になる。

このようなことから、MCFの特性周波数の計測を自動化
して行うことができ、且つ高い周波数帯域においても正
確な計測値を得ることができる計測方法及びその装置の
開発が望まれていた。

そこで、本発明は、前記のの方法を改良した新しい３
端子測定回路により、MCFの４つの主要な特性周波数を
求めるため、２端子間の計測を電気的に切換えて自動的
に行なうことができ、且つ回路が浮遊リアクタンスの影
響を受けることなく、広い周波数帯域で正確な周波数の
測定を可能にする計測方法及びそのための装置を提供す
ることを目的として創作された。

［問題点を解決するための手段］前記したように、本発明はMCFの特性周波数の計測に関
する二つの方法とそのための装置に係る三発明からな
る。

計測方法の発明は、次の二発明に係る。

第一の計測方法は、モノリシック水晶フィルタにおける
片側面の２電極の端子をそれぞれ第１端子、第２端子と
し、もう一方の面の電極の端子を第３端子とした場合に
おいて、相互に振幅及び位相が同一で、且つ相互間でリ
アクタンスの結合性がない２つの信号をS1、S2として、
第１端子と第３端子の端子間にS1またはS2を印加して、
その端子間の共振周波数（第１の共振子の共振周波数）
を計測し、第２端子と第３端子の端子間にS1またはS2を
印加して、その端子間の共振周波数（第２の共振子の共
振周波数）を計測し、第１端子と第３端子３の端子間に
S1を、第２端子と第３端子３の端子間にS2を印加して、
第３端子の信号出力により共振周波数（対称周波数）を
計測し、第３端子をフローティング状態にし、第１端子
と第２端子の端子間にS1またはS2を印加して、その端子
間の共振周波数（斜対称周波数）を計測すること特徴と
する計測方法に係る。

第二の計測方法は、第１及び第２の共振子周波数の計測
については前記の第一の計測方法として同様であるが、
対称周波数及び斜対称周波数の計測については、第１端
子または第２端子を第３端子と短絡せしめた状態で、S1
またはS2を第１端子または第２端子の内の短絡していな
い端子と第３端子の端子間へ印加し、２つの共振周波数
を計測する方法を採用するものである。

計測装置の発明は、相互に振幅及び位相が同一で、且つ相互間でリアクタン
スの結合性がない２つの入力信号を供給する信号入力装
置と、出力信号検出器と、MCFの３つの端子と前記信号
入力装置の２つの信号供給部及び前記出力信号検出部と
の間に介在し、MCFへ選択的に信号を供給せしめ、信号
検出器へ伝送する回路を構成する切換え器とからなるMC
Fの特性周波数の計測装置に係る。

［作用］本発明の作用を説明する前に２電極MCF及びその特性周
波数について説明する。

第１図は第１端子１、第２端子２、及び第３端子３の３
つの端子を有した２電極MCFの断面図を示す。

フィルタとして用いられる場合の２つの端子対（フィル
タポート）は１−３及び２−３である。水晶ウェハは４
で示され、該ウェハ４には４個の電極５、６、７及び８
が取付けられている。

この場合、電極７及び８は相互に結線接続されている
が、単一電極で構成されているときもあり、この場合に
は電極７と８の間には間隔が存在しないことになる。電
極対５−７及び６−８は共振子を構成しており、これら
は相互に音響的に結合されている。

第２図は第１図における３つの端子を有した対称２電極
MCFの無損失等価回路の概要であり、２種類のインダク
タ（L,L′）と２種類キャパシタ（C,Co）及び1:（−
１）のトランス９からなる。ここで、Coは静電共振容量
であり、Ｌ及びＣは結合のない共振子のモーショナルパ
ラメータであり、またＬ′は結合インダクタである。

