JPH0627355B2 - 耐食部材 - Google Patents
耐食部材Info
- Publication number
- JPH0627355B2 JPH0627355B2 JP58040730A JP4073083A JPH0627355B2 JP H0627355 B2 JPH0627355 B2 JP H0627355B2 JP 58040730 A JP58040730 A JP 58040730A JP 4073083 A JP4073083 A JP 4073083A JP H0627355 B2 JPH0627355 B2 JP H0627355B2
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- JP
- Japan
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- reaction
- resistant member
- corrosion
- corrosion resistant
- substrate
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C22/00—Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
- C23C22/73—Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals characterised by the process
- C23C22/74—Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals characterised by the process for obtaining burned-in conversion coatings
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Description
【発明の詳細な説明】 （発明の技術分野） 本発明は，腐食性ガスを取扱う反応容器あるいは配管等
の耐食部材に関する。
の耐食部材に関する。
（発明の技術的背景とその問題） 従来より，金属，合金，セラミックス等の基体表面に，
耐摩耗性に優れる，例えば窒化チタン，炭化チタン等の
高融点化合物被膜を形成する方法として化学蒸着法が知
られている。この方法では，反応ガスを用いて高融点化
合物の被覆が９００〜１２００℃で行なわれる。
耐摩耗性に優れる，例えば窒化チタン，炭化チタン等の
高融点化合物被膜を形成する方法として化学蒸着法が知
られている。この方法では，反応ガスを用いて高融点化
合物の被覆が９００〜１２００℃で行なわれる。
また，高温での反応では好ましくない場合には，グロー
放電空間を基体近傍に形成して，放電のエネルギーによ
り化学反応をおこさせ，被覆に要する加熱温度を４００
〜６００℃と低くして行なうグロー放電化学処理とも呼
ぶべき方法が検討されている。
放電空間を基体近傍に形成して，放電のエネルギーによ
り化学反応をおこさせ，被覆に要する加熱温度を４００
〜６００℃と低くして行なうグロー放電化学処理とも呼
ぶべき方法が検討されている。
これらの方法に使用する装置としては，例えばグロー放
電化学処理法の場合には，ガス供給口と排気口とを備え
た反応容器内に，被処理基体を電気的に導通した状態で
設置しうる陰極板とその裏面に設けられた基体を加熱す
るための加熱板とそれらを支持し，陰極を導入するため
の陰極導入管と，および陰極板の上方に所定の間隔をお
いて支持される陽極板とが設けられたものが知られてい
る。
電化学処理法の場合には，ガス供給口と排気口とを備え
た反応容器内に，被処理基体を電気的に導通した状態で
設置しうる陰極板とその裏面に設けられた基体を加熱す
るための加熱板とそれらを支持し，陰極を導入するため
の陰極導入管と，および陰極板の上方に所定の間隔をお
いて支持される陽極板とが設けられたものが知られてい
る。
而してこの方法において，例えば金属窒化物の被膜を形
成する場合には，主に金属ハロゲン化物と窒素と水素と
からなる混合ガスをガス供給口から反応容器内に供給
し，グロー放電空間内で化学反応させて基体表面に金属
窒化物の被膜を形成するわけであるが，この反応の際に
ハロゲン化水素やハロゲンガスが形成されるため，反応
容器の内壁が徐々に腐食し，また腐食生成物や反応の残
滓が容器の内壁に付着したりするという現象があった。
その結果反応容器内の真空度があがらなくなったり，得
られる被膜が不均一なものとなったり，また処理終了後
の基体をとりだす際に，大気中の水分や酸素が付着物内
にとりこまれ，それが次の処理の際の不純物となって悪
