JPH0610134A - 耐腐食性材料およびその製造方法 - Google Patents
耐腐食性材料およびその製造方法Info
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- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 76
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 title claims abstract description 47
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 title claims abstract description 47
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 18
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 29
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 27
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims abstract description 26
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims abstract description 26
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 24
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 24
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 24
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 24
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims abstract description 10
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 229910001080 W alloy Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910001510 metal chloride Inorganic materials 0.000 claims description 7
- MGRWKWACZDFZJT-UHFFFAOYSA-N molybdenum tungsten Chemical compound [Mo].[W] MGRWKWACZDFZJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 7
- 229910001512 metal fluoride Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 33
- 239000010410 layer Substances 0.000 abstract description 26
- 239000011701 zinc Substances 0.000 abstract description 13
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 12
- 238000002844 melting Methods 0.000 abstract description 12
- 230000008018 melting Effects 0.000 abstract description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 12
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 abstract description 12
- 229910001182 Mo alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 239000002131 composite material Substances 0.000 abstract description 4
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 abstract description 3
- 229910015255 MoF6 Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 abstract description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 abstract description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- RLCOZMCCEKDUPY-UHFFFAOYSA-H molybdenum hexafluoride Chemical compound F[Mo](F)(F)(F)(F)F RLCOZMCCEKDUPY-UHFFFAOYSA-H 0.000 abstract description 2
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 abstract description 2
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 abstract description 2
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 abstract 4