尚、第３図は第２図の等価回路を更に抽象・単純化した
ものであり、以降の図面では便宜上同図の表現を用いる
こととする。

第２図の対称２電極MCFの回路は次の特性直列共振周波
数を具有している。

フィルタの入力共振子と出力共振子の共振周波数フィルタの対称周波数フィルタの斜対称周波数そして、これらは次の各定義に対応する。

F1;フィルタの端子対２−３の静電容量を中和した状態
で、端子対１−３で計測される共振周波数 F2;フィルタの端子対１−３の静電容量を中和した状態
で、フィルタの端子対２−３で計測される共振周波数 Fs;フィルタ第１端子１と第２端子２が相互に接続され
た状態で第１端子１と第３端子３の間で計測される直列
共振周波数 Fa;第３端子３が接続されていない状態でフィルタの第
１端子１と第２端子２の間で計測される直列共振周波数尚、FsとFaとはフィルタの一方の端子対を短絡した状態
で他方の端子対で計測される２つの直列共振周波数とし
ても定義され得る。

また、F1とF2は次のような拡大された定義においても理
解される。

F1;端子対２−３の静電容量が中和されないか、または
部分的に中和された状態での端子対１−３で計測される
共振周波数 F2;端子対１−３の静電容量が中和されないか、または
部分的に中和された状態での端子対２−３で計測される
共振周波数この発明において、F1及びF2は前記の両定義を含むもの
として用いる。

対称２電極MCFにおける上記のF1、F2、及びFsは、第２
のキャパシタンスＣ及びCoと関連してフィルタの応答を
完全に決定する。即ち、フィルタは、これら３つの周波
数を予め決められた値に調整することにより、完全に調
整することができることになる。

本発明はこの３つの周波数に加えて、更にFaをも計測で
きるようにするものであり、Faは対称及び斜対称MCFの
特性と周波数の調整に更に柔軟性を与える。

本発明の計測方法は、要約すると、相互に振幅及び位相
が同一で、且つ相互間でリアクタンスの結合性がない２
つの入力信号を、それぞれモノリシック水晶フィルタの
各端子間へ選択的に印加して、特性周波数を選択的に励
振し、その励振状態を測定して、各特性周波数を計測す
るものである。

この「選択的に印加して」「選択的に励振する」手段
は、前記の定義に基づくF1、F2、Fs、Faを測定するため
の回路を構成して計測するものであり、第１図及び第２
図を参照して説明すると次のようになる。

先ず、相互に振幅及び位相が同一で、且つ相互間でリア
クタンスの結合性がない２つの信号であるS1及びS2を導
いておく。

F1の測定は、端子対２−３については静電容量を中和し
た状態ないし中和しない状態にしておき、端子対１−３
へS1またはS2を印加し、その端子間の共振周波数を計測
することによる。

F2の測定は、端子対１−３については静電容量を中和し
た状態ないし中和しない状態にしておき、端子対２−３
へS1またはS2を印加し、その端子間の共振周波数を計測
することによる。

Fsの測定は、第１端子１と第３端子３の端子間へS1を、
第２端子２と第３端子３の端子間へS2をそれぞれ印加
し、第３端子の伝送出力により共振周波数を計測するこ
とによる。

Faの測定は、第３端子３をフローティング状態として、
第１端子１と第２端子２の端子間へS1またはS2を印加
し、その端子間の共振周波数を計測することによる。

尚、FsとFaの測定については、端子対１−３または端子
対２−３を短絡した状態で、S1またはS2を短絡していな
い端子対へ印加し、その端子間の共振周波数を測定する
と２つの共振周波数が得られ、その各共振周波数を計測
することによっても同様の結果が得られる。

２つの信号S1とS2については、相互に振幅及び位相が同
一で、且つ相互間でリアクタンスの結合性がないという
条件が課されている。

計測回路中の浮遊リアクタンスの内で、端子対１−３と
端子対２−３の間の直接結合容量は計測精度に最も有害
な影響を与え、また両端子対に信号を導く回路にリアク
タンス差があると正確な計測ができなくなるという現象
を生じる。

この信号に関する条件は、電極電位を常に同一に保ち、
この浮遊リアクタンスの影響を排除するための条件であ
る。

従って、本発明の計測方法は、高い周波数帯域において
もMCFの特性周波数を正確に計測することを可能とす
る。

次に本発明の計測装置の基本的構成を第４図を用いて説
明する。

同図において、11は計測対象である２電極MCFであり、
前記の第１及び第２図に示した第１端子１、第２端子
２、及び第３端子３を有している。

この計測装置の回路は、信号源12と、該信号源12の出力信号を分配する信号分配
器13と、該信号分配器13により分配された各信号を減衰
せしめることができる。減衰伝送回路網14,15とからな
る［信号入力装置］、 MCFの出力信号を減衰せしめる減衰伝送回路網16と、該
減衰伝送回路網16の出力信号を測定する信号検出器17か
らなる［出力信号検出部］、及び、MCFの３つの端子１、２、及び３と前記の［信号
入力装置］の２つの信号供給部18,19及び［出力信号検
出部］との間に介在し、MCFへ選択的に信号を供給せし
め、信号検出器へ伝送する回路を構成する［切換え器］
20、21、及び22とからなる。

