JPH0624110B2 - 反射型電子顕微鏡用走査トンネル顕微鏡 - Google Patents
反射型電子顕微鏡用走査トンネル顕微鏡Info
- Publication number
- JPH0624110B2 JPH0624110B2 JP62288079A JP28807987A JPH0624110B2 JP H0624110 B2 JPH0624110 B2 JP H0624110B2 JP 62288079 A JP62288079 A JP 62288079A JP 28807987 A JP28807987 A JP 28807987A JP H0624110 B2 JPH0624110 B2 JP H0624110B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- microscope
- stm
- needle
- scanning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は走査トンネル顕微鏡に係わり、特に反射型電子
顕微鏡に組み込むようにした走査トンネル顕微鏡に関す
るものである。
顕微鏡に組み込むようにした走査トンネル顕微鏡に関す
るものである。
一般に、探針先端の原子と試料の原子の電子雲とが重な
り合う１nm程度まで探針を試料に近づけ、この状態で探
針と試料との間に電圧をかけると電流が流れる。この電
流はトンネンル電流と呼ばれ、電圧が１ｍＶのとき、１
〜１０ｍＡ程度である。このトンネル電流の大きさは、
試料と探針との間の距離により変化し、トンネル電流の
大きさを測定することにより試料と探針との間の距離を
超精密測定することができ、探針位置が既知であれば試
料の表面形状を原子レベルで求めることができる。また
トンネル電流が一定になるように探針位置を制御すれば
探針位置軌跡により同様に試料の表面形状を測定するこ
とができる。
り合う１nm程度まで探針を試料に近づけ、この状態で探
針と試料との間に電圧をかけると電流が流れる。この電
流はトンネンル電流と呼ばれ、電圧が１ｍＶのとき、１
〜１０ｍＡ程度である。このトンネル電流の大きさは、
試料と探針との間の距離により変化し、トンネル電流の
大きさを測定することにより試料と探針との間の距離を
超精密測定することができ、探針位置が既知であれば試
料の表面形状を原子レベルで求めることができる。また
トンネル電流が一定になるように探針位置を制御すれば
探針位置軌跡により同様に試料の表面形状を測定するこ
とができる。
このような原理に基づく走査型トンネル顕微鏡（Scanni
ng Tunnel Microscope 、略してＳＴＭ）は、大気中、
液体中、真空中などどのような状態ででも使用できるた
め、近年、各方面で開発が行われている。
ng Tunnel Microscope 、略してＳＴＭ）は、大気中、
液体中、真空中などどのような状態ででも使用できるた
め、近年、各方面で開発が行われている。
このようなＳＴＭを走査形電子顕微鏡（ＳＥＭ）の中に
組み込み、二次電子像とＳＴＭ像を得ることを目的にし
たものの報告がある。
組み込み、二次電子像とＳＴＭ像を得ることを目的にし
たものの報告がある。
ところで、ＳＴＭで像を観察したり評価しようとする
と、ＳＴＭ単体では試料のどの位置を観察しているか分
からないという問題がある。そこで、ＳＥＭとＳＴＭを
組み合わせ、ＳＥＭで視野探しを行わせるようにするこ
とが考えられる。
と、ＳＴＭ単体では試料のどの位置を観察しているか分
からないという問題がある。そこで、ＳＥＭとＳＴＭを
組み合わせ、ＳＥＭで視野探しを行わせるようにするこ
とが考えられる。
ＳＥＭでの観察は、凹凸の変化の大きい試料には非常に
有効であるが、凹凸の小さい試料では二次電子の発生度
合の違いが小さく、そのため観察が難しい。このため、
ＳＴＭに必要な平らな面を探すことにはあまり向いてい
ない。
有効であるが、凹凸の小さい試料では二次電子の発生度
合の違いが小さく、そのため観察が難しい。このため、
ＳＴＭに必要な平らな面を探すことにはあまり向いてい
ない。
またＳＥＭによる観察では、高分解能像を得るために
は、ビームを絞らねばならず、試料ダメージ、コンタミ
ネーションが問題となり、表面状態を変えてしまう可能
性が大で、この点でもＳＴＭには不向きである。
は、ビームを絞らねばならず、試料ダメージ、コンタミ
ネーションが問題となり、表面状態を変えてしまう可能