- 229910019593 ReF6 Inorganic materials 0.000 abstract 2
- YUCDNKHFHNORTO-UHFFFAOYSA-H rhenium hexafluoride Chemical compound F[Re](F)(F)(F)(F)F YUCDNKHFHNORTO-UHFFFAOYSA-H 0.000 abstract 2
- 229910021637 Rhenium(VI) chloride Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 22
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 9
- 229910019595 ReF 6 Inorganic materials 0.000 description 8
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 6
- KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N Chlorine Chemical compound ClCl KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 4
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical group Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910015275 MoF 6 Inorganic materials 0.000 description 3
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 3
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 2
- 238000003763 carbonization Methods 0.000 description 2
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000003779 heat-resistant material Substances 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 238000007719 peel strength test Methods 0.000 description 2
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 2
- WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N rhenium atom Chemical compound [Re] WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001297 Zn alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 238000005524 ceramic coating Methods 0.000 description 1
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 1
- 238000005660 chlorination reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000005246 galvanizing Methods 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000007670 refining Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000007751 thermal spraying Methods 0.000 description 1
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 description 1
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- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 耐腐食性を有するＷ及びＭｏ合金膜を有する
複合材料からなりＺｎメッキ浴等の耐腐食性材料として
供し得，しかも，複合材料の剥離不安を解消した耐腐食
性材料とその製造方法を提供すること，この複合材料に
おいて，直接緻密な層を生成し（被覆し），且つかなり
薄い厚さでその効果を期待できる耐腐食性材料とその製
造方法を提供すること，及び耐腐食性に有効なタングス
テン・モリブデン合金は，所望する組成に調整すること
が容易にでき，また，この組成が耐腐食性に極めて有効
な合金である耐腐食性材料とその製造方法を提供するこ
と。 【構成】 耐腐食性材料は，黒鉛からなる母材と，前記
母材上に形成された炭化物相防止層と，前記炭化物相防
止層上に形成された５〜６０ｗｔ％のＭｏ，残部がＷの
合金層を有する。この耐腐食性材料を製造するには，母
材を黒鉛とし，この母材上に炭化物相防止層を施した
後，上記組成のＭｏとＷとからなる合金層をＣＶＤ法に
よって被覆する。
複合材料からなりＺｎメッキ浴等の耐腐食性材料として
供し得，しかも，複合材料の剥離不安を解消した耐腐食
性材料とその製造方法を提供すること，この複合材料に
おいて，直接緻密な層を生成し（被覆し），且つかなり
薄い厚さでその効果を期待できる耐腐食性材料とその製
造方法を提供すること，及び耐腐食性に有効なタングス
テン・モリブデン合金は，所望する組成に調整すること
が容易にでき，また，この組成が耐腐食性に極めて有効
な合金である耐腐食性材料とその製造方法を提供するこ
と。 【構成】 耐腐食性材料は，黒鉛からなる母材と，前記