この計測装置において、F1、F2、Fs、及びFaを測定する
ための回路を構成するには、次のように各切換え器を切
換えながら行なうことになる。

先ず、F1の計測時においては、切換え器20を左側に倒
し、切換え器21を右側に倒し、切換え器22を上側に倒し
た状態で計測する。この状態では第５図に示したような
接続回路が構成され、第２端子２と第３端子３の端子間
はインダクタ23によって静電容量を中和された状態とな
り、第１端子１と第３端子３の端子間だけへ励振入力信
号が印加され、その端子間の信号の伝送量が信号検出器
17で測定されてF1が計測されることになる。

F2の計測時においては、切換え器20を右側に倒し、切換
え器21を左側に倒し、切換え器22を上側に倒した状態で
計測する。この状態では第６図に示したような接続回路
が構成され、前記のF1の場合と逆に、第１端子１と第３
端子３の端子間はインダクタ24によって静電容量を中和
された状態となり、第２端子２と第３端子３の端子間だ
けへ励振入力信号が印加され、その端子間の信号の伝送
量が信号検出器17で測定されてF2が計測されることにな
る。

Fsの計測時においては、切換え器20、21を共に左側へ倒
し、切換え器22を上側に倒した状態で計測する。この状
態では第７図に示したような接続回路が構成され、第１
端子１と第３端子３の端子間及び第２端子２と第３端子
の端子間に相互に振幅及び位相が同一で、且つ相互間で
リアクタンスの結合性がない励振入力信号が印加され、
第３端子３へ信号の伝送量が信号検出器17で測定されて
Fsが計測されることになる。

Faの計測時においては、切換え器20を中央の位置にし、
切換え器21を左側に倒し、切換え器22を下側に倒した状
態で計測する。この状態では第８図に示したような接続
回路が構成され、第１端子１と第２端子２の端子間に励
振入力信号が印加され、その端子間の信号の伝送量が信
号検出器17で測定されてFaが計測されることになる。

以上の計測時において、２つの励振入力信号は信号源12
の信号を信号分配器13で分配した振幅及び位相が同一の
ものであることから、第１端子１と第２端子２の端子間
の直接容量結合の影響が排除される。また、抵抗減衰器
14、15、及び16を設けているが、これによって、励振モ
ードにおけるMCFの特性周波数と等価抵抗を容易に得る
ことができる。また更に、接続状態になっていない回路
部についても、ダミーラインとして常に一定位置に配設
されていることになるため、切換えられる回路のリアク
タンス差の影響を最小限に制御することができることに
なる。

この結果、本計測装置では、高い周波数帯域においても
MCFの特性周波数を正確に計測することができ、また切
換え器を操作するだけの簡単な作業により、自動的に４
つの特性周波数を効率良く計測できることになる。

［実施例］本発明の実施例を第９図から第14図を用いて説明する。

第９図に示す実施例は、第４図に示した計測装置の回路
を別に具体化したものである。

この実施例の回路は、第４図の回路部品である信号源1
2、信号分配器13、減衰伝送回路網14,15,16、MCF11、イ
ンダクタ23,24、信号検出器17を同様に含んでおり、そ
れらの部品の配置関係は第４図におけると同様である。

この回路が第４図の回路と異なる点は、主に切換え器の
配置と接続にある。

即ち、第４図における切換え器20,21,22の代りに、MCF1
1の第１端子１側に切換え器31と32を、第２端子２側に
切換え器33と34を、第３端子３に切換え器35と36を、そ
れぞれ第９図に示すような回路構成で設けたものであ
る。

