JPH06100663A

JPH06100663A - 紫外線硬化性樹脂組成物及びそれを用いたカラーフィルター保護膜

Info

Publication number: JPH06100663A
Application number: JP25277892A
Authority: JP
Inventors: Koichi Kunimune; 弘一国宗; Reiko Kato; 礼子加藤; Nobuyuki Otsuka; 信之大塚
Original assignee: Chisso Corp
Current assignee: JNC Corp
Priority date: 1992-09-22
Filing date: 1992-09-22
Publication date: 1994-04-12
Anticipated expiration: 2016-09-25
Also published as: JP3211403B2

Abstract

(57)【要約】（修正有）【構成】（Ａ）式（Ｉ）の構造単位と、式（II）の構造単位とを主構造単位として含み、ジエチレングリ
コールジメチルエーテル中における３０℃での極限粘度
が０．０５〜１であるエポキシ基含有（メタ）アクリル
系共重合体、（Ｂ）ジエチレングリコールジメチルエ
ーテル中における３０℃での極限粘度が０．０５〜１で
あり、カルボン酸基および多価カルボン酸無水物基の内
の１種以上を含有する（メタ）アクリル系重合体、
（Ｃ）（メタ）アクリル基を有する単量体、（Ｄ）
光重合開始剤。（Ｒ¹，Ｒ²はＨ、炭化水素基；ｍ，ｎ
は１〜４の整数）からなる樹脂組成物。【効果】この組成物から得られた塗膜は、アルカリ水
溶液により現像が可能であり、硬化して得られるカラー
フィルター保護膜は透明性、耐熱性、耐薬品性、耐スパ
ッター性、密着性にすぐれる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は紫外線硬化用樹脂組成
物、および該組成物を用いたカラーフィルター保護膜に
関する。

【０００２】

【従来の技術】カラーフィルターの保護膜用樹脂として
の必要特性としては、透明性、密着性、耐スパッター
性、塗布性、耐熱性などが要求されており、（メタ）ア
クリル系樹脂（例えば特開昭６０−２１６３０７号公
報）、エポキシ系樹脂（例えば特開平４−９７１０２号
公報）、ポリイミド系樹脂（例えば特開平１−２２９２
０３号公報）などが検討されてきた。これらの樹脂のう
ち（メタ）アクリル系樹脂が最も透明性に優れており、
幅広く検討されてきた。しかし、（メタ）アクリル系樹
脂も含めこれらの樹脂は、密着性、耐スパッター性、耐
熱性などの物性のバランスをとることに若干問題点を有
している。これらの点を改良するために多くの提案がな
されてきた。例えば、前記特開昭６０−２１６３０７号
公報および特開平４−９７１００号公報ではエポキシ基
含有ポリマーに多価カルボン酸無水物を混合し、加熱に
より架橋、硬化膜を形成する方法が開示されているが、
高分子化合物と極性の強い低分子量化合物を混合して、
反応を行うため未反応の多価カルボン酸無水物を残存し
て不均一層をなし、物性の低下をきたし好ましくない。

【０００３】一方、ポリイミド系樹脂は本質的に透明性
が劣り、かつ膜の硬化時に高温加熱が必要であるという
難点を有している。また、工程上カラーフィルター基板
の周辺の保護膜を除去する必要があり、それを現在はレ
ジストを用いて行われている。最近、特開平４−１５３
２７４号公報、特開平４−１６４９７０号公報などに、
紫外線効果樹脂組成物を用いたカラーフィルター保護膜
が開示されている。しかし、これらはいづれも現像液が
毒性の強い有機溶媒であり、操作上好ましくない。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、プリ
ベークした後、マスクを通して紫外線を照射し、現像を
行なう際、従来のような毒性の強い有機溶媒でなく、毒
性の少ない現像液によりエッチング可能な塗膜が得られ
る紫外線硬化性樹脂組成物を提供することである。ま
た、物性の低下がなく、透明性、耐熱性、耐薬品性、耐
スパッター性および密着性などに優れているカラーフィ
ルター保護膜を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、種々検討
の結果、特定の紫外線硬化性樹脂組成物を用いることに
より、前記カラーフィルター保護膜の必要特性を満たす
と共に、毒性の少ない弱アルカリ性水溶液によりエッチ
ングが可能であるということを見出し、本発明を完成す
るに至った。すなわち、