母材上に形成された炭化物相防止層と，前記炭化物相防
止層上に形成された５〜６０ｗｔ％のＭｏ，残部がＷの
合金層を有する。この耐腐食性材料を製造するには，母
材を黒鉛とし，この母材上に炭化物相防止層を施した
後，上記組成のＭｏとＷとからなる合金層をＣＶＤ法に
よって被覆する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は，耐腐食性材料に関し，
詳しくは，亜鉛溶融装置に用いられる耐腐食性材料及び
その製造方法に関する。
詳しくは，亜鉛溶融装置に用いられる耐腐食性材料及び
その製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に，亜鉛精錬，亜鉛合金鋳造，亜鉛
メッキ等には，亜鉛を溶融する溶融装置が使用されてい
る。また，この種の溶融装置として，サブマージドメル
ティングシステム，ブリッジウオールメルティングシス
テム等が知られている。これらのシステムでは，溶融亜
鉛が均一な温度を保った状態で，槽内を循環するように
構成されており，システム内のポンプ，熱電対保護管，
ローラ軸受，板押さえの鋼板等の各種部品は溶融亜鉛に
接触乃至は溶融亜鉛に浸漬されることになる。
メッキ等には，亜鉛を溶融する溶融装置が使用されてい
る。また，この種の溶融装置として，サブマージドメル
ティングシステム，ブリッジウオールメルティングシス
テム等が知られている。これらのシステムでは，溶融亜
鉛が均一な温度を保った状態で，槽内を循環するように
構成されており，システム内のポンプ，熱電対保護管，
ローラ軸受，板押さえの鋼板等の各種部品は溶融亜鉛に
接触乃至は溶融亜鉛に浸漬されることになる。
【０００３】一方，このように，溶融亜鉛に接触浸漬さ
れる金属部品は，溶融亜鉛によって，腐食されることが
知られている。溶融亜鉛による腐食を防止するために，
例えば，ポンプをカーボンによって形成すると共に，熱
電対保護管，ローラ軸受をセラミックによって形成し，
鋼板にセラミックコーティングを施すことが，提案され
ている。
れる金属部品は，溶融亜鉛によって，腐食されることが
知られている。溶融亜鉛による腐食を防止するために，
例えば，ポンプをカーボンによって形成すると共に，熱
電対保護管，ローラ軸受をセラミックによって形成し，
鋼板にセラミックコーティングを施すことが，提案され
ている。
【０００４】更に，このような溶融装置の部品を耐熱材
料で且つ硬質材料である（Ｍｏ）とタングステン（Ｗ）
との合金によって形成することも提案されている。従来
のこの種の合金は，重量で７０％のＭｏを含み，残部が
Ｗである化学組成を有しており，真空アーク炉を用いた
溶解法によって生成されている。
料で且つ硬質材料である（Ｍｏ）とタングステン（Ｗ）
との合金によって形成することも提案されている。従来
のこの種の合金は，重量で７０％のＭｏを含み，残部が
Ｗである化学組成を有しており，真空アーク炉を用いた
溶解法によって生成されている。
【０００５】しかしながら，セラミック及びカーボン
は，耐熱材料としては優れているが，機械的強度が小さ
く，耐衝撃性や耐磨耗性に乏しく，これらを材料とした
溶融装置部品は，短寿命であるという欠点がある。この
ことは，部品のコストを上昇させ，したがって，製品の
生産コストをも上昇させることになる。また，一般に，
機械的強度の大きな金属材料は，溶融亜鉛に著しく腐食
されるので溶融装置材料として不適当であり，溶融装置
や部品の材料としては，上記したＭｏとＷとの合金のみ
が市販されているにすぎない。しかし，市販されている
ＭｏとＷとの合金材料は，溶融亜鉛に対して，他の金属
材料より優れた耐腐食性を示すが，セラミックス及びカ
ーボンに比べると耐腐食性が低いため，市販のＭｏとＷ
の合金材料をセラミック等の代わりに使用することは，
困難であった。
は，耐熱材料としては優れているが，機械的強度が小さ
く，耐衝撃性や耐磨耗性に乏しく，これらを材料とした
溶融装置部品は，短寿命であるという欠点がある。この
ことは，部品のコストを上昇させ，したがって，製品の
生産コストをも上昇させることになる。また，一般に，
機械的強度の大きな金属材料は，溶融亜鉛に著しく腐食
されるので溶融装置材料として不適当であり，溶融装置
や部品の材料としては，上記したＭｏとＷとの合金のみ
が市販されているにすぎない。しかし，市販されている
ＭｏとＷとの合金材料は，溶融亜鉛に対して，他の金属
材料より優れた耐腐食性を示すが，セラミックス及びカ
ーボンに比べると耐腐食性が低いため，市販のＭｏとＷ
の合金材料をセラミック等の代わりに使用することは，
困難であった。
【０００６】そこで，本発明者らは，耐腐食性材料とし
て，特定の混合比率からなるＷとＭｏとの合金素材を，
約９００℃〜１５００℃で熱間圧延して板材とする技術
を提案した（特公平３−９１７７号公報，以下，参考文
献１と呼ぶ）。
て，特定の混合比率からなるＷとＭｏとの合金素材を，
約９００℃〜１５００℃で熱間圧延して板材とする技術
を提案した（特公平３−９１７７号公報，以下，参考文
献１と呼ぶ）。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら，上述し
た参考文献１のＷとＭｏとの合金において，例えば，メ
ッキ浴槽中の板押えの部材には，ローラが欠かせず，必
然的に軸部品としての耐腐食材料で，形状的には，リン
グ状のものが多く必要であり，このような軸部品，リン
グ状の部品を製造する場合，ＷとＭｏとの合金からなる
圧延材では，溶接加工ができず，又，たとえできたとし
ても，１０〜２０ｍｍ程の肉厚のある材料が必要にな
る。
た参考文献１のＷとＭｏとの合金において，例えば，メ
ッキ浴槽中の板押えの部材には，ローラが欠かせず，必
然的に軸部品としての耐腐食材料で，形状的には，リン
グ状のものが多く必要であり，このような軸部品，リン
グ状の部品を製造する場合，ＷとＭｏとの合金からなる
圧延材では，溶接加工ができず，又，たとえできたとし
ても，１０〜２０ｍｍ程の肉厚のある材料が必要にな
る。
【０００８】更に，上記Ｗ及びＭｏの合金のみからなる
板材は，極めて加工性に劣り，無理な歪みを加えれば，
