JPH06105241B2 - 超音波探傷装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は金属及び非金属材料の欠陥を超音波探傷法によ
って検査する電子走査形の超音波探傷装置に関するもの
である。

（従来の技術） 電子走査形超音波探傷装置は複数個の微小振動子を並設
したアレイ形の超音波探触子を用い、隣接する複数の振
動子をそれぞれ時間を異ならせて励振し、最大5MHz程度
の超音波をそれぞれ発生させるとともに、これら発生さ
れた位相差のある超音波の干渉により超音波ビームとす
るもので、複数個の微小振動子から送波される超音波ビ
ームの送波タイミングの位相を制御することにより、所
望の方向へ超音波指向性を強め、また、所望点へ超音波
を集束させることができる。また、送信された超音波の
反射波も各微小振動子で受波して遅延をかけることで同
様に位相制御を実施し、加算合成して送信時のビーム方
向における反射エコーの受信信号として利用する。

このような超音波探傷装置では特に、受波ビームの位相
制御については、超音波の受信信号を遅延線により遅延
させたり、ディジタル化して処理したりする等、高度な
技術を必要とし、装置の大型化を招いたり、受信信号の
増幅並びに探傷範囲に関するダイナミックレンジに制限
を与えている。

第10図（ａ）は従来におけるこのような電子走査形の超
音波探傷装置の概略的な構成を示すブロックである。セ
クタスキャン（扇状走査）を例にこれを説明すると、図
に示すように、信号制御器10より所定のタイミングで信
号が出力され、これがマルチチャンネルパルサ３に与え
られる。すると、マルチチャンネルパルサ３はアレイ探
触子２の各振動素子にそれぞれ超音波駆動用高圧パルス
を与える。この超音波駆動用高圧パルスはビーム方向に
応じて必要とする各振動素子位置毎の遅延量を与えられ
たかたちで、それぞれ対応の振動素子に送られる。これ
により、各振動素子はその遅延量対応のタイミングを以
て励振され、指向性を持った超音波ビームとなって被検
体Ｍに送られる。

一方、被検体Ｍからの反射波は各振動素子に受信され、
各振動素子は受信超音波の強さに対応した電気信号を発
生する。これら各信号はマルチチャンネルレシーバ４に
送られ、ここでそれぞれ信号増幅と検波処理等が成され
た後、高速AD変換器群５に送られる。

そして、ここでそれぞれAD変換されてディジタルデータ
化され、次にディジタル加算器６で送信時対応の遅延を
与えたかたちで加算されて合成された後、信号処理器６
で超音波走査時の走査方向対応の画像データに処理さ
れ、映像信号化されてCRT表示器８に映像として表示さ
れる。

超音波ビームの走査方向はコンピュータ９の制御のもと
にセクタスキャンとなるよう逐次遅延時間が制御され、
こうしてアレイ探触子２からの超音波ビームBMはセクタ
スキャンされることになる。

このように受信系としては、アレイ探触子２の各振動子
に対応させた複数個の超音波受信器４と、これら超音波
受信器４からの信号をディジタル化するAD変換器群５と
これら各AD変換器群５の出力データを遅延加算する加算
器６よりなる。

これらのうち、各AD変換器群５は高周波の超音波の受信
信号をディジタル化するために、少なくとも１波長を５
〜10点でディジタル化することの可能な高速ディジタル
変換器が必要である。

第10図（ｂ）には、このような装置を用いてアレイ探触
子２の探傷面に音波伝播媒体であるアクリルシュー１を
付加し、超音波の屈折を利用して被検体Ｍであるタービ
ンホイール部の羽根植込み部７に横波を入射させ、超音
波ビームを扇形走査した時の様子を示しており、また、
第10図の（ｃ）はその時のＢスコープ像を示したもので
ある。

一般に、アクリルシューから鋼材に超音波を入射させた
時には、ビームの屈折を生じ、そのため超音波ビームの
送受波点は見掛け上、一点とはならなくなるため、この
Ｂスコープ像では直感的な欠陥位置判断が困難である。

勿論、超音波振動子のアクリルシュー内回転移動に伴
い、超音波ビームの送受波点並びにアクリルシュー内で
のビーム伝播時間の変動等を考慮し、Ｂスコープ断面像
を表示させる可変角探傷法の例もあるが、この方法にお
いては予め、探傷領域を決め、領域内のデータを一度デ
ィジタル化し、欠陥位置を算定した後、CRT画面上に表
示する方法となることから、エコーを検出した時の屈折
角、ビーム路程長等を直感的に判断し難い。そのため、
結果の判断を適確に行い難い。

特に、超音波ビームが幾重にも同じような幾何学的形状
が続く被検体の該幾何学的形状部分それぞれで反射し、
モード変換等が生じた場合に現われた像を、誤って欠陥
像と判断する危険性もあり、実用性は必ずしも高くな
い。

また、実時間（リアルタイム）で欠陥像を表示するに
は、ディジタル化処理等によって表示が遅くなり、電子
走査法などのように、高速の画像表示を必要とする場合
では、装置が大型化し、複数化して可搬性が損われる。

