JPH06102101A - 温度センサ及び該温度センサによる測温方法 - Google Patents
温度センサ及び該温度センサによる測温方法Info
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- JPH06102101A JPH06102101A JP3960593A JP3960593A JPH06102101A JP H06102101 A JPH06102101 A JP H06102101A JP 3960593 A JP3960593 A JP 3960593A JP 3960593 A JP3960593 A JP 3960593A JP H06102101 A JPH06102101 A JP H06102101A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 低温域から２０００℃以上の高温域までを一
つの熱電対で精度良く測温可能にする。 【構成】 熱電対の（＋）、（−）脚線の少なくとも一
方を絶縁管に入れて一端開放の保護管内に収納し、保護
管内にガスを導入するようにした温度センサにおいて、
保護管内に両端開放のガス誘導管を入れ、前記（＋）、
（−）脚線の少なくとも一方をガス誘導管に挿入し、保
護管の開放端側において保護管及びガス誘導管を密閉す
るとともに、ガス誘導管へガスを導入するガス導入管及
びガス誘導管と保護管の間からガスを排出するガス排出
管を付設したガス導入ヘッドを設けたことを特徴とす
る。
つの熱電対で精度良く測温可能にする。 【構成】 熱電対の（＋）、（−）脚線の少なくとも一
方を絶縁管に入れて一端開放の保護管内に収納し、保護
管内にガスを導入するようにした温度センサにおいて、
保護管内に両端開放のガス誘導管を入れ、前記（＋）、
（−）脚線の少なくとも一方をガス誘導管に挿入し、保
護管の開放端側において保護管及びガス誘導管を密閉す
るとともに、ガス誘導管へガスを導入するガス導入管及
びガス誘導管と保護管の間からガスを排出するガス排出
管を付設したガス導入ヘッドを設けたことを特徴とす
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は主にセラミックス、金属
等の超高温での試験装置の雰囲気温度測定に使用される
超高温用温度センサ及び測温方法に関するものである。
等の超高温での試験装置の雰囲気温度測定に使用される
超高温用温度センサ及び測温方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、超高温用熱電対の主なものにタン
グステン・レニウム（ＷＲｅ）系のものがある。この熱
電対は還元あるいは不活性ガス雰囲気では２０００℃以
上で使用できるが、絶縁管、保護管に適当な材質がな
く、大気雰囲気では素線が酸化するため使用できなかっ
た。そこで、使用方法としては還元あるいは不活性ガス
雰囲気中で絶縁管、保護管を使用せず、素線が多少軟化
しても素線同士が接触することがない垂直な姿勢で使用
するか、不活性ガス雰囲気中で絶縁管にＡｌ2 Ｏ3等を
使い、熱電対と絶縁管が化学反応を起こさない１５００
℃程度の低い温度での使用に限られている。従って、大
気雰囲気で自由な姿勢で室温付近の低温域より２０００
℃以上の超高温までの温度を精度よく測定できる温度セ
ンサはなかった。
グステン・レニウム（ＷＲｅ）系のものがある。この熱
電対は還元あるいは不活性ガス雰囲気では２０００℃以
上で使用できるが、絶縁管、保護管に適当な材質がな
く、大気雰囲気では素線が酸化するため使用できなかっ
た。そこで、使用方法としては還元あるいは不活性ガス
雰囲気中で絶縁管、保護管を使用せず、素線が多少軟化
しても素線同士が接触することがない垂直な姿勢で使用
するか、不活性ガス雰囲気中で絶縁管にＡｌ2 Ｏ3等を
使い、熱電対と絶縁管が化学反応を起こさない１５００
℃程度の低い温度での使用に限られている。従って、大
気雰囲気で自由な姿勢で室温付近の低温域より２０００
℃以上の超高温までの温度を精度よく測定できる温度セ
ンサはなかった。
【０００３】また、測定温度範囲が５００〜３０００℃
等の放射温度計を使い、５００℃以下の温度を無視して
データを取ったり、低温域を白金系の熱電対で測温し高
温部を放射温度計で測温する方法がとられていた。
等の放射温度計を使い、５００℃以下の温度を無視して
データを取ったり、低温域を白金系の熱電対で測温し高
温部を放射温度計で測温する方法がとられていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】低温域を熱電対で測温
し、高温域を放射温度計で測温する場合、放射温度計で
測温を開始後、熱電対を安全な温度に下がるまで引き抜
く必要があり、機構的に複雑になる。また、得られた温
度データは低温域と高温域をつなぎ合わせる必要があ
り、そのとき熱電対の温度と放射温度計の温度が合わな
いという問題があった。また、放射温度計は測温物体の
放射率の相違、あるいは計測窓のくもり等により大幅に
精度が悪くなる場合が多く、温度精度を重視する試験装
置には使用できないという問題があった。
し、高温域を放射温度計で測温する場合、放射温度計で
測温を開始後、熱電対を安全な温度に下がるまで引き抜
く必要があり、機構的に複雑になる。また、得られた温
度データは低温域と高温域をつなぎ合わせる必要があ
り、そのとき熱電対の温度と放射温度計の温度が合わな
いという問題があった。また、放射温度計は測温物体の
放射率の相違、あるいは計測窓のくもり等により大幅に
精度が悪くなる場合が多く、温度精度を重視する試験装
置には使用できないという問題があった。
【０００５】本発明は上記課題を解決するためのもの
で、低温域から２０００℃以上の高温域までを各種の雰
囲気で自由な姿勢で連続して精度良く測温できる温度セ
ンサ及び該温度センサによる測温方法を提供することを
目的とする。