割れてしまう欠点を保有している。
板材は，極めて加工性に劣り，無理な歪みを加えれば，
割れてしまう欠点を保有している。
【０００９】一方，上記ＷとＭｏとの合金を粉末あるい
は，粒状にし，溶射により，所望する金属系母材に施す
ことも考えられる。しかし，このＷとＭｏとの合金の膨
脹係数は，５〜５．５×１０-6／℃であり，金属系母材
とは，膨脹率の違いによって，高温メッキ浴中で剥離の
不安が大きく，実用化は不可能であった。
は，粒状にし，溶射により，所望する金属系母材に施す
ことも考えられる。しかし，このＷとＭｏとの合金の膨
脹係数は，５〜５．５×１０-6／℃であり，金属系母材
とは，膨脹率の違いによって，高温メッキ浴中で剥離の
不安が大きく，実用化は不可能であった。
【００１０】そこで，本発明の第１の技術的課題は，表
層が耐腐食性を有するＷとＭｏとの合金膜を有する複合
材料からなりＺｎメッキ浴等の耐腐食性材料として有効
で，しかも，複合材料の表層の剥離不安を解消した耐腐
食性材料とその製造方法を提供することにある。
層が耐腐食性を有するＷとＭｏとの合金膜を有する複合
材料からなりＺｎメッキ浴等の耐腐食性材料として有効
で，しかも，複合材料の表層の剥離不安を解消した耐腐
食性材料とその製造方法を提供することにある。
【００１１】また，本発明の第２の技術的課題は，前記
複合材料において，直接緻密な層を被覆生成し，且つか
なり薄い厚さでその耐腐食効果を期待できる耐腐食性材
料とその製造方法を提供することにある。
複合材料において，直接緻密な層を被覆生成し，且つか
なり薄い厚さでその耐腐食効果を期待できる耐腐食性材
料とその製造方法を提供することにある。
【００１２】更に，本発明の技術的課題は，耐腐食性を
付与するのに有効なタングステン・モリブデン合金の組
成を容易に調整することができる耐腐食性材料とその製
造方法を提供することにある。
付与するのに有効なタングステン・モリブデン合金の組
成を容易に調整することができる耐腐食性材料とその製
造方法を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明によれば，黒鉛か
らなる母材と，前記母材上に形成された炭化物相防止層
と，前記炭化物相防止層上に形成された５〜６０ｗｔ％
のＭｏ，残部がＷの合金からなる防食層を有することを
特徴とする耐腐食性材料が得られる。
らなる母材と，前記母材上に形成された炭化物相防止層
と，前記炭化物相防止層上に形成された５〜６０ｗｔ％
のＭｏ，残部がＷの合金からなる防食層を有することを
特徴とする耐腐食性材料が得られる。
【００１４】ここで，本発明において，ＭｏとＷとの合
金は，亜鉛等に対する耐腐食性に優れている５〜６０ｗ
ｔ％のＭｏ，残部がＷの合金からなり，ＭｏとＷとの合
金の耐腐食性はＭｏが５５％前後で最も優れている。
金は，亜鉛等に対する耐腐食性に優れている５〜６０ｗ
ｔ％のＭｏ，残部がＷの合金からなり，ＭｏとＷとの合
金の耐腐食性はＭｏが５５％前後で最も優れている。
【００１５】本発明によれば，前記耐腐食性材料におい
て，前記炭化物相防止層は，Ｒｅ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｒｕの
うちから選択された少くとも一種を含む金属又は合金か
らなることを特徴とする耐腐食性材料が得られる。ここ
で，本発明における炭化物相防止層を構成するＲｅ，Ｐ
ｄ，Ｐｔ，Ｒｕ等の白金族元素を含む金属又は合金は，
Ｗ，Ｍｏ又はこれらの合金と密着性が優れており，不活
性金属であるので防食性を高めるとともに，直に黒鉛母
材に接触れないので，Ｗ，Ｍｏ又はこれらの合金との炭
化を防止することができる。
て，前記炭化物相防止層は，Ｒｅ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｒｕの
うちから選択された少くとも一種を含む金属又は合金か
らなることを特徴とする耐腐食性材料が得られる。ここ
で，本発明における炭化物相防止層を構成するＲｅ，Ｐ
ｄ，Ｐｔ，Ｒｕ等の白金族元素を含む金属又は合金は，
Ｗ，Ｍｏ又はこれらの合金と密着性が優れており，不活
性金属であるので防食性を高めるとともに，直に黒鉛母
材に接触れないので，Ｗ，Ｍｏ又はこれらの合金との炭
化を防止することができる。
【００１６】本発明によれば，母材を黒鉛とし，該母材
上にＣＶＤ法によって，炭化物相防止層を施した後，モ
リブデン・タングステン合金を含む防食層をＣＶＤ法に
よって被覆することを特徴とする耐腐食性材料の製造方
法が得られる。ここで，本発明において，炭化物相防止
層又は防食層にＣＶＤ法を用いたのは，所望する組成を
有するモリブデン・タングステン合金を形成することが
できるとともに，均一で緻密な被膜が得られるからであ
る。
上にＣＶＤ法によって，炭化物相防止層を施した後，モ
リブデン・タングステン合金を含む防食層をＣＶＤ法に
よって被覆することを特徴とする耐腐食性材料の製造方
法が得られる。ここで，本発明において，炭化物相防止
層又は防食層にＣＶＤ法を用いたのは，所望する組成を
有するモリブデン・タングステン合金を形成することが
できるとともに，均一で緻密な被膜が得られるからであ
る。
【００１７】本発明によれば，前記耐腐食性材料の製造
方法において，前記黒鉛は，アルコール中で超音波洗浄
したものであることを特徴とする耐腐食性材料の製造方
法が得られる。
方法において，前記黒鉛は，アルコール中で超音波洗浄
したものであることを特徴とする耐腐食性材料の製造方
法が得られる。
【００１８】本発明によれば，前記耐腐食性材料の製造
方法において，前記炭化物相防止層，前記防食層のうち
の少なくとも一方は，金属弗化物又は金属塩化物を用い
て形成されていることを特徴とする耐腐食性材料の製造
方法が得られる。
方法において，前記炭化物相防止層，前記防食層のうち
の少なくとも一方は，金属弗化物又は金属塩化物を用い
て形成されていることを特徴とする耐腐食性材料の製造
方法が得られる。
【００１９】黒鉛からなる母材と，前記母材上に形成さ
れた炭化物相防止層と，前記炭化物相防止層上に形成さ