F1の測定時においては、切換え器31,32を左側に倒し、
切換え器33,34を右側に倒し、切換え器35,36を上側に倒
した状態で計測する。この状態では第11図に示したよう
な接続回路が構成され、第２端子２と第３端子３の端子
間はインダクタ23によって静電容量を中和された状態と
なり、第１端子１と第３端子３の端子間だけへ励振入力
信号が印加され、その端子間の信号の伝送量が信号検出
器17で測定されてF1が計測されることになるが、更に、
MCF11に接続されていない励振入力信号は切換え器33か
ら34を介して接地され、またMCF11の静電容量を中和す
るために接続されていないインダクタ24は切換え器32を
介して接地されることになる。

F2の測定時においては、切換え器31,32を右側に倒し、
切換え器33,34を左側に倒し、切換え器35,36を上側に倒
した状態で計測する。この状態では第12図に示したよう
な接続回路が構成され、第１端子１と第３端子３の端子
間はインダクタ24によって静電容量を中和された状態と
なり、第２端子２と第３端子３の端子間だけへ励振入力
信号が印加され、その端子間の信号の伝送量が信号検出
器17で測定されてF2が計測されることになるが、更に、
MCF11に接続されていない入力信号は切換え器31から32
を介して接地され、またMCF11の接続容量を中和するた
めに接続されていないインダクタ23は切換え器34を介し
て接地されることになる。

Fsの測定時においては、切換え器31,32を左側に倒し、
切換え器33,34を左側に倒し、切換え器35,36を上側に倒
した状態で計測する。この状態では第13図に示したよう
な接続回路が構成され、第１端子１と第３端子３の端子
間及び第２端子２と第３端子３の間に相互に振幅及び位
相が同一で、且つ相互間でリアクタンスの結合性がない
励振入力信号が印加され、第３端子３への信号の伝送量
が信号検出器17で測定されてFsが計測されることになる
が、更に、MCF11の静電容量を中和するために接続され
ていないインダクタ23,24は、両方ともそれぞれ切換え
器32,34を介して接地されることになる。

Faの測定時においては、切換え器31,32を右に倒し、切
換え器33,34を左側に倒し、切換え器35,36を下側に倒し
た状態で計測する。この状態では第14図に示したような
接続回路が構成され、第１端子１と第２端子２の端子間
に励振入力信号が印加され、その端子間の信号の伝送量
が信号検出器17で測定されてFaが計測されることになる
が、更に、MCF11に接続されていない入力信号は切換え
器31から32を介して接地され、更にMCF11の静電容量を
中和するために接続されていないインダクタ23,24は切
換え器35,34を介して接地されることになる。

このように、本実施例の回路においては、第４図の場合
と同様にMCF11の各特性周波数を切換え器の操作だけで
計測でき、同様の利点を有すると共に、MCF11に接続さ
れていない入力信号は接地されることになるため、切換
え器の容量を通じて入力信号が計測出力端へ通じること
を防止できるという利点を有し、また更に、MCF11の静
電容量を中和するために接続されていないインダクタを
接地して計測することができるようになるため浮遊リア
クタンスの影響を最小限に抑制できるという利点をも有
していることから、高い周波数帯域においても極めて精
度の高い計測が可能となる。

尚、本実施例は切換え器として31,32,33,34,35,36で示
した６個のものを用いているが、２極２投の無線周波数
用継電器を使用すると、３個の切換え器にとして構成す
ることが可能となる。

また、Faの計測が不要であり、F1,F2,Fsの３つの特性周
波数のみを計測すれば足りるときには、第10図に示すよ
うに、第９図における切換え器35,36を除いた簡略化さ
れた回路を用いることができる。

尚、減衰伝送回路網14,15,16としては抵抗性の２ポート
回路で構成される種々のものを用いることができるが、
３個の抵抗がπ形に接続されたパイネットワーク（国際
電気技術委員会（IEC）の書類番号444で標準化されてい
る）のものも採用できる。

［発明の効果］以上のように、本発明はMCFの特性周波数の計測方法及
び計測装置に係り、計測時における２端子対間の直接結
合容量の影響を最小限に抑制し、また他の浮遊リアクタ
ンスの影響を排除することにより、高い周波数帯域（最
低でも150MHzまで）でのMCFの特性周波数の高精度の計
測を可能とする。