で、低温域から２０００℃以上の高温域までを各種の雰
囲気で自由な姿勢で連続して精度良く測温できる温度セ
ンサ及び該温度センサによる測温方法を提供することを
目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本願の第１の発明は、熱
電対の（＋）、（−）脚線の少なくとも一方を絶縁管に
入れて一端開放の保護管内に収納し、保護管内にガスを
導入するようにした温度センサにおいて、保護管内に両
端開放のガス誘導管を入れ、前記（＋）、（−）脚線の
少なくとも一方をガス誘導管に挿入し、保護管の開放端
側において保護管及びガス誘導管を密閉するとともに、
ガス誘導管へガスを導入するガス導入管及びガス誘導管
と保護管の間からガスを排出するガス排出管を付設した
ガス導入ヘッドを設けたことを特徴とする。
電対の（＋）、（−）脚線の少なくとも一方を絶縁管に
入れて一端開放の保護管内に収納し、保護管内にガスを
導入するようにした温度センサにおいて、保護管内に両
端開放のガス誘導管を入れ、前記（＋）、（−）脚線の
少なくとも一方をガス誘導管に挿入し、保護管の開放端
側において保護管及びガス誘導管を密閉するとともに、
ガス誘導管へガスを導入するガス導入管及びガス誘導管
と保護管の間からガスを排出するガス排出管を付設した
ガス導入ヘッドを設けたことを特徴とする。
【０００７】また、保護管、ガス誘導管がＺｒＯ2 、絶
縁管がＭｇＯよりなること、熱電対がタングステン・レ
ニウムであることを特徴とする。
縁管がＭｇＯよりなること、熱電対がタングステン・レ
ニウムであることを特徴とする。
【０００８】また、前記センサの使用方法において、ア
ルゴンと水素の混合ガスを毎分１０〜３００ｍｌ流して
測温す、混合ガスはアルゴン９５〜９９．５ｖｏｌ％，
水素０．５〜５ｖｏｌ％であることを特徴とする。
ルゴンと水素の混合ガスを毎分１０〜３００ｍｌ流して
測温す、混合ガスはアルゴン９５〜９９．５ｖｏｌ％，
水素０．５〜５ｖｏｌ％であることを特徴とする。
【０００９】また本願の第２の発明は、熱電対の両脚線
を絶縁管に入れて両端開放のガス誘導管に収納し、その
ガス誘導管を一端開放の保護管内に収納し、保護管の開
放端側において保護管及びガス誘導管を密閉するととも
に、ガス誘導管へガスを導入するガス導入管及びガス誘
導管と保護管の間からガスを排出するガス排出管を付設
したガス導入ヘッドを設けたことを特徴とする。
を絶縁管に入れて両端開放のガス誘導管に収納し、その
ガス誘導管を一端開放の保護管内に収納し、保護管の開
放端側において保護管及びガス誘導管を密閉するととも
に、ガス誘導管へガスを導入するガス導入管及びガス誘
導管と保護管の間からガスを排出するガス排出管を付設
したガス導入ヘッドを設けたことを特徴とする。
【００１０】また、本願の第２の発明は、熱電対の
（＋）、（−）脚線を絶縁管に入れて一端開放の保護管
内に収納し、保護管内にガスを導入するようにした温度
センサにおいて、保護管内に両端開放のガス誘導管を入
れるとともに、保護管及びガス誘導管に耐熱合金製延長
管を嵌合し、前記（＋）、（−）脚線を延長管を通して
ガス誘導管に挿入し、延長管の開放端側を密閉するとと
もに、延長管を通してガス誘導管へガスを導入するガス
導入管、及びガス誘導管と保護管の間、延長管を通して
ガスを排出するガス排出管を付設したガス導入ヘッドを
設けたことを特徴とする。
（＋）、（−）脚線を絶縁管に入れて一端開放の保護管
内に収納し、保護管内にガスを導入するようにした温度
センサにおいて、保護管内に両端開放のガス誘導管を入
れるとともに、保護管及びガス誘導管に耐熱合金製延長
管を嵌合し、前記（＋）、（−）脚線を延長管を通して
ガス誘導管に挿入し、延長管の開放端側を密閉するとと
もに、延長管を通してガス誘導管へガスを導入するガス
導入管、及びガス誘導管と保護管の間、延長管を通して
ガスを排出するガス排出管を付設したガス導入ヘッドを
設けたことを特徴とする。
【００１１】また、本願の第２の発明は、熱電対の
（＋）、（−）脚線を絶縁管に入れて一端開放の保護管
内に収納し、保護管内にガスを導入するようにした温度
センサにおいて、保護管内に両端開放のガス誘導管を入
れるとともに、保護管及びガス誘導管に耐熱合金製延長
管を嵌合して前記（＋）、（−）脚線を延長管を通して
ガス誘導管に挿入し、延長管にガス導入管、及びガス排
出管を接続するとともに、延長管先端部にフランジを設
けて延長管開口部をシールするようにしたことを特徴と
する。
（＋）、（−）脚線を絶縁管に入れて一端開放の保護管
内に収納し、保護管内にガスを導入するようにした温度
センサにおいて、保護管内に両端開放のガス誘導管を入
れるとともに、保護管及びガス誘導管に耐熱合金製延長
管を嵌合して前記（＋）、（−）脚線を延長管を通して
ガス誘導管に挿入し、延長管にガス導入管、及びガス排
出管を接続するとともに、延長管先端部にフランジを設
けて延長管開口部をシールするようにしたことを特徴と
する。
【００１２】また、保護管、ガス誘導管がＣ又はＢＮ、
絶縁管がＢｅＯよりなり、熱電対がタングステン・レニ
ウムであることを特徴とする。
絶縁管がＢｅＯよりなり、熱電対がタングステン・レニ
ウムであることを特徴とする。
【００１３】また、センサの使用方法において、アルゴ
ンガスを毎分５０〜５００ｍｌ流して測温することを特
徴とする。
ンガスを毎分５０〜５００ｍｌ流して測温することを特
徴とする。
【００１４】
【作用】本願の第１の発明の温度センサについて図１に
基づいて詳述する。図１は第１の発明の温度センサであ
り、熱電対の（＋）、（−）両脚に絶縁管を使用した場
合を示す図で、図１（ａ）は縦断面図、図１（ｂ）はＡ
−Ａ断面図である。図中、１はガス誘導管、２はガス導
入ヘッド、３はガス導入管、４は熱電対、５は保護管、
６はガス排出管、７は絶縁管、８はＯリング、９はハー
メチックシールである。
基づいて詳述する。図１は第１の発明の温度センサであ
