JPH06103163B2 - 走査トンネル顕微鏡を備えた透過型電子顕微鏡 - Google Patents
走査トンネル顕微鏡を備えた透過型電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH06103163B2 JPH06103163B2 JP62317202A JP31720287A JPH06103163B2 JP H06103163 B2 JPH06103163 B2 JP H06103163B2 JP 62317202 A JP62317202 A JP 62317202A JP 31720287 A JP31720287 A JP 31720287A JP H06103163 B2 JPH06103163 B2 JP H06103163B2
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- Japan
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- needle
- inner cylinder
- holder
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は透過型電子顕微鏡に関し、特に、走査トンネル
顕微鏡を備えた透過型電子顕微鏡に関する。
顕微鏡を備えた透過型電子顕微鏡に関する。
〔従来の技術〕 一般に、探針先端の原子と試料の原子の電子雲とが重な
り合うInm程度まで探針を試料に近づけ、この状態で探
針と試料との間に電圧をかけると電流が流れる。この電
流はトンネル電流と呼ばれ、電圧が数mVのとき、１〜10
nA程度である。このトンネル電流の大きさは、試料と探
針との間の距離により変化し、トンネル電流の大きさを
測定することにより試料と探針との間の距離を超精密測
定することができ、探針位置が既知であれば試料の表面
形状を原子レベルで求めることができる。またトンネル
電流が一定になるように探針位置を制御すれば探針位置
軌跡により同様に試料の表面形状を測定することができ
る。
り合うInm程度まで探針を試料に近づけ、この状態で探
針と試料との間に電圧をかけると電流が流れる。この電
流はトンネル電流と呼ばれ、電圧が数mVのとき、１〜10
nA程度である。このトンネル電流の大きさは、試料と探
針との間の距離により変化し、トンネル電流の大きさを
測定することにより試料と探針との間の距離を超精密測
定することができ、探針位置が既知であれば試料の表面
形状を原子レベルで求めることができる。またトンネル
電流が一定になるように探針位置を制御すれば探針位置
軌跡により同様に試料の表面形状を測定することができ
る。
このような原理に基づく走査型トンネル顕微鏡（Scanni
ng Tunnel ling Microscope、略してSTM）は、大気中、
液体中、真空中などどのような状態ででも使用できるた
め、近年、各方面で開発が行われており、このSTMを走
査形電子顕微鏡（SEM）の中に組み込み、二次電子像とS
TM像を得ることを目的にしたものも報告されており、透
過型電子顕微鏡（TEM）においてもSTM像を得ることが望
まれていた。
ng Tunnel ling Microscope、略してSTM）は、大気中、
液体中、真空中などどのような状態ででも使用できるた
め、近年、各方面で開発が行われており、このSTMを走
査形電子顕微鏡（SEM）の中に組み込み、二次電子像とS
TM像を得ることを目的にしたものも報告されており、透
過型電子顕微鏡（TEM）においてもSTM像を得ることが望
まれていた。
走査トンネル顕微鏡においては、STM像を得るとき、探
針の形状が非常に重要な要素であることは知られてお
り、また針の先端の原子の数が安定したトンネル電流を
得るポイントとなっている。
針の形状が非常に重要な要素であることは知られてお
り、また針の先端の原子の数が安定したトンネル電流を
得るポイントとなっている。
この様に大切な針が試料の傍にあるとき、試料に蒸着、
加熱等の加工を行えば、試料から出るガスや蒸着した物
質が針に付着する可能性が大きく、針を汚し、STM像を
得ることが難しくなってしまう。顕微鏡においては試料
を加工することは必ず行われるので、加工時に何らかの
方法で針を保護することはSTMにおいては絶対の要件と
なる。