【０００６】本発明の紫外線硬化用樹脂組成物は、下記
の（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）および（Ｄ）の４成分を含有
することを特徴とする。（Ａ）一般式（Ｉ）

【化５】で示される構造単位と、一般式（II）

【化６】で示される構造単位とを主構造単位として含み、ジエチ
レングリコールジメチルエーテル中における３０℃での
極限粘度が０．０５〜１であるエポキシ基含有（メタ）
アクリル系共重合体、（Ｂ）ジエチレングリコールジ
メチルエーテル中における３０℃での極限粘度が０．０
５〜１であり、カルボン酸基および多価カルボン酸無水
物基の内の１種以上を含有する（メタ）アクリル系重合
体、（Ｃ）（メタ）アクリル基を有する単量体、
（Ｄ）光重合開始剤。（ただし、一般式（Ｉ）および
（II）において、Ｒ¹およびＲ²は独立に水素原子また
は炭素数１〜５の炭化水素基であり、ｍおよびｎは独立
に１〜４の整数を示す。）

【０００７】本発明のカラーフィルター保護膜は、前記
の（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）および（Ｄ）の４成分を含有
する紫外線硬化用樹脂組成物を基板に塗布し、必要によ
りプレベークし、紫外線を照射し、必要によりエッチン
グを行い、また必要によりポストベークを行うことによ
り得られることを特徴とする。

【０００８】本発明の紫外線硬化用樹脂組成物の好まし
い態様は、（Ａ）成分が、メタクリル酸グリシジル（以
下ＧＭＡと略記することもある）とメタクリル酸２‐ヒ
ドロキシル（以下ＨＥＭＡと略記することもある）を主
成分とする共重合体であり、かつ、（Ｂ）成分がメタク
リル酸メチル（以下ＭＭＡと略記することもある）、メ
タクリル酸（以下ＭＡと略記することもある）および無
水マレイン酸（以下ＭＡＨと略記することもある）、Ｍ
ＭＡおよびＭＡ、もしくはＭＭＡおよびＭＡＨを主成分
とする共重合体である。

【０００９】（Ａ）および（Ｂ）成分は通常のラジカル
重合により容易に合成することができる。これらの両成
分と（Ｃ）メタ（アクリル）基を有するモノマー、
（Ｄ）光重合開始剤および必要によりカップリング剤な
どの添加物を混合し、あるいは必要により有機溶媒に溶
解させることにより本発明の紫外線硬化用樹脂組成物を
生成することができる。

【００１０】本発明で用いられる（Ａ）成分は、下記一
般式(III) および（IV）

【化７】

【化８】（ただし一般式(III) および（IV）においてＲ¹および
Ｒ²は独立に水素原子、または炭素数１〜５の炭化水素
基であり、ｍおよびｎは独立に１〜４の整数である。）
で示されるモノマーを共重合することにより得ることが
できる。これらのうちメタクリル酸グリシジルおよびメ
タクリル酸２‐ヒドロキシルエチルの組み合わせが最も
好ましい。これらのモノマーをラジカル重合開始剤の存
在下重合することにより容易に得ることができる。この
場合得られたポリマーの溶解性あるいは密着性などの特
性を改善するために他の（メタ）アクリル系モノマーあ
るいは少量のビニルモノマーを添加して共重合を行うこ
ともできる。

【００１１】他の（メタ）アクリル系モノマーとしては
アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸ｎ‐
ブチル、アクリル酸２‐エチルヘキシル、アクリル酸２
‐エトキシエチル、アクリル酸２‐ヒドロキシエチルな
どのアクリル酸エステル類、もしくはメタクリル酸メチ
ル、メタクリル酸２‐ブチル、メタクリル酸イソブチ
ル、メタクリル酸ｔ‐ブチル、メタクリル酸シクロヘキ
シル、メタクリル酸２‐エチルヘキシル、メタクリル酸
ベンジル、メタクリル酸２‐ヒドロキシプロピルなどの
メタクリル酸エステル類などを例示することができる。
他のビニルモノマーとしては、スチレン、ｐ‐ヒドロキ
シスチレン、α‐メチルスチレンなどを挙げることがで
きる。