影響を与えるという問題があった。
成する場合には，主に金属ハロゲン化物と窒素と水素と
からなる混合ガスをガス供給口から反応容器内に供給
し，グロー放電空間内で化学反応させて基体表面に金属
窒化物の被膜を形成するわけであるが，この反応の際に
ハロゲン化水素やハロゲンガスが形成されるため，反応
容器の内壁が徐々に腐食し，また腐食生成物や反応の残
滓が容器の内壁に付着したりするという現象があった。
その結果反応容器内の真空度があがらなくなったり，得
られる被膜が不均一なものとなったり，また処理終了後
の基体をとりだす際に，大気中の水分や酸素が付着物内
にとりこまれ，それが次の処理の際の不純物となって悪
影響を与えるという問題があった。
（発明の目的） 本発明はグロー放電化学処理装置等における反応容器の
腐食及び反応残滓などによる上述の問題を解消するもの
である。
腐食及び反応残滓などによる上述の問題を解消するもの
である。
（発明の概要） 本発明の耐食部材は，基体と、基体の表面にクロム化合
物から熱分解により生成された酸化クロムが層状に被覆
されてなる事を特徴とする。
物から熱分解により生成された酸化クロムが層状に被覆
されてなる事を特徴とする。
クロム化合物は，基体に含浸又は化学的に結合させるこ
とが好ましい。この場合，クロム化合物は液状であっ
て，クロム酸，塩化クロム，硝酸クロムあるいはクロム
酸マグネシウム等を主成分とするもの，更に可溶性錯体
クロム化合物等を主成分とするものが適用できる。な
お，必要に応じて酸化亜鉛，ケイ酸，酸化アルミニウム
等を含有する。
とが好ましい。この場合，クロム化合物は液状であっ
て，クロム酸，塩化クロム，硝酸クロムあるいはクロム
酸マグネシウム等を主成分とするもの，更に可溶性錯体
クロム化合物等を主成分とするものが適用できる。な
お，必要に応じて酸化亜鉛，ケイ酸，酸化アルミニウム
等を含有する。
基体は，耐食性及び機械的強度を有するものが望ましく
ステンレス鋼等がよい。
ステンレス鋼等がよい。
本発明の耐食部材を得るには，例えば，所定の形状に設
定された耐食部材を，クロム化合物を主成分とする反応
液に浸漬したのち，加熱処理を施こして熱化学反応によ
り酸化クロムを含む層を生成する。このサイクルを複数
回繰り返すことにより，層として、酸化クロムが被覆さ
れてなる所望の表面状態を得る。含浸前の耐食部材にあ
らかじめ表面処理，例えばメッキ，溶射等を施こすこと
は効果的である。また，耐食部材がセラミックスの場
合，焼成する前あるいは半焼成のものに含浸処理を施こ
すこともよい。
定された耐食部材を，クロム化合物を主成分とする反応
液に浸漬したのち，加熱処理を施こして熱化学反応によ
り酸化クロムを含む層を生成する。このサイクルを複数
回繰り返すことにより，層として、酸化クロムが被覆さ
れてなる所望の表面状態を得る。含浸前の耐食部材にあ
らかじめ表面処理，例えばメッキ，溶射等を施こすこと
は効果的である。また，耐食部材がセラミックスの場
合，焼成する前あるいは半焼成のものに含浸処理を施こ
すこともよい。
なお耐食部材が大きい反応容器の場合には，反応液をス
プレー等で塗布あるいは含浸することもできる。
プレー等で塗布あるいは含浸することもできる。
こうして得られる耐食部材の表面は極めて緻密で耐食性
に優れているため，反応ガスあるいは反応液等によって
腐食されることはない。また表面に反応生成物が生成し
て付着しても清掃が簡単に行なえる。
に優れているため，反応ガスあるいは反応液等によって
腐食されることはない。また表面に反応生成物が生成し
て付着しても清掃が簡単に行なえる。
（発明の実施例） ステンレス製の円筒状の反応容器の内面に次のような処
理を施こした。
理を施こした。
比重１．６〜１．７のクロム酸を主成分とする溶液を容
器内面に付着せしめたのち，加熱処理を施こす。このサ
イクルを加熱温度３１０゜〜７００℃の間で徐々に温度
をあげながら複数回（３〜１０回）くり返した。その結
果，内面に暗緑色の酸化クロム層を有する反応容器が得
られた。
器内面に付着せしめたのち，加熱処理を施こす。このサ
イクルを加熱温度３１０゜〜７００℃の間で徐々に温度
をあげながら複数回（３〜１０回）くり返した。その結
果，内面に暗緑色の酸化クロム層を有する反応容器が得
られた。
この容器を用いてＣｒ３８％，Ａｌ３．８％，Ｎｉ残の
組成の合金から成る５０mm×５０mm×５mmの金属板を被
処理基体として載置し，次の条件で処理を５０回繰り返
した。その後反応容器内の付着物を除去したが簡単に除
去することができた。また得られる窒化チタンの被膜は
均一で装飾性に優れていた。
組成の合金から成る５０mm×５０mm×５mmの金属板を被
処理基体として載置し，次の条件で処理を５０回繰り返