加熱等の加工を行えば、試料から出るガスや蒸着した物
質が針に付着する可能性が大きく、針を汚し、STM像を
得ることが難しくなってしまう。顕微鏡においては試料
を加工することは必ず行われるので、加工時に何らかの
方法で針を保護することはSTMにおいては絶対の要件と
なる。
しかしながら、従来、試料にベーク、蒸着等の加工を施
した時、針に蒸気や金属が付着するのを防止する手段等
がなかった。
した時、針に蒸気や金属が付着するのを防止する手段等
がなかった。
また、このような走査トンネル顕微鏡をTEMに組み込も
うとしても、TEMはSEMより分解を高くするため、対物レ
ンズポールピースのギャップが狭く、走査トンネル顕微
鏡の探針駆動機構を試料に近付けることや、試料加工時
に試料から探針駆動機構を退避させることが困難であ
る。
うとしても、TEMはSEMより分解を高くするため、対物レ
ンズポールピースのギャップが狭く、走査トンネル顕微
鏡の探針駆動機構を試料に近付けることや、試料加工時
に試料から探針駆動機構を退避させることが困難であ
る。
本発明はこのような従来の問題を解決し、試料加工時の
探針の保護を簡単に行うことのできる走査トンネル顕微
鏡を備えた透過型電子顕微鏡を提供するものである。
探針の保護を簡単に行うことのできる走査トンネル顕微
鏡を備えた透過型電子顕微鏡を提供するものである。
［問題点を解決するための手段］ そのため本発明は、対物レンズの磁極間隙に光軸に対し
て垂直な方向から挿入される試料ホルダーと、試料ホル
ダーに案内されて試料ホルダーの長手方向に沿って挿脱
自在に設けられた内筒と、該内筒に設けられた軸受け部
を中心として光軸方向及び光軸と垂直な方向に回動でき
るように内筒内に配置されたアームと、前記軸受け部か
ら光軸側に延ばされた前記アームの先端に取り付けられ
た走査トンネル顕微鏡の探針駆動機構を備えた透過型電
子顕微鏡を特徴としている。
て垂直な方向から挿入される試料ホルダーと、試料ホル
ダーに案内されて試料ホルダーの長手方向に沿って挿脱
自在に設けられた内筒と、該内筒に設けられた軸受け部
を中心として光軸方向及び光軸と垂直な方向に回動でき
るように内筒内に配置されたアームと、前記軸受け部か
ら光軸側に延ばされた前記アームの先端に取り付けられ
た走査トンネル顕微鏡の探針駆動機構を備えた透過型電
子顕微鏡を特徴としている。
［作用］ 対物レンズの磁極間隙に光軸に対して垂直な方向から挿
入される試料ホルダーと、試料ホルダーに案内されて試
料ホルダーの長手方向に沿って挿脱自在に設けられた内
筒と、該内筒に設けられた軸受け部を中心として光軸方
向及び光軸と垂直な方向に回動できるように内筒内に配
置されたアームと、前記軸受け部から光軸側に延ばされ
た前記アームの先端に取り付けられた走査トンネル顕微
鏡の探針駆動機構を備えるようにしたため、試料加工時
には、探針が試料面から離れるように前記アームを前記
軸受け部を中心として回動させると共に前記内筒を試料
ホルダーに対して移動させて探針を試料の近傍から退さ
せることができ、それにより試料加工時に試料から発生
するガスや蒸着物質等が探針に付着するのを防止するこ
とができ、常に安定したトンネル電流を得ることが可能
になる。
入される試料ホルダーと、試料ホルダーに案内されて試
料ホルダーの長手方向に沿って挿脱自在に設けられた内
筒と、該内筒に設けられた軸受け部を中心として光軸方
向及び光軸と垂直な方向に回動できるように内筒内に配
置されたアームと、前記軸受け部から光軸側に延ばされ
た前記アームの先端に取り付けられた走査トンネル顕微
鏡の探針駆動機構を備えるようにしたため、試料加工時
には、探針が試料面から離れるように前記アームを前記
軸受け部を中心として回動させると共に前記内筒を試料
ホルダーに対して移動させて探針を試料の近傍から退さ
せることができ、それにより試料加工時に試料から発生
するガスや蒸着物質等が探針に付着するのを防止するこ
とができ、常に安定したトンネル電流を得ることが可能
になる。
［実施例］ 以下、実施例を図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すための図であり、同図
（イ）は試料観察状態を示す図、同図（ロ）、（ハ）は
STM走査部を試料から離した状態を示す図である。図
中、１はホルダー、２は試料、３は試料固定台、４はST
M走査部、５はSTM針、11はアーム、12は球、13、14、15