れたモリブデン・タングステン合金を含む防食層を有す
ることを特徴とする耐腐食性材料が得られる。ここで，
本発明において，金属弗化物を使用する場合には，高圧
容器に収容されたガスものを基板の置かれた反応容器に
導入する。金属塩化物を使用する場合には，高温の反応
管内に所望する金属塩化物を構成する純金属を置き，塩
素ガスを通じて純金属と反応させることで生成して，反
応室内に導入する。
れた炭化物相防止層と，前記炭化物相防止層上に形成さ
れたモリブデン・タングステン合金を含む防食層を有す
ることを特徴とする耐腐食性材料が得られる。ここで，
本発明において，金属弗化物を使用する場合には，高圧
容器に収容されたガスものを基板の置かれた反応容器に
導入する。金属塩化物を使用する場合には，高温の反応
管内に所望する金属塩化物を構成する純金属を置き，塩
素ガスを通じて純金属と反応させることで生成して，反
応室内に導入する。
【００２０】
【実施例】以下，本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００２１】図１は本発明の実施例に係る耐腐食性材料
を製造するためのＣＶＤ装置の概要を示す図である。図
１において，密封された箱体からなる反応室１０内に，
試料片（基板）１が配置されている。この試料片１は，
反応室１０の外部から内部に貫通した試料回転軸１１の
一端に固定されている。この軸１１の反応室１０の壁部
は，密封ベアリングによってシールされている。反応室
１０の上部には，反応ガスを導入するための第１及び第
２のノズル１２及び１３が配置されている。第１のノズ
ル１２は，反応室１０の壁部を貫通して配管１４に接続
されている。配管１４と反応室１０との壁部間はシール
されている。この配管１４は，ノズル側から上流側で２
本の配管１５，１６に分岐され，夫々の配管１５，１６
は，流量計１７，１８を介して，Ｈ2 ガスボンベ１９及
びＲｅＦ6 ガスボンベ２０に夫々接続されている。ま
た，第２のノズル１３は，配管２１を介して，塩化部３
０に接続されている。塩化部３０は，レニウム（Ｒｅ）
ペレット２４が内部に配置された反応管２３と，反応管
２３の周囲に配置され，反応管２３を加熱するための加
熱コイル２２とから構成されている。塩化部３０の上流
側には，配管２５が設けられ，この配管２５は更に上流
に移動すると分岐して配管２６，２７となり，夫々の配
管２６，２７は，流量計２８，２９を介して，塩素ガス
ボンベ３１とアルゴンガスボンベ３２に夫々接続されて
いる。
を製造するためのＣＶＤ装置の概要を示す図である。図
１において，密封された箱体からなる反応室１０内に，
試料片（基板）１が配置されている。この試料片１は，
反応室１０の外部から内部に貫通した試料回転軸１１の
一端に固定されている。この軸１１の反応室１０の壁部
は，密封ベアリングによってシールされている。反応室
１０の上部には，反応ガスを導入するための第１及び第
２のノズル１２及び１３が配置されている。第１のノズ
ル１２は，反応室１０の壁部を貫通して配管１４に接続
されている。配管１４と反応室１０との壁部間はシール
されている。この配管１４は，ノズル側から上流側で２
本の配管１５，１６に分岐され，夫々の配管１５，１６
は，流量計１７，１８を介して，Ｈ2 ガスボンベ１９及
びＲｅＦ6 ガスボンベ２０に夫々接続されている。ま
た，第２のノズル１３は，配管２１を介して，塩化部３
０に接続されている。塩化部３０は，レニウム（Ｒｅ）
ペレット２４が内部に配置された反応管２３と，反応管
２３の周囲に配置され，反応管２３を加熱するための加
熱コイル２２とから構成されている。塩化部３０の上流
側には，配管２５が設けられ，この配管２５は更に上流
に移動すると分岐して配管２６，２７となり，夫々の配
管２６，２７は，流量計２８，２９を介して，塩素ガス
ボンベ３１とアルゴンガスボンベ３２に夫々接続されて
いる。
【００２２】ここで，反応室１０の説明にもどって，試
料片１の周囲には，加熱用の高周波コイル３３が配置さ
れ，この高周波コイル３３は反応室１０の外部の高周波
電源３４に電気接続されている。尚，符号３５は，反応
室１０の内部から反応室内の廃棄ガスを排出するための
排気系である。
料片１の周囲には，加熱用の高周波コイル３３が配置さ
れ，この高周波コイル３３は反応室１０の外部の高周波
電源３４に電気接続されている。尚，符号３５は，反応
室１０の内部から反応室内の廃棄ガスを排出するための
排気系である。
【００２３】このような構成の装置を用いて，耐腐食性
材料が次のように製造される。次の表１で示す組成の黒
鉛を，母材に用いる。
材料が次のように製造される。次の表１で示す組成の黒
鉛を，母材に用いる。
【００２４】
【表１】
【００２５】まず，母材を基板１の位置に配置して，回
転させながら，ボンベ２０からのＲｅＦ6 ガス及びボン
ベ１９から供給される水素ガスを反応室１０に導入し
て，水素還元ＣＶＤ法により，金属Ｒｅの膜を母材表面
全体に析出させる。ＲｅＦ6 のキャリアガス又は還元剤
としてＨ2 ガスを用い，母材の温度，即ち，基板温度を
２５０〜５００℃として反応させる。特に，４００℃以
下では，金属Ｒｅ膜の緻密化層が得られやすい。この時
のガス組成比ＲｅＦ6 ：Ｈ2 は，１：２０から１：５ま
での範囲内が望ましい。
転させながら，ボンベ２０からのＲｅＦ6 ガス及びボン
ベ１９から供給される水素ガスを反応室１０に導入し
て，水素還元ＣＶＤ法により，金属Ｒｅの膜を母材表面
全体に析出させる。ＲｅＦ6 のキャリアガス又は還元剤
としてＨ2 ガスを用い，母材の温度，即ち，基板温度を
２５０〜５００℃として反応させる。特に，４００℃以
下では，金属Ｒｅ膜の緻密化層が得られやすい。この時
のガス組成比ＲｅＦ6 ：Ｈ2 は，１：２０から１：５ま
での範囲内が望ましい。
【００２６】尚，ＲｅＦ6 は，高価で取扱いが若干面倒
なため，金属Ｒｅに塩素ガスを直接反応させることも考
え，実際に行いＲｅＣｌ（エル）6 を得た。
なため，金属Ｒｅに塩素ガスを直接反応させることも考
え，実際に行いＲｅＣｌ（エル）6 を得た。
【００２７】次に，基板として前述の黒鉛からなる母材