【００１２】これらモノマーの重合体中の割合は、一般
式(III) で示されるモノマー３０〜９０重量％、一般式
（IV）で示されるモノマー１０〜７０重量％、他の（メ
タ）アクリルモノマー０〜３０重量％およびビニルモノ
マー０〜３０重量％である。他の（メタ）アクリルモノ
マーあるいはビニルモノマーの一部として１０重量％以
内の後述するカルボン酸基または多価カルボン酸無水物
基を有するモノマーを添加することもできる。上記モノ
マーを反応溶媒中でラジカル重合開始剤の存在下、常法
により重合反応を行うことにより容易に（Ａ）成分を得
ることができる。得られた共重合体の重合度はジエチレ
ングリコールジメチルエーテル中における３０℃での極
限粘度が０．０５〜１の範囲であることが好ましい。こ
の範囲以下ではカラーフィルター保護膜としての物性が
低下し、この範囲以上では溶媒に対する溶解性が低下
し、溶媒の選択範囲がせばまり好ましくない。

【００１３】ここで用いられる反応溶媒としては、メタ
ルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルシク
ロヘキサノンなどのケトン類、エチレングリコールジメ
チルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテ
ル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレ
ングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコー
ルモノエチルエーテルなどのエーテル類、あるいはエチ
レングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチ
レングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチ
レングリコールモノエチルエーテルアセテートなどのエ
ステル類を例示することができる。

【００１４】ラジカル重合開始剤としてはベンゾイルパ
ーオキサイド、ｔ‐ブチルパーオキシベンゾエート、ラ
ウロイルパーオキサイドなどの有機過酸化物、あるいは
アゾビスイソブチロニトリルなどを例示することができ
る。

【００１５】カルボン酸基および多価カルボン酸無水物
基の内の１種以上を含有する（Ｂ）成分である（メタ）
アクリル系重合体は、カルボン酸基または多価カルボン
酸無水物基を有するモノマー１０〜７０重量％、前述し
た他の（メタ）アクリル系モノマー３０〜９０重量％、
必要に応じて、他のビニール系モノマーを３０重量％以
下を混合し、常法に従って、前述した溶媒およびラジカ
ル重合開始剤を用いて重合を行うことにより得ることが
できる。

【００１６】ここで、（メタ）アクリル系モノマーの一
部として１０重量％以内の範囲内において前述したエポ
キシ基含有（メタ）アクリル系モノマーを添加すること
ができる。また、合成するに際して使われるカルボン酸
基または多価カルボン酸無水物基を含有するモノマーと
して、アクリル酸、メタクリル酸などの（メタ）アクリ
ル系モノマー、無水マレイン酸、無水シトラコン酸、無
水２，３‐ジメチルマレイン酸、無水１‐シクロヘキサ
ン‐１，２‐ジカルボン酸、無水エチルマレイン酸、無
水２‐メチル‐３‐エチルマレイン酸、無水２，３‐ジ
エチルマレイン酸などの無水マレイン酸誘導体などを例
示することができる。

【００１７】（Ｂ）成分の重合体の重合度はジエチレン
グリコールジメチルエーテル中における３０℃での極限
粘度が０．０５〜１の範囲であることが好ましい。この
範囲以下ではカラーフィルター保護膜としての物性が低
下し、この範囲以上では溶媒に対する溶解性が低下し、
溶媒の選択範囲がせばまり好ましくない。

【００１８】（Ｃ）成分である（メタ）アクリル基を有
するモノマーとしては、以下の化合物を例示することが
できる。ブチルアクリラート、シクロヘキシルアクリラ
ート、ジメチルアミノエチルメタクリラート、ベンジル
アクリラート、カルビトールアクリラート、２‐エチル
ヘキシルアクリラート、２‐エチルヘキシルメタクリラ
ート、ラウリルメタクリラート、２‐ヒドロキシルエチ
ルアクリラート、２‐ヒドロキエチルメタクリラート、
２‐ヒドロキシプロピルアクリラート、２‐ヒドロキシ
ルプロピルメタクリラート、グリシジルメタクリラー
ト、Ｎ‐メチロールアクリルアミド、Ｎ‐ジアセトンア
クリルアミド、Ｎ，Ｎ′‐メチレンビスアクリルアミ
ド、Ｎ‐ビニルピロリドン、エチレングリコールジアク
リラート、ジエチレングリコールジアクリラート、トリ
エチレングリコールジアクリラート、ブチレングリコー
ルジアクリラート、ブチレングリコールジメタクリラー
ト、ネオペンチルグリコールジアクリラート、ネオペン
チルグリコールジメタクルラート、１，４‐ブタンジオ
ールジアクリラート、１，６‐ヘキサンジオールジアク
リラート、１，６‐ヘキサンジオールジメタアクリラー
ト、ペンタエリスリトールジアクリラート、ペンタエリ
スリトールトリアクリラート、トリメチロールプロパン
トリアクリラート、トリメチロールプロパントリメタク
リラート、ペンタエリスリトールテトラ（３‐メルカプ
トプロピオネート）、ペンタエリスリトール（メルカプ
トアセテート）、グリセロールアクリラート／メタクリ
ラートなど、

【００１９】（Ｄ）成分の光重合開始剤としては、以下
の化合物をあげることができる。ベンゾフェノン、ミヒ
ラーズケトン、４，４′‐ジエチルアミノベンゾフェノ
ン、キサントン、チオキサントン、イソプロピルチオキ
サントン、２，４‐ジエチルチオキサントン、２‐エチ
ルアントラキノン、アセトフェノン、２‐ヒドロキシ‐
２‐メチルプロピオフェノン、２‐ヒドロキシ‐２‐メ
チル‐４′‐イソプロピルプロピオフェノン、１‐ヒド
ロキシシクロヘキシルフェニルケトン、イソプロピルベ
ンゾインエーテル、イソブチルベンゾインエーテル、
２，２‐ジエトキシアセトフェノン、２，２‐ジメトキ
シ‐２‐フェニルアセトフェノン、ベンジル、カンファ
ーキノン、ベンズアンスロン、２‐メチル‐１‐｛４‐
（メチルチオ）フェニル｝‐２‐モルフォリノプロパン
‐１‐オン、２‐ベンジル‐２‐ジメチル‐１‐（４‐
モルフォリノフェニル）‐ブタノン‐１、３，３′，
４，４′‐テトラ（ｔ‐ブチルパーオキシカルボニル）
ベンゾフェノン、Ｎ‐フェニル‐グリシン、ｐ‐ヒドロ
キシ‐Ｎ‐フェニルグリシン、テトラメチルチウラムモ
ノスルフィド、テトラメチルチウラムジスルフィド、ｐ
‐トリルジスルフィド、４‐ジメチルアミノ安息香酸エ
チル、４‐ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、３，
３′‐カルボニル‐ビス（７‐ジエチルアミノ）クマリ
ン、２，６‐ビス（ｐ‐アジドベンジリデン）シクロヘ
キサノン、２，６‐ビス（ｐ‐アジドベンジリデン）‐
‐メチルシクロヘキサノン、２，６‐ビス（ｐ‐アジド
ベンジリデン）‐４‐ｔ‐ブチルシクロヘキサノン、エ
チル‐ｐ‐（Ｎ，Ｎ‐ジメチルアミノ）ベソゾエートな
ど。

【００２０】これら（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）および
（Ｄ）成分を混合した場合、互いに溶解する化合物の組
み合わせならそのまま本発明の組成物として使用するこ
とも可能である。しかし、一般には塗布性を改善するた
めに、これらの化合物を有機溶媒に溶解させ塗布液とし
て使用するのが好ましい。有機溶媒としては前記の反応
溶媒を任意の混合比で使用できる。（Ａ）（Ｂ）両成分
の混合比は（Ａ）成分中のエポキシ基と（Ｂ）成分中の
カルボン酸基（カルボン酸無水物基はカルボン酸２個と
して計算）が当量近くであることが好ましいが、それほ
ど厳密なものではない。（Ｃ）成分は（Ａ）および
（Ｂ）成分の合計量１００重量部に対して２０〜３００
重量部が好ましく、５０〜２００重量部が特に好まし
い。これより少ないと紫外線による硬化が不十分であ
り、多いと硬化膜の物性が低下する。（Ｄ）成分は
（Ｃ）成分１００重量部に対して１〜５０重量部、５〜
２０重量部が特に好ましい。これより少ないと紫外線に
よる硬化が不十分であり、多いと塗布液の経時安定性が
低下して好ましくない。