した。その後反応容器内の付着物を除去したが簡単に除
去することができた。また得られる窒化チタンの被膜は
均一で装飾性に優れていた。
反応ガス組成TiCl4:H2：Ｎ2＝1:19:6（モル比） 一方従来のステンレス壁のみで形成された反応容器を使
用し，あとは実施例と同様の条件で処理を行なったとこ
ろ，数１０回繰り返した段階で反応容器内に付着物がひ
どく堆積し，またこの付着物の除去はなかなか困難であ
った。
用し，あとは実施例と同様の条件で処理を行なったとこ
ろ，数１０回繰り返した段階で反応容器内に付着物がひ
どく堆積し，またこの付着物の除去はなかなか困難であ
った。
（発明の効果） 以上の実施例からも明らかなように，本発明に係る反応
容器によれば，腐食生成物や反応残滓の付着物が少な
く，真空度の低下や不純物の悪影響を防止することがで
きるため，得られる被膜が均一で，装飾性がすぐれたも
のとなる。
容器によれば，腐食生成物や反応残滓の付着物が少な
く，真空度の低下や不純物の悪影響を防止することがで
きるため，得られる被膜が均一で，装飾性がすぐれたも
のとなる。
また，本発明の耐食部材は，冷凍サイクルに用いる配管
等の腐食性流体に接触するものに適用して優れた効果を
有する。
等の腐食性流体に接触するものに適用して優れた効果を
有する。
Claims (3)
- 【請求項１】基体と、基体の表面にクロム化合物から熱
化学反応により生成された酸化クロムが層として被覆さ
れてなる耐食部材。 - 【請求項２】耐食部材は反応容器である特許請求の範囲
第１項記載の耐食部材。 - 【請求項３】耐食部材は流体用配管である特許請求の範
囲第１項に記載の耐食部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58040730A JPH0627355B2 (ja) | 1983-03-14 | 1983-03-14 | 耐食部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58040730A JPH0627355B2 (ja) | 1983-03-14 | 1983-03-14 | 耐食部材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59166681A JPS59166681A (ja) | 1984-09-20 |
| JPH0627355B2 true JPH0627355B2 (ja) | 1994-04-13 |
Family
ID=12588738
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58040730A Expired - Lifetime JPH0627355B2 (ja) | 1983-03-14 | 1983-03-14 | 耐食部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0627355B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61204302A (ja) * | 1985-03-06 | 1986-09-10 | N D C Kk | 多孔質Ａｌ系焼結材料 |
| JPS6253443A (ja) * | 1985-08-28 | 1987-03-09 | 株式会社東芝 | 流体噴射式織機のサブノズル |
| JPS62222084A (ja) * | 1986-02-28 | 1987-09-30 | Toshiba Corp | 鉄鋼部品 |
| JPH03138303A (ja) * | 1990-10-19 | 1991-06-12 | Ndc Co Ltd | 多孔質Ａｌ系焼結材の製造法 |
| JP4881101B2 (ja) * | 2005-08-12 | 2012-02-22 | 勝成 原 | 塩基性れんがの製造方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6014625B2 (ja) * | 1978-03-13 | 1985-04-15 | 新日本製鐵株式会社 | 鋼材のライニング方法 |
| JPS575461U (ja) * | 1980-06-06 | 1982-01-12 |
-
1983
- 1983-03-14 JP JP58040730A patent/JPH0627355B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59166681A (ja) | 1984-09-20 |
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