性が大で、この点でもＳＴＭには不向きである。
一方、反射型電子顕微鏡（ＲＥＭ）においてもＳＴＭ像
を得ることが望まれていた。しかしながら、ＲＥＭはＳ
ＥＭより、対物レンズポールピースのギャップが狭く、
ＳＴＭ走査部が入らないことや、試料と針を近づける手
段、試料の良い視野に針を移動させる手段、試料にベー
ク、蒸着等の加工を施した時、針に蒸気や金属が付着す
るのを防止する手段等がなく、またＳＴＭ走査部の剛性
を上げて耐振性を良くする方法がないためにＲＥＭにＳ
ＴＭを組み込むことはできなかった。
を得ることが望まれていた。しかしながら、ＲＥＭはＳ
ＥＭより、対物レンズポールピースのギャップが狭く、
ＳＴＭ走査部が入らないことや、試料と針を近づける手
段、試料の良い視野に針を移動させる手段、試料にベー
ク、蒸着等の加工を施した時、針に蒸気や金属が付着す
るのを防止する手段等がなく、またＳＴＭ走査部の剛性
を上げて耐振性を良くする方法がないためにＲＥＭにＳ
ＴＭを組み込むことはできなかった。
本発明は上記問題点を解決するためのもので、ＲＥＭに
ＳＴＭを組み込み、試料の電子顕微鏡による観察とトン
ネル現象を利用した超精密測定とを可能にした反射型電
子顕微鏡用トンネル顕微鏡を提供することを目的とす
る。
ＳＴＭを組み込み、試料の電子顕微鏡による観察とトン
ネル現象を利用した超精密測定とを可能にした反射型電
子顕微鏡用トンネル顕微鏡を提供することを目的とす
る。
そのために本発明の反射型電子顕微鏡用走査トンネル顕
微鏡は、試料表面が光軸に平行になるように試料を保持
した試料ホルダー中に、探針を備えた走査トンネル顕微
鏡走査機構を配置した反射型電子顕微鏡用走査トンネル
顕微鏡であって、電子線を偏向する偏向手段を備え、前
記偏向手段を動作させて電子線を試料表面に当てて反射
電子顕微鏡法により試料表面像を得ると共に、走査トン
ネル顕微鏡により試料表面の観察を行うようにしたこと
を特徴とする。
微鏡は、試料表面が光軸に平行になるように試料を保持
した試料ホルダー中に、探針を備えた走査トンネル顕微
鏡走査機構を配置した反射型電子顕微鏡用走査トンネル
顕微鏡であって、電子線を偏向する偏向手段を備え、前
記偏向手段を動作させて電子線を試料表面に当てて反射
電子顕微鏡法により試料表面像を得ると共に、走査トン
ネル顕微鏡により試料表面の観察を行うようにしたこと
を特徴とする。
本発明の反射型電子顕微鏡用トンネル顕微鏡は、反射電
子顕微鏡法により視野探しを行い、さらに走査トンネル
顕微鏡により試料表面の超精密観察を行うものであり、
電子線を試料表面に平行に照射することにより探針と試
料表面との間の透過像を得ることにより探針と試料表面
間の間隔を測定することが可能となる。
子顕微鏡法により視野探しを行い、さらに走査トンネル
顕微鏡により試料表面の超精密観察を行うものであり、
電子線を試料表面に平行に照射することにより探針と試
料表面との間の透過像を得ることにより探針と試料表面
間の間隔を測定することが可能となる。
以下、実施例を図面を参照して説明する。
第１図は本発明の反射型電子顕微鏡用走査トンネル顕微
鏡により反射像を得る場合の概略構成を示す図、第２図
は電子線の軌跡を示す図で、図中、１はホルダー、２は
試料、３は試料固定台、４はＳＴＭ走査部、５はＳＴＭ
針、６は対物レンズ（ＯＬ）ポールピース、７は光軸、
８は偏向器、８ａ、８ｂは第１、第２偏向器、９は対物
レンズである。
鏡により反射像を得る場合の概略構成を示す図、第２図
は電子線の軌跡を示す図で、図中、１はホルダー、２は
試料、３は試料固定台、４はＳＴＭ走査部、５はＳＴＭ
針、６は対物レンズ（ＯＬ）ポールピース、７は光軸、
８は偏向器、８ａ、８ｂは第１、第２偏向器、９は対物
レンズである。
ホルダー１（詳細は後述する）は、図示しないサイドエ
ントリゴニオメータにより移動させられて試料２を所定
位置にセットするようになっている。このホルダー１内
には、試料２が試料固定台３に図示のように取りつけら
れ、またピエゾ素子からなるＳＴＭ走査部４が収納さ
れ、ＳＴＭ針５が試料１に対向して設けられている。こ
のＳＴＭ走査部４は、約１．６mm×３mm×５mm程度のも
ので、ホルダー１内に十分収納可能なように構成されて
いる。
ントリゴニオメータにより移動させられて試料２を所定
位置にセットするようになっている。このホルダー１内
には、試料２が試料固定台３に図示のように取りつけら
れ、またピエゾ素子からなるＳＴＭ走査部４が収納さ