【００２１】これらの成分のほかに必要によりポリマー
２０重量％以下の架橋助剤、カップリング剤および熱重
合禁止剤を添加することもできる。架橋助剤としては水
酸基、カルボキシル基およびアミノ基含有化合物が用い
られる。基板との密着性を向上させるためのカップリン
グ剤として、シラン、アルミニウムおよびチタネート系
の化合物が使われる。これらの具体例としては、３‐ア
ミノプロピルトリエトキシシラン、３‐アミノフェニル
トリエトキシシラン、３‐グリシドキシプロピルトリメ
トキシシラン、３‐メタクリロキシプロピルトリメトキ
シシランなどのシラン系、アセトアルコキシアルミニウ
ムジイソプロピレートなどのアルミニウム系、テトライ
ソプロピルビス（ジオクチルホスファイト）チタネート
などのチタネート系を挙げることができる。熱重合禁止
剤としてはハイドロキノン、ｐ‐メトキシフェノールな
どが用いられる。

【００２２】次に本発明の紫外線硬化性樹脂組成物を用
いたカラーフィルター保護膜の形成法について説明す
る。本発明の紫外線硬化性樹脂組成物はスピンコート、
浸漬または噴霧印刷などの公知の方法によりガラス基板
上にパターニングされたカラーフィルター上に塗布し塗
膜を形成する。塗膜は電気炉あるいはホットプレートな
どの加熱手段を用い、３０〜１５０℃の温度でプリベー
クを行うことにより塗膜中の大部分の溶媒の除去を行
う。この塗膜にネガマスクを置き、化学線を照射する。
化学線としてはＸ線、電子線、紫外線、あるいは可視光
線などが例として挙げられるが、紫外線または可視光線
が特に好適である。次いで必要により未露光部を現像液
で溶解除去することによりレリーフ・パターンを得る。
現像液としては水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭
酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウムあるいはテトラアン
モニウムヒドロキシドなどの弱アルカリ性水溶液を使用
することができる。必要により非溶媒中でリンスを行う
こともできる。現像により形成されたレリーフ・パター
ンのポリマーの硬化を促進するために上記加熱手段によ
り１５０〜３００℃、好ましくは１８０〜２５０℃の温
度でポストベークすることもできる。

【００２３】さらに、本発明の紫外線硬化性樹脂組成物
はスピンコート、浸漬または噴霧印刷になどの公知の方
法によりシリコンウェハー、金属板、プラスチック板、
などの基板上に塗布し塗膜を形成し、前記のカラーフィ
ルター保護膜の形成と同様にプリベーク、ポストベーク
することにより硬化膜を形成することができ、電気部品
の基板面の平坦化などに用いることができる。

【００２４】以下、合成例および実施例によって、本発
明を具体的に説明するが、本発明はこれらの合成例およ
び実施例により限定されるものではない。

【００２５】エポキシ基含有（メタ）アクリル系共重合
体〔（Ａ）成分〕の合成：（合成例１）ＧＭＡの３５重量部（以下すべて重量
部）、ＨＥＭＡの１５部、アゾビスイソブチロニトリル
（以下ＡＩＢＮと略記する）の２部をメチルエチルケト
ン（以下ＭＥＫと略記する）の３００部に溶解させ６０
℃で４時間、続いて８０℃で１２時間重合を行った後、
反応液を多量のｎ‐ヘプタン中に移してポリマーを沈殿
させ、濾別した５０℃の真空乾燥器中で一昼夜減圧乾燥
し、（Ａ）成分の共重合体（Ａ−Ｉとする）を得た。こ
の重合体のジエチレングリコールジメチルエーテル（以
下ＤＩＧと略記する）溶液中３０℃で測定した極限粘度
は０．０７９であった。

【００２６】（合成例２）ＧＭＡの２５部、ＨＥＭＡの
２０部、ＭＭＡの５部、ＡＩＢＮの２部をＭＥＫの３０
０部中に溶解させた以外は合成例１と同様に合成し、極
限粘度０．１２の（Ａ）成分重合体（Ａ−II）を得た。

【００２７】カルボン酸基および多価カルボン酸無水物
基の内１種以上を含有する（メタ）アクリル系重合体
〔（Ｂ）成分〕の合成：（合成例３）ＭＡの３０部、ＭＭＡの７０部およびＡＩ
ＢＮの１部をＤＩＧの３００部に溶解させた以外は合成
例１と同様に合成し、極限粘度０．１８の（Ｂ）成分の
重合体（Ｂ−Ｉ）を得た。

【００２８】（合成例４）ＭＡＨの３０部、ＭＡの１０
部、ＭＭＡの５０部、スチレンの１０部、およびＡＩＢ
Ｎの１部をＭＥＫの３００部に溶解させた以外は合成例
１と同様に合成し、極限粘度０．１４の（Ｂ）成分の重
合体（Ｂ−II）を得た。

【００２９】実施例１（Ａ）成分として共重合体（Ａ−Ｉ）を４１部、（Ｂ）
成分として重合体（Ｂ−Ｉ）を５９部、（Ｃ）成分とし
てペンタエリスリトールトリアクリレートを１００部、
（Ｄ）成分として２‐メチル‐１‐｛４‐（メチルチ
オ）フェニル｝‐２‐モリフォリノプロパン‐１を７
部、エチル‐ｐ‐（Ｎ，Ｎ‐ジメチルアミノ）ベンゾエ
ートを２部、イソプロピルチオキサントンを２部および
シランカップリング剤〔チッソ（株）製：Ｓ５１０〕５
部を溶媒のジエチレングリコールジメチルエーテル（Ｄ
ＩＧ）の３００部に溶解させ紫外線硬化性樹脂組成物を
調製した。

【００３０】これらの樹脂組成物をガラス板上に塗布
し、７０℃に保たれたホットプレート上で２０分間プリ
ベークし、塗膜を形成した。これらの塗膜にマスクを通
して超高圧水銀灯（２０mw／cm²）で２０秒間露光し
た。これらを２％炭酸ナトリウムからなる現像液に２分
間浸漬することにより現像を行い、水でリンスした。更
に２００℃のオーブン中で１時間ポストベークを行った
ところ、未露光部には残膜はなく、露光部には透明な膜
が残存していた。これとは別に同様な条件で全面露光し
た後、現像液に浸漬することなくポストベークを行い塗
膜を形成した。

【００３１】露光後現像液に浸漬して得た膜と露光後現
像液に浸漬しないで得た膜、すなわち現像の有無による
各々の膜厚を測定し、つぎの式により残膜率を算出し、
結果を表１に示した。残膜率＝〔露光部膜厚（現像有り）／露光部膜厚（現像
無し）〕×１００次に、カラーフィルター保護膜として必要な特性である
透明性、基板との密着性、耐薬品性、耐熱性および耐ス
パッター性について測定した。またエポキシ基含有重合
体を低分子量酸無水物と混合した樹脂組成物の物性を比
較例１として示した。これらの結果を表１に示す。

【００３２】カラーフィルター保護膜に必要な特性の測
定方法を以下に示す。（透明性）島津製作所性分光光度計ＵＶ−２１０Ａによ
り光透過性を測定し、波長４００nmでの光透過率を示し
た。（耐熱性）２５０℃で熱処理後の透明性を示した。（耐薬品性）Ｎ‐メチル‐２‐ピロリドン液に室温で３
０分間垂直に固定して浸し、液中に没している部分とそ
うでない部分との境界線が目視により見分けられるかど
うかを判定した。境界線が目視できる場合を×、できな
い場合を○とした。（耐スパッター性）スパッターにより、２００℃で膜厚
２００オングストロームのＩＴＯ膜（インジュウム‐ス
ズ酸化物）を硬化膜上に形成せしめた時、膜の皺発生の
有無を調べた。皺がある時を×、ない時を○とした。（密着性）硬化膜上に切り目を入れて一片１mmの正方形
の小片を１００個作り、その表面にセロハンテープを貼
り付け直ちにはがした。その時セロハンテープと共に硬
化膜のはがれがある時を×とし、ない時を○とした。

