JPH06104721A - 半導体集積回路 - Google Patents

半導体集積回路

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JPH06104721A
JPH06104721A JP4249271A JP24927192A JPH06104721A JP H06104721 A JPH06104721 A JP H06104721A JP 4249271 A JP4249271 A JP 4249271A JP 24927192 A JP24927192 A JP 24927192A JP H06104721 A JPH06104721 A JP H06104721A
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supply terminal
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terminal
transistor
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Hiroyuki Suwabe
裕之 諏訪部
Hiroyuki Mogi
宏之 茂木
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Toshiba Electronic Device Solutions Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】内部抵抗が比較的高い電源に接続される電源端
子と内部抵抗が比較的低い電源に接続される電源端子と
の電位関係を逆転させて使用する場合でも、上記2つの
電源端子間に電源保護用の素子を接続することが可能に
なり、上記内部抵抗が比較的高い電源に接続される電源
端子に印加されたサージを吸収する能力を高めることが
可能になるICを提供する。 【構成】半導体基板上に形成され、所定の電源電位が供
給される第1電源端子11と、前記半導体基板上に形成
され、前記第1電源端子よりもそれぞれ低いあるいは高
い電源電位が供給される第2電源端子12および第3電
源端子13と、前記半導体基板上に形成され、上記第2
電源端子および第3電源端子の間に接続され、ゲートお
よび基板領域が前記第1電源端子に接続されている電源
保護用のMOSトランジスタP0とを具備することを特
徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体集積回路(I
C)に係り、特に3種類以上の独立した電源配線を有す
るICの電源保護回路に関する。
【0002】
【従来の技術】ICは、回路基板等への実装後の動作状
態であっても外部接続端子から静電気等に起因するサー
ジが混入するおそれがある。ここで、サージとは、通常
動作時の信号電圧もしくは信号電流に対して急激に値が
変化するような過電圧もしくは過電流と定義される。I
C内部では、上記サージの混入によりトリガー電流が発
生し、半導体基板内部の寄生トランジスタがオン状態に
なって電源間に大きな貫通電流が流れ続けるというラッ
チアップ現象が発生する。さらに、比較的大きなサージ
が混入した場合には、サージによって外部端子周辺のI
C内部回路が破壊されることもある。
【0003】これらの不具合に対して、従来、3種類の
独立した電源配線を有するICにおいては、図13の
(a)あるいは(b)に示すような電源保護回路を設け
る等の対策を施している。
【0004】図13の(a)および(b)のICにおい
て、第1電源端子11には高電位の電源電位VDDが供給
され、第2電源端子12および第3電源端子13にはそ
れぞれ対応して低電位の電源電位VSS1およびVSS2が
供給される。上記3種類の独立した電源端子に対応して
3種類の独立した電源配線1〜3がレイアウトされてい
る。
【0005】そして、図13の(a)のICにおいて
は、信号入力端子14と第1電源端子11との間には、
Pチャネル絶縁ゲート型トランジスタ(PMOSトラン
ジスタ)P1が挿入され、信号入力端子14と第2電源
端子12との間には、NチャネルMOSトランジスタ
(NMOSトランジスタ)N1が挿入されている。さら
に、第1電源端子11と第2電源端子12との間には、
PMOSトランジスタP2およびNMOSトランジスタ
N2が互いに並列に接続され、第1電源端子11と第3
電源端子13との間には、PMOSトランジスタP3お
よびNMOSトランジスタN3が互いに並列に接続さ
れ、第2電源端子12と第3電源端子13との間には、
PMOSトランジスタP6およびNMOSトランジスタ
N6が互いに並列に接続されている。なお、15は信号
入力端子14の信号入力をIC内部回路へ取り込むため
の入力バッファ回路である。
【0006】これらの電源保護用のトランジスタP1、
P2、P3、P6およびN1、N2、N3、N6は、I
Cの通常動作時にはオフ状態となるように、それぞれの
ゲート・ソース・基板領域相互が接続されている。ま
た、これらのトランジスタは、それぞれ対応して接続さ
れている端子からサージが混入すると、それぞれに寄生
するバイポーラ・トランジスタ(図示せず)やソース・
ドレイン拡散層間のパンチスルー、あるいは、MOSト
ランジスタ自体のオン動作によって、ソース・ドレイン
間が見掛け上オン状態になり、サージを電源端子に吸収
(サージによる電源電位の変動を抑制)する。これによ
り、サージがIC内部に広がらないようにし、ラッチア
ップ現象の発生や外部端子周辺のIC内部回路の破壊を
防止することが可能になっている。
【0007】即ち、図13の(a)のICにおいて、入
力端子に印加されたサージは、トランジスタP1、N1
をオン状態にして第1電源端子11および第2電源端子
12に吸収される。第1電源端子11に印加されたサー
ジは、トランジスタP2、N2およびトランジスタP
3、N3をオン状態にして第2電源端子12および第3
電源端子13に吸収される。第2電源端子12に印加さ
れたサージは、トランジスタP2、N2およびトランジ
スタP6、N6をオン状態にして第1電源端子11およ
び第3電源端子13に吸収される。第3電源端子13に
印加されたサージは、トランジスタP3、N3およびト
ランジスタP6、N6をオン状態にして第1電源端子1
1および第2電源端子12に吸収される。
【0008】一方、図13の(b)のICにおいては、
第2電源端子12と第3電源端子13との間にPMOS
トランジスタP6およびNMOSトランジスタN6が互
いに並列に接続されている。この場合、トランジスタP