はＯリング溝、16はバー、17は内筒、18はダイアル、19
はロック部材、20はネジ、21はネジ、22はノブ、23は導
線、24はハーメチックシール部、25はくさび、26はピエ
ゾ素子、27はピン、28はネジ、29はバネ、30は導線収納
空間、31は貫通孔、32はＬ字溝である。
（イ）は試料観察状態を示す図、同図（ロ）、（ハ）は
STM走査部を試料から離した状態を示す図である。図
中、１はホルダー、２は試料、３は試料固定台、４はST
M走査部、５はSTM針、11はアーム、12は球、13、14、15
はＯリング溝、16はバー、17は内筒、18はダイアル、19
はロック部材、20はネジ、21はネジ、22はノブ、23は導
線、24はハーメチックシール部、25はくさび、26はピエ
ゾ素子、27はピン、28はネジ、29はバネ、30は導線収納
空間、31は貫通孔、32はＬ字溝である。
ホルダー１内には、試料固定台３が固定され、また内筒
17がホルダー軸方向に摺動可能なように内面に接して設
けられている。内筒17にはＬ字形の溝32が設けられ、そ
こにホルダーに固定されたピン27が嵌合しており、この
Ｌ字形の溝は内筒の摺動方向と、これに直角方向の溝か
らなっており、摺動方向の溝長分だけ内筒の摺動が可能
である。そして、摺動方向と直角方向の溝とピン27とを
嵌合させることにより摺動方向の動きをロックすること
ができるようになっている。試料２は、その面がホルダ
ー１の中心軸に一致するように試料固定台３に固定さ
れ、これに対向して針５がSTM走査部４の先端に取り付
けられ、STM走査部４はアーム11に固定されている。内
筒17の先端部には真空シール用のＯリング溝13を設けた
テーパ部が設けられ、アーム11と一体の球12を気密状態
を保持して回動自在に受けるようになっている。そして
球12にはバー16が一体に設けられ、その先端はフリー
で、バネ28により上方へ付勢されると共に、ネジ21で下
方へ押下げられるようになっている。したがって、ネジ
21を回してバー16の自由端を上下に動かすことにより、
球12を支点としてアーム11を動かすことができ、針５を
試料に近づけたり離したりすることができる。また紙面
に垂直にネジ21を同様のネジ（図示せず）が設けてあ
り、このネジを操作することにより針５を試料面に沿っ
て移動でき、視野探しを行うことができる。
17がホルダー軸方向に摺動可能なように内面に接して設
けられている。内筒17にはＬ字形の溝32が設けられ、そ
こにホルダーに固定されたピン27が嵌合しており、この
Ｌ字形の溝は内筒の摺動方向と、これに直角方向の溝か
らなっており、摺動方向の溝長分だけ内筒の摺動が可能
である。そして、摺動方向と直角方向の溝とピン27とを
嵌合させることにより摺動方向の動きをロックすること
ができるようになっている。試料２は、その面がホルダ
ー１の中心軸に一致するように試料固定台３に固定さ
れ、これに対向して針５がSTM走査部４の先端に取り付
けられ、STM走査部４はアーム11に固定されている。内
筒17の先端部には真空シール用のＯリング溝13を設けた
テーパ部が設けられ、アーム11と一体の球12を気密状態
を保持して回動自在に受けるようになっている。そして
球12にはバー16が一体に設けられ、その先端はフリー
で、バネ28により上方へ付勢されると共に、ネジ21で下
方へ押下げられるようになっている。したがって、ネジ
21を回してバー16の自由端を上下に動かすことにより、
球12を支点としてアーム11を動かすことができ、針５を
試料に近づけたり離したりすることができる。また紙面
に垂直にネジ21を同様のネジ（図示せず）が設けてあ
り、このネジを操作することにより針５を試料面に沿っ
て移動でき、視野探しを行うことができる。
これらアーム11、球12、バー16は、ホルダー１の中心軸
から外れた偏心位置（図では上側）に設けられ、その下
方に導線23の収納空間30を形成するようにしている。ま
た内筒17とホルダー１との間は真空シール用のＯリング
溝14が形成され、これとＯリング溝13とにより試料側を
真空に保持し、また、STM走査部駆動用及びトンネル電
流取り出し用の導線23の為のハーメチックシール部24が
形成されている。また内筒17は、ダイアル18のネジ部と
噛み合うネジ20を有し、ダイアル18を回すと内筒17はピ
ン27により回転できないため、軸方向に移動する。この
移動により試料の軸方向の視野探しを行うことができ
る。また内筒17の内面にはテーパ状先端部が球12の所ま
で伸びると共に、ネジ21が貫通する貫通孔31が設けられ
たロック部材19が設けられ、また後端部には、ノブ22が
取付けられるネジ28が設けられ、ロック部材の後端と接
している。そして、ノブ22を回し、ロック部材19を押す
ことにより、ロック部材先端のテーパが球12を押圧して
固定し、アーム11を動き難くして剛性を上げられるよう
になっている。
から外れた偏心位置（図では上側）に設けられ、その下
方に導線23の収納空間30を形成するようにしている。ま
た内筒17とホルダー１との間は真空シール用のＯリング
溝14が形成され、これとＯリング溝13とにより試料側を
真空に保持し、また、STM走査部駆動用及びトンネル電
流取り出し用の導線23の為のハーメチックシール部24が
形成されている。また内筒17は、ダイアル18のネジ部と
噛み合うネジ20を有し、ダイアル18を回すと内筒17はピ
ン27により回転できないため、軸方向に移動する。この
移動により試料の軸方向の視野探しを行うことができ
る。また内筒17の内面にはテーパ状先端部が球12の所ま
で伸びると共に、ネジ21が貫通する貫通孔31が設けられ
たロック部材19が設けられ、また後端部には、ノブ22が
取付けられるネジ28が設けられ、ロック部材の後端と接
している。そして、ノブ22を回し、ロック部材19を押す
ことにより、ロック部材先端のテーパが球12を押圧して
固定し、アーム11を動き難くして剛性を上げられるよう
になっている。
また内筒17のホルダー１との接触面の一部にテーパを持
った溝が設けられ、この溝にはくさび25と、くさびを押
す積層型のピエゾ素子26が設けられ、ピエゾ素子26を駆
動して伸ばすことによりくさび25を押し、内筒17とホル
ダー１との間に圧入させることにより内筒17をロックし
て剛性を上げる構造となっている。
った溝が設けられ、この溝にはくさび25と、くさびを押
す積層型のピエゾ素子26が設けられ、ピエゾ素子26を駆
動して伸ばすことによりくさび25を押し、内筒17とホル
ダー１との間に圧入させることにより内筒17をロックし
て剛性を上げる構造となっている。
このような構成において、図示しないサイドエントリゴ
ニオメータにホルダー１を挿入し、ホルダーを移動させ
ることにより試料移動を行って視野探しを行い、反射像
観察法により試料面を観察する。こうして得られた反射
像の中でさらにSTMにより観察したい領域を設定し、ダ
イアル18で軸方向移動、ネジ21で試料との接近、ネジ21
と同様の図示しない紙面に直交するネジで試料面に沿っ
た方向の針の移動を行う。ネジ21で針５を試料に近づけ
る場合、TEM法で試料と針のギャップを観察しながらト
ンネル電流を検出できる距離まで接近させるようにすれ
ば、針を試料に衝突させて針と試料に損傷を与えること
を防ぐことができる。こうして、針のセットを行った
後、ノブ22を回してロック部材19を押して球12、アーム
11を固定し、さらにピエゾ素子26を駆動して内筒17を固
定することにより全体として剛性を上げてSTM走査の耐
振性を良くしてSTM法による超精密測定を行う。
ニオメータにホルダー１を挿入し、ホルダーを移動させ
ることにより試料移動を行って視野探しを行い、反射像
観察法により試料面を観察する。こうして得られた反射
像の中でさらにSTMにより観察したい領域を設定し、ダ
イアル18で軸方向移動、ネジ21で試料との接近、ネジ21
と同様の図示しない紙面に直交するネジで試料面に沿っ
た方向の針の移動を行う。ネジ21で針５を試料に近づけ
る場合、TEM法で試料と針のギャップを観察しながらト
ンネル電流を検出できる距離まで接近させるようにすれ
ば、針を試料に衝突させて針と試料に損傷を与えること
を防ぐことができる。こうして、針のセットを行った
後、ノブ22を回してロック部材19を押して球12、アーム
11を固定し、さらにピエゾ素子26を駆動して内筒17を固
定することにより全体として剛性を上げてSTM走査の耐
振性を良くしてSTM法による超精密測定を行う。
次に試料加工時の針逃しについて説明する。
先ず、微動による針逃しについて説明すると、ネジ21を
回して針５を試料２から離し、周囲に当たらなくなる状
態にしてダイアル18を回すことにより内筒17を引き込ん