上に形成されたＲｅ層上に，熱分解ＣＶＤ法によって，
Ｗ，Ｍｏ又はこれらの合金膜を生成させる。この際のキ
ャリアガスとしては，アルゴンガス（Ａｒ）を用い，母
材上に金属Ｒｅ膜が形成される基板の温度は９５０℃〜
１４００℃範囲内で，緻密結晶粒にするには高温程望ま
しい。また，この時の反応ガス組成比は，Ｃｌ（エル）
2 ：Ａｒベースで，１：１０〜１：１が好ましい。ま
た，これらの金属Ｒｅ膜，Ｗ，Ｍｏ又はこれらの合金膜
のいずれにおいても，母材からの剥離強度が問題である
が，図２（ａ），（ｂ）で示すような試験によって評価
した。
上に形成されたＲｅ層上に，熱分解ＣＶＤ法によって，
Ｗ，Ｍｏ又はこれらの合金膜を生成させる。この際のキ
ャリアガスとしては，アルゴンガス（Ａｒ）を用い，母
材上に金属Ｒｅ膜が形成される基板の温度は９５０℃〜
１４００℃範囲内で，緻密結晶粒にするには高温程望ま
しい。また，この時の反応ガス組成比は，Ｃｌ（エル）
2 ：Ａｒベースで，１：１０〜１：１が好ましい。ま
た，これらの金属Ｒｅ膜，Ｗ，Ｍｏ又はこれらの合金膜
のいずれにおいても，母材からの剥離強度が問題である
が，図２（ａ），（ｂ）で示すような試験によって評価
した。
【００２８】図２（ａ）の右側は剥離強度試験法を説明
に供せられる側面図，左側は正面図を夫々示している。
図２（ａ）において，試験片１母材における上方端面が
タングステン・モリブデン層あるいは，Ｒｅコート層２
であり，銀ろう等のろう材３によってＭ４ナット４を接
合し，図２（ａ）で右側の矢印５で示す様にＭ４ナット
４を上方に引っ張ることによって，即ち，図２（ｂ）で
示すように，係合部材７から引上げ具６で上方に引っ張
ることによって，Ｍ４ナット４と試験片母材１との剥離
を観察するものである。次に，本発明の実施例をさらに
具体的に説明する。
に供せられる側面図，左側は正面図を夫々示している。
図２（ａ）において，試験片１母材における上方端面が
タングステン・モリブデン層あるいは，Ｒｅコート層２
であり，銀ろう等のろう材３によってＭ４ナット４を接
合し，図２（ａ）で右側の矢印５で示す様にＭ４ナット
４を上方に引っ張ることによって，即ち，図２（ｂ）で
示すように，係合部材７から引上げ具６で上方に引っ張
ることによって，Ｍ４ナット４と試験片母材１との剥離
を観察するものである。次に，本発明の実施例をさらに
具体的に説明する。
【００２９】（実施例１）十分Ａｒ置換された反応槽又
はその後減圧にされた反応槽に，Ｈ2 ５００ｃｃ／ｍ
ｉｎ．，ＲｅＦ6 ５０ｃｃ／ｍｉｎを同時に導入し
た。ここで用いた母材料は，機械加工された後，アルコ
ール中で超音波洗浄後，乾燥した黒鉛試片を高周波加熱
によって３００℃に加熱し，反応蒸着させた。金属Ｒｅ
膜は約７μｍに被覆され，破面の組織は柱状晶であっ
た。また，Ｒｅ被覆した黒鉛の上にＭｏＦ6 とＷＦ6 を
夫々２００ｃｃ／ｍｉｎ及び６０ｃｃ／ｍｉｎの割合で
同時に流し，さらにはＨ2 は５００ｃｃ／ｍｉｎを導入
した。基板温度４００℃の条件により，被覆されたもの
の剥離テストしたのが次表２である。この表２で黒鉛／
Ｗは黒鉛に直接ＷＦ6 からＷ膜を生成させただけのもの
と比較したものである。
はその後減圧にされた反応槽に，Ｈ2 ５００ｃｃ／ｍ
ｉｎ．，ＲｅＦ6 ５０ｃｃ／ｍｉｎを同時に導入し
た。ここで用いた母材料は，機械加工された後，アルコ
ール中で超音波洗浄後，乾燥した黒鉛試片を高周波加熱
によって３００℃に加熱し，反応蒸着させた。金属Ｒｅ
膜は約７μｍに被覆され，破面の組織は柱状晶であっ
た。また，Ｒｅ被覆した黒鉛の上にＭｏＦ6 とＷＦ6 を
夫々２００ｃｃ／ｍｉｎ及び６０ｃｃ／ｍｉｎの割合で
同時に流し，さらにはＨ2 は５００ｃｃ／ｍｉｎを導入
した。基板温度４００℃の条件により，被覆されたもの
の剥離テストしたのが次表２である。この表２で黒鉛／
Ｗは黒鉛に直接ＷＦ6 からＷ膜を生成させただけのもの
と比較したものである。
【００３０】
【表２】
【００３１】表２中に示すように，「黒鉛／Ｗ又はＭｏ
合金（Ｒｅ有り）」で示される本発明の実施例１に係る
黒鉛母材中にＲｅ膜を介在させてＷ又はＭｏ合金を形成
した試料片は，剥離強度は２３．５ＭＰａと大きい。し
かし，表２中で，「黒鉛／Ｗ」で示される黒鉛に金属Ｒ
ｅ膜を施さないで，Ｗ膜を形成したものは，４ＭＰａで
あった。また，本発明の実施例１に係る加工試料片を擦
りあわせても，目視で判る傷は付かなかった。
合金（Ｒｅ有り）」で示される本発明の実施例１に係る
黒鉛母材中にＲｅ膜を介在させてＷ又はＭｏ合金を形成
した試料片は，剥離強度は２３．５ＭＰａと大きい。し
かし，表２中で，「黒鉛／Ｗ」で示される黒鉛に金属Ｒ
ｅ膜を施さないで，Ｗ膜を形成したものは，４ＭＰａで
あった。また，本発明の実施例１に係る加工試料片を擦
りあわせても，目視で判る傷は付かなかった。
【００３２】（実施例２）市販の金属レニウム（Ｒｅ）
粉をバインダー無しで直径が５〜７ｍｍ，厚さが２〜８
ｍｍのペレットにプレス加工し，Ｒｅ（被覆）反応槽の
直前の９００℃に加熱された反応管２４にてＣｌ（エ
ル）2 ガスとの反応により，ＲｅＣｌ（エル）6 を生成
した（反応式：Ｒｅ＋３Ｃｌ（エル）2 ＝ＲｅＣｌ（エ
ル）6 ）。この時のＲｅＣｌ（エル）6 発生は，Ｃｌ
（エル）2 ガスの量で決まり，所定の条件下では，Ｃｌ
（エル）2 の１／３容でＲｅＣｌ（エル）6 ガスが得ら
れる。
粉をバインダー無しで直径が５〜７ｍｍ，厚さが２〜８
ｍｍのペレットにプレス加工し，Ｒｅ（被覆）反応槽の
直前の９００℃に加熱された反応管２４にてＣｌ（エ
ル）2 ガスとの反応により，ＲｅＣｌ（エル）6 を生成
した（反応式：Ｒｅ＋３Ｃｌ（エル）2 ＝ＲｅＣｌ（エ
ル）6 ）。この時のＲｅＣｌ（エル）6 発生は，Ｃｌ
（エル）2 ガスの量で決まり，所定の条件下では，Ｃｌ
（エル）2 の１／３容でＲｅＣｌ（エル）6 ガスが得ら
れる。
【００３３】充分にＡｒガス置換された反応槽にＣｌ
（エル）2 ３００ｃｃ／ｍｉｎ，Ａｒ１０００ｃｃ／ｍ
ｉｎを同時に導入し，実施例１に用いたものと同様の黒
鉛母材料試料片にガスが均一に吹き付けられるように位