れ、ＳＴＭ針５が試料１に対向して設けられている。こ
のＳＴＭ走査部４は、約１．６mm×３mm×５mm程度のも
ので、ホルダー１内に十分収納可能なように構成されて
いる。
このような構成において、第２図に示すように光軸に沿
って試料面に平行に放出された電子線が、対物レンズ９
の前方磁場と対物レンズ上方に設置された偏向器８によ
り曲げられかつ集束されて試料面にある角度を持ってス
ポット状に照射され、そこで反射されたビームは光軸上
を通って対物レンズ下方に反射像を結像する。その反射
像が図示しない感光面状に結像されて試料面の観察が行
われる。このとき、試料面が光軸に平行であるために、
凹凸部分が電子線に対して影となるために、その形状に
対応して縞が観察される。この凹凸の程度はＳＴＭ走査
部４を駆動してＳＴＭ走査針５により超精密に測定され
る。この場合、前述したようにＳＴＭの分解能は原子レ
ベルであるので、ＳＴＭ針の許容される振動の振幅は
０．１Å以下であるが、本発明においては試料と針とが
１つのホルダー内に固定されているため耐振上極めて有
利となる。
って試料面に平行に放出された電子線が、対物レンズ９
の前方磁場と対物レンズ上方に設置された偏向器８によ
り曲げられかつ集束されて試料面にある角度を持ってス
ポット状に照射され、そこで反射されたビームは光軸上
を通って対物レンズ下方に反射像を結像する。その反射
像が図示しない感光面状に結像されて試料面の観察が行
われる。このとき、試料面が光軸に平行であるために、
凹凸部分が電子線に対して影となるために、その形状に
対応して縞が観察される。この凹凸の程度はＳＴＭ走査
部４を駆動してＳＴＭ走査針５により超精密に測定され
る。この場合、前述したようにＳＴＭの分解能は原子レ
ベルであるので、ＳＴＭ針の許容される振動の振幅は
０．１Å以下であるが、本発明においては試料と針とが
１つのホルダー内に固定されているため耐振上極めて有
利となる。
また、ＳＴＭ針を試料面に対して１nm程度の間隔で走査
するので、両者が衝突しないようにする必要があるが、
電子線を試料面と平行に照射して試料面とＳＴＭ針の透
過像を得るようにすれば、両者間の間隔を測定すること
ができ、ＳＴＭ針と試料面との衝突を防止することがで
きる。
するので、両者が衝突しないようにする必要があるが、
電子線を試料面と平行に照射して試料面とＳＴＭ針の透
過像を得るようにすれば、両者間の間隔を測定すること
ができ、ＳＴＭ針と試料面との衝突を防止することがで
きる。
第３図は本発明におけるホルダーの一実施例を示す図
で、同図（イ）は試料観察状態を示す図、同図（ロ）は
ＳＴＭ走査部を試料から離した状態を示す図で、第１図
と同一番号は同一内容を示している。なお、１１はアー
ム、１２は球、１３、１４、１５はＯリング溝、１６は
バー、１７は内筒、１８はダイアル、１９はロック部
材、２０はネジ、２１はネジ、２２はノブ、２３は導
線、２４はハーメチックシール部、２５はくさび、２６
はピエゾ素子、２７はピン、２８はネジ、２９はバネ、
３０は導線収納空間、３１は貫通孔である。
で、同図（イ）は試料観察状態を示す図、同図（ロ）は
ＳＴＭ走査部を試料から離した状態を示す図で、第１図
と同一番号は同一内容を示している。なお、１１はアー
ム、１２は球、１３、１４、１５はＯリング溝、１６は
バー、１７は内筒、１８はダイアル、１９はロック部
材、２０はネジ、２１はネジ、２２はノブ、２３は導
線、２４はハーメチックシール部、２５はくさび、２６
はピエゾ素子、２７はピン、２８はネジ、２９はバネ、
３０は導線収納空間、３１は貫通孔である。
本発明のホルダー構成は、ホルダー１の中に、Ｘ、Ｙ、
Ｚ３軸の試料移動機構を設け、そこにＳＴＭ走査部４、
針５を設けたものである。なお、光軸は紙面に垂直方
向、即ち試料面に平行になっている。
Ｚ３軸の試料移動機構を設け、そこにＳＴＭ走査部４、
針５を設けたものである。なお、光軸は紙面に垂直方
向、即ち試料面に平行になっている。
ホルダー１内には、試料固定台３が固定され、また内筒
１７がホルダー軸方向に摺動可能なように内面に接して
設けられている。試料２は、その面がホルダー１の中心
軸に一致するように試料固定台３に固定され、これに対
向して針５がＳＴＭ走査部４の先端に取り付けられ、Ｓ
ＴＭ走査部４はアーム１１に固定されている。内筒１７
の先端部には真空シール用のＯリング溝１３を設けたテ
ーパ部が設けられ、アーム１１と一体の球１２を気密状
態を保持して回動自在に受けるようになっている。そし
て球１２にはバー１６が一体に設けられ、その先端はフ
リーで、バネ２８により上方へ付勢されると共に、ネジ
２１で下方へ押下げられるようになっている。したがっ
て、ネジ２１を回してバー１６の自由端を上下に動かす
ことにより、球１２を支点としてアーム１１を動かすこ
とができ、針５を試料に近づけたり離したりすることが
できる。また紙面に垂直にネジ２１と同様のネジ（図示
せず）が設けてあり、このネジを操作することにより針
５を試料面に沿って移動でき、視野探しを行うことがで
きる。
１７がホルダー軸方向に摺動可能なように内面に接して
設けられている。試料２は、その面がホルダー１の中心
軸に一致するように試料固定台３に固定され、これに対
向して針５がＳＴＭ走査部４の先端に取り付けられ、Ｓ
ＴＭ走査部４はアーム１１に固定されている。内筒１７
の先端部には真空シール用のＯリング溝１３を設けたテ
ーパ部が設けられ、アーム１１と一体の球１２を気密状
態を保持して回動自在に受けるようになっている。そし
て球１２にはバー１６が一体に設けられ、その先端はフ
リーで、バネ２８により上方へ付勢されると共に、ネジ
２１で下方へ押下げられるようになっている。したがっ
て、ネジ２１を回してバー１６の自由端を上下に動かす
ことにより、球１２を支点としてアーム１１を動かすこ
とができ、針５を試料に近づけたり離したりすることが
できる。また紙面に垂直にネジ２１と同様のネジ（図示
せず）が設けてあり、このネジを操作することにより針
５を試料面に沿って移動でき、視野探しを行うことがで
きる。
これらアーム１１、球１２、バー１６は、ホルダー１の
中心軸から外れた偏心位置（図では上側）に設けられ、
その下方に導線２３の収納空間３０を形成するようにし
ている。また内筒１７とホルダー１との間は真空シール
用のＯリング溝１４が形成され、これとＯリング溝１３
とにより試料側を真空に保持し、また、ＳＴＭ走査部駆
動用及びトンネル電流取り出し用の導線２３の為のハー
メチックシール部２４が形成されている。また内筒１７
は、ダイアル１８のネジ部と噛み合うネジ２０を有し、
ダイアル１８を回すと内筒１７はピン２７により回転で
きないため、軸方向に移動する。この移動により試料の
軸方向の視野探しを行うことができる。また内筒１７の
内面にはテーパ状先端部が球１２の所まで伸びると共
に、ネジ２１が貫通する貫通孔３１が設けられたロック
部材１９が設けられ、また後端部には、ノブ２２が取付
けられるネジ２８が設けられ、ロック部材の後端と接し
ている。そして、ノブ２２を回し、ロック部材１９を押
すことにより、ロック部材先端のテーパが球１２を押圧
して固定し、アーム１１を動き難くして剛性を上げられ
るようになっている。
中心軸から外れた偏心位置（図では上側）に設けられ、
その下方に導線２３の収納空間３０を形成するようにし
ている。また内筒１７とホルダー１との間は真空シール
用のＯリング溝１４が形成され、これとＯリング溝１３
とにより試料側を真空に保持し、また、ＳＴＭ走査部駆
動用及びトンネル電流取り出し用の導線２３の為のハー
メチックシール部２４が形成されている。また内筒１７
は、ダイアル１８のネジ部と噛み合うネジ２０を有し、
ダイアル１８を回すと内筒１７はピン２７により回転で
きないため、軸方向に移動する。この移動により試料の
軸方向の視野探しを行うことができる。また内筒１７の
内面にはテーパ状先端部が球１２の所まで伸びると共
に、ネジ２１が貫通する貫通孔３１が設けられたロック
部材１９が設けられ、また後端部には、ノブ２２が取付
けられるネジ２８が設けられ、ロック部材の後端と接し
ている。そして、ノブ２２を回し、ロック部材１９を押
すことにより、ロック部材先端のテーパが球１２を押圧
して固定し、アーム１１を動き難くして剛性を上げられ
るようになっている。
また内筒１７のホルダー１との接触面の一部にテーパ部
を持った溝が設けられ、この溝にはくさび２５と、くさ
びを押す積層型のピエゾ素子２６が設けられ、ピエゾ素
子２６を駆動して伸ばすことによりくさび２５を押し、
内筒１７とホルダー１との間に圧入させることにより内
筒１７をロックして剛性を上げる構造となっている。
を持った溝が設けられ、この溝にはくさび２５と、くさ
びを押す積層型のピエゾ素子２６が設けられ、ピエゾ素
子２６を駆動して伸ばすことによりくさび２５を押し、
内筒１７とホルダー１との間に圧入させることにより内
