JPH06103570A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 磁気記録媒体を製造するにあたり、基材に磁
性材料を蒸着させて磁性層を形成させた後、次いで該基
材を二酸化炭素と水蒸気の混合ガスで処理する。 【効果】 耐久性、耐酸化性が改良された蒸着型の磁気
記録媒体を効率よく製造できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は蒸着型の磁気記録媒体の
製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術及びその課題】磁気記録媒体には、従来よ
り磁性粉末を含む磁性塗料をポリエチレンテレフタレー
ト等からなる基材（フィルム）に塗布して製造される塗
布型の磁気記録媒体が知られているが、塗布型の磁気記
録媒体は磁性粉の充填性に限界があり、磁気記録媒体の
高密度化、薄さの向上が困難である。

【０００３】この高密度化を達成するために、磁性材料
の薄膜を基材上に直接形成するタイプの磁気記録媒体が
提案されており、このタイプは塗布型の磁気記録媒体に
はない特性がある。

【０００４】磁性層が基材上に直接形成されるタイプの
磁気記録媒体としては、磁性材料を基材に蒸着させ、基
材上に直接磁性層を形成させることにより製造される、
いわゆる蒸着型の磁気記録媒体がある。このタイプの磁
気記録媒体は、通常、減圧条件下で基材を円筒上で走行
させ、電子ビーム等により加熱した磁性材料を基材上に
蒸着させることにより製造されている。

【０００５】蒸着型の磁気記録媒体は、塗布型の磁気記
録媒体に比べ製造条件が厳密で、磁気特性も優れている
が、生産性という点では未だ十分とはいえない。また、
特開昭58−50629 号公報では真空中、酸素又はオゾンを
通じて多層の磁性層を有する蒸着型の磁気記録媒体を製
造する方法が開示されている。しかしながら、この方法
では得られた磁気記録媒体の特性、特に耐久性、耐酸化
性は必ずしも満足できるものではなかった。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明者らは鋭意研究の
結果、蒸着により磁気記録媒体を製造するにあたり、磁
性材料を基材に蒸着させた後に、二酸化炭素と水蒸気の
混合ガスで基材を処理することより、優れた耐久性、耐
酸化性を有する蒸着型の磁気記録媒体を効率よく得るこ
とができることを見出し、本発明を完成するに至った。

【０００７】即ち本発明は、真空容器内で磁性材料を基
材に蒸着させて当該基材上に磁性層を形成させる磁気記
録媒体の製造方法において、蒸着により磁性層が形成さ
れた基材を二酸化炭素と水蒸気の混合ガスで処理するこ
とを特徴とする磁気記録媒体の製造方法を提供するもの
である。

【０００８】本発明において、二酸化炭素と水蒸気の混
合ガス（以下単に混合ガスと言う）中の二酸化炭素と水
蒸気の割合は、酸化膜の成膜スピード、磁性金属の種類
及び（反応）温度等によっても変わるが、通常モル比で
二酸化炭素：水蒸気＝５：１〜３：５が良好であり、特
に１：１が良好である。また、かかる混合ガスは、炭酸
水を超音波処理することにより供給できる。混合ガスの
系内へ導入速度は特に限定されず、１〜100 cc／分程度
が良好である。これらの混合ガスの組成及び流量は選択
する磁性材料、系内の温度、或いは磁気記録媒体の特性
等を考慮して適宜選択できる。

【０００９】本発明においては、二酸化炭素と水蒸気の
混合ガスが使用されるが、両者が共存することにより、
耐久性、耐酸化性に優れた緻密な酸化膜（保護膜）が形
成される。二酸化炭素だけで磁性層の処理を行なうと酸
化膜ができにくく、また水蒸気だけで磁性層の処理を行
なうと多孔質の酸化膜が生成する。

【００１０】蒸着される磁性材料としては、通常磁気記
録媒体の製造に用いられる強磁性金属材料が挙げられ、
例えばCo, Ni, Fe等の強磁性金属、また、Fe−Co、Fe−
Ni、Co−Ni、Fe−Co−Ni、Fe−Fh、Fe−Cu、Co−Cu、Co
−Au、Co−Y 、Co−La、Co−Pr、Co−Gd、Co−Sm、Co−
Pt、Ni−Cu、Mn−Bi、Mn−Sb、Mn−Al、Fe−Cr、Co−C
r、Ni−Cr、Fe−Co−Cr、Ni−Co−Cr等の強磁性合金が
挙げられる。これらのうち、特に好ましいのはCo或いは
Coを50重量％以上含有する合金である。蒸着磁性層の厚
さは通常 0.2μm 程度である。

【００１１】また、本発明に用いられる磁気記録媒体の
基材材料としては、通常の非磁性支持体が使用でき、ポ
リエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート
のようなポリエステル；ポリエチレン、ポリプロピレン
等のポリオレフィン; セルローストリアセテート、セル
ロースジアセテート等のセルロース誘導体；ポリカーボ
ネート；ポリ塩化ビニル；ポリイミド；芳香族ポリアミ
ド等のプラスチック等が使用される。これらの基材の厚
さは３〜50μm 程度である。

【００１２】本発明の製造方法を簡単に説明する。図１
は本発明に用いられる製造装置の一例を示す略示図であ
る。真空容器１内は真空ポンプ（排気系）９で10^-4〜10
^-7 Torr 程度の真空に保たれる。基材となるフィルム３
は巻き出しロール４から蒸着円筒（キャン）２上を走行
し、電子銃10より電子ビームをるつぼ７中の磁性金属６
に照射し、気化した金属原子がフィルム表面に蒸着す
る。磁性金属の蒸着はいわゆる斜め蒸着により行なうの
が好ましい。遮蔽板８により金属原子の飛散範囲が制御
できる。その後、混合ガスが導入管11を通じて導入さ
れ、磁性層が形成されたフィルムは混合ガスにより処理
される。混合ガスの導入管の設置は、蒸着原子の到達範
囲の終わり（図中Ａ）とする。次いで、蒸着後、混合ガ
スで処理されたフィルムは巻き取りロール５で巻き取ら
れる。

【００１３】本発明の磁気記録媒体の磁性層は、単層或
いは多層とすることができるが、多層とする場合は、蒸
着後混合ガス処理して一旦酸化膜を形成し、再度蒸着を
して混合ガスで処理をすればよい。

【００１４】また、厚さ0.01〜0.2 μm 程度のアンダー
コート層、厚さ10〜100 Å程度の保護層、厚さ２〜50Å
程度の潤滑層、或いはカーボンブラックを主成分とする
厚さ0.2 〜1.0 μm 程度のバックコート層等を設けても
よい。これらの層を形成する原料は従来公知のものが適
宜使用できる。

【００１５】

【実施例】以下実施例にて本発明を説明するが、本発明
はこれらの実施例に限定されるものではない。

【００１６】実施例１ 図１に示す製造装置に、磁気記録媒体基材として厚さ9.
3 μm のポリエチレンテレフタレート製フィルムをセッ
トし、蒸着により薄膜を形成させ、二酸化炭素と水蒸気
の混合ガス（１：１）を10cc／分の速度で導入し、蒸着
フィルムを得た。尚、蒸着させる磁性金属としてはCo−
Ni合金（80％−20％）を用い、厚さ1500Åとなるように
付着させた。この蒸着フィルムを８mmカセットに装填
し、磁気記録媒体を製造した。

【００１７】得られた磁気記録媒体の耐久性と耐酸化性
を評価した。耐久性は、スチル耐久性を目安とした。ス
チル耐久性は１時間静止画（スチル状態）のままにし、
その後の出力の低下(dB)で判断した。また、耐酸化性
は、60℃、90％RHの条件下で１週間保存した後の飽和磁
束密度（Ｂｓ）の減少率（ΔＢｓ）を測定し、目安とし
た。結果を表１に示す。

【００１８】比較例１ 実施例１において、二酸化炭素と水蒸気の混合ガスの代
わりに酸素ガスを使用した以外は同様にして磁気記録媒
体を製造した。得られた磁気記録媒体について実施例１
と同様の評価を行なった。結果を表１に示す。

【００１９】

【表１】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に用いられる製造装置の一例を示す略示
図である。

【符号の説明】

１…真空容器 ２…蒸着円筒（キャン） ３…フィルム ４…巻き出しロール ５…巻き取りロール ６…磁性金属 ７…るつぼ ８…遮蔽板 ９…真空ポンプ（排気系） 10…電子銃 11…混合ガス導入管

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空容器内で磁性材料を基材に蒸着させ
   て当該基材上に磁性層を形成させる磁気記録媒体の製造
   方法において、蒸着により磁性層が形成された基材を二
   酸化炭素と水蒸気の混合ガスで処理することを特徴とす
   る磁気記録媒体の製造方法。
2. 【請求項２】 二酸化炭素と水蒸気のモル比二酸化炭
   素：水蒸気＝５：１〜３：５である請求項１記載の磁気
   記録媒体の製造方法。