置させ，高周波によって，基板１を１３５０℃に保持し
つつ被覆反応させた。金属Ｒｅ膜は母材上に約５μｍ被
覆され，波面の組織は緻密な等軸晶であった。ＭｏとＷ
は，実施例１と同様な条件で被覆させた。剥離テストを
実施例１と同様に行った結果を下表３に示す。
（エル）2 ３００ｃｃ／ｍｉｎ，Ａｒ１０００ｃｃ／ｍ
ｉｎを同時に導入し，実施例１に用いたものと同様の黒
鉛母材料試料片にガスが均一に吹き付けられるように位
置させ，高周波によって，基板１を１３５０℃に保持し
つつ被覆反応させた。金属Ｒｅ膜は母材上に約５μｍ被
覆され，波面の組織は緻密な等軸晶であった。ＭｏとＷ
は，実施例１と同様な条件で被覆させた。剥離テストを
実施例１と同様に行った結果を下表３に示す。
【００３４】
【表３】
【００３５】このようにしてできた膜でのタングステン
とモリブデンは概ね１２００℃程度で加熱すると合金化
する。また，タングステンとモリブデンとの合金の夫々
組成比は，ＷＦ6 及びＭｏＦ6 のガスの組成比で決め得
ることができる。表３で示すように，本発明の実施例２
に係る方法によって得た被覆膜は，剥離強度が３１．５
ＭＰａと大きく，母材表面における剥離も見られず，チ
ッピングもなかった。これに対して，黒鉛／Ｗで示され
る比較例に係るＷ膜を形成した黒鉛では，剥離強度が７
ＭＰａと小さかった。また，本発明の実施例２に係る加
工試片を擦りあわせても，目視で判る傷は付かなかっ
た。
とモリブデンは概ね１２００℃程度で加熱すると合金化
する。また，タングステンとモリブデンとの合金の夫々
組成比は，ＷＦ6 及びＭｏＦ6 のガスの組成比で決め得
ることができる。表３で示すように，本発明の実施例２
に係る方法によって得た被覆膜は，剥離強度が３１．５
ＭＰａと大きく，母材表面における剥離も見られず，チ
ッピングもなかった。これに対して，黒鉛／Ｗで示され
る比較例に係るＷ膜を形成した黒鉛では，剥離強度が７
ＭＰａと小さかった。また，本発明の実施例２に係る加
工試片を擦りあわせても，目視で判る傷は付かなかっ
た。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように，本発明では，黒鉛
母材の表面に，その母材と熱膨張のマッチングするタン
グステン・モリブデン合金を含む防食層をＣＶＤ法によ
り被覆したので，Ｚｎメッキ浴等の耐腐食性材料として
供し得る。しかも，下地層の中間相に炭化相防止のため
の金属Ｒｅ層を施し，剥離不安を解消した耐腐食性材料
及びその製造方法を提供することができる。
母材の表面に，その母材と熱膨張のマッチングするタン
グステン・モリブデン合金を含む防食層をＣＶＤ法によ
り被覆したので，Ｚｎメッキ浴等の耐腐食性材料として
供し得る。しかも，下地層の中間相に炭化相防止のため
の金属Ｒｅ層を施し，剥離不安を解消した耐腐食性材料
及びその製造方法を提供することができる。
【００３７】また，本発明では，Ｒｅ源としては市販の
ＲｅＦ6 ガスでも良いし，ＲｅＣｌ（エル）6 でも良
い。また，金属ＲｅとＣｌ（エル）2 ガスの反応で得ら
れたＲｅＣｌ（エル）6 ガスによることもできる。いず
れもＣＶＤにより，直接緻密な層を被覆生成し，且つか
なり薄い厚さでその耐腐食効果を期待できる。
ＲｅＦ6 ガスでも良いし，ＲｅＣｌ（エル）6 でも良
い。また，金属ＲｅとＣｌ（エル）2 ガスの反応で得ら
れたＲｅＣｌ（エル）6 ガスによることもできる。いず
れもＣＶＤにより，直接緻密な層を被覆生成し，且つか
なり薄い厚さでその耐腐食効果を期待できる。
【００３８】本発明では，耐腐食性に有効なタングステ
ン・モリブデン合金を含む防食層は，ＷＦ6 ，ＭｏＦ6
のガス組成を調整することで，例えば，Ｍｏが６０ｗｔ
％から５ｗｔ％で残部がＷからなるものを形成すること
ができる耐腐食性材料とその製造方法とを提供すること
ができる。
ン・モリブデン合金を含む防食層は，ＷＦ6 ，ＭｏＦ6
のガス組成を調整することで，例えば，Ｍｏが６０ｗｔ
％から５ｗｔ％で残部がＷからなるものを形成すること
ができる耐腐食性材料とその製造方法とを提供すること
ができる。
【図１】本発明の実施例に係る耐腐食性材料を製造する
ためのＣＶＤ装置の概略的構成を示す図である。
ためのＣＶＤ装置の概略的構成を示す図である。
【図２】（ａ）及び（ｂ）は耐腐食性材料の剥離強度試
験法を概略的に示す図である。
験法を概略的に示す図である。
１ 試料片（基板） １０ 反応室 １１ 試料回転軸 １２ 第１のノズル １３ 第２のノズル １４，１５，１６，２１，２５，２６，２７ 配管 １７，１８，２８，２９ 流量計 １９ Ｈ2 ガスボンベ ２０ ＲｅＦ6 ガスボンベ ２２ 加熱コイル ２３ 反応管 ２４ Ｒｅペレット ３０ 塩化部 ３１ 塩素ガスボンベ ３２ アルゴンガスボンベ ３３ 高周波コイル ３４ 高周波電源
【手続補正書】
【提出日】平成４年７月７日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１９】ここで，本発明において，金属弗化合物を
使用する場合には，高圧容器に収容されたガスそのもの
を基板の置かれた反応容器に導入する。また，金属塩化
物を使用する場合には，高温の反応管内に所望する金属
塩化物を構成する純金属を置き，塩素ガスを通じて純金
属と反応させることで金属塩化物を生成して，反応室内
に導入する。
使用する場合には，高圧容器に収容されたガスそのもの
を基板の置かれた反応容器に導入する。また，金属塩化
物を使用する場合には，高温の反応管内に所望する金属
塩化物を構成する純金属を置き，塩素ガスを通じて純金
属と反応させることで金属塩化物を生成して，反応室内
に導入する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２９】（実施例１）十分Ａｒ置換された反応槽又
はその後減圧にされた反応槽に，Ｈ２５００ｃｃ／ｍｉ
ｎ，ｅＦ６ ５０ｃｃ／ｍｉｎを同時に導入した。ここ
で用いた母材は，機械加工された後，アルコール中で超
音波洗浄後乾燥した黒鉛試片を高周波加熱によって３０
０℃に加熱し，反応蒸着させた。金属Ｒｅ膜は，約７μ