筒１７をロックして剛性を上げる構造となっている。
このような構成において、図示しないサイドエントリゴ
ニオメータにホルダー１を挿入し、ホルダーを移動させ
ることにより試料移動を行って視野探しを行い、反射像
観察法により試料面を観察する。こうして得られた反射
像の中でさらにＳＴＭにより観察したい領域を設定し、
ダイアル１８で軸方向移動、ネジ２１で試料との接近、
ネジ２１と同様の図示しない紙面に直交するネジで試料
面に沿った方向の針の移動を行う。ネジ２１で針５を試
料に近づける場合、前述したようにＴＥＭ法で試料と針
のギャップを観察しながらトンネル電流を検出できる距
離まで接近させるようにすれば、針を試料に衝突させて
針と試料に損傷を与えることを防ぐことができる。こう
して、針のセットを行った後、ノブ２２を回してロック
部材１９を押して球１２、アーム１１を固定し、更にピ
エゾ素子２６を駆動して内筒１７を固定することにより
全体として剛性を上げてＳＴＭ走査の耐振性を良くして
ＳＴＭ法による超精密測定を行う。
ニオメータにホルダー１を挿入し、ホルダーを移動させ
ることにより試料移動を行って視野探しを行い、反射像
観察法により試料面を観察する。こうして得られた反射
像の中でさらにＳＴＭにより観察したい領域を設定し、
ダイアル１８で軸方向移動、ネジ２１で試料との接近、
ネジ２１と同様の図示しない紙面に直交するネジで試料
面に沿った方向の針の移動を行う。ネジ２１で針５を試
料に近づける場合、前述したようにＴＥＭ法で試料と針
のギャップを観察しながらトンネル電流を検出できる距
離まで接近させるようにすれば、針を試料に衝突させて
針と試料に損傷を与えることを防ぐことができる。こう
して、針のセットを行った後、ノブ２２を回してロック
部材１９を押して球１２、アーム１１を固定し、更にピ
エゾ素子２６を駆動して内筒１７を固定することにより
全体として剛性を上げてＳＴＭ走査の耐振性を良くして
ＳＴＭ法による超精密測定を行う。
なお、ホルダー１内での試料の加工を行う場合には、ネ
ジ２１を回して針５を試料２から離し、周囲に当たらな
くなる状態にしてダイアル１８を回すことにより内筒１
７を引き込んで第３図（ロに示す状態とし、この状態で
試料のベーク、蒸着等を行えば、針が試料面から離れて
いるので金属や蒸気が針に付着する等の悪影響を防止す
ることができる。
ジ２１を回して針５を試料２から離し、周囲に当たらな
くなる状態にしてダイアル１８を回すことにより内筒１
７を引き込んで第３図（ロに示す状態とし、この状態で
試料のベーク、蒸着等を行えば、針が試料面から離れて
いるので金属や蒸気が針に付着する等の悪影響を防止す
ることができる。
第４図は本発明の他の実施例を示す図で、試料とＳＴＭ
走査部を直交させて反射像を観察する点以外は、第３図
の場合と全く同様である。
走査部を直交させて反射像を観察する点以外は、第３図
の場合と全く同様である。
なお、上記実施例では針の移動、ロック等をネジによる
駆動力を使用して行う例について説明したが、てこの原
理を使用したり、またピエゾ素子を用いて行う等、駆動
機構はどのような手段を使用してもよい。
駆動力を使用して行う例について説明したが、てこの原
理を使用したり、またピエゾ素子を用いて行う等、駆動
機構はどのような手段を使用してもよい。
以上のように本発明によれば、試料表面が光軸に平行に
なるように試料を保持した試料ホルダー中に、走査トン
ネル顕微鏡走査機構を配置することにより、反射電子顕
微鏡法により視野探しを行って観察後、さらに、走査ト
ンネル顕微鏡により超精密に試料面の観察を行うことが
でき、また試料と探針との距離をＴＥＭ法で観察しなが
ら接近させることができるので、探針と試料とを衝突さ
せることを防ぐことができる。
なるように試料を保持した試料ホルダー中に、走査トン
ネル顕微鏡走査機構を配置することにより、反射電子顕
微鏡法により視野探しを行って観察後、さらに、走査ト
ンネル顕微鏡により超精密に試料面の観察を行うことが
でき、また試料と探針との距離をＴＥＭ法で観察しなが
ら接近させることができるので、探針と試料とを衝突さ
せることを防ぐことができる。
第１図は本発明の反射型電子顕微鏡用走査トンネル顕微
鏡により反射像を得る場合の概略構成を示す図、第２図
は電子線の軌跡を示す図、第３図は本発明におけるホル
ダーの一実施例を示す図で、同図（イ）は試料観察状態
を示す図、同図（ロ）はＳＴＭ走査部を試料から離した