また、切換え器を適宜操作することにより、自動的且つ
連続的にMCFの特性周波数を効率良く計測することを可
能とする。

そして、この発明はMCFの周波数を予め設定された値に
調整する過程において周波数を監視するための手段とし
て、また反完成品や完成品のMCFの試験における周波数
の管理手段として極めて有効に活用することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は２電極MCFの断面図、第２図は対称２電極MCFの
無損失等価回路、第３図は抽象・単純化したMCFを示す
図、第４図はMCFの特性周波数計測装置の基本的電気回
路図、第５図から第８図は計測装置における接続状態を
示す電気回路図、第９図及び第10図は実施例に係る計測
装置の電気回路図、第11図から第14図は実施例に係る計
測装置における接続状態を示す電気回路図である。１……MCFの第１端子２……MCFの第２端子３……MCFの第３端子４……水晶ウェハ、5,6,7,8……電極９……トランス、11……MCF、12……信号源 13……信号分配器 14,15,16……減衰伝送回路網 17……信号検出器、18,19……信号供給部 20,21,22……切換え器 23、24……インダクタ 31,32,33,34,35,36……切換え器

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】モノリシック水晶フィルタにおける片側面
の２電極の端子をそれぞれ第１端子、第２端子とし、も
う一方の面の電極の端子を第３端子とした場合におい
て、相互に振幅及び位相が同一で、且つ相互間でリアク
タンスの結合性がない２つの信号をS1、S2として、第１
端子と第３端子の端子間にS1またはS2を印加して、その
端子間の共振周波数を計測し、第２端子と第３端子の端
子間にS1またはS2を印加して、その端子間の共振周波数
を計測し、第１端子と第３端子の端子間にS1を、第２端
子と第３端子の端子間にS2を印加して、第３端子の信号
出力により共振周波数を計測し、第３端子をフローティ
ング状態にし、第１端子と第２端子の端子間にS1または
S2を印加して、その端子間の共振周波数を計測すること
を特徴としたモノリシック水晶フィルタの特性周波数の
計測方法。
【請求項２】モノリシック水晶フィルタにおける片側面
の２電極の端子をそれぞれ第１端子、第２端子とし、も
う一方の面の電極の端子を第３端子とした場合におい
て、相互に振幅及び位相が同一で、且つ相互間でリアク
タンスの結合性がない２つの信号をS1、S2として、第１
端子と第３端子の端子間にS1またはS2を印加して、その
端子間の共振周波数を計測し、第２端子と第３端子の端
子間にS1またはS2を印加して、その端子間の共振周波数
を計測し、第１端子または第２端子を第３端子と短絡せ
しめた状態で、S1またはS2を第１端子または第２端子の
内の短絡していない端子と第３端子の端子間へ印加し、
その端子間の共振周波数を計測することを特徴としたモ
ノリシック水晶フィルタの特性周波数の計測方法。
【請求項３】相互に振幅及び位相が同一で、且つ相互間
でリアクタンスの結合性がない２つの入力信号を供給す
る信号入力装置と、出力信号検出器と、モノリシック水
晶フィルタの３つの端子と前記信号入力装置の２つの信
号供給部及び前記出力信号検出部との間に介在し、モノ
リシック水晶フィルタへ選択的に供給せしめ、信号検出
器へ伝送する回路を構成する切換え器とからなるモノリ
シック水晶フィルタの特性周波数の計測装置。
【請求項４】信号入力装置が、信号源からの信号を相互
に振幅及び位相が同一で、且つ相互間でリアクタンスの
結合性がない２つの信号へ分配するための信号分配器
と、該信号分配器に接続された減衰伝送回路網とからな
るものである特許請求の範囲第（３）項記載のモノリシ
ック水晶フィルタの特性周波数の計測装置。
【請求項５】モノリシック水晶フィルタの２つの端子対
に対してそれぞれ並列接続され、それぞれのフィルタポ
ートの並列静電容量を中和するインダクタンスを設けた
特許請求の範囲第（３）項または第（４）項記載のモノ
リシック水晶フィルタの特性周波数の計測装置。
【請求項６】減衰伝送回路網を信号検出器の入力側に介
装した特許請求の範囲第（３）項、第（４）項または第
（５）項記載のモノリシック水晶フィルタの特性周波数
の計測装置。