り、熱電対の（＋）、（−）両脚に絶縁管を使用した場
合を示す図で、図１（ａ）は縦断面図、図１（ｂ）はＡ
−Ａ断面図である。図中、１はガス誘導管、２はガス導
入ヘッド、３はガス導入管、４は熱電対、５は保護管、
６はガス排出管、７は絶縁管、８はＯリング、９はハー
メチックシールである。
【００１５】熱電対の保護は保護管５、ガス誘導管１か
らなる二重構造により行い、熱電対４にはＷＲｅ、絶縁
管７にはＭｇＯ、ガス誘導管１、保護管５にはＺｒＯ2
を使用している。
らなる二重構造により行い、熱電対４にはＷＲｅ、絶縁
管７にはＭｇＯ、ガス誘導管１、保護管５にはＺｒＯ2
を使用している。
【００１６】熱電対４の酸化防止策として先端を開放し
たガス誘導管１を保護管５内に入れ、絶縁管７はガス誘
導管１内に入れるようにする。これは高温使用時、保護
管５が古くなると保護管５に浸炭等があり、絶縁管７に
悪影響を与え、絶縁抵抗が低下する可能性があるためで
ある。保護管５の開口側にはガス導入ヘッド２を取付け
て保護管５及びガス誘導管１を蓋するとともに、ガス導
入ヘッド２と保護管５、ガス誘導管１との間はＯリング
８により気密に保持する。そして、保護管内にある空気
中の酸素及び保護管、絶縁管から出る微量の酸素による
酸化を防止するために、ガス導入ヘッド２よりアルゴン
（Ａｒ）とＨ2 混合ガスをガス導入管３より入れる。入
った混合ガスは熱電対４と接触し、熱電対４の酸化を防
止しながら保護管５の内側先端に到達し、ガス誘導管１
と保護管５との間を通ってガス排出管６より排出され
る。
たガス誘導管１を保護管５内に入れ、絶縁管７はガス誘
導管１内に入れるようにする。これは高温使用時、保護
管５が古くなると保護管５に浸炭等があり、絶縁管７に
悪影響を与え、絶縁抵抗が低下する可能性があるためで
ある。保護管５の開口側にはガス導入ヘッド２を取付け
て保護管５及びガス誘導管１を蓋するとともに、ガス導
入ヘッド２と保護管５、ガス誘導管１との間はＯリング
８により気密に保持する。そして、保護管内にある空気
中の酸素及び保護管、絶縁管から出る微量の酸素による
酸化を防止するために、ガス導入ヘッド２よりアルゴン
（Ａｒ）とＨ2 混合ガスをガス導入管３より入れる。入
った混合ガスは熱電対４と接触し、熱電対４の酸化を防
止しながら保護管５の内側先端に到達し、ガス誘導管１
と保護管５との間を通ってガス排出管６より排出され
る。
【００１７】保護管５、ガス誘導管１の材質としては、
大気雰囲気、無酸化雰囲気で２０００℃以上の高温ま
で、ＷＲｅ熱電対に影響を与えないで安定に使用できる
材質はほとんどなく、種々実験研究の結果、ＺｒＯ2 質
が最も適していることが判明した。ＺｒＯ2 質として
は、Ｙ2 Ｏ3 ，ＭｇＯ，ＣａＯ等の安定剤を添加、焼成
した安定化または半安定化ＺｒＯ2 が好ましい。
大気雰囲気、無酸化雰囲気で２０００℃以上の高温ま
で、ＷＲｅ熱電対に影響を与えないで安定に使用できる
材質はほとんどなく、種々実験研究の結果、ＺｒＯ2 質
が最も適していることが判明した。ＺｒＯ2 質として
は、Ｙ2 Ｏ3 ，ＭｇＯ，ＣａＯ等の安定剤を添加、焼成
した安定化または半安定化ＺｒＯ2 が好ましい。
【００１８】一方、絶縁管７として超高温で十分高い絶
縁性を示し、かつＷＲｅ熱電対、ガス誘導管１、保護管
５と化学反応しない材質を種々検討した結果、９９％以
上の高純度のＭｇＯを１８５０℃以上で高温焼成したも
のが使用できることを見出した。
縁性を示し、かつＷＲｅ熱電対、ガス誘導管１、保護管
５と化学反応しない材質を種々検討した結果、９９％以
上の高純度のＭｇＯを１８５０℃以上で高温焼成したも
のが使用できることを見出した。
【００１９】熱電対４の酸化防止用混合ガスとしては、
Ａｒ９５〜９９．５ｖｏｌ％，Ｈ2０．５〜５ｖｏｌ％
のものが効果があり、Ｈ2 の混合割合が０．５ｖｏｌ％
より少ないと酸化防止効果がなく、５ｖｏｌ％より多い
と、保護管５、ガス誘導管１、絶縁管７のＺｒＯ2 、Ｍ
ｇＯがＨ2 により還元され、保護管５，絶縁管７の効果
をしなくなる。また、場合によっては、ＺｒＯ2 ，Ｍｇ
Ｏが還元され生成した金属がガス誘導管１、保護管５の
低温部に晶出し、熱電対４を短絡することがある。した
がって、Ａｒガス中に混合する水素ガスの量は３ｖｏｌ
％程度が望ましい。
Ａｒ９５〜９９．５ｖｏｌ％，Ｈ2０．５〜５ｖｏｌ％
のものが効果があり、Ｈ2 の混合割合が０．５ｖｏｌ％
より少ないと酸化防止効果がなく、５ｖｏｌ％より多い
と、保護管５、ガス誘導管１、絶縁管７のＺｒＯ2 、Ｍ
ｇＯがＨ2 により還元され、保護管５，絶縁管７の効果
をしなくなる。また、場合によっては、ＺｒＯ2 ，Ｍｇ
Ｏが還元され生成した金属がガス誘導管１、保護管５の
低温部に晶出し、熱電対４を短絡することがある。した
がって、Ａｒガス中に混合する水素ガスの量は３ｖｏｌ
％程度が望ましい。
【００２０】一方、保護管５の中に流すガスの量は毎分
１０〜３００ｍｌが望ましい。これより少ないと熱電対
４の酸化防止にならず、３００ｍｌより多いと、冷却効
果で熱電対測温部の温度低下をきたし、測温精度が低下
する。
１０〜３００ｍｌが望ましい。これより少ないと熱電対
４の酸化防止にならず、３００ｍｌより多いと、冷却効
果で熱電対測温部の温度低下をきたし、測温精度が低下
する。
【００２１】なお、図１に示すものでは２つの絶縁管を
用いて熱電対４の両脚線を絶縁管に通すようにしている
が、保護管５内の熱電対４の配列としては、図２に示す
ごとく熱電対４の（＋）脚側か、（−）脚側のどちらか
一方に絶縁管７を入れ、絶縁管７の入った脚線をガス誘
導管１の中を通し、残りの裸の脚線はガス誘導管１と保
護管５の間を通すか、逆に裸の脚線をガス誘導管１の中
を通し、絶縁管７の入った脚線をガス誘導管１と保護管
５の間を通すことも可能である。
用いて熱電対４の両脚線を絶縁管に通すようにしている
が、保護管５内の熱電対４の配列としては、図２に示す
ごとく熱電対４の（＋）脚側か、（−）脚側のどちらか
一方に絶縁管７を入れ、絶縁管７の入った脚線をガス誘
導管１の中を通し、残りの裸の脚線はガス誘導管１と保
護管５の間を通すか、逆に裸の脚線をガス誘導管１の中
を通し、絶縁管７の入った脚線をガス誘導管１と保護管
５の間を通すことも可能である。
【００２２】次に、本願の第２の発明について図３に基
づいて詳述する。図３は第２の発明の温度センサの絶縁
管に全てＢｅＯを使用した場合の１例を示す縦断面図で
ある。図中、１１は熱電対、１２は絶縁管、１３は保護
管、１４はガス誘導管、１５は延長管、１６はガス導入
ヘッド、１７はＯリング、１８はハーメチックシール、
１９はガス導入管、２０はガス排出管、２１はスプリン
グである。
づいて詳述する。図３は第２の発明の温度センサの絶縁
管に全てＢｅＯを使用した場合の１例を示す縦断面図で
ある。図中、１１は熱電対、１２は絶縁管、１３は保護
管、１４はガス誘導管、１５は延長管、１６はガス導入
ヘッド、１７はＯリング、１８はハーメチックシール、
１９はガス導入管、２０はガス排出管、２１はスプリン
グである。
【００２３】熱電対の保護は保護管１３、ガス誘導管１
４からなる二重構造で行い、熱電対１１はＷＲｅ、絶縁
管１２にはベリリア（ＢｅＯ）を、保護管１３、ガス誘
導管１４にはＣを使用している。
４からなる二重構造で行い、熱電対１１はＷＲｅ、絶縁
管１２にはベリリア（ＢｅＯ）を、保護管１３、ガス誘
導管１４にはＣを使用している。
【００２４】熱電対１１の酸化防止対策として、先端を
開放したガス誘導管１４にガス導入管１９よりアルゴン
ガスを送り、ガス誘導管１４に入ったアルゴンガスは熱
電対１１と接触し、熱電対１１の酸化を防止しながら保
護管１３の内側先端に到達し、ガス誘導管１４と保護管
１３の間を通ってガス排出管２０より出るようになって
いる。
開放したガス誘導管１４にガス導入管１９よりアルゴン
ガスを送り、ガス誘導管１４に入ったアルゴンガスは熱
電対１１と接触し、熱電対１１の酸化を防止しながら保
護管１３の内側先端に到達し、ガス誘導管１４と保護管
１３の間を通ってガス排出管２０より出るようになって
いる。
【００２５】保護管１３、ガス誘導管１４の材質として
は、一酸化炭素（ＣＯ）雰囲気、無酸化雰囲気で２００
０℃以上の高温まで安定に使用できるものとして炭素
（Ｃ）又はボロンナイトライド（ＢＮ）がある。しか
し、Ｃ又はＢＮは単独で使用すると、ガス誘導管１４及
び保護管１３の雰囲気中のＣＯ、Ｎ2 ガス濃度が高くな
り、ＷＲｅと反応して熱電対１１を劣化させる。この問
題を解決するため種々実験研究の結果、ガス誘導管１
４、保護管１３それぞれにＣまたはＢＮを使って二重管
とし、絶縁管１２にＢｅＯを使い、熱電対１１の保護ガ
スとしてＡｒガスを流すことでＣ又はＢＮより発生する
ＣＯ、Ｎ2 ガスの影響で熱電対１１が劣化するのを防止
できることを見出した。
は、一酸化炭素（ＣＯ）雰囲気、無酸化雰囲気で２００
０℃以上の高温まで安定に使用できるものとして炭素
（Ｃ）又はボロンナイトライド（ＢＮ）がある。しか
し、Ｃ又はＢＮは単独で使用すると、ガス誘導管１４及
び保護管１３の雰囲気中のＣＯ、Ｎ2 ガス濃度が高くな
り、ＷＲｅと反応して熱電対１１を劣化させる。この問
題を解決するため種々実験研究の結果、ガス誘導管１
４、保護管１３それぞれにＣまたはＢＮを使って二重管
とし、絶縁管１２にＢｅＯを使い、熱電対１１の保護ガ
スとしてＡｒガスを流すことでＣ又はＢＮより発生する
ＣＯ、Ｎ2 ガスの影響で熱電対１１が劣化するのを防止
できることを見出した。
【００２６】保護管１３、ガス誘導管１４のＣの材質と
しては、人造黒鉛質で固定炭素が９９．５％以上、見掛
気孔率が１７％以下の高温で処理したもので黒鉛化の進
んでいるものが好ましい。または、保護管１３、ガス誘
導管１４のＢＮの材質としてＢＮ９９％以上の高純度品
が望ましい。一方、絶縁管のＢｅＯは２０００℃以上の
超高温で十分な絶縁性を示し、かつＷＲｅ熱電対、ガス
誘導管と高温で化学反応しないものである必要があり、
種々検討の結果、ＢｅＯ９９ｗｔ％以上の高純度品で高
温焼成したものが使用できることを見出した。また、保
護管１３、ガス誘導管１４にＣを使用すると、Ｃは熱伝
導率が高いためガス導入ヘッド１６にＯリング１７で固
定した場合、Ｏリングが高温により消失して機能しなく
なる。この解決策として、保護管１３、ガス誘導管１４
のガス導入ヘッド側の低温部に、熱伝導率が小さく、強
度の大きい耐熱合金製の延長管１５を嵌合、接続するこ
とで熱の伝達を少なくし、Ｏリングの消失を防ぐことも
できる。
しては、人造黒鉛質で固定炭素が９９．５％以上、見掛
気孔率が１７％以下の高温で処理したもので黒鉛化の進
んでいるものが好ましい。または、保護管１３、ガス誘
導管１４のＢＮの材質としてＢＮ９９％以上の高純度品
が望ましい。一方、絶縁管のＢｅＯは２０００℃以上の
超高温で十分な絶縁性を示し、かつＷＲｅ熱電対、ガス
誘導管と高温で化学反応しないものである必要があり、
種々検討の結果、ＢｅＯ９９ｗｔ％以上の高純度品で高
温焼成したものが使用できることを見出した。また、保
護管１３、ガス誘導管１４にＣを使用すると、Ｃは熱伝
導率が高いためガス導入ヘッド１６にＯリング１７で固
定した場合、Ｏリングが高温により消失して機能しなく
なる。この解決策として、保護管１３、ガス誘導管１４
のガス導入ヘッド側の低温部に、熱伝導率が小さく、強
度の大きい耐熱合金製の延長管１５を嵌合、接続するこ
とで熱の伝達を少なくし、Ｏリングの消失を防ぐことも
できる。
【００２７】また、図３に示すようなステンレス製の延
長管１５を嵌合、接続してその先端にヘッドを嵌め込む
のに代えて、図４に示すように、延長管１５に直接ステ
ンレス製のガス導入管１９、ガス排出管２０を溶接し、
延長管１５の先端部にフランジ３０を溶接して先端開口
部をハーメチックシール１８で栓をし、Ｏリングでシー
ルするようにしてもよい。
長管１５を嵌合、接続してその先端にヘッドを嵌め込む
のに代えて、図４に示すように、延長管１５に直接ステ
ンレス製のガス導入管１９、ガス排出管２０を溶接し、
延長管１５の先端部にフランジ３０を溶接して先端開口
部をハーメチックシール１８で栓をし、Ｏリングでシー
ルするようにしてもよい。
【００２８】なお、絶縁管１２は全てＢｅＯを使うこと
が望ましいが、ＢｅＯの粉塵、蒸気は人体に有害であ
り、また高価であるため使用量を最少限にする方法とし
て、図５に示すように、高温域絶縁管２２、中間温度域
絶縁管２３、低温域絶縁管２４を使用すばよい。すなわ
ち、ＢｅＯは１５００℃以上の温度域のみに高温域絶縁
管２２として使い、熱電対に絶縁管の化学的影響の及ば
なくなる１５００℃以下の温度域では、ＢＮかＢＮとア
ルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）を組み合わせて使用することも可
能である。ＢＮは中間温度域絶縁管２３としてＢＮ９９
％以上の高純度品が望ましく、Ａｌ2 Ｏ3 は低温域絶縁
管２４としてＡｌ2 Ｏ3 ９９．５％以上の再結晶質アル
ミナが望ましい。
が望ましいが、ＢｅＯの粉塵、蒸気は人体に有害であ
り、また高価であるため使用量を最少限にする方法とし
て、図５に示すように、高温域絶縁管２２、中間温度域
絶縁管２３、低温域絶縁管２４を使用すばよい。すなわ
ち、ＢｅＯは１５００℃以上の温度域のみに高温域絶縁
管２２として使い、熱電対に絶縁管の化学的影響の及ば
なくなる１５００℃以下の温度域では、ＢＮかＢＮとア
ルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）を組み合わせて使用することも可
能である。ＢＮは中間温度域絶縁管２３としてＢＮ９９
％以上の高純度品が望ましく、Ａｌ2 Ｏ3 は低温域絶縁
管２４としてＡｌ2 Ｏ3 ９９．５％以上の再結晶質アル
ミナが望ましい。
【００２９】ＷＲｅ熱電対１１に挿入する絶縁管１２
は、熱電対素線をガス誘導管１４、保護管１３のＣから
発生するＣＯガスよりある程度遮蔽し、ＷＲｅ熱電対に
浸炭するのを防ぐ必要がある。そのため、絶縁管１２は
２孔で継ぎ目のないものが望ましいが、種々制約がある
ため、短いものを多数つないで使用する場合は、濃度の
高いＣＯガスがＷＲｅ熱電対に接触するのを防ぐため、
絶縁管と絶縁管の間を常に密着させておく必要がある。
しかし、熱電対１１と絶縁管１２の膨張率が異なるた
め、一般に予め絶縁管を熱電対より短くしておく方法が
行われている。そこで、温度センサを垂直な姿勢で使用
するときは、絶縁管と絶縁管は密着しやすいが、水平な
姿勢で使用するときは、絶縁管と絶縁管の継ぎ目にすき
間があき、不要のガスが入り、熱電対を劣化させる原因
になっていた。この問題を解決するため、図３に示す温
度センサガス導入ヘッド部の熱電対にスプリング２１を
入れ、熱電対１１と絶縁管１２の熱膨張差を吸収すると
ともに、絶縁管１２を常に弱い力で押しつけ、密着する
ようにすることで絶縁管１２の継ぎ目部分での素線の劣
化を防止することができる。
は、熱電対素線をガス誘導管１４、保護管１３のＣから
発生するＣＯガスよりある程度遮蔽し、ＷＲｅ熱電対に
浸炭するのを防ぐ必要がある。そのため、絶縁管１２は
２孔で継ぎ目のないものが望ましいが、種々制約がある
ため、短いものを多数つないで使用する場合は、濃度の
高いＣＯガスがＷＲｅ熱電対に接触するのを防ぐため、
絶縁管と絶縁管の間を常に密着させておく必要がある。
しかし、熱電対１１と絶縁管１２の膨張率が異なるた
め、一般に予め絶縁管を熱電対より短くしておく方法が
行われている。そこで、温度センサを垂直な姿勢で使用
するときは、絶縁管と絶縁管は密着しやすいが、水平な
姿勢で使用するときは、絶縁管と絶縁管の継ぎ目にすき
間があき、不要のガスが入り、熱電対を劣化させる原因
になっていた。この問題を解決するため、図３に示す温
度センサガス導入ヘッド部の熱電対にスプリング２１を
入れ、熱電対１１と絶縁管１２の熱膨張差を吸収すると
ともに、絶縁管１２を常に弱い力で押しつけ、密着する
ようにすることで絶縁管１２の継ぎ目部分での素線の劣
化を防止することができる。
【００３０】熱電対１１の保護ガスとして保護管１３、
ガス誘導管１４のＣ及び絶縁管１２のＢｅＯ、ＢＮ、Ａ
ｌ2 Ｏ3 に影響を与えないものとして種々実験の結果、
Ａｒガスが有効であることを見出した。熱電対１１の保
護ガスとして流すＡｒガスの量は、毎分５０〜５００ｍ
ｌが望ましい。これより少ないと熱電対１１の保護にな
らず、５００ｍｌより多いと冷却効果で熱電対測温部の
温度低下をきたし測温精度が低下する。
ガス誘導管１４のＣ及び絶縁管１２のＢｅＯ、ＢＮ、Ａ
ｌ2 Ｏ3 に影響を与えないものとして種々実験の結果、
Ａｒガスが有効であることを見出した。熱電対１１の保
護ガスとして流すＡｒガスの量は、毎分５０〜５００ｍ
ｌが望ましい。これより少ないと熱電対１１の保護にな
らず、５００ｍｌより多いと冷却効果で熱電対測温部の
温度低下をきたし測温精度が低下する。
【００３１】
〔実施例１〕図１に示す熱電対４の保護管５にＺｒＯ2
９３％、ＣａＯ５．５％の安定化ＺｒＯ2 で外径８ｍ
ｍ、内径５ｍｍ、長さ３７０ｍｍのものを使い、ガス誘
導管１をＺｒＯ2 ９３％、ＣａＯ５．５％の安定化Ｚｒ
Ｏ2 で外径４．５ｍｍ、内径３ｍｍとし、熱電対４にＷ
Ｒｅ５−２６（タングテスン９５％とレニウム５％の合
金を（＋）脚線とし、タングテスン７４％とレニウム２
６％の合金を（−）脚線とした熱電対）、線径０．５ｍ
ｍのものを使い、絶縁管にＭｇＯ９９％で１８５０℃で
焼成した外径１．２ｍｍ、内径０．８ｍｍ、長さ２５ｍ
ｍのものを（＋）、（−）脚にそれぞれ使い、保護管
５、ガス誘導管１をガス導入ヘッド２にＯリング８で気
密になるよう固定した温度センサを無酸化雰囲気加熱炉
内に試料温度測定用に水平にセットし、保護管５内へＡ
ｒ９７％、Ｈ2 ３％の混合ガスを毎分１００ｍｌ流して
測温し、線膨張率を２０００℃まで自動測定したとこ
ろ、図６に示すような直線性の良い結果が得られた。
９３％、ＣａＯ５．５％の安定化ＺｒＯ2 で外径８ｍ
ｍ、内径５ｍｍ、長さ３７０ｍｍのものを使い、ガス誘
導管１をＺｒＯ2 ９３％、ＣａＯ５．５％の安定化Ｚｒ
Ｏ2 で外径４．５ｍｍ、内径３ｍｍとし、熱電対４にＷ
Ｒｅ５−２６（タングテスン９５％とレニウム５％の合
金を（＋）脚線とし、タングテスン７４％とレニウム２
６％の合金を（−）脚線とした熱電対）、線径０．５ｍ
ｍのものを使い、絶縁管にＭｇＯ９９％で１８５０℃で
焼成した外径１．２ｍｍ、内径０．８ｍｍ、長さ２５ｍ
ｍのものを（＋）、（−）脚にそれぞれ使い、保護管
５、ガス誘導管１をガス導入ヘッド２にＯリング８で気
密になるよう固定した温度センサを無酸化雰囲気加熱炉
内に試料温度測定用に水平にセットし、保護管５内へＡ
ｒ９７％、Ｈ2 ３％の混合ガスを毎分１００ｍｌ流して
測温し、線膨張率を２０００℃まで自動測定したとこ
ろ、図６に示すような直線性の良い結果が得られた。
【００３２】なお、上記実施例１では熱電対としてＷＲ
ｅ５−２６を使用したものについて説明したが、イリジ
ウム６０％とロジウム４０％の合金を（＋）脚線とし、
イリジウム（−）脚線とした熱電対Ｉｒ６０Ｒｈ４０−
Ｉｒ（使用限度２０００℃）も不活性ガス中で使用で
き、本発明の熱電対として良好に使用可能である。
ｅ５−２６を使用したものについて説明したが、イリジ
ウム６０％とロジウム４０％の合金を（＋）脚線とし、
イリジウム（−）脚線とした熱電対Ｉｒ６０Ｒｈ４０−
Ｉｒ（使用限度２０００℃）も不活性ガス中で使用で
き、本発明の熱電対として良好に使用可能である。
【００３３】〔実施例２〕図３に示す温度センサの保護
管１３に人造黒鉛で固定炭素９９％、見掛気孔率１５．
５％で外径８ｍｍ、内径５ｍｍ、長さ３００ｍｍのもの
に、ステンレスで外径８．５ｍｍ、内径８．１ｍｍ、長
さ８０ｍｍの延長管１５を嵌合し、耐火性接着剤で接合
して３７０ｍｍのものとしたものを使い、ガス誘導管１
４に上記保護管１３と同材質で、外径４．５ｍｍ、内径
３．５ｍｍ、長さ３００ｍｍのものに、ステンレスで外
径４．６ｍｍ、内径４．２ｍｍ、長さ８０ｍｍの延長管
１５を嵌合し、耐火性接着剤で接合して３７０ｍｍと
し、熱電対１１にＷＲｅ５ー２６、線径０．５ｍｍのも
のを使い、絶縁管１２にＢｅＯ９９．５ｗｔ％で高温焼
成した直径３ｍｍ、孔径０．８ｍｍ×２孔、長さ２５ｍ
ｍを使い、絶縁管１２のガス導入ヘッド１６側に外径３
ｍｍ、長さ１５ｍｍの絶縁性コイル状スプリング２１を
入れ、保護管１３、ガス導入管１４をガスヘッド１６に
Ｏリング１７で気密になるように固定した温度センサを
Ａｒ＋ＣＯ雰囲気加熱炉内の試料温度測定用にセット
し、保護管１３内へ９９．９９％以上の純度のＡｒガス
を毎分２００ｍｌ流し、線膨張率既知の黒鉛について、
線膨張率と温度を２０００℃まで自動測定したところ、
図７に示すような直線性の良い結果が得られた。
管１３に人造黒鉛で固定炭素９９％、見掛気孔率１５．
５％で外径８ｍｍ、内径５ｍｍ、長さ３００ｍｍのもの
に、ステンレスで外径８．５ｍｍ、内径８．１ｍｍ、長
さ８０ｍｍの延長管１５を嵌合し、耐火性接着剤で接合
して３７０ｍｍのものとしたものを使い、ガス誘導管１
４に上記保護管１３と同材質で、外径４．５ｍｍ、内径
３．５ｍｍ、長さ３００ｍｍのものに、ステンレスで外
径４．６ｍｍ、内径４．２ｍｍ、長さ８０ｍｍの延長管
１５を嵌合し、耐火性接着剤で接合して３７０ｍｍと
し、熱電対１１にＷＲｅ５ー２６、線径０．５ｍｍのも
のを使い、絶縁管１２にＢｅＯ９９．５ｗｔ％で高温焼
成した直径３ｍｍ、孔径０．８ｍｍ×２孔、長さ２５ｍ
ｍを使い、絶縁管１２のガス導入ヘッド１６側に外径３
ｍｍ、長さ１５ｍｍの絶縁性コイル状スプリング２１を
入れ、保護管１３、ガス導入管１４をガスヘッド１６に
Ｏリング１７で気密になるように固定した温度センサを
Ａｒ＋ＣＯ雰囲気加熱炉内の試料温度測定用にセット
し、保護管１３内へ９９．９９％以上の純度のＡｒガス
を毎分２００ｍｌ流し、線膨張率既知の黒鉛について、
線膨張率と温度を２０００℃まで自動測定したところ、
図７に示すような直線性の良い結果が得られた。
【００３４】〔実施例３〕図５に示す温度センサの保護
管１３、ガス誘導管１４にＢＮとしてＢＮ９９．５％の
材質を前記実施例１と同じ形状のものを使い（延長管１
５は使用せず）熱電対１１にＷＲｅ５−２６、線径０．
５ｍｍ、高温域絶縁管２２にＢｅＯ９９．５ｗｔ％で高
温焼成した直径３ｍｍ、孔径０．８ｍｍ×２孔、長さ２
５ｍｍのものを５本使い、中間温度域絶縁管２３にＢＮ
９９．５ｗｔ％、直径３ｍｍ、孔径０．８ｍｍ×２孔、
長さ２５ｍｍのものを５本使い、低温域用絶縁管２４に
再結晶質アルミナの直径３ｍｍ、孔径０．８ｍｍ×２
孔、長さ１００ｍｍを使い、絶縁管のガス導入ヘッド１
６側に外径３ｍｍ、長さ１５ｍｍの絶縁性コイル状スプ
リング２１を入れ、保護管１３、ガス導入ヘッド１６に
Ｏリング１７で気密になるよう固定した温度センサをＡ
ｒ＋ＣＯ雰囲気加熱炉の試料温度測定用にセットし、保
護管１３内へ９９．９９％以上の純度のＡｒガスを毎分
２００ｍｌ流し、線膨張率既知の黒鉛について、線膨張
率と温度を２０００℃まで自動測定したところ、図８に
示すような直線性の良い結果が得られた。
管１３、ガス誘導管１４にＢＮとしてＢＮ９９．５％の
材質を前記実施例１と同じ形状のものを使い（延長管１
５は使用せず）熱電対１１にＷＲｅ５−２６、線径０．
５ｍｍ、高温域絶縁管２２にＢｅＯ９９．５ｗｔ％で高
温焼成した直径３ｍｍ、孔径０．８ｍｍ×２孔、長さ２
５ｍｍのものを５本使い、中間温度域絶縁管２３にＢＮ
９９．５ｗｔ％、直径３ｍｍ、孔径０．８ｍｍ×２孔、
長さ２５ｍｍのものを５本使い、低温域用絶縁管２４に
再結晶質アルミナの直径３ｍｍ、孔径０．８ｍｍ×２
孔、長さ１００ｍｍを使い、絶縁管のガス導入ヘッド１
６側に外径３ｍｍ、長さ１５ｍｍの絶縁性コイル状スプ
リング２１を入れ、保護管１３、ガス導入ヘッド１６に
Ｏリング１７で気密になるよう固定した温度センサをＡ
ｒ＋ＣＯ雰囲気加熱炉の試料温度測定用にセットし、保
護管１３内へ９９．９９％以上の純度のＡｒガスを毎分
２００ｍｌ流し、線膨張率既知の黒鉛について、線膨張
率と温度を２０００℃まで自動測定したところ、図８に
示すような直線性の良い結果が得られた。
【００３５】
【発明の効果】以上のように本発明は一つの熱電対で低
温から２０００℃以上の超高温まで各種の雰囲気又は無
酸化雰囲気で自由な姿勢で精度良く測温できる。
温から２０００℃以上の超高温まで各種の雰囲気又は無
酸化雰囲気で自由な姿勢で精度良く測温できる。
【００３６】従来、熱電対と保護用ガスとしてＡｒガス
のみを使用した場合、アルゴンガス中の不純物である微
量酸素により熱電対が酸化、劣化していたが、Ｈ2 ガス
を３％混合することで、多数回使用後も熱電対は金属光
沢をしており、劣化がなく寿命が５倍以上になる。ま
た、Ａｒガスに添加するＨ2 ガスの添加量を適切にする
ことで、Ｈ2 によるＭｇＯ質絶縁管、ＺｒＯ2 質保護
管、ガス誘導管の還元による金属の生成はほとんどな
い。
のみを使用した場合、アルゴンガス中の不純物である微
量酸素により熱電対が酸化、劣化していたが、Ｈ2 ガス
を３％混合することで、多数回使用後も熱電対は金属光
沢をしており、劣化がなく寿命が５倍以上になる。ま
た、Ａｒガスに添加するＨ2 ガスの添加量を適切にする
ことで、Ｈ2 によるＭｇＯ質絶縁管、ＺｒＯ2 質保護
管、ガス誘導管の還元による金属の生成はほとんどな
い。
【００３７】また、低温から２０００℃以上の超高温ま
で無酸化雰囲気、ＣＯガスを含む雰囲気で長時間精度良
く測温できる。また、絶縁管の低温部にスプリングを入
れ、絶縁管を押しつけることだ絶縁管の突き合わせ面に
隙間をなくし、密着させることで温度センサを水平姿勢
で使用しても熱電対の寿命を大幅に長くすることができ
る。さらに、保護管、ガス誘導管に延長管を付設するこ
とにより、超高温測定部からの熱伝導を抑制し、Ｏリン
グの耐用性を向上することができる。
で無酸化雰囲気、ＣＯガスを含む雰囲気で長時間精度良
く測温できる。また、絶縁管の低温部にスプリングを入
れ、絶縁管を押しつけることだ絶縁管の突き合わせ面に
隙間をなくし、密着させることで温度センサを水平姿勢
で使用しても熱電対の寿命を大幅に長くすることができ
る。さらに、保護管、ガス誘導管に延長管を付設するこ
とにより、超高温測定部からの熱伝導を抑制し、Ｏリン
グの耐用性を向上することができる。
【図１】 第１の発明の温度センサで熱電対の（＋）、
（−）両脚に絶縁管を使用した場合の１例を示す図であ
る。
（−）両脚に絶縁管を使用した場合の１例を示す図であ
る。
【図２】 第１の発明の熱電対の（＋）、（−）どちら
か片側のみ絶縁管を使用する方式の１例を示す図であ
る。
か片側のみ絶縁管を使用する方式の１例を示す図であ
る。
【図３】 第２の発明の温度センサの絶縁管に全てＢｅ
Ｏを使用した場合の１例を示す縦断面図である。
Ｏを使用した場合の１例を示す縦断面図である。
【図４】 図３の温度センサの変形例を示す一部縦断面
図である。
図である。
【図５】 第２の発明の温度センサの絶縁管にＢｅＯ、
ＢＮ、Ａｌ2 Ｏ3 を使用した場合の１例を示す縦断面図
である。
ＢＮ、Ａｌ2 Ｏ3 を使用した場合の１例を示す縦断面図
である。
【図６】 第１の発明の温度センサを試料温度測定用に
使用して得られた線膨張率測定結果を示す図である。
使用して得られた線膨張率測定結果を示す図である。
【図７】 第２の発明の温度センサを試料温度測定用に
使用して得られた線膨張率測定結果を示す図である。
使用して得られた線膨張率測定結果を示す図である。
【図８】 第２の発明の温度センサを試料温度測定用に
使用して得られた線膨張率測定結果を示す図である。
使用して得られた線膨張率測定結果を示す図である。
１…ガス誘導管、２…ガス導入ヘッド、３…ガス導入
管、４…熱電対、５…保護管、６…ガス排出管、７…絶
縁管、８…Ｏリング、９…ハーメチックシール、１１…
熱電対、１２…絶縁管、１３…保護管、１４…ガス誘導
管、１５…延長管、１６…ガス導入ヘッド、１７…Ｏリ
ング、１８…ハーメチックシール、１９…ガス導入管、
２０…ガス排出管、２１…スプリング、２２…高温域絶
縁管、２３…中間温度域絶縁管、２４…低温域絶縁管。
管、４…熱電対、５…保護管、６…ガス排出管、７…絶
縁管、８…Ｏリング、９…ハーメチックシール、１１…
熱電対、１２…絶縁管、１３…保護管、１４…ガス誘導
管、１５…延長管、１６…ガス導入ヘッド、１７…Ｏリ
ング、１８…ハーメチックシール、１９…ガス導入管、
２０…ガス排出管、２１…スプリング、２２…高温域絶
縁管、２３…中間温度域絶縁管、２４…低温域絶縁管。
Claims (11)
- 【請求項１】熱電対の（＋）、（−）脚線の少なくとも
一方を絶縁管に入れて一端開放の保護管内に収納し、保
護管内にガスを導入するようにした温度センサにおい
て、保護管内に両端開放のガス誘導管を入れ、前記
（＋）、（−）脚線の少なくとも一方をガス誘導管に挿
入し、保護管の開放端側において保護管及びガス誘導管
を密閉するとともに、ガス誘導管へガスを導入するガス
導入管及びガス誘導管と保護管の間からガスを排出する
ガス排出管を付設したガス導入ヘッドを設けたことを特
徴とする温度センサ。 - 【請求項２】 保護管、ガス誘導管がＺｒＯ2 、絶縁管
がＭｇＯよりなる請求項１記載の温度センサ。 - 【請求項３】 熱電対がタングステン・レニウムである
請求項１記載の温度センサ。 - 【請求項４】 請求項１記載の温度センサを使用し、ア
ルゴンと水素の混合ガスを毎分１０〜３００ｍｌ流して
測温することを特徴とする温度センサによる測温方法。 - 【請求項５】 請求項４記載の方法において、混合ガス
はアルゴン９５〜９９．５ｖｏｌ％，水素０．５〜５ｖ
ｏｌ％であることを特徴とする温度センサによる測温方
法。 - 【請求項６】 熱電対の（＋）、（−）脚線を絶縁管に
入れて一端開放の保護管内に収納し、保護管内にガスを
導入するようにした温度センサにおいて、保護管内に両
端開放のガス誘導管を入れ、前記（＋）、（−）脚線を
ガス誘導管に挿入し、保護管の開放端側において保護管
及びガス誘導管を密閉するとともに、ガス誘導管へガス
を導入するガス導入管及びガス誘導管と保護管の間から
ガスを排出するガス排出管を付設したガス導入ヘッドを
設けたことを特徴とする温度センサ。 - 【請求項７】 熱電対の（＋）、（−）脚線を絶縁管に
入れて一端開放の保護管内に収納し、保護管内にガスを
導入するようにした温度センサにおいて、保護管内に両
端開放のガス誘導管を入れるとともに、保護管及びガス
誘導管に耐熱合金製延長管を嵌合し、前記（＋）、
（−）脚線を延長管を通してガス誘導管に挿入し、延長
管の開放端側を密閉するとともに、延長管を通してガス
誘導管へガスを導入するガス導入管、及びガス誘導管と
保護管の間、延長管を通してガスを排出するガス排出管
を付設したガス導入ヘッドを設けたことを特徴とする温
度センサ。 - 【請求項８】 熱電対の（＋）、（−）脚線を絶縁管に
入れて一端開放の保護管内に収納し、保護管内にガスを
導入するようにした温度センサにおいて、保護管内に両
端開放のガス誘導管を入れるとともに、保護管及びガス
誘導管に耐熱合金製延長管を嵌合して前記（＋）、
（−）脚線を延長管を通してガス誘導管に挿入し、延長
管にガス導入管、及びガス排出管を接続するとともに、
延長管先端部にフランジを設けて延長管開口部をシール
するようにしたことを特徴とする温度センサ。 - 【請求項９】 保護管、ガス誘導管がＣ又はＢＮ、絶縁
管がＢｅＯよりなる請求項６〜８のうち何れか１項記載
の温度センサ。 - 【請求項１０】 熱電対がタングステン・レニウムであ
る請求項６〜８のうち何れか１項記載の温度センサ。 - 【請求項１１】 請求項６〜８のうち何れか１項記載の
温度センサを使用し、アルゴンを毎分５０〜５００ｍｌ
流して測温することを特徴とする温度センサによる測温
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5039605A JP2522890B2 (ja) | 1992-08-05 | 1993-03-01 | 温度センサ及び該温度センサによる測温方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20915192 | 1992-08-05 | ||
| JP4-209151 | 1992-08-05 | ||
| JP5039605A JP2522890B2 (ja) | 1992-08-05 | 1993-03-01 | 温度センサ及び該温度センサによる測温方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06102101A true JPH06102101A (ja) | 1994-04-15 |
| JP2522890B2 JP2522890B2 (ja) | 1996-08-07 |
Family
ID=26378994
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5039605A Expired - Lifetime JP2522890B2 (ja) | 1992-08-05 | 1993-03-01 | 温度センサ及び該温度センサによる測温方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2522890B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002022554A (ja) * | 2000-07-03 | 2002-01-23 | Ulvac Japan Ltd | 高温用熱電対及びその製造方法 |
| JP2008039661A (ja) * | 2006-08-09 | 2008-02-21 | Nishibayashi Denki Seisakusho:Kk | 熱電形温度計 |
| KR101375786B1 (ko) * | 2013-11-11 | 2014-03-19 | (주)센테크이엔지 | 광대역 온도 측정 장치 |
| KR20150102970A (ko) * | 2012-12-17 | 2015-09-09 | 수주카 엔지니어링 가부시키가이샤 | 고점도 혼련 재료용 혼련기에 대한 열전대 온도 검출기의 장착 구조 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4667011B2 (ja) * | 2004-11-10 | 2011-04-06 | 株式会社リコー | 熱電対及び反応系及び結晶製造装置 |
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| JPS4936542A (ja) * | 1972-08-10 | 1974-04-04 | ||
| JPS5666716A (en) * | 1979-11-02 | 1981-06-05 | Daido Steel Co Ltd | Temperature sensor |
| JPS6168525A (ja) * | 1984-09-12 | 1986-04-08 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 溶融金属連続測温計 |
-
1993
- 1993-03-01 JP JP5039605A patent/JP2522890B2/ja not_active Expired - Lifetime
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