で針を試料から離し、第１図（ロ）に示す状態とし、こ
の状態で試料のベーク、蒸着等を行えば、針が試料面か
ら離れているので金属や蒸気が針に付着する等の悪影響
を防止することができる。
回して針５を試料２から離し、周囲に当たらなくなる状
態にしてダイアル18を回すことにより内筒17を引き込ん
で針を試料から離し、第１図（ロ）に示す状態とし、こ
の状態で試料のベーク、蒸着等を行えば、針が試料面か
ら離れているので金属や蒸気が針に付着する等の悪影響
を防止することができる。
また粗動による針逃しについて説明すると、内筒17を手
動で引き出すと、最大引き出し位置ではピン27がＬ字形
溝32の摺動方向と直角方向の溝位置になるので、その位
置で90゜回転させることによりＬ字形溝の摺動方向と直
角方向の溝にピン27を嵌合させてロックすることができ
る（第１図（ハ））。この方法によれば、素早く針を試
料面から逃すことができる。なお、ピン27を内筒側に設
け、Ｌ字形溝をホルダー側に設けてもよい。
動で引き出すと、最大引き出し位置ではピン27がＬ字形
溝32の摺動方向と直角方向の溝位置になるので、その位
置で90゜回転させることによりＬ字形溝の摺動方向と直
角方向の溝にピン27を嵌合させてロックすることができ
る（第１図（ハ））。この方法によれば、素早く針を試
料面から逃すことができる。なお、ピン27を内筒側に設
け、Ｌ字形溝をホルダー側に設けてもよい。
なお、上記実施例における針の逃しは、ネジによる駆動
力、手動で引き抜く例について説明したが、てこの原理
を使用したり、ピエゾ素子を用いて行う等、駆動機構は
どのような手段を使用してもよい。また上記実施例では
電子顕微鏡に組み込むために針を真空状態内に置く例に
ついて説明したが、STM単独で使用する場合は大気開放
になっていてもよい。さらに上記実施列では反射像によ
る観察についてのホルダー構成について説明したが、透
過像による観察の場合のホルダー構成も、針と試料面と
の角度が変わるだけで他の構成は全く同様である。
力、手動で引き抜く例について説明したが、てこの原理
を使用したり、ピエゾ素子を用いて行う等、駆動機構は
どのような手段を使用してもよい。また上記実施例では
電子顕微鏡に組み込むために針を真空状態内に置く例に
ついて説明したが、STM単独で使用する場合は大気開放
になっていてもよい。さらに上記実施列では反射像によ
る観察についてのホルダー構成について説明したが、透
過像による観察の場合のホルダー構成も、針と試料面と
の角度が変わるだけで他の構成は全く同様である。
第２図（イ）は本発明の走査トンネル顕微鏡の針逃し機
構を透過形電子顕微鏡に組み込み、反射像を得る場合の
概略構成を示す図、第２図（ロ）は電子線の軌跡を示す
図で、図中、６は対物レンズ（OL）ポールピース、７は
光軸、８は偏向器、8a,8bは第１、第２偏向器、９は対
物レンズである。
構を透過形電子顕微鏡に組み込み、反射像を得る場合の
概略構成を示す図、第２図（ロ）は電子線の軌跡を示す
図で、図中、６は対物レンズ（OL）ポールピース、７は
光軸、８は偏向器、8a,8bは第１、第２偏向器、９は対
物レンズである。
第１図で説明したホルダー１は、図示しないサイドエン
トリゴニオメータにより移動させられて試料２を所定位
置にセットするようになっている。このホルダー１内に
は、試料２が試料固定台３に図示のように取りつけら
れ、またピエゾ素子からなるSTM走査部４が収納され、S
TM針５が試料１に対向して設けられている。このSTM走
査部４は1.6mm×3mm×5mm程度のもので、ホルダー１内
に十分収納可能である。
トリゴニオメータにより移動させられて試料２を所定位
置にセットするようになっている。このホルダー１内に
は、試料２が試料固定台３に図示のように取りつけら
れ、またピエゾ素子からなるSTM走査部４が収納され、S
TM針５が試料１に対向して設けられている。このSTM走
査部４は1.6mm×3mm×5mm程度のもので、ホルダー１内
に十分収納可能である。
このような構成において、光軸に沿って試料面に平行に
放出された電子線が、対物レンズ９の前方磁場と対物レ
ンズ上方に設置された偏向器８により曲げられかつ集束
されて試料面にある角度を持ってスポット状に照射され
そこで反射されたピームは光軸上を通って対物レンズ下
方に反射像を結像する。（第２図ロ）、その反射像が図
示しない感光面状に結像されて試料面の観察が行われ
る。このとき、試料面が光軸に平行であるために、凹凸
部分が電子線に対して影となるために、その形状に対応
して縞が観察される。この凹凸の程度はSTM走査部４を
駆動してSTM走査針５により超精密に測定される。この
場合、前述したようにSTMの分解能は原子レベルである
ので、STM針の許容される振動の振幅は0.1Å以下である
が、本発明においては試料と針とが１つのホルダー内に
固定されているため耐振上極めて有利となる。
放出された電子線が、対物レンズ９の前方磁場と対物レ
ンズ上方に設置された偏向器８により曲げられかつ集束
されて試料面にある角度を持ってスポット状に照射され
そこで反射されたピームは光軸上を通って対物レンズ下
方に反射像を結像する。（第２図ロ）、その反射像が図
示しない感光面状に結像されて試料面の観察が行われ
る。このとき、試料面が光軸に平行であるために、凹凸
部分が電子線に対して影となるために、その形状に対応
して縞が観察される。この凹凸の程度はSTM走査部４を
駆動してSTM走査針５により超精密に測定される。この
場合、前述したようにSTMの分解能は原子レベルである
ので、STM針の許容される振動の振幅は0.1Å以下である
が、本発明においては試料と針とが１つのホルダー内に
固定されているため耐振上極めて有利となる。
第３図は本発明の走査トンネル顕微鏡を備えた透過型電
子顕微鏡により透過像を得る場合の他の実施例を示すた
めの図である。
子顕微鏡により透過像を得る場合の他の実施例を示すた
めの図である。
本実施例の場合には透過像を得るために試料面が光軸に
対して直角になっており、そのためSTM針が図示のよう
に角度をもって試料面に対向している点以外は第２図の
場合と同様である。
対して直角になっており、そのためSTM針が図示のよう
に角度をもって試料面に対向している点以外は第２図の
場合と同様である。
（発明の効果） 本発明においては、対物レンズの磁極間隙に光軸に対し
て垂直な方向から挿入される試料ホルダーと、試料ホル
ダーに案内されて試料ホルダーの長手方向に沿って挿脱
自在に設けられた内筒と、該内筒に設けられた軸受け部
を中心として光軸方向及び光軸と垂直な方向に回動でき
るように内筒内に配置されたアームと、前記軸受け部か
ら光軸側に延ばされた前記アームの先端に取り付けられ
た走査トンネル顕微鏡の探針駆動機構を備えるようにし
たため、試料加工時には、探針が試料面から離れるよう
に前記アームを前記軸受け部を中心として回動させると
共に前記内筒を試料ホルダーに対して移動させて探針を
試料の近傍から退避させることができ、それにより試料
加工時に試料から発生するガスや蒸着物質等が探針に付
着するのを防止することができ、常に安定したトンネル
電流を得ることが可能になる。そのため、試料を種々加
工してその透過電子顕微鏡像を観察できると共に、走査
トンネル顕微鏡像をも常に良質な像で観察することが可
能になる。
て垂直な方向から挿入される試料ホルダーと、試料ホル
ダーに案内されて試料ホルダーの長手方向に沿って挿脱
自在に設けられた内筒と、該内筒に設けられた軸受け部
を中心として光軸方向及び光軸と垂直な方向に回動でき
るように内筒内に配置されたアームと、前記軸受け部か
ら光軸側に延ばされた前記アームの先端に取り付けられ
た走査トンネル顕微鏡の探針駆動機構を備えるようにし
たため、試料加工時には、探針が試料面から離れるよう
に前記アームを前記軸受け部を中心として回動させると
共に前記内筒を試料ホルダーに対して移動させて探針を
試料の近傍から退避させることができ、それにより試料
加工時に試料から発生するガスや蒸着物質等が探針に付
着するのを防止することができ、常に安定したトンネル
電流を得ることが可能になる。そのため、試料を種々加
工してその透過電子顕微鏡像を観察できると共に、走査
トンネル顕微鏡像をも常に良質な像で観察することが可
能になる。
【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の走査トンネル顕微鏡を備えた透過型電
子顕微鏡の一実施例を示す図で、同図（イ）は試料観察
状態を示す図、同図（ロ）、（ハ）はSTM走査部を試料
から離した状態を示す図、第２図（イ）は反射像を得る
場合の一実施例をす図、第２図（ロ）は電子線の軌跡を
示す図、第３図は透過像を得る場合の実施例を示すため
の図である。 １……ホルダー、２……試料、３……試料固定台、４…
…STM走査部、５……STM針、６……対物レンズ（OL）ポ
ールピース、７……光軸、11……アーム、12……球、16
……バー、17……内筒、18……ダイアル、19……ロック
部材、22……ノブ、23……導線、28……ネジ、27……ピ
ン、32……Ｌ字形溝。
子顕微鏡の一実施例を示す図で、同図（イ）は試料観察
状態を示す図、同図（ロ）、（ハ）はSTM走査部を試料
から離した状態を示す図、第２図（イ）は反射像を得る
場合の一実施例をす図、第２図（ロ）は電子線の軌跡を
示す図、第３図は透過像を得る場合の実施例を示すため
の図である。 １……ホルダー、２……試料、３……試料固定台、４…
…STM走査部、５……STM針、６……対物レンズ（OL）ポ
ールピース、７……光軸、11……アーム、12……球、16
……バー、17……内筒、18……ダイアル、19……ロック
部材、22……ノブ、23……導線、28……ネジ、27……ピ
ン、32……Ｌ字形溝。
Claims (1)
- 【請求項１】対物レンズの磁極間隙に光軸に対して垂直
な方向から挿入される試料ホルダーと、試料ホルダーに
案内されて試料ホルダーの長手方向に沿って挿脱自在に
設けられた内筒と、該内筒に設けられた軸受け部を中心
として光軸方向及び光軸と垂直な方向に回動できるよう
に内筒内に配置されたアームと、前記軸受け部から光軸
側に延ばされた前記アームの先端に取り付けられた走査
トンネル顕微鏡の探針駆動機構を備えた透過型電子顕微
鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62317202A JPH06103163B2 (ja) | 1987-12-15 | 1987-12-15 | 走査トンネル顕微鏡を備えた透過型電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62317202A JPH06103163B2 (ja) | 1987-12-15 | 1987-12-15 | 走査トンネル顕微鏡を備えた透過型電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01156604A JPH01156604A (ja) | 1989-06-20 |
| JPH06103163B2 true JPH06103163B2 (ja) | 1994-12-14 |
Family
ID=18085603
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62317202A Expired - Fee Related JPH06103163B2 (ja) | 1987-12-15 | 1987-12-15 | 走査トンネル顕微鏡を備えた透過型電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06103163B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3553318B2 (ja) * | 1997-05-20 | 2004-08-11 | 日本電子株式会社 | ホルダ保持装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57147709U (ja) * | 1981-03-14 | 1982-09-17 | ||
| JPS59194258U (ja) * | 1983-06-13 | 1984-12-24 | 日本電子株式会社 | 光学顕微鏡を具えた走査電子顕微鏡 |
| JPS6234746A (ja) * | 1985-08-06 | 1987-02-14 | Canon Inc | 微小距離駆動装置 |
-
1987
- 1987-12-15 JP JP62317202A patent/JPH06103163B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01156604A (ja) | 1989-06-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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