状態を示す図、第４図は試料とＳＴＭ走査部を直交させ
た本発明の他の実施例を示す図である。 １……ホルダー、２……試料、３……試料固定台、４…
…ＳＴＭ走査部、５……ＳＴＭ針、６……対物レンズ
（ＯＬ）ポールピース、７……光軸、１１……アーム、
１２……球、１６……バー、１７……内筒、１８……ダ
イアル、１９……ロック部材、２２……ノブ、２３……
導線、２８……ネジ。
鏡により反射像を得る場合の概略構成を示す図、第２図
は電子線の軌跡を示す図、第３図は本発明におけるホル
ダーの一実施例を示す図で、同図（イ）は試料観察状態
を示す図、同図（ロ）はＳＴＭ走査部を試料から離した
状態を示す図、第４図は試料とＳＴＭ走査部を直交させ
た本発明の他の実施例を示す図である。 １……ホルダー、２……試料、３……試料固定台、４…
…ＳＴＭ走査部、５……ＳＴＭ針、６……対物レンズ
（ＯＬ）ポールピース、７……光軸、１１……アーム、
１２……球、１６……バー、１７……内筒、１８……ダ
イアル、１９……ロック部材、２２……ノブ、２３……
導線、２８……ネジ。
Claims (2)
- 【請求項１】試料表面が光軸に平行になるように試料を
保持した試料ホルダー中に、探針を備えた走査トンネル
顕微鏡走査機構を配置した反射型電子顕微鏡用走査トン
ネル顕微鏡であって、電子線を偏向する偏向手段を備
え、前記偏向手段を動作させて電子線を試料表面に当て
て反射電子顕微鏡法により試料表面像を得ると共に、走
査トンネル顕微鏡により試料表面の観察を行うようにし
たことを特徴とする反射型電子顕微鏡用トンネル顕微
鏡。 - 【請求項２】電子線を試料表面に平行に照射し、探針と
試料表面間の透過像を得るようにした特許請求の範囲第
１項記載の反射型電子顕微鏡用走査トンネル顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62288079A JPH0624110B2 (ja) | 1987-11-14 | 1987-11-14 | 反射型電子顕微鏡用走査トンネル顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62288079A JPH0624110B2 (ja) | 1987-11-14 | 1987-11-14 | 反射型電子顕微鏡用走査トンネル顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01130457A JPH01130457A (ja) | 1989-05-23 |
| JPH0624110B2 true JPH0624110B2 (ja) | 1994-03-30 |
Family
ID=17725525
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62288079A Expired - Fee Related JPH0624110B2 (ja) | 1987-11-14 | 1987-11-14 | 反射型電子顕微鏡用走査トンネル顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0624110B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3553318B2 (ja) * | 1997-05-20 | 2004-08-11 | 日本電子株式会社 | ホルダ保持装置 |
-
1987
- 1987-11-14 JP JP62288079A patent/JPH0624110B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01130457A (ja) | 1989-05-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4874945A (en) | Electron microscope equipped with scanning tunneling microscope | |
| US5270552A (en) | Method for separating specimen and method for analyzing the specimen separated by the specimen separating method | |
| JP2516292B2 (ja) | 原子間力顕微鏡 | |