6のゲートは第1電源端子11に接続されている。
【0009】ところで、前記電源端子に接続される電源
の内部抵抗が高いと、サージによる電源電位の変動を瞬
時に吸収することができず、ラッチアップ現象等の発生
率を小さく抑えることができなくなる。
【0010】即ち、図13の(a)および(b)に示し
たように、3種類以上の独立した電源配線がレイアウト
されたICでは、2つの電源端子(例えば第1電源端子
11および第2電源端子12)に直接に接続される外部
電源の電源電位VDD、VSS1から、残りの電源端子(こ
こでは第3電源端子13)の電源電位VSS2をIC外部
あるいは同一IC上に設けられた昇圧電源回路(図示せ
ず)あるいは降圧電源回路(図示せず)によって生成す
るシステム構成がよく用いられる。
【0011】この昇圧電源回路あるいは降圧電源回路
は、通常は、元になる電源電圧から容量結合あるいは抵
抗分割により昇圧電圧あるいは降圧電圧を生成するもの
であり、その内部抵抗は元になる電源の内部抵抗と比べ
て100倍〜1000倍以上にもなる。この昇圧電源回
路あるいは降圧電源回路の内部抵抗は、通常の動作状態
における消費電流により設定されるが、サージによって
生じる瞬間的な過電流は通常動作時の消費電流と比べて
非常に多い。
【0012】このため、昇圧電源回路あるいは降圧電源
回路をサージ吸収用電源として使用すると、サージを十
分に吸収できず、ラッチアップ現象等が発生し易くな
る。また、昇圧電源回路あるいは降圧電源回路から電源
が供給される電源端子に直接にサージが印加された場合
には、この電源端子に寄生するサイリスタを構成するバ
イポーラ・トランジスタ自体がオンするので、ラッチア
ップ現象がさらに発生し易くなる。
【0013】そこで、前記したように第3電源端子13
に印加されたサージを第1電源端子11に吸収するため
に、第3電源端子13と第1電源端子11との間にそれ
ぞれのゲート・ソース・基板領域相互が接続されている
トランジスタP3およびトランジスタN3が接続され、
第3電源端子に印加されたサージを第2電源端子12に
吸収するために、第3電源端子13と第2電源端子12
との間にそれぞれのゲート・ソース相互が接続されてい
るトランジスタP6およびトランジスタN6が接続され
ている。
【0014】一方、内部抵抗が比較的高い電源に接続さ
れる第3電源端子13の電源電位VSS2をユーザーが任
意に設定したい場合、特に上記第3電源端子13の電源
電位VSS2と内部抵抗が比較的低い電源に接続される第
2電源端子12の電源電位VSS1との電位関係を逆転さ
せて使用しようとすると、前記トランジスタP6および
トランジスタN6が通常動作時にオン状態になってしま
う場合には、トランジスタP6およびトランジスタN6
を省略する必要がある。
【0015】しかし、トランジスタP6およびトランジ
スタN6が省略されると、第3電源端子13に印加され
たサージを吸収する経路は、第1電源端子11との間に
接続されているトランジスタP3およびトランジスタN
3に限定されてしまうので、サージ吸収能力が弱くなる
という問題がある。
【0016】なお、電源電位VSS1およびVSS2がそれ
ぞれ電源電位VDDより低電位の場合に、上記トランジス
タP6およびトランジスタN6をオフ状態にするための
条件は、 VSS1≧VSS2 あるいは |Vthp |>|VSS1−VSS2|,かつ,Vthn >VSS
2−VSS1 である。ここで、Vthp はトランジスタP6の閾値電
圧、Vthn はトランジスタN6の閾値電圧である。
【0017】上記|Vthp |およびVthn は、通常、
1.0V程度であり、VSS2とVSS1との電位関係の逆
転は1V程度は許されるが、上記電位関係が逆転した場
合のトランジスタN6はフォワードダイオードを形成す
るので、トランジスタN6の基板領域(Pウェル領域)
からドレイン(N型不純物領域)へ順方向のリーク電流
が流れる。この順方向のリーク電流の発生を防止するた
めには、VSS2をVSS1と同等以下に設定せざるを得な
い。
【0018】
【発明が解決しようとする課題】上記したように従来の
3種類以上の独立した電源配線がレイアウトされたIC
は、内部抵抗が比較的高い電源に接続される電源端子と
内部抵抗が比較的低い電源に接続される電源端子との電
位関係を逆転させて使用する場合を考慮すると、上記2
つの電源端子間に電源保護用のMOSトランジスタを接
続することを省略する必要があり、上記内部抵抗が比較
的高い電源に接続される電源端子に印加されたサージを
吸収する能力が弱くなるという問題があった。
【0019】本発明は上記の問題点を解決すべくなされ
たもので、内部抵抗が比較的高い電源に接続される電源
端子と内部抵抗が比較的低い電源に接続される電源端子
との電位関係を逆転させて使用する場合でも、上記2つ
の電源端子間に電源保護用のMOSトランジスタを接続
することが可能になり、上記内部抵抗が比較的高い電源
に接続される電源端子に印加されたサージを吸収する能
力を高めることが可能になる半導体集積回路を提供する
ことを目的とする。
【0020】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体集積回路
は、半導体基板上に形成され、所定の電源電位が供給さ
れ、第1の第1電源端子と、前記半導体基板上に形成さ
れ、前記第1電源端子とは異なる電源電位がそれぞれ供
給される第2電源端子および第3電源端子と、前記半導
体基板上に形成され、上記第2電源端子および第3電源
端子の間にソース・ドレイン間が接続され、ゲートおよ
び基板領域が前記第1電源端子に接続されている電源保
護用のMOSトランジスタとを具備することを特徴とす
る。
【0021】
【作用】第2電源端子と第3電源端子との間に接続され
ている電源保護用のMOSトランジスタのゲート電極
に、第2電源端子の電源電位もしくは第3電源端子の電
源電位より高いあるいは低い第1電源端子の電源電位が
印加されることにより、第2電源端子と第3電源端子と
の電位関係によって通常動作時に上記PMOSトランジ
スタがオン状態になることはなく、即ち、第2電源端子
と第3電源端子との電位差に関係なく、第2電源端子も
しくは第3電源端子の一方に印加されたサージを他方か
ら逃がすことが可能になり、耐サージ特性を高めること
が可能になる。
【0022】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。図1は、本発明の第1実施例に係るICの
電源保護回路を示している。
【0023】このICにおいて、第1電源端子11、第
