JPH06104682A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPH06104682A JPH06104682A JP27354992A JP27354992A JPH06104682A JP H06104682 A JPH06104682 A JP H06104682A JP 27354992 A JP27354992 A JP 27354992A JP 27354992 A JP27354992 A JP 27354992A JP H06104682 A JPH06104682 A JP H06104682A
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- JP
- Japan
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- surface acoustic
- acoustic wave
- side electrode
- electrodes
- substrate
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- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 弾性表面波の損失を低減でき、帯域内特性を
良好にし、しかも構成の小形化を可能にする。 【構成】 弾性表面波を伝搬する基板1上に、入力側電
極2と出力側電極3とを弾性表面波の伝搬方向に沿って
交互に配列し、少なくとも上記各電極2,3のうち上記
基板1の両端に配置された電極をアポダイズ型電極と
し、あるいは上記各電極2,3のすだれ状電極4の交差
幅を短くし、かつ傾斜を施した電極とする。
良好にし、しかも構成の小形化を可能にする。 【構成】 弾性表面波を伝搬する基板1上に、入力側電
極2と出力側電極3とを弾性表面波の伝搬方向に沿って
交互に配列し、少なくとも上記各電極2,3のうち上記
基板1の両端に配置された電極をアポダイズ型電極と
し、あるいは上記各電極2,3のすだれ状電極4の交差
幅を短くし、かつ傾斜を施した電極とする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、弾性表面波の伝搬特
性を利用して信号の帯域通過や遅延を行う弾性表面波装
置に関するものである。
性を利用して信号の帯域通過や遅延を行う弾性表面波装
置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、低損失の弾性表面波装置を実現す
る方法として、入力電気信号を弾性表面波に変換する複
数個の入力側電極と、逆に弾性表面波を出力電気信号に
変換する複数個の出力側電極とを、圧電体基板上で弾性
表面波の伝搬方向に沿って交互に配列してなる、いわゆ
る多電極構成がよく用いられている。
る方法として、入力電気信号を弾性表面波に変換する複
数個の入力側電極と、逆に弾性表面波を出力電気信号に
変換する複数個の出力側電極とを、圧電体基板上で弾性
表面波の伝搬方向に沿って交互に配列してなる、いわゆ
る多電極構成がよく用いられている。
【0003】図3は例えば文献 メイリオン ルイス著
アイイーイーイー プロシーディング 1982 ウ
ルトラソニックス シンポジウム 12ページ(Meirio
n Lewis IEEE Proc., 1982 Ultrasonics Symposium, p.
12)に示された従来の弾性表面波装置を示す構成図であ
り、図において、1は弾性表面波を伝搬する基板である
圧電体基板であり、これの表面に入力電気信号を弾性表
面波に変換する5個の入力側電極2と弾性表面波を出力
電気信号に変換する4個の出力側電極3とが設けられて
いる。これらの各電極2,3は弾性表面波の伝搬方向に
沿って交互に配列されている。
アイイーイーイー プロシーディング 1982 ウ
ルトラソニックス シンポジウム 12ページ(Meirio
n Lewis IEEE Proc., 1982 Ultrasonics Symposium, p.