更に、第10図（ｂ）のように、セクタ走査でＢスコープ
表示させる場合、一般に、超音波ビームの屈折角が大き
くなると、探傷距離も大きくなる他、探傷装置では被検
体形状が変化すれば、被検体断面に応じた表示が必要と
なるので、探傷対象となる被検体に合せた探傷装置とし
て設計する必要が生じ、汎用性に欠ける。

（発明が解決しようとする問題点） このように電子走査形超音波探傷装置はその受信系とし
ては、アレイ探触子２の各振動子に対応させた複数個の
超音波受信器４と、これら超音波受信器４からの信号を
ディジタル化するAD変換器群５とこれら各AD変換器群５
の出力データを遅延加算する加算器６よりなる。

これらのうち、各AD変換器群５は高周波の超音波の受信
信号をディジタル化するために、少なくとも１波長を５
〜10点でディジタル化することの可能な高速ディジタル
変換器が必要であり、しかも、各振動子毎に対応して設
ける必要がある。従って、その数が膨大でコストや占有
面積の問題が残る。

また、超音波の受波信号を遅延させて位相加算する必要
があるが、超音波が高周波となると受信波形の位相整合
のための遅延時間制御精度が不十分となり、波形も遅延
によって歪み、十分な位相加算ができない。そのため、
像が不明瞭となり、探傷精度も悪い。

また、電子走査の特徴としてＢスコープ像を実時間でCR
T上に表示することができる点が挙げられるが、被検体
形状が変化したり、屈折角が大きくなり、探傷領域が増
加したり、被検体内で反射・散乱・モード変換が生じた
りすると、表示が画一的であるために探傷結果の判断を
困難にしている。更に、探傷結果を外部記憶装置に記録
するに当り、記録する領域を予め固定するか、または探
傷画面をそのままディジタル化して記録するため、欠陥
エコーの検出条件が事前に十分把握されていない場合
は、重要な欠陥エコーを記録し得なかったり、あるいは
不必要なデータまで記録することになり、膨大な記憶容
量を必要としたりする。

そこで本発明の目的とするところは、高い周波の超音波
を発生する探触子を用いての電子走査形超音波を実施可
能にするとともに、探傷結果の判定が容易で小形化の可
能な超音波探傷装置を提供することにある。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段） 上記目的を達成するため、本発明は次のように構成す
る。すなわち、アレイ探触子と、このアレイ探触子を構
成する各振動子に対して送波超音波ビームについて位相
制御により多次元の領域内について電子走査させるべく
駆動制御する駆動制御手段と、アレイ探触子の振動子群
のうち１つまたは少数の振動子の受波信号出力を得て、
これを検波増幅する受信手段と、この受信手段の出力信
号を受け、これを表示器の表示画面において送波時にお
ける前記電子走査での超音波走査線対応位置順に並列に
Ａスコープ表示する表示制御手段とより構成する。

（作 用） このような構成において、駆動制御手段はアレイ探触子
を構成する各振動子に対して送波超音波ビームについて
位相制御により電子走査させるべく駆動制御する。そし
て、送波超音波ビームについて電子走査させる。一方、
受波は受信手段によりアレイ探触子を構成する振動子群
の１つまたは少数の振動子の受波信号出力についてこれ
を検波増幅する。この受信手段の出力信号は表示制御手
段に与えられ、表示制御手段はこの受信手段からの信号
を受けるとこれを表示器の表示画面において送波時の前
記電子走査での超音波走査線対応位置順にＡスコープ表
示するように制御して表示信号を発生する。これにより
表示器の表示画面には超音波走査に対応して順に並列に
Ａスコープ像が表示されることになり、２次元領域など
の多次元領域において電子走査した断面の像が、その各
走査線についてはＡスコープ像として表示されること
で、Ａスコープ像をＢスコープ像やＣスコープ像的に表
示することができて、各々の特徴を合わせ持つ画像が得
られることになる。

このように、本装置は送波超音波ビームは位相制御によ
り電子走査させるとともに、受波信号はアレイ探触子の
振動子群の１つまたは少数の振動子の出力を用い、送波
は指向性を以て、また、受波は無指向性で行うように
し、無指向性の受波波形は表示器の表示画面の超音波走
査線対応位置にＡスコープ表示するようにしたものであ
る。

従って、本装置によれば、受波信号を位相制御せずに処
理するため、高周波の電子走査形超音波探傷を容易に実
施できるようになる他、装置の構成が簡素化され、また
AD変換器が不用で小形化できる。また、アナログ信号の
まま取扱えるため、信号の処理スピードが高く、従っ
て、探傷距離も十分にとることができるため、探傷効率
が向上する他、Ａスコープ表示であるため、探傷結果を
評価し易くなる。また、本発明ではセクタスキャンにお
いても、Ａスコープを走査順に配列表示することができ
るため、Ｂスコープの同様な観察効果が得られる他、Ａ
スコープ表示であるから超音波ビーム反射，屈折，散乱
に伴うＢスコープ像のような判定の複雑さが解消され
る。

従って本発明によれば、高い周波の超音波を発生する探
触子を用いての電子走査形超音波を実施可能にするとと
もに、探傷結果の判定が容易で小形化の可能な超音波探
傷装置を提供することができる。

（実施例） 以下、本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。

第１図は本発明による装置の一実施例を示すブロック図
である。

図において、11はアクリルシュー、12はアレイ探触子で
あり、送受波面にアクリルシュー11を有したアレイ探触
子12は、