2電源端子12および第3電源端子13が設けられてい
る。第1電源端子11には電源電位VDD(例えば+5
V)が供給され、第2電源端子12には電源電位VDDよ
り低電位の電源電位VSS1(例えば0V)が供給され、
第3電源端子13には電源電位VDDより低電位の電源電
位VSS2(例えば−5V)が供給される。上記各電源端
子は、例えばそれぞれ外部接続端子であり、この3種類
の独立した電源端子に対応して3種類の独立した電源配
線1〜3がレイアウトされている。
【0024】上記第2電源端子12と第3電源端子13
との間には、エンハンスメント型のPMOSトランジス
タP0のソース・コレクタ間が接続されており、このト
ランジスタのゲート電極および基板領域(サブストレー
ト、バックゲート)は前記第1電源端子11に接続され
ている。図2の(a)および(b)は、図1中のPMO
SトランジスタP0の相異なる具体的な構造を示す断面
図である。
【0025】図2の(a)および(b)において、21
はN型半導体基板、22および23は上記N型基板21
の表層部に選択的に形成されたP+ 型不純物領域からな
るPMOSトランジスタP0のソース領域およびドレイ
ン領域、28は上記ソース・ドレイン間の基板領域(チ
ャネル領域)の表面に形成されたゲート絶縁膜、24は
ゲート絶縁膜28上に形成されたゲート電極である。2
5は前記N型基板21の表層部に選択的に形成されたN
+ 型不純物領域からなる基板バイアス印加領域であり、
電源電位VDDが印加される。上記基板内には、図2の
(a)中に示すように、前記ソース領域22をコレク
タ、前記ドレイン領域23をエミッタ領域とし、基板を
ベース領域とするPNPトランジスタ26が寄生的に形
成されている。さらに、上記ベース領域と前記基板バイ
アス印加領域25との間には基板自体が持つ抵抗成分2
7が存在する。なお、上記寄生PNPトランジスタ26
のエミッタ・コレクタは、前記ソース領域22およびド
レイン領域23の電位関係に応じて逆転することがあ
り、図2の(b)中に示すように、前記ソース領域22
をエミッタ、前記ドレイン領域23をコレクタ領域と
し、基板21をベース領域とするPNPトランジスタ2
6が寄生的に形成されることがある。図1のICにおい
て、第2電源端子12および第3電源端子13にサージ
が印加されるのは、次の4つの場合である。 (a)第2電源端子12に負極性のサージ電圧が印加さ
れる場合。 (b)第2電源端子12に正極性のサージ電圧が印加さ
れる場合。 (c)第3電源端子13に負極性のサージ電圧が印加さ
れる場合。 (d)第3電源端子13に正極性のサージ電圧が印加さ
れる場合。
【0026】まず、上記(a)の場合の動作について図
2(a)を参照して説明する。この場合、負極性のサー
ジ電圧の印加による第2電源端子12の電位VSS1の低
下に伴い、ソース領域22の電位も低下する。これに対
して、基板21には基板バイアス印加領域25を介して
電源電位VDDが印加されている。ソース領域22と基板
21とのPN接合のブレークダウン電圧VBは、通常、
20V乃至30Vであり、基板電位に対してソース領域
22の電位がブレークダウン電圧VBを越えると、基板
21からソース領域22に向ってブレークダウン電流が
流れ始める。これにより、基板電位が下降し始め、基板
電位がソース領域22の電位に近付くように低下する。
そして、基板電位がドレイン領域23の電位VSS2に対
して、ドレイン領域23と基板21とのPN接合の順方
向電圧VF(通常、0.7V程度である)よりも低い値
まで低下すると、ドレイン領域23から基板21に向っ
てPN接合電流が流れ始める。この電流が寄生PNPト
ランジスタ26のベース電流になり、このトランジスタ
26がオン状態になり、コレクタ電流icol が流れる。
【0027】さらに、前記第2電源端子12の電位VSS
1の低下に伴い、ソース領域22・ドレイン領域23間
の電位差がPMOSトランジスタP0のパンチスルー電
圧(PMOSトランジスタP0のチャネル長に大きく依
存するが、通常は10V乃至20V)を越えると、ソー
ス領域22・ドレイン領域23間が短絡し、両領域間に
パッチスルー電流ipan が流れる。
【0028】次に、前記(b)の場合の動作について図
2の(b)を参照して説明する。この場合、正極性のサ
ージ電圧の印加による第2電源端子12の電位VSS1の
上昇に伴い、基板電位に対してソース領域22の電位が
ソース領域22と基板21とのPN接合の順方向電圧V
F(通常、0.7V程度である)を越えると、ソース領
域22から基板21に向ってPN接合電流が流れ、基板
21の電位が上昇する。この時、ゲート電極24の電位
に対して基板電位がPMOSトランジスタP0の閾値電
圧を越えると、このトランジスタP0がオン状態にな
り、チャネル電流icha が流れる。また、前記ソース領
域22から基板21に向ってPN接合電流が流れ始める
と、この電流が寄生PNPトランジスタ26のベース電
流になり、このトランジスタ26がオン状態になり、図
2(a)とは逆向きのコレクタ電流icol が流れる。
【0029】なお、前記(c)の場合には、前記(a)
の場合の動作のソース領域22とドレイン領域23とを
入れ替えた動作が行われ、前記(d)の場合には、前記
(b)の場合の動作のソース領域22とドレイン領域2
3とを入れ替えた動作が行われる。
【0030】上記したように、第2電源端子12もしく
は第3電源端子13に、負極性もしくは正極性のサージ
電圧が印加された時には、ソース領域・ドレイン領域間
に各種の電流icha 、icol 、ipan が流れ、これらの
電流によって上記サージを第3電源端子13もしくは第
2電源端子12に逃がすことが可能になる。
【0031】即ち、図1のICによれば、第2電源端子
12と第3電源端子13との間に接続されている電源保
護用のPMOSトランジスタP0のゲート電極24に、
第2電源端子12の電源電位VSS1もしくは第3電源端
子13の電源電位VSS2より高い第1電源端子11の電
源電位VDDが印加されることにより、第2電源端子12
と第3電源端子13との電位関係によって通常動作時に
上記PMOSトランジスタP0がオン状態になることは
なく、即ち、第2電源端子12と第3電源端子13との
電位差に関係なく、第2電源端子12もしくは第3電源
端子13の一方に印加されたサージを他方から逃がすこ
とが可能になり、耐サージ特性を高めることが可能にな
る。
【0032】従って、上記2つの電源端子のうちの一方
の電源電位をIC外部あるいは同一IC上に設けられた
内部抵抗が比較的高い電源に接続した場合でも、上記内
部抵抗が比較的高い電源に接続される電源端子に印加さ
れたサージを吸収する能力を高めることが可能になり、
耐ラッチアップ等の耐サージ特性の向上を図ることがで
きる。
【0033】また、内部抵抗が比較的高い電源に接続さ
れる電源端子と内部抵抗が比較的低い電源に接続される
電源端子との電位関係を逆転させて使用する場合でも、
電源保護用のPMOSトランジスタP0によるサージ吸
収経路を形成でき、サージを分散させて効果的に吸収す
ることができる。図3は、図1のICの変形例を示して
いる。
【0034】このICは、図1に示した回路と比べて、
従来例と同様に、第1電源端子11と第3電源端子13
との間に、PMOSトランジスタP3およびNMOSト
ランジスタN3が互いに並列に付加接続されている点が
異なる。
【0035】このICによれば、第3電源端子13に印
加されたサージを第2電源端子12および第1電源端子
11の2つに逃がすことが可能になり、耐サージ特性を
さらに高めることが可能になる。図4は、図1のICの
他の変形例を示している。
【0036】このICは、図3に示した回路と比べて、
従来例と同様に、第1電源端子11と第2電源端子12
との間に、PMOSトランジスタP2およびNMOSト
ランジスタN2が互いに並列に付加接続されている点が
異なる。
【0037】このICによれば、第2電源端子12に印
加されたサージを第3電源端子13および第1電源端子
11の2つに逃がすことが可能になり、耐サージ特性を
さらに高めることが可能になる。図5は、本発明の第2
実施例に係るICの電源保護回路を示している。
【0038】このICにおいては、第1電源端子51に
は低電位の電源電位VSS(本例では0V、接地電位GN
D)が印加され、第2電源端子52には接地電位GND
より高電位の電源電位VDD1が印加され、第3電源端子
53には接地電位GNDより高電位の電源電位VDD2が
印加される。上記各電源端子は、例えばそれぞれ外部接
続端子であり、この3種類の独立した電源端子に対応し
て3種類の独立した電源配線1〜3がレイアウトされて
いる。
【0039】そして、上記第3電源端子53と第2電源
端子52との間には、エンハンスメント型のNMOSト
ランジスタN0のドレイン・ソース間が接続されてお
り、このトランジスタのゲート電極および基板領域は前
記第1電源端子51に接続されている。
【0040】図6の(a)および(b)は、図5中のN
MOSトランジスタN0を半導体基板のPウェル領域を
用いて実現する場合の相異なる具体的な構造を示す断面
図である。
【0041】図6の(a)および(b)において、61
はN型半導体基板、62は上記N型基板内に形成された
Pウェル領域、63および64は上記Pウェル領域62
の表層部に選択的に形成されたN+ 型不純物領域からな
るNMOSトランジスタN0のドレイン領域およびソー
ス領域、70は上記ドレイン・ソース間の基板領域(チ
ャネル領域)の表面に形成されたゲート絶縁膜、65は
ゲート絶縁膜上に形成されたゲート電極である。66は
前記Pウェル領域62の表層部に選択的に形成されたP
+ 型不純物領域からなるPウェルバイアス印加領域であ
り、接地電位GNDが印加される。67は前記N型基板
61の表層部に選択的に形成されたN+型不純物領域か
らなる基板バイアス印加領域であり、電源電位VDD2が
印加される。
【0042】上記Pウェル領域62内には、図6の
(a)中に示すように、前記ドレイン領域63をコレク
タ、前記ソース領域64をエミッタ領域とし、Pウェル
領域62をベース領域とするNPNトランジスタ68が
寄生的に形成されている。さらに、上記ベース領域と前
記Pウェルバイアス印加領域66との間には基板自体が
持つ抵抗成分69が存在する。なお、上記寄生NPNト
ランジスタ68のコレクタ・エミッタは、前記ドレイン
領域63およびソース領域64の電位関係に応じて逆転
することがあり、図6の(b)中に示すように、前記ド
レイン領域63をエミッタ、前記ソース領域64をコレ
クタ領域とし、Pウェル領域63をベース領域とするN
PNトランジスタ68が寄生的に形成されることがあ
る。図5のICにおいて、第2電源端子52および第3
電源端子53にサージが印加されるのは、次の4つの場
合である。 (e)第2電源端子52に負極性のサージ電圧が印加さ
れる場合。 (f)第2電源端子52に正極性のサージ電圧が印加さ
れる場合。 (g)第3電源端子53に負極性のサージ電圧が印加さ
れる場合。 (h)第3電源端子53に正極性のサージ電圧が印加さ
れる場合。
【0043】まず、上記(e)の場合の動作について図
6(a)を参照して説明する。この場合、負極性のサー
ジ電圧の印加による第2電源端子52の電位VDD1の低
下に伴い、ソース領域64の電位も低下する。Pウェル
領域62の電位に対してソース領域64の電位がPウェ
ル領域62とソース領域64とのPN接合の順方向電圧
VFよりも低い値まで低下すると、Pウェル領域62か
らソース領域64に向ってPN接合電流が流れ、Pウェ
ル領域62の電位が低下する。この時、ゲート電極65
の電位に対してPウェル領域62の電位がNMOSトラ
ンジスタN0の閾値電圧を越えると、このトランジスタ
N0がオン状態になり、チャネル電流icha が流れる。
また、前記Pウェル領域62からソース領域64に向っ
てPN接合電流が流れ始めると、この電流が寄生NPN
トランジスタ68のベース電流になり、このトランジス
タ68がオン状態になり、コレクタ電流icol が流れ
る。
【0044】次に、前記(f)の場合の動作について図
6の(b)を参照して説明する。この場合、正極性のサ
ージ電圧の印加による第2電源端子52の電位VDD1の
上昇に伴い、Pウェル領域62の電位に対してソース領
域64の電位がPウェル領域62とソース領域64との
PN接合のブレークダウン電圧VBを越えると、ソース
領域64からPウェル領域62に向ってブレークダウン
電流が流れ始める。これにより、Pウェル領域62の電
位が上昇し始め、Pウェル領域62の電位がソース領域
64の電位に近付くように上昇する。そして、Pウェル
領域62の電位がドレイン領域63の電位VDD2に対し
て、Pウェル領域62とドレイン領域63とのPN接合
の順方向電圧VFを越えると、Pウェル領域62からド
レイン領域63に向ってPN接合電流が流れ始める。こ
の電流が寄生NPNトランジスタ68のベース電流にな
り、このトランジスタ68がオン状態になり、図6の
(a)とは逆向きのコレクタ電流icol が流れる。
【0045】さらに、前記第2電源端子52の電位VDD
1の上昇に伴い、ドレイン領域・ソース領域間の電位差
がNMOSトランジスタN0のパンチスルー電圧を越え
ると、ドレイン領域・ソース領域間が短絡し、両領域間
にパッチスルー電流ipan が流れる。
【0046】なお、前記(g)の場合には、前記(e)
の場合の動作のドレイン領域63とソース領域64とを
入れ替えた動作が行われ、前記(h)の場合には、前記
(f)の場合の動作のドレイン領域63とソース領域6
4とを入れ替えた動作が行われる。
【0047】上記したように、第2電源端子52もしく
は第3電源端子53に、負極性もしくは正極性のサージ
電圧が印加された時には、ドレイン領域・ソース領域間
に各種の電流icha 、icol 、ipan が流れ、これらの
電流によって上記サージを第3電源端子53もしくは第
2電源端子52に逃がすことが可能になる。
【0048】即ち、図5に示した保護用のNMOSトラ
ンジスタN0は、第2電源端子52の電源電位VDD1も
しくは第3電源端子53の電源電位VDD2より低い第1
電源端子51の接地電位GNDがゲート電極に印加され
ることにより、第2電源端子52と第3電源端子53と
の電位関係によって通常動作時に上記NMOSトランジ
スタN0がオン状態になることなく、即ち、第2電源端
子52と第3電源端子53との電位差に関係なく、第2
電源端子52もしくは第3電源端子53の一方に印加さ
れたサージを他方から逃がすことが可能になり、耐サー
ジ特性を高めることが可能になる。図7は、図5のIC
の変形例を示している。
【0049】このICは、図5に示したICと比べて、
第1電源端子51と第3電源端子53との間に、PMO
SトランジスタP3およびNMOSトランジスタN3が
互いに並列に付加接続されている点が異なる。
【0050】このICによれば、第3電源端子53に印
加されたサージを第2電源端子52および第1電源端子
51の2つに逃がすことが可能になり、耐サージ特性を
さらに高めることが可能になる。図8は、図5のICの
他の変形例を示している。
【0051】このICは、図7に示したICと比べて、
第1電源端子51と第2電源端子52との間に、PMO
SトランジスタP6およびNMOSトランジスタN6が
互いに並列に付加接続されている点が異なる。
【0052】このICによれば、第2電源端子52に印
加されたサージを第3電源端子53および第1電源端子
51の2つに逃がすことが可能になり、耐サージ特性を
さらに高めることが可能になる。図9は、図5のICの
さらに他の変形例を示している。
【0053】このICは、図5に示したICと比べて、
GND電位より高電位の電源電位VDD3が印加される第
4電源端子(外部接続端子)54が付加され、第3電源
端子53と第2電源端子52との間にエンハンスメント
型のNMOSトランジスタ60のドレイン・ソース間が
付加接続され、上記第4電源端子54と第2電源端子と
の間にエンハンスメント型のNMOSトランジスタ61
のドレイン・ソース間が付加接続されている点が異な
る。上記トランジスタ60のゲート・基板領域およびト
ランジスタ61のゲート・基板領域には、第2電源端子
52もしくは第3電源端子53もしくは第4電源端子5
4の電源電位より低い第1電源端子51の接地電位GN
Dが印加されている。
【0054】このICによれば、第2電源端子52と第
3電源端子53と第4電源端子54との電位関係によっ
て通常動作時に前記電源保護用のNMOSトランジスタ
N0、60、61のいずれかがオン状態になることはな
い、即ち、第2電源端子52と第3電源端子53と第4
電源端子54との電位差に関係なく、第2電源端子52
もしくは第3電源端子53もしくは第4電源端子54の
いずれか1つに印加されたサージを他の2つの逃がすこ
とが可能になり、耐サージ特性を高めることが可能にな
る。図10は、図5のICのさらに他の変形例を示して
いる。
【0055】このICは、図9に示したICと比べて、
第4電源端子54と第1電源端子51との間にPMOS
トランジスタ62およびNMOSトランジスタ63が互
いに並列に付加接続され、第3電源端子53と第1電源
端子51との間にPMOSトランジスタ64およびNM
OSトランジスタ65が互いに並列に付加接続され、第
2電源端子52と第1電源端子51との間にPMOSト
ランジスタ66およびNMOSトランジスタ67が互い
に並列に付加接続されている点が異なる。
【0056】このICによれば、第1電源端子51に印
加されたサージを第2電源端子52、第3電源端子53
および第4電源端子54の3つに逃がすことが可能にな
り、耐サージ特性をさらに高めることが可能になる。。
図11は、本発明の第3実施例に係るICの電源保護回
路を示している。
【0057】このICにおいては、図1に示したICと
比べて、入出力端子(外部接続端子)71からのサージ
入力を電源端子に吸収し、入出力端子71からのサージ
に対しても耐ラッチアップ特性の向上を図るようにした
点が異なる。
【0058】即ち、入出力端子71と第1電源端子11
との間には、ゲート・ドレイン相互が接続されたPMO
SトランジスタP1が挿入され、入出力端子71と第3
電源端子13との間には、ドレイン・ゲート相互が接続
されたNMOSトランジスタN1が挿入されている。ま
た、入出力端子71は抵抗素子72を介して内部回路に
接続されている。なお、第1電源端子11および第2電
源端子12は、内部抵抗の低い通常の外部電源から対応
して電源電位VDD、VSS1が供給され、第3電源端子1
3は上記通常の外部電源よりも内部抵抗の高い電源(昇
圧電源回路あるいは降圧電源回路)から電源電位VSS2
が供給されている。
【0059】図11のICにおいては、入出力端子71
に大電流のサージが印加されると、電源保護用のPMO
SトランジスタP1およびNMOSトランジスタN1が
寄生バイポーラトランジスタとしてオン状態になり、サ
ージが第1電源端子11および第3電源端子13に吸収
される。この時、サージ吸収経路の電気的抵抗値が低い
ほど、また、サージ吸収経路が多いほどサージによる過
電流を効率良く吸収できるので、ラッチアップの発生率
を低く抑えることができる。
【0060】上記第3実施例の場合、第1電源端子11
に吸収されたサージはIC外部へと放出されるが、第3
電源端子13には内部抵抗の高い電源が接続されている
ので第3電源端子13からの過電流の放出は極めて少な
い。従って、上記サージの殆んどは、第3電源端子13
に流入したサージによってオン状態になったPMOSト
ランジスタP0を介して第2電源端子12からIC外部
へと放出される。また、従来例と同様に、第1電源端子
11と第3電源端子13との間に、PMOSトランジス
タP3およびNMOSトランジスタN3を互いに並列に
付加接続しておくことにより、入出力端子71に流入し
たサージをNMOSトランジスタN1を介した後にPM
OSトランジスタP3およびNMOSトランジスタN3
を介して第1電源端子からIC外部へと放出することが
可能になる。
【0061】なお、図11のICにおいては、図1のI
Cと同様に、電源電位VSS1および電源電位VSS2が電
源電位VDDより低ければ、第2電源端子12と第3電源
端子13との電位関係は任意に設定できる。図12は、
本発明の第4実施例に係るICの電源保護回路を示して
いる。
【0062】このICは、図5に示したICにおいて、
ICチップ80上に形成された昇圧電源回路81から第
2電源端子52に電源電位VDD1が供給されている例を
示しており、昇圧電源回路81の一対の外部接続端子F
1、F2間に接続される昇圧用コンデンサC1がICチ
ップ外に設けられ、第1電源端子51と第3電源端子5
3の間に接続される蓄積用コンデンサC2がICチップ
外に設けられている。
【0063】上記昇圧電源回路81は、第2電源端子5
2と第1電源端子51との間に互いに直列に接続され、
ソース・基板領域相互が接続されたPMOSトランジス
タP1および基板領域・ソース相互が接続されたNMO
SトランジスタN1と、このトランジスタP1およびN
1の直列接続点に接続された第1の外部接続端子F1
と、第3電源端子53と第2電源端子52との間に互い
に直列に接続され、ソース・基板領域相互が接続された
PMOSトランジスタP3およびソース・基板領域相互
が接続されたPMOSトランジスタP2と、このトラン
ジスタP3およびP2の直列接続点に接続された第2の
外部接続端子F2と、上記トランジスタP1およびN1
およびP3の各ゲートに昇圧用クロック信号CLKを供
給するための配線82と、上記昇圧用クロック信号CL
Kを反転させて前記PMOSトランジスタP2のゲート
に反転クロック信号/CLKを供給するためのインバー
タ回路83とからなる。
【0064】次に、上記昇圧電源回路81に前記昇圧用
コンデンサC1が接続されている状態における動作を説
明する。昇圧用クロック信号CLKが“H”レベル(電
位VDD1)の時、トランジスタP2およびN1がそれぞ
れオン状態になり、トランジスタP1およびP3がそれ
ぞれオフ状態になり、第1の外部接続端子F1の電位が
GND、第2の外部接続端子F2の電位がVDD1になる
ように昇圧用コンデンサC1が充電される。
【0065】これに対して、昇圧用クロック信号CLK
が“L”レベル(電位GND)になると、トランジスタ
P2およびN1がそれぞれオフ状態になり、トランジス
タP1およびP3がそれぞれオン状態になり、第1の外
部接続端子F1の電位がVDD1になり、第2の外部接続
端子F2の電位は昇圧用コンデンサC1の容量結合によ
り2×VDD1(昇圧電圧)になり、この昇圧電圧がトラ
ンジスタP3を経て第3電源端子53に出力する。
【0066】上記した昇圧用クロック信号CLKがパル
ス状に変化する動作を繰り返すことにより、上記したよ
うな昇圧動作を繰り返し、蓄積用コンデンサC2に昇圧
電圧を継続して安定的に供給する。従って、通常の動作
状態において、第3電源端子53には前記昇圧電源回路
81からの出力電圧のみが供給される。この状態におい
て、電源保護用トランジスタN0は常にオフ状態にな
り、上記したような昇圧動作に何ら影響を及ぼすことは
ない。
【0067】なお、第3電源端子53と第2電源端子5
2との間には、トランジスタP3をサージ吸収経路とし
て有するものの、このトランジスタP3は通常動作状態
を前提に電流供給能力(昇圧用コンデンサC1への充電
能力)が決定されているので、サージを吸収するのに十
分な能力(トランジスタのサイズ)を持たない。また、
上記トランジスタP3と第2電源端子52との間にはト
ランジスタP2が存在し、第3電源端子53と第2電源
端子52との間のサージ吸収経路の抵抗値が高いので、
しかも、前記昇圧用コンデンサC1は、昇圧動作および
昇圧電圧保持動作に必要な小容量しか持たないので、第
3電源端子53にサージが印加された時のサージ吸収能
力は低い。
【0068】しかし、本実施例では、前記第2実施例、
第3実施例と同様の電源保護用トランジスタN0を有し
ているので、第3電源端子53に大電流のサージが印加
されると、電源保護用トランジスタN0がオン状態にな
り、サージの大半は第3電源端子53から第2電源端子
52を介してIC外部の電源へと速やかに放出される。
換言すれば、電源端子に昇圧電源回路81のように内部
抵抗が比較的高い電源が供給される場合でも、耐ラッチ
アップ等の耐サージ特性の向上を図ることが可能になっ
ている。
【0069】なお、上記各実施例においては、電源保護
用トランジスタP0、N0としてMOSトランジスタを
用いたが、これに代えて、上記実施例のMOSトランジ
スタのゲート電極を省略した構造のダイオードを用いる
ように変更してもよい。
【0070】このように変更した場合のICは、半導体
基板上に形成され、所定の電源電位が供給される第1電
源端子と、前記半導体基板上に形成され、前記第1電源
端子よりもそれぞれ低電位あるいは高電位の電源電位が
供給される第2電源端子および第3電源端子と、前記半
導体基板あるいはこの半導体基板内のウェル領域に形成
され、上記第2電源端子および第3電源端子にそれぞれ
対応して接続され、前記半導体基板あるいはウェル領域
とは逆導電型の不純物領域とを具備し、この不純物領域
が形成されている半導体基板あるいはウェル領域に前記
第1電源端子が接続されていることを特徴とする。
【0071】
【発明の効果】上述したように本発明のICによれば、
内部抵抗が比較的高い電源に接続される電源端子と内部
抵抗が比較的低い電源に接続される電源端子との電位関
係を逆転させて使用する場合でも、上記2つの電源端子
間に電源保護用の素子を接続することが可能になり、上
記内部抵抗が比較的高い電源に接続される電源端子に印
加されたサージを吸収する能力を高め、耐ラッチアップ
等の耐サージ特性の向上を図るることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例に係るICの電源保護回路
を示すブロック図。
【図2】図1中のPMOSトランジスタの相異なる具体
的な構造を示す断面図。
【図3】図1のICの変形例を示す回路図。
【図4】図1のICの他の変形例を示す回路図。
【図5】本発明の第2実施例に係るICの電源保護回路
を示す回路図。
【図6】図5中のNMOSトランジスタの相異なる具体
的な構造を示す断面図。
【図7】図5のICの変形例を示す回路図。
【図8】図5のICの他の変形例を示す回路図。
【図9】図5のICのさらに変形例を示す回路図。
【図10】図5のICのさらに他の変形例を示す回路
図。
【図11】本発明の第3実施例に係るICの電源保護回
路を示す回路図。
【図12】本発明の第4実施例に係るICの電源保護回
路を示す回路図。
【図13】従来のICの電源保護回路の相異なる例を示
す回路図。
【符号の説明】
11、51…第1電源端子、12、52…第2電源端
子、13、53…第3電源端子、54…第4電源端子、
P0、N0…電源保護用MOSトランジスタ、81…昇
圧電源回路。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成5年1月13日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0005
【補正方法】変更
【補正内容】
【0005】そして、図13の(a)のICにおいて
は、信号入力端子14と第1電源端子11との間には、
Pチャネル絶縁ゲート型トランジスタ(PMOSトラン
ジスタ)P1が挿入され、信号入力端子14と第2電源
端子12との間には、Nチャネル絶縁ゲート型トランジ
スタ(NMOSトランジスタ)N1が挿入されている。
さらに、第1電源端子11と第2電源端子12との間に
は、PMOSトランジスタP2およびNMOSトランジ
スタN2が互いに並列に接続され、第1電源端子11と
第3電源端子13との間には、PMOSトランジスタP
3およびNMOSトランジスタN3が互いに並列に接続
され、第2電源端子12と第3電源端子13との間に
は、PMOSトランジスタP6およびNMOSトランジ
スタN6が互いに並列に接続されている。なお、15は
信号入力端子14の信号入力をIC内部回路へ取り込む
ための入力バッファ回路である。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0008
【補正方法】変更
【補正内容】
【0008】一方、図13の(b)のICにおいては、
第2電源端子12と第3電源端子13との間にPMOS
トランジスタP6およびNMOSトランジスタN6が互
いに並列に接続されている。この場合、トランジスタP
6のゲートは第電源端子12に接続されている。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0020
【補正方法】変更
【補正内容】
【0020】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体集積回路
は、半導体基板上に形成され、所定の電源電位が供給さ
第1の第1電源端子と、前記半導体基板上に形成さ
れ、前記第1電源端子とは異なる電源電位がそれぞれ供
給される第2電源端子および第3電源端子と、前記半導
体基板上に形成され、上記第2電源端子および第3電源
端子の間にソース・ドレイン間が接続され、ゲートおよ
び基板領域が前記第1電源端子に接続されている電源保
護用のMOSトランジスタとを具備することを特徴とす
る。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0021
【補正方法】変更
【補正内容】
【0021】
【作用】第2電源端子と第3電源端子との間に接続され
ている電源保護用のMOSトランジスタのゲート電極
に、第2電源端子の電源電位もしくは第3電源端子の電
源電位より高いあるいは同等の第1電源端子の電源電位
が印加されることにより、第2電源端子と第3電源端子
との電位関係によって通常動作時に上記PMOSトラン
ジスタがオン状態になることはなく、即ち、第2電源端
子と第3電源端子との電位差に関係なく、第2電源端子
もしくは第3電源端子の一方に印加されたサージを他方
から逃がすことが可能になり、耐サージ特性を高めるこ
とが可能になる。
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0024
【補正方法】変更
【補正内容】
【0024】上記第2電源端子12と第3電源端子13
との間には、エンハンスメント型のPMOSトランジス
タP0のソース・ドレイン間が接続されており、このト
ランジスタのゲート電極および基板領域(サブストレー
ト、バックゲート)は前記第1電源端子11に接続され
ている。
【手続補正6】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0042
【補正方法】変更
【補正内容】
【0042】上記Pウェル領域62内には、図6の
(a)中に示すように、前記ドレイン領域63をコレク
タ、前記ソース領域64をエミッタ領域とし、Pウェル
領域62をベース領域とするNPNトランジスタ68が
寄生的に形成されている。さらに、上記ベース領域と前
記Pウェルバイアス印加領域66との間にはPウェル領
域62自体が持つ抵抗成分69が存在する。なお、上記
寄生NPNトランジスタ68のコレクタ・エミッタは、
前記ドレイン領域63およびソース領域64の電位関係
に応じて逆転することがあり、図6の(b)中に示すよ
うに、前記ドレイン領域63をエミッタ、前記ソース領
域64をコレクタ領域とし、Pウェル領域63をベース
領域とするNPNトランジスタ68が寄生的に形成され
ることがある。図5のICにおいて、第2電源端子52
および第3電源端子53にサージが印加されるのは、次
の4つの場合である。 (e)第2電源端子52に負極性のサージ電圧が印加さ
れる場合。 (f)第2電源端子52に正極性のサージ電圧が印加さ
れる場合。 (g)第3電源端子53に負極性のサージ電圧が印加さ
れる場合。 (h)第3電源端子53に正極性のサージ電圧が印加さ
れる場合。
【手続補正7】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0045
【補正方法】変更
【補正内容】
【0045】さらに、前記第2電源端子52の電位VDD
1の上昇に伴い、ドレイン領域・ソース領域間の電位差
がNMOSトランジスタN0のパンチスルー電圧を越え
ると、ドレイン領域・ソース領域間が短絡し、両領域間
にパチスルー電流ipan が流れる。
【手続補正8】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0053
【補正方法】変更
【補正内容】
【0053】このICは、図5に示したICと比べて、
GND電位より高電位の電源電位VDD3が印加される第
4電源端子(外部接続端子)54が付加され、第3電源
端子53と第2電源端子52との間にエンハンスメント
型のNMOSトランジスタ60のドレイン・ソース間が
付加接続され、上記第4電源端子54と第2電源端子52
との間にエンハンスメント型のNMOSトランジスタ6
1のドレイン・ソース間が付加接続されている点が異な
る。上記トランジスタ60のゲート・基板領域およびト
ランジスタ61のゲート・基板領域には、第2電源端子
52もしくは第3電源端子53もしくは第4電源端子5
4の電源電位より低い第1電源端子51の接地電位GN
Dが印加されている。
【手続補正9】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0062
【補正方法】変更
【補正内容】
【0062】このICは、図5に示したICにおいて、
ICチップ80上に形成された昇圧電源回路81から第
電源端子53に電源電位VDD2が供給されている例を
示しており、昇圧電源回路81の一対の外部接続端子F
1、F2間に接続される昇圧用コンデンサC1がICチ
ップ外に設けられ、第1電源端子51と第3電源端子5
3の間に接続される蓄積用コンデンサC2がICチップ
外に設けられている。
【手続補正10】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0067
【補正方法】変更
【補正内容】
【0067】なお、第3電源端子53と第2電源端子5
2との間には、トランジスタP3をサージ吸収経路とし
て有するものの、このトランジスタP3は通常動作状態
を前提に電流供給能力(昇圧用コンデンサC1への充電
能力)が決定されているので、サージを吸収するのに十
分な能力(トランジスタのサイズ)を持たない。また、
上記トランジスタP3と第2電源端子52との間にはト
ランジスタP2が存在し、第3電源端子53と第2電源
端子52との間のサージ吸収経路の抵抗値が高、しか
も、前記昇圧用コンデンサC1は、昇圧動作および昇圧
電圧保持動作に必要な小容量しか持たないので、第3電
源端子53にサージが印加された時のサージ吸収能力は
低い。
【手続補正11】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0070
【補正方法】変更
【補正内容】
【0070】このように変更した場合のICは、半導体
基板上に形成され、所定の電源電位が供給される第1電
源端子と、前記半導体基板上に形成され、前記第1電源
端子よりもそれぞれ低電位あるいは高電位の電源電位が
供給される第2電源端子および第3電源端子と、前記半
導体基板あるいはこの半導体基板内のウェル領域に形成
され、上記第2電源端子および第3電源端子にそれぞれ
対応して接続され前記半導体基板あるいはウェル領域
とは逆導電型の不純物領域とを具備し、この不純物領域
が形成されている半導体基板あるいはウェル領域に前記
第1電源端子が接続されていることを特徴とする。
【手続補正12】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0071
【補正方法】変更
【補正内容】
【0071】
【発明の効果】上述したように本発明のICによれば、
内部抵抗が比較的高い電源に接続される電源端子と内部
抵抗が比較的低い電源に接続される電源端子との電位関
係を逆転させて使用する場合でも、上記2つの電源端子
間に電源保護用の素子を接続することが可能になり、上
記内部抵抗が比較的高い電源に接続される電源端子に印
加されたサージを吸収する能力を高め、耐ラッチアップ
等の耐サージ特性の向上を図ことができる。
【手続補正13】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図6
【補正方法】変更
【補正内容】
【図6】

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体基板上に形成され、所定の電源電
    位が供給される第1電源端子と、 前記半導体基板上に形成され、前記第1電源端子よりも
    それぞれ低電位あるいは高電位の電源電位が供給される
    第2電源端子および第3電源端子と、 前記半導体基板上に形成され、上記第2電源端子および
    第3電源端子の間にソース・ドレイン間が接続され、ゲ
    ートおよび基板領域が前記第1電源端子に接続されてい
    る電源保護用のMOSトランジスタとを具備することを
    特徴とする半導体集積回路。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の半導体集積回路におい
    て、 前記第2電源端子および第3電源端子には第1電源端子
    よりも低電位の電源電位が供給され、 前記MOSトランジスタはPMOSトランジスタである
    ことを特徴とする半導体集積回路。
  3. 【請求項3】 請求項1記載の半導体集積回路におい
    て、 前記第2電源端子および第3電源端子には第1電源端子
    よりも高電位の電源電位が供給され、 前記MOSトランジスタはNMOSトランジスタである
    ことを特徴とする半導体集積回路。
  4. 【請求項4】 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の
    半導体集積回路において、前記第2電源端子に電源電位
    を供給する電源の内部抵抗と前記第3電源端子に電源電
    位を供給する電源の内部抵抗とは異なることを特徴とす
    る半導体集積回路。
  5. 【請求項5】 請求項4記載の半導体集積回路におい
    て、前記第2電源端子に電源電位を供給する電源および
    前記第3電源端子に電源電位を供給する電源ののうち、
    内部抵抗が高い方の電源は昇圧電源回路あるいは降圧電
    源回路であることを特徴とする半導体集積回路。
  6. 【請求項6】 半導体基板上に形成され、所定の電源電
    位が供給される第1電源端子と、 前記半導体基板上に形成され、前記第1電源端子よりも
    それぞれ低電位あるいは高電位の電源電位が供給される
    第2電源端子および第3電源端子と、 前記半導体基板あるいはこの半導体基板内のウェル領域
    に形成され、上記第2電源端子および第3電源端子にそ
    れぞれ対応して接続され、前記半導体基板あるいはウェ
    ル領域とは逆導電型の不純物領域とを具備し、 この不純物領域が形成されている半導体基板あるいはウ
    ェル領域に前記第1電源端子が接続されていることを特
    徴とする半導体集積回路。
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