12)に示された従来の弾性表面波装置を示す構成図であ
り、図において、1は弾性表面波を伝搬する基板である
圧電体基板であり、これの表面に入力電気信号を弾性表
面波に変換する5個の入力側電極2と弾性表面波を出力
電気信号に変換する4個の出力側電極3とが設けられて
いる。これらの各電極2,3は弾性表面波の伝搬方向に
沿って交互に配列されている。
【0004】また、上記1つ1つの入力側電極2及び出
力側電極3はそれぞれ1つのすだれ状電極4から構成さ
れている。さらに、全ての入力側電極2は1つの共通の
入力側端子5に接続され、全ての出力側電極3は1つの
共通の出力側端子6に接続されている。
力側電極3はそれぞれ1つのすだれ状電極4から構成さ
れている。さらに、全ての入力側電極2は1つの共通の
入力側端子5に接続され、全ての出力側電極3は1つの
共通の出力側端子6に接続されている。
【0005】次に動作について説明する。図3では入力
側電極2が最も外側に位置する場合を示しているが、こ
のような弾性表面波では、一般に電気回路網理論におけ
る相反定理が成り立つので、入力側端子5と出力側端子
6とを逆に接続しても通過特性は全く同一となる。
側電極2が最も外側に位置する場合を示しているが、こ
のような弾性表面波では、一般に電気回路網理論におけ
る相反定理が成り立つので、入力側端子5と出力側端子
6とを逆に接続しても通過特性は全く同一となる。
【0006】すなわち、出力側電極3が最も外側に位置
する場合でも、同一の通過特性を示す。したがって、こ
こでは図3に示すように、入力側電極2が最も外側に位
置する場合について説明する。
する場合でも、同一の通過特性を示す。したがって、こ
こでは図3に示すように、入力側電極2が最も外側に位
置する場合について説明する。
【0007】5つある入力側電極2は、どれも同じ1つ
のすだれ状電極4から構成されている。したがって、入
力側端子5に入力電気信号を印加すると、入力側端子5
に供給された電力は、各入力側電極2にそれぞれ5分の
1ずつ等しく分配され、弾性表面波に変換される。この
ようにして励振された弾性表面波は、それぞれ各入力側
電極2の両側に向かって伝搬し、出力側電極3に伝えら
れて、ここで再び電気信号に変換され、出力側端子6か
ら電気信号として出力される。
のすだれ状電極4から構成されている。したがって、入
力側端子5に入力電気信号を印加すると、入力側端子5
に供給された電力は、各入力側電極2にそれぞれ5分の
1ずつ等しく分配され、弾性表面波に変換される。この
ようにして励振された弾性表面波は、それぞれ各入力側
電極2の両側に向かって伝搬し、出力側電極3に伝えら
れて、ここで再び電気信号に変換され、出力側端子6か
ら電気信号として出力される。
【0008】このとき、最も外側の入力側電極2から圧
電体基板1の両端部に向かって伝搬した弾性表面波は、
出力側電極3により受信されない。したがって、圧電体
基板1の両端部に向かった合計5分の1の電力を捨てる
ことになり、残りの5分の4の電力のみを出力側端子6
から取り出すこととなる。
電体基板1の両端部に向かって伝搬した弾性表面波は、
出力側電極3により受信されない。したがって、圧電体
基板1の両端部に向かった合計5分の1の電力を捨てる
ことになり、残りの5分の4の電力のみを出力側端子6
から取り出すこととなる。
【0009】そして、この場合の挿入損失は0.97デ
シベルであり、この挿入損失は弾性表面波が双方向に伝
搬することに起因して生じた損失である。一般に、入力
側電極2の数と出力側電極3の数とを合計した数をN個
とすれば、上述した弾性表面波の双方向性に起因して生
じる損失は、−10×log((N−1)/(N+
1))デシベルとなる。したがって、入力側電極2なら
びに出力側電極3の数を増加していけば、挿入損失を小
さくできる。
シベルであり、この挿入損失は弾性表面波が双方向に伝
搬することに起因して生じた損失である。一般に、入力
側電極2の数と出力側電極3の数とを合計した数をN個
とすれば、上述した弾性表面波の双方向性に起因して生
じる損失は、−10×log((N−1)/(N+
1))デシベルとなる。したがって、入力側電極2なら
びに出力側電極3の数を増加していけば、挿入損失を小
さくできる。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】従来の弾性表面波装置
は以上のように構成されているので、弾性表面波の伝搬
の双方向性に起因して生じる損失を十分小さくしようと
すると、入力側電極2の数や出力側電極3の数を非常に
多くする必要があり、このため圧電体基板1の表面に、
多数の入力側電極2や出力側電極3を配置することとな
り、その圧電体基板1の大きさが大きくなるなどの問題
点があった。
は以上のように構成されているので、弾性表面波の伝搬
の双方向性に起因して生じる損失を十分小さくしようと
すると、入力側電極2の数や出力側電極3の数を非常に
多くする必要があり、このため圧電体基板1の表面に、
多数の入力側電極2や出力側電極3を配置することとな
り、その圧電体基板1の大きさが大きくなるなどの問題
点があった。
【0011】請求項1の発明は上記のような問題点を解
消するためになされたものであり、弾性表面波の双方向
性による損失を低減でき、帯域内特性を良好にできると
ともに小形化を実現できる弾性表面波装置を得ることを
目的とする。
消するためになされたものであり、弾性表面波の双方向
性による損失を低減でき、帯域内特性を良好にできると
ともに小形化を実現できる弾性表面波装置を得ることを
目的とする。
【0012】請求項2の発明は電極指の不均一部分を減
らすことにより、電極間の弾性表面波の多重反射を抑え
ることができるとともに、挿入損失を低減できる弾性表
面波装置を得ることを目的とする。
らすことにより、電極間の弾性表面波の多重反射を抑え
ることができるとともに、挿入損失を低減できる弾性表
面波装置を得ることを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明に係る弾
性表面波装置は、弾性表面波を伝搬する基板と、該基板
上に設けられて、入力電気信号を弾性表面波に変換する
入力側電極と、上記基板上に上記入力側電極とともに上
記弾性表面波の伝搬方向に交互配置されて、該入力側電
極により励振された弾性表面波を出力電気信号に変換す
る出力側電極とを備え、上記基板の両端部に配置された
上記入力側電極または出力側電極を、アポダイズ型電極
としたものである。
性表面波装置は、弾性表面波を伝搬する基板と、該基板
上に設けられて、入力電気信号を弾性表面波に変換する
入力側電極と、上記基板上に上記入力側電極とともに上
記弾性表面波の伝搬方向に交互配置されて、該入力側電
極により励振された弾性表面波を出力電気信号に変換す
る出力側電極とを備え、上記基板の両端部に配置された
上記入力側電極または出力側電極を、アポダイズ型電極
としたものである。
【0014】請求項2の発明に係る弾性表面波装置は、
弾性表面波を伝搬する基板と、該基板上に設けられて、
入力電気信号を弾性表面波に変換する入力側電極と、上
記基板上に上記入力側電極とともに上記弾性表面波の伝
搬方向に交互配置されて、該入力側電極により励振され
て弾性表面波を出力電気信号に変換する出力側電極とを
備え、上記基板の両端部に配置された上記入力側電極ま
たは出力側電極のすだれ状電極の交差幅を他の電極の交
差幅よりも短くし、かつ傾斜させたものである。
弾性表面波を伝搬する基板と、該基板上に設けられて、
入力電気信号を弾性表面波に変換する入力側電極と、上
記基板上に上記入力側電極とともに上記弾性表面波の伝
搬方向に交互配置されて、該入力側電極により励振され
て弾性表面波を出力電気信号に変換する出力側電極とを
備え、上記基板の両端部に配置された上記入力側電極ま
たは出力側電極のすだれ状電極の交差幅を他の電極の交
差幅よりも短くし、かつ傾斜させたものである。
【0015】
【作用】請求項1の発明における基板両端部の入力側電
極または出力側電極はアポダイズ型電極とされているの
で、これらの各電極の電気的インピーダンスが高くな
り、従ってここには小さい電流しか流れず、励振される
弾性表面波の電力を小さく、外側に漏れる電力を抑え
て、電極数を増やさずに小形化,低損化できるようにす
る。また、電極指の不均一部分を減らすことで、弾性表
面波の多重反射を最小限に抑え、帯域内のリップルによ
る損失変動を抑えて、挿入損失の低減を図れるようにす
る。
極または出力側電極はアポダイズ型電極とされているの
で、これらの各電極の電気的インピーダンスが高くな
り、従ってここには小さい電流しか流れず、励振される
弾性表面波の電力を小さく、外側に漏れる電力を抑え
て、電極数を増やさずに小形化,低損化できるようにす
る。また、電極指の不均一部分を減らすことで、弾性表
面波の多重反射を最小限に抑え、帯域内のリップルによ
る損失変動を抑えて、挿入損失の低減を図れるようにす
る。
【0016】請求項2の発明における基板両端部の入力
側電極または出力側電極は、すだれ状電極の交差幅を他
の電極の交差幅より短くし、かつ傾斜させることで、こ
れらの各電極の外側に漏れる電力を低減し、構成を小形
化,低損失化できるようにする。また、電極指の不均一
部分を減らし、弾性表面波の多重反射および帯域内のリ
ップルによる損失変動を抑え、挿入損失の低減を図れる
ようにする。
側電極または出力側電極は、すだれ状電極の交差幅を他
の電極の交差幅より短くし、かつ傾斜させることで、こ
れらの各電極の外側に漏れる電力を低減し、構成を小形
化,低損失化できるようにする。また、電極指の不均一
部分を減らし、弾性表面波の多重反射および帯域内のリ
ップルによる損失変動を抑え、挿入損失の低減を図れる
ようにする。
【0017】
実施例1.以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図1において、1は圧電体基板としての弾性表面
波を伝搬する基板、2は入力側電極、3は出力側電極、
4は入力側電極2および出力側電極3のすだれ状電極、
5は入力側端子、6は出力側端子である。そして、両端
の入力側電極2のみが、弾性表面波の波面方向に沿って
配列されたアポダイズ型電極で構成され、その他の入力
側電極2および出力側電極3は、図3の従来例と同様の
すだれ状電極4から構成されている。
する。図1において、1は圧電体基板としての弾性表面
波を伝搬する基板、2は入力側電極、3は出力側電極、
4は入力側電極2および出力側電極3のすだれ状電極、
5は入力側端子、6は出力側端子である。そして、両端
の入力側電極2のみが、弾性表面波の波面方向に沿って
配列されたアポダイズ型電極で構成され、その他の入力
側電極2および出力側電極3は、図3の従来例と同様の
すだれ状電極4から構成されている。
【0018】損失が生じる原因は、両端の入力側電極2
の外側に弾性表面波の電力が漏れることにより生じるの
で、両端の入力側電極2から励振される弾性表面波の強
度を、他より小さくするだけでも、損失をかなり抑える
ことができる。
の外側に弾性表面波の電力が漏れることにより生じるの
で、両端の入力側電極2から励振される弾性表面波の強
度を、他より小さくするだけでも、損失をかなり抑える
ことができる。
【0019】この実施例では、両端の入力側電極2のみ
をアポダイズ型のすだれ状電極4から構成し、その他は
従来例と同様のすだれ状電極4とすることにより、電極
の不均一に伴う各電極間2,3での弾性表面波の多重反
射を最小限に抑えることができ、帯域内のリップルによ
る損失変動を小さく抑えたまま、挿入損失を低減でき
る。
をアポダイズ型のすだれ状電極4から構成し、その他は
従来例と同様のすだれ状電極4とすることにより、電極
の不均一に伴う各電極間2,3での弾性表面波の多重反
射を最小限に抑えることができ、帯域内のリップルによ
る損失変動を小さく抑えたまま、挿入損失を低減でき
る。
【0020】次に動作について説明する。まず、この弾
性表面波装置では、弾性表面波の電力が中央部に集中
し、両端部では電力が小さくなる。このため、両端部に
位置する入力側電極2(あるいは出力側電極3)のさら
に外側に漏れる弾性表面波の電力を小さく抑えることが
できる。
性表面波装置では、弾性表面波の電力が中央部に集中
し、両端部では電力が小さくなる。このため、両端部に
位置する入力側電極2(あるいは出力側電極3)のさら
に外側に漏れる弾性表面波の電力を小さく抑えることが
できる。
【0021】したがって、入力側端子5に入力した電気
信号の電力を効率よく出力側端子6に出力することがで
きるので、従来の弾性表面波装置に比べ挿入損失を小さ
くすることができる。また、同一の挿入損失を得るため
に必要な入力側電極2および出力側電極3の数を少なく
することができ、従来に比べ小形の弾性表面波装置が得
られる。
信号の電力を効率よく出力側端子6に出力することがで
きるので、従来の弾性表面波装置に比べ挿入損失を小さ
くすることができる。また、同一の挿入損失を得るため
に必要な入力側電極2および出力側電極3の数を少なく
することができ、従来に比べ小形の弾性表面波装置が得
られる。
【0022】さらに、入力側電極2および出力側電極3
の数を少なくできるため、開口長を小さくする必要がな
く、弾性表面波の回折による挿入損失の増加を伴うこと
なく、外部回路との整合をとりやすくする。
の数を少なくできるため、開口長を小さくする必要がな
く、弾性表面波の回折による挿入損失の増加を伴うこと
なく、外部回路との整合をとりやすくする。
【0023】実施例2.図2はこの発明の他の実施例を
示す構成図である。この実施例は図1に示したものとは
異なり、両端の入力側電極2のみの、弾性表面波の波面
方向に沿って配列されたすだれ状電極4の交差幅を短く
し、かつ弾性表面波の分布を均一とし、さらに傾斜を施
している。
示す構成図である。この実施例は図1に示したものとは
異なり、両端の入力側電極2のみの、弾性表面波の波面
方向に沿って配列されたすだれ状電極4の交差幅を短く
し、かつ弾性表面波の分布を均一とし、さらに傾斜を施
している。
【0024】従って、この実施例においても、弾性表面
波の洩れを抑えることで損失の低減を図ることができ、
電極間での弾性表面波の多重反射を抑えることができ、
さらに帯域内のリップルによる損失変動を抑え、挿入損
失の低減を図ることができる。
波の洩れを抑えることで損失の低減を図ることができ、
電極間での弾性表面波の多重反射を抑えることができ、
さらに帯域内のリップルによる損失変動を抑え、挿入損
失の低減を図ることができる。
【0025】
【発明の効果】以上のように、請求項1の発明によれ
ば、弾性表面波を伝搬する基板と、該基板上に設けられ
て、入力電気信号を弾性表面波に変換する入力側電極
と、上記基板上に上記入力側電極とともに上記弾性表面
波の伝搬方向に交互配置されて、該入力側電極により励
振された弾性表面波を出力電気信号に変換する出力側電
極とを備え、上記基板の両端部に配置された上記入力側
電極または出力側電極を、アポダイズ型電極としたの
で、励振される弾性表面波の電力を小さくし、外側に漏
れる電力を抑えて、電極数を増やさずに小形化,低損化
できるとともに、電極指の不均一部分を減らすことで、
弾性表面波の多重反射を最小限に抑え、帯域内のリップ
ルによる損失変動も抑えて、挿入損失の低減を図れるも
のが得られる効果がある。
ば、弾性表面波を伝搬する基板と、該基板上に設けられ
て、入力電気信号を弾性表面波に変換する入力側電極
と、上記基板上に上記入力側電極とともに上記弾性表面
波の伝搬方向に交互配置されて、該入力側電極により励
振された弾性表面波を出力電気信号に変換する出力側電
極とを備え、上記基板の両端部に配置された上記入力側
電極または出力側電極を、アポダイズ型電極としたの
で、励振される弾性表面波の電力を小さくし、外側に漏
れる電力を抑えて、電極数を増やさずに小形化,低損化
できるとともに、電極指の不均一部分を減らすことで、
弾性表面波の多重反射を最小限に抑え、帯域内のリップ
ルによる損失変動も抑えて、挿入損失の低減を図れるも
のが得られる効果がある。
【0026】また、請求項2の発明によれば、弾性表面
波を伝搬する基板と、該基板上に設けられて、入力電気
信号を弾性表面波に変換する入力側電極と、上記基板上
に上記入力側電極とともに上記弾性表面波の伝搬方向に
交互配置されて、該入力側電極により励振された弾性表
面波を出力電気信号に変換する出力側電極とを備え、上
記基板の両端部に配置された上記入力側電極または出力
側電極のすだれ状電極の交差幅を他の電極の交差幅より
も短くし、かつ傾斜させるように構成したので、これら
の各電極の外側に漏れる電力を低減し、小形化,低損失
化できるとともに、電極指の不均一部分を減らし、弾性
表面波の多重反射および帯域内のリップルによる損失変
動を抑え、挿入損失の低減を図れるものが得られる効果
がある。
波を伝搬する基板と、該基板上に設けられて、入力電気
信号を弾性表面波に変換する入力側電極と、上記基板上
に上記入力側電極とともに上記弾性表面波の伝搬方向に
交互配置されて、該入力側電極により励振された弾性表
面波を出力電気信号に変換する出力側電極とを備え、上
記基板の両端部に配置された上記入力側電極または出力
側電極のすだれ状電極の交差幅を他の電極の交差幅より
も短くし、かつ傾斜させるように構成したので、これら
の各電極の外側に漏れる電力を低減し、小形化,低損失
化できるとともに、電極指の不均一部分を減らし、弾性
表面波の多重反射および帯域内のリップルによる損失変
動を抑え、挿入損失の低減を図れるものが得られる効果
がある。
【図1】この発明の一実施例による弾性表面波装置を示
す構成図である。
す構成図である。
【図2】この発明の他の実施例による弾性表面波装置を
示す構成図である。
示す構成図である。
【図3】従来の弾性表面波装置を示す構成図である。
1 圧電体基板(基板) 2 入力側電極 3 出力側電極 4 すだれ状電極
Claims (2)
- 【請求項1】 弾性表面波を伝搬する基板と、該基板上
に設けられて、入力電気信号を弾性表面波に変換する入
力側電極と、上記基板上に上記入力側電極とともに上記
弾性表面波の伝搬方向に交互配置されて、該入力側電極
により励振された弾性表面波を出力電気信号に変換する
出力側電極とを備えた弾性表面波装置において、上記基
板の両端部に配置された上記入力側電極または出力側電
極をアポダイズ型電極としたことを特徴とする弾性表面
波装置。 - 【請求項2】 弾性表面波を伝搬する基板と、該基板上
に設けられて、入力電気信号を弾性表面波に変換する入
力側電極と、上記基板上に上記入力側電極とともに上記
弾性表面波の伝搬方向に交互配置されて、該入力側電極
により励振された弾性表面波を出力電気信号に変換する
出力側電極とを備えた弾性表面波装置において、上記基
板の両端部に配置された上記入力側電極または出力側電
極のすだれ状電極の交差幅を、他の電極の交差幅よりも
短くし、かつ傾斜させたことを特徴とする弾性表面波装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27354992A JPH06104682A (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27354992A JPH06104682A (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06104682A true JPH06104682A (ja) | 1994-04-15 |
Family
ID=17529372
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27354992A Pending JPH06104682A (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06104682A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6154529A (en) * | 1996-09-06 | 2000-11-28 | Fujitsu Limited | Method for providing information by calling from information provider, and service server for implementing the same |
-
1992
- 1992-09-18 JP JP27354992A patent/JPH06104682A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6154529A (en) * | 1996-09-06 | 2000-11-28 | Fujitsu Limited | Method for providing information by calling from information provider, and service server for implementing the same |
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