| WO2002042742A1 (fr) | Element en porte-a-faux pour microscope a balayage vertical et sonde pour microscope a balayage vertical dote d'un tel element | |
| EP1238405B1 (en) | Method and system for the examination of specimen using a charged particle beam | |
| KR102571504B1 (ko) | 현미경 시편의 현장 내 준비를 위한 방법 | |
| JPH0687003B2 (ja) | 走査型トンネル顕微鏡付き走査型電子顕微鏡 | |
| US7566884B2 (en) | Specimen holder for electron microscope | |
| US7442922B2 (en) | Method for locally highly resolved, mass-spectroscopic characterization of surfaces using scanning probe technology | |
| US7476872B2 (en) | Method and apparatus for observing inside structures, and specimen holder | |
| US9336983B2 (en) | Scanning particle microscope and method for determining a position change of a particle beam of the scanning particle microscope | |
| US5155359A (en) | Atomic scale calibration system | |
| US20030010911A1 (en) | Instrument and method for combined surface topography and spectroscopic analysis | |
| US7800062B2 (en) | Method and system for the examination of specimen | |
| US6188072B1 (en) | Apparatus for extracting TEM specimens of semiconductor devices | |
| US10746759B2 (en) | Method for determining the shape of a sample tip for atom probe tomography | |
| US10784078B2 (en) | Electron diffraction imaging system for determining molecular structure and conformation | |
| JPH0624110B2 (ja) | 反射型電子顕微鏡用走査トンネル顕微鏡 | |
| Orloff et al. | Experimental study of a focused ion beam probe size and comparison with theory | |
| Kuwabara et al. | Reflection electron microscope imaging of an operating scanning tunneling microscope | |
| JPH0616410B2 (ja) | 透過型電子顕微鏡用走査トンネル顕微鏡 | |
| EP0844644A2 (en) | Apparatus and method for analyzing microscopic area | |
| JPH06103163B2 (ja) | 走査トンネル顕微鏡を備えた透過型電子顕微鏡 | |
| Latif | Nanofabrication using focused ion beam | |
| JPH0690006B2 (ja) | 走査トンネル顕微鏡を備えた透過型電子顕微鏡 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |