JPH06102478B2 - 半導体ウェーハー包装容器 - Google Patents
半導体ウェーハー包装容器Info
- Publication number
- JPH06102478B2 JPH06102478B2 JP60270808A JP27080885A JPH06102478B2 JP H06102478 B2 JPH06102478 B2 JP H06102478B2 JP 60270808 A JP60270808 A JP 60270808A JP 27080885 A JP27080885 A JP 27080885A JP H06102478 B2 JPH06102478 B2 JP H06102478B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- case
- film
- packaging container
- wafer
- semiconductor wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体材料、装置等の輸送及び保管をなすた
めの包装容器に関するものであり、特にウエーハーの輸
送及び保管をなすのに好適に使用し得る包装容器に関す
るものである。
めの包装容器に関するものであり、特にウエーハーの輸
送及び保管をなすのに好適に使用し得る包装容器に関す
るものである。
従来の技術及び問題点 ウエーハーのような半導体材料、装置等は極めて脆く破
損され易く、又雰囲気により汚染され易いためにその輸
送及び保管に当つての取扱いには細心の注意が必要とさ
れる。
損され易く、又雰囲気により汚染され易いためにその輸
送及び保管に当つての取扱いには細心の注意が必要とさ
れる。
従来、斯るウエーハーの輸送及び保管用の包装容器とし
ては、第７図及び第８図に図示するようなものが広く使
用されている。
ては、第７図及び第８図に図示するようなものが広く使
用されている。
第７図の包装容器は、互いに開閉自在にヒンジ４にて連
結された下及び上ケース２、６を有し、下ケース２内に
はウエーハー保持用のフイルム10が配置される。該フイ
ルム10は片面に設けられた接着剤10cにて下ケース２に
固定され、上ケース６に対面する側には酸化ケイ素ゲル
層10bが設けられている。
結された下及び上ケース２、６を有し、下ケース２内に
はウエーハー保持用のフイルム10が配置される。該フイ
ルム10は片面に設けられた接着剤10cにて下ケース２に
固定され、上ケース６に対面する側には酸化ケイ素ゲル
層10bが設けられている。
輸送又は保管すべきウエーハーは、フイルム10の表面に
配置されると、該フイルムに形成された酸化ケイ素ゲル
層10bによつてその場に接着され、該下ケース２内に保
持される。一方、必要に応じて該ウエーハーを取出す場
合にはピンセツトを用いて所望のウエーハーをつまみあ
げれば該ウエーハーは酸化ケイ素ゲル層10bから剥離
し、取出すことができる。
配置されると、該フイルムに形成された酸化ケイ素ゲル
層10bによつてその場に接着され、該下ケース２内に保
持される。一方、必要に応じて該ウエーハーを取出す場
合にはピンセツトを用いて所望のウエーハーをつまみあ
げれば該ウエーハーは酸化ケイ素ゲル層10bから剥離
し、取出すことができる。
しかしながら、このような包装容器にて取扱い得るウエ
ーハーは一辺が1mmの、つまり1mm角のウエーハーが限度
であり、10mm角以上のウエーハーの場合には容器から該
ウエーハを取出すときのピンセツトによる挟持作用によ
り該ウエーハーが簡単に破損したり、例え破損に至らな
いまでもウエーハーのエツジ部が欠けたり、又は挟持力
により材料内に内部歪が生じたりし、製品の品質の低下
の原因となつていた。
ーハーは一辺が1mmの、つまり1mm角のウエーハーが限度
であり、10mm角以上のウエーハーの場合には容器から該
ウエーハを取出すときのピンセツトによる挟持作用によ
り該ウエーハーが簡単に破損したり、例え破損に至らな
いまでもウエーハーのエツジ部が欠けたり、又は挟持力
により材料内に内部歪が生じたりし、製品の品質の低下
の原因となつていた。
又、第８図に示す包装容器は、円形とされる下ケース２
の底面2aを凹面状に形成し、大型の円形状ウエーハーＡ
を該底面2a上に配置し、押え手段12にて該ウエーハーＡ
の外周部を押圧して両ケース間に保持し包装するための
ものであり、円形以外のウエーハーの包装はできず、又
例え円形ウエーハーであつても小型のウエーハーの包装
は不可能であつた。
の底面2aを凹面状に形成し、大型の円形状ウエーハーＡ
を該底面2a上に配置し、押え手段12にて該ウエーハーＡ
の外周部を押圧して両ケース間に保持し包装するための
ものであり、円形以外のウエーハーの包装はできず、又
例え円形ウエーハーであつても小型のウエーハーの包装
は不可能であつた。