ｍに被覆され，破面の組織は柱状晶であった。また，Ｒ
ｅ被覆した黒鉛の上にＭｏＦ ６ とＷＦ ６ を夫々２０ｃｃ
／ｍｉｎ及び６０ｃｃ／ｍｉｎの割合で同時に流し，さ
らにはＨ２は５００ｃｃ／ｍｉｎを導入した。基板温度
４００℃の条件により被覆されたものの剥離テストをし
たのが次表２である。この表２で，黒鉛／Ｗは，比較例
で黒鉛に直接ＷＦ６からＷ膜を生成させただけのもので
ある。
はその後減圧にされた反応槽に，Ｈ２５００ｃｃ／ｍｉ
ｎ，ｅＦ６ ５０ｃｃ／ｍｉｎを同時に導入した。ここ
で用いた母材は，機械加工された後，アルコール中で超
音波洗浄後乾燥した黒鉛試片を高周波加熱によって３０
０℃に加熱し，反応蒸着させた。金属Ｒｅ膜は，約７μ
ｍに被覆され，破面の組織は柱状晶であった。また，Ｒ
ｅ被覆した黒鉛の上にＭｏＦ ６ とＷＦ ６ を夫々２０ｃｃ
／ｍｉｎ及び６０ｃｃ／ｍｉｎの割合で同時に流し，さ
らにはＨ２は５００ｃｃ／ｍｉｎを導入した。基板温度
４００℃の条件により被覆されたものの剥離テストをし
たのが次表２である。この表２で，黒鉛／Ｗは，比較例
で黒鉛に直接ＷＦ６からＷ膜を生成させただけのもので
ある。
Claims (5)
- 【請求項１】 黒鉛からなる母材と，前記母材上に形成
された炭化物相防止層と，前記炭化物相防止層上に形成
された５〜６０ｗｔ％のＭｏ，残部がＷの合金からなる
防食層を有することを特徴とする耐腐食性材料。 - 【請求項２】 請求項１記載の耐腐食性材料において，
前記炭化物相防止層は，Ｒｅ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｒｕのうち
から選択された少くとも一種を含む金属又は合金からな
ることを特徴とする耐腐食性材料。 - 【請求項３】 母材を黒鉛とし，該母材上にＣＶＤ法に
よって，炭化物相防止層を施した後，モリブデン・タン
グステン合金を含む防食層をＣＶＤ法によって被覆する
ことを特徴とする耐腐食性材料の製造方法。 - 【請求項４】 請求項３記載の耐腐食性材料の製造方法
において，前記黒鉛は，アルコール中で超音波洗浄した
ものであることを特徴とする耐腐食性材料の製造方法。 - 【請求項５】 請求項３記載の耐腐食性材料の製造方法
において，前記炭化物相防止層，前記防食層のうちの少
なくとも一方は，金属弗化物又は金属塩化物を用いて形
成されていることを特徴とする耐腐食性材料の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4167421A JP2617154B2 (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 亜鉛を含む溶融金属に対する耐腐食性材料およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4167421A JP2617154B2 (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 亜鉛を含む溶融金属に対する耐腐食性材料およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0610134A true JPH0610134A (ja) | 1994-01-18 |
| JP2617154B2 JP2617154B2 (ja) | 1997-06-04 |
Family
ID=15849391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4167421A Expired - Lifetime JP2617154B2 (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 亜鉛を含む溶融金属に対する耐腐食性材料およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2617154B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996029445A1 (en) * | 1995-03-22 | 1996-09-26 | Alliedsignal Inc. | Chemical vapor deposition of rhenium on carbon substrates |
| KR100657537B1 (ko) * | 2005-11-10 | 2006-12-14 | (주)프리미어 코리아 | 높이 조절이 가능한 용기 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS608575A (ja) * | 1984-02-20 | 1985-01-17 | Hitachi Ltd | 四方切換弁 |
-
1992
- 1992-06-25 JP JP4167421A patent/JP2617154B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS608575A (ja) * | 1984-02-20 | 1985-01-17 | Hitachi Ltd | 四方切換弁 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996029445A1 (en) * | 1995-03-22 | 1996-09-26 | Alliedsignal Inc. | Chemical vapor deposition of rhenium on carbon substrates |
| KR100657537B1 (ko) * | 2005-11-10 | 2006-12-14 | (주)프리미어 코리아 | 높이 조절이 가능한 용기 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2617154B2 (ja) | 1997-06-04 |
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