【００３３】実施例２〜４各成分などの配合を表１に示すように調合する以外は、
実施例１と同様に行ない紫外線硬化性樹脂組成物を調製
した。該組成物の特性とカラーフィルター保護膜に必要
な特性の測定結果を表１に示す。

【００３４】比較例１（Ｂ），（Ｃ）および（Ｄ）成分を使用せず、架橋剤を
用いて、表１の配合とする以外実施例１と同様に行ない
樹脂組成物を得た。カラーフィルター保護膜に必要な特
性を表１に示す。

【００３５】

【表１】

【００３６】表１の組成物の特性の結果から、本発明の
樹脂組成物から得た塗膜はアルカリ水溶液により現像が
可能であることが明らかである。

【００３７】

【発明の効果】本発明の樹脂組成物から得られた塗膜
は、アルカリ水溶液により現像が可能であり、かつ硬化
膜はカラーフィルター保護膜の必要特性である透明性、
耐熱性、耐薬品性、耐スパッター性および密着性などを
すべて充たしており、この用途に適した樹脂であること
が明らかである。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｃ０８Ｇ 59/20 ＮＨＷ 8416−4Ｊ 59/40 ＮＫＦ 8416−4ＪＣ０９Ｄ 4/00 ＰＤＲ 7921−4ＪＧ０２Ｂ 5/20 １０１ 7348−2ＫＧ０３Ｆ 7/027 ５０１ 7/038 ５０３Ｇ０９Ｆ 9/00 ３３０ 6447−5Ｇ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】下記の（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）および
（Ｄ）の４成分を含有することを特徴とする紫外線硬化
用樹脂組成物。（Ａ）一般式（Ｉ）【化１】で示される構造単位と、一般式（II）【化２】で示される構造単位とを主構造単位として含み、ジエチ
レングリコールジメチルエーテル中における３０℃での
極限粘度が０．０５〜１であるエポキシ基含有（メタ）
アクリル系共重合体、（Ｂ）ジエチレングリコールジ
メチルエーテル中における３０℃での極限粘度が０．０
５〜１であり、カルボン酸基および多価カルボン酸無水
物基の内の１種以上を含有する（メタ）アクリル系重合
体、（Ｃ）（メタ）アクリル基を有する単量体、
（Ｄ）光重合開始剤。（ただし、一般式（Ｉ）および
（II）において、Ｒ¹およびＲ²は独立に水素原子また
は炭素数１〜５の炭化水素基であり、ｍおよびｎは独立
に１〜４の整数を示す。）
【請求項２】（Ａ）成分が、メタクリル酸グリシジル
とメタクリル酸ヒドロキシルを主成分とする共重合体で
あり、かつ、（Ｂ）成分がメタクリル酸メチル、メタク
リル酸および無水マレイン酸、メタクリル酸メチルおよ
びメタクリル酸、もしくはメタクリル酸メチルおよび無
水マレイン酸を主成分とする共重合体であることを特徴
とする請求項１に記載の紫外線硬化用樹脂組成物。
【請求項３】下記の（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）および
（Ｄ）の４成分を含有する紫外線硬化用樹脂組成物を基
板に塗布し、必要によりプレベークし、紫外線を照射
し、必要によりエッチングを行い、また必要によりポス
トベークを行うことにより得られるカラーフィルター保
護膜。（Ａ）一般式（Ｉ）【化３】で示される構造単位と、一般式（II）【化４】で示される構造単位とを主構造単位として含み、ジエチ
レングリコールジメチルエーテル中における３０℃での
極限粘度が０．０５〜１であるエポキシ基含有（メタ）
アクリル系共重合体、（Ｂ）ジエチレングリコールジ
メチルエーテル中における３０℃での極限粘度が０．０
５〜１であり、カルボン酸基および多価カルボン酸無水
物基の内の１種以上を含有する（メタ）アクリル系重合
体、（Ｃ）（メタ）アクリル基を有する単量体、
（Ｄ）光重合開始剤。（ただし、一般式（Ｉ）および
（II）において、Ｒ¹およびＲ²は独立に水素原子また
は炭素数１〜５の炭化水素基であり、ｍおよびｎは独立
に１〜４の整数を示す。）