発明の目的 本発明の目的は、種々の形状、寸法のウエーハーを、例
え矩形或いは小型の半導体ウエーハーであっても効率よ
く輸送及び保管するための半導体ウエーハー包装容器を
提供することである。
え矩形或いは小型の半導体ウエーハーであっても効率よ
く輸送及び保管するための半導体ウエーハー包装容器を
提供することである。
本発明の他の目的は、種々の形状、寸法のウエーハー
を、例え矩形或いは小型の半導体ウエーハーであっても
破損したり、又は内部応力を生ぜしめることなく容易に
取出すことのできる半導体ウエーハー包装容器を提供す
ることである。
を、例え矩形或いは小型の半導体ウエーハーであっても
破損したり、又は内部応力を生ぜしめることなく容易に
取出すことのできる半導体ウエーハー包装容器を提供す
ることである。
問題点を解決するための手段 上記目的は本発明に係る包装容器にて達成される。本発
明は要約すれば、半導体ウエーハーの輸送及び保管をな
すための包装容器であって、互いに開閉自在にヒンジ手
段にて連結され、そして閉鎖された時密閉態様で係合し
て内部に空間を形成するように構成された第１及び第２
のケースと、前記第１のケース内に取出し可能に配置さ
れ、前記第２のケースに対面する側に、ウエーハーを一
時的に接着し得る接着剤層を有したフイルムと、前記両
ケースが閉鎖され密閉状態に係合された時前記フイルム
を押圧し該フイルムを第１ケース内に保持するフイルム
押え手段とを具備することを特徴とする半導体ウエーハ
ー包装容器である。本発明の好ましい実施態様による
と、接着剤は酸化ケイ素のゲルとされる。
明は要約すれば、半導体ウエーハーの輸送及び保管をな
すための包装容器であって、互いに開閉自在にヒンジ手
段にて連結され、そして閉鎖された時密閉態様で係合し
て内部に空間を形成するように構成された第１及び第２
のケースと、前記第１のケース内に取出し可能に配置さ
れ、前記第２のケースに対面する側に、ウエーハーを一
時的に接着し得る接着剤層を有したフイルムと、前記両
ケースが閉鎖され密閉状態に係合された時前記フイルム
を押圧し該フイルムを第１ケース内に保持するフイルム
押え手段とを具備することを特徴とする半導体ウエーハ
ー包装容器である。本発明の好ましい実施態様による
と、接着剤は酸化ケイ素のゲルとされる。
次に、本発明に係る包装容器について図面を参照して更
に詳しく説明する。
に詳しく説明する。
第１図〜第３図を参照すると、本発明に係る包装容器１
は、第１のケース、本実施例では下ケース２と、該第１
のケースにヒンジ手段４にて枢動自在に連結された第２
のケース、本実施例では上ケース６とを有する。第１及
び第２ケース２、６は互いに開放部が密閉態様で係合し
内部に空間を形成するような箱型の形状とされるが、全
体形状は矩形であつてもよく、又円形とすることもでき
る。又、該両ケース２、６は透明のプラスチツク製とさ
れるのが好適である。
は、第１のケース、本実施例では下ケース２と、該第１
のケースにヒンジ手段４にて枢動自在に連結された第２
のケース、本実施例では上ケース６とを有する。第１及
び第２ケース２、６は互いに開放部が密閉態様で係合し
内部に空間を形成するような箱型の形状とされるが、全
体形状は矩形であつてもよく、又円形とすることもでき
る。又、該両ケース２、６は透明のプラスチツク製とさ
れるのが好適である。
前記第１のケース２内には、ウエーハー等の被包装物品
Ａを保持するフイルム10が配置される。本発明に従えば
該フイルム10はベースフイルム10a及び接着剤層10bとか
ら成り、従来のケースのように第１のケース２に接着さ
れるべき接着剤層は有してはいない。従つて該フイルム
は第１のケースに固定されず、該ケースから取出し可能
とされる。
Ａを保持するフイルム10が配置される。本発明に従えば
該フイルム10はベースフイルム10a及び接着剤層10bとか
ら成り、従来のケースのように第１のケース２に接着さ
れるべき接着剤層は有してはいない。従つて該フイルム
は第１のケースに固定されず、該ケースから取出し可能
とされる。
該フイルム10のベースフイルム10aは、好ましくは膜厚
0.1mm程度の可撓性材質にて作製され、又前記第２のケ
ース６に対面する側に設けられた接着剤層10bは、好ま
しくは酸化ケイ素のゲルとされる。
0.1mm程度の可撓性材質にて作製され、又前記第２のケ
ース６に対面する側に設けられた接着剤層10bは、好ま
しくは酸化ケイ素のゲルとされる。
斯る接着剤層10bは、ウエーハー等の物品Ａを一時的に
接着はするが或る程度の力を加えることにより容易に剥
離せしめ得る性質を有する。
接着はするが或る程度の力を加えることにより容易に剥
離せしめ得る性質を有する。
一方、第２のケース６には、第３図に図示されるよう
に、前記両ケース２、６が密閉状態に係合された時フイ
ルム10を第１ケース２側へと押圧し該フイルム10を第１
ケース２内に保持するべく作用するフイルムを押え手段
12が形成される。本実施例にて該フイルム押え手段12
は、第２ケース６の角隅部に形成された突起とされる。
に、前記両ケース２、６が密閉状態に係合された時フイ
ルム10を第１ケース２側へと押圧し該フイルム10を第１
ケース２内に保持するべく作用するフイルムを押え手段
12が形成される。本実施例にて該フイルム押え手段12
は、第２ケース６の角隅部に形成された突起とされる。
フイルム押え手段12は第２図の如き突起とする必要はな
く、例えば第４図及び第５図に図示されるように第２ケ
ース６とフイルム上面との間に配置される矩形状の環状
ゴムパツキングのような弾性部材とすることもできる。
本実施例では該ゴムパツキング12は第１のケース２より
幾分大きく形成されており、第１ケース２内に収容した
場合に第４図に図示されるように湾曲される。従つて、
該湾曲部が第２ケース６により押圧され、フイルム10を
容器内に固定保持することができる。
く、例えば第４図及び第５図に図示されるように第２ケ
ース６とフイルム上面との間に配置される矩形状の環状
ゴムパツキングのような弾性部材とすることもできる。
本実施例では該ゴムパツキング12は第１のケース２より
幾分大きく形成されており、第１ケース２内に収容した
場合に第４図に図示されるように湾曲される。従つて、
該湾曲部が第２ケース６により押圧され、フイルム10を
容器内に固定保持することができる。
上記構成にて、ウエーハーの如き物品Ａは、第１図に図
示されるように、フイルム10の接着剤層10b上に配置し
て一時的に接着固定され、第１ケース２内に配置され
る。次いで第２ケース６が第１ケース２に係合される
と、両ケースは密閉状態にて係合し、同時にフイルム押
え手段12により、ウエーハーを有したフイルム10は包装
容器内に保持される。そのために、例え包装容器が逆さ
にされた場合においても、フイルム10がウエーハーの重
さにより撓むことがあったとしても、ウエーハーが第２
ケース６に当ることはなく、従つてウエーハーが破損す
るようなことはない。ウエーハーを取出すときは、ウエ
ーハーを接着保持したフイルムを包装容器から取出し、
第６図に図示されるように、該フイルムを湾曲せしめ
る。この動作により、ウエーハーＡは容易にフイルム10
から剥離される。斯る一連の分離動作はウエーハーＡに
接触することなく行なうことができ、ウエーハーＡに従
来のようなピンセツトの使用による強い挟持力が作用す
ることはなく、従つてウエーハーＡを破損したり、又は
該ウエーハーＡに内部応力を生ぜしめることがない。
示されるように、フイルム10の接着剤層10b上に配置し
て一時的に接着固定され、第１ケース２内に配置され
る。次いで第２ケース６が第１ケース２に係合される
と、両ケースは密閉状態にて係合し、同時にフイルム押
え手段12により、ウエーハーを有したフイルム10は包装
容器内に保持される。そのために、例え包装容器が逆さ
にされた場合においても、フイルム10がウエーハーの重
さにより撓むことがあったとしても、ウエーハーが第２
ケース６に当ることはなく、従つてウエーハーが破損す
るようなことはない。ウエーハーを取出すときは、ウエ
ーハーを接着保持したフイルムを包装容器から取出し、
第６図に図示されるように、該フイルムを湾曲せしめ
る。この動作により、ウエーハーＡは容易にフイルム10
から剥離される。斯る一連の分離動作はウエーハーＡに
接触することなく行なうことができ、ウエーハーＡに従
来のようなピンセツトの使用による強い挟持力が作用す
ることはなく、従つてウエーハーＡを破損したり、又は
該ウエーハーＡに内部応力を生ぜしめることがない。
発明の効果 以上の如く構成される本発明に係る包装容器は、種々の
形状、寸法のウエーハーを効率よく輸送及び保管するこ
とができ、且つ従来のようにウエーハー等の物品の取出
し時にピンセツト等にて該ウエーハーに強く力を加える
ことはなく、従つてウエーハーを破損したり、又は斯る
物品内に内部応力を生ぜしめることなく容易に取出すこ
とのできるという効果を有する。
形状、寸法のウエーハーを効率よく輸送及び保管するこ
とができ、且つ従来のようにウエーハー等の物品の取出
し時にピンセツト等にて該ウエーハーに強く力を加える
ことはなく、従つてウエーハーを破損したり、又は斯る
物品内に内部応力を生ぜしめることなく容易に取出すこ
とのできるという効果を有する。
尚、本発明の包装容器は従来問題のあつた円形以外のウ
エーハーや一辺が10mm以上の大きさを有したウエハーの
包装に特に有効である。
エーハーや一辺が10mm以上の大きさを有したウエハーの
包装に特に有効である。
第１図は、本発明に係る包装容器の一実施例の断面図
で、両ケースが開放状態にあるのを示す。 第２図は、閉鎖状態にある第１図の容器の平面図であ
る。 第３図は、第２図の線３−３にとつた断面図で、両ケー
スが閉鎖状態にあるのを示す。 第４図は、本発明に係る包装容器の他の実施例の断面図
で、第５図の線４−４にとつた断面を示す。 第５図は、第４図の容器の平面図である。 第６図は、被包装物品の取出し態様を説明するフイルム
の側面図である。 第７図及び第８図は、従来の包装容器の断面図である。 2:第１のケース 6:第２のケース 10:フイルム 10a:ベースフイルム 10b:接着剤層 12:フイルム押え手段
で、両ケースが開放状態にあるのを示す。 第２図は、閉鎖状態にある第１図の容器の平面図であ
る。 第３図は、第２図の線３−３にとつた断面図で、両ケー
スが閉鎖状態にあるのを示す。 第４図は、本発明に係る包装容器の他の実施例の断面図
で、第５図の線４−４にとつた断面を示す。 第５図は、第４図の容器の平面図である。 第６図は、被包装物品の取出し態様を説明するフイルム
の側面図である。 第７図及び第８図は、従来の包装容器の断面図である。 2:第１のケース 6:第２のケース 10:フイルム 10a:ベースフイルム 10b:接着剤層 12:フイルム押え手段
Claims (4)
- 【請求項１】半導体ウエーハーの輸送及び保管をなすた
めの包装容器であつて、互いに開閉自在にヒンジ手段に
て連結され、そして閉鎖された時密閉態様で係合して内
部に空間を形成するように構成された第１及び第２のケ
ースと、前記第１のケース内に取出し可能に配置され、
前記第２のケースに対面する側に、ウエーハーを一時的
に接着し得る接着剤層を有したフイルムと、前記両ケー
スが閉鎖され密閉状態に係合された時前記フイルムを押
圧し該フイルムを第１ケース内に保持するフイルム押え
手段とを具備することを特徴とする半導体ウエーハー包
装容器。 - 【請求項２】接着剤は酸化ケイ素のゲルである特許請求
の範囲第１項記載の半導体ウエーハー包装容器。 - 【請求項３】フイルム押え手段は第２ケースに形成され
た突起である特許請求の範囲第１項又は第２項記載の半
導体ウエーハー包装容器。 - 【請求項４】フイルム押え手段はフイルムと第２ケース
との間に設けられた弾性手段である特許請求の範囲第１
項又は第２項記載の半導体ウエーハー包装容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60270808A JPH06102478B2 (ja) | 1985-12-03 | 1985-12-03 | 半導体ウェーハー包装容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60270808A JPH06102478B2 (ja) | 1985-12-03 | 1985-12-03 | 半導体ウェーハー包装容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62135176A JPS62135176A (ja) | 1987-06-18 |
| JPH06102478B2 true JPH06102478B2 (ja) | 1994-12-14 |
Family
ID=17491303
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60270808A Expired - Lifetime JPH06102478B2 (ja) | 1985-12-03 | 1985-12-03 | 半導体ウェーハー包装容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06102478B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ES2101070T3 (es) * | 1992-08-04 | 1997-07-01 | Ibm | Recipientes portatiles estancos a presion para almacenar una rebanada de semiconductor en un ambiente gaseoso protector. |
| JP2815815B2 (ja) * | 1994-10-28 | 1998-10-27 | 一雄 柳川 | 両刃鋸の替刃構造 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60163737U (ja) * | 1984-04-09 | 1985-10-30 | 日本電気株式会社 | 半導体素子収納容器 |
-
1985
- 1985-12-03 JP JP60270808A patent/JPH06102478B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62135176A (ja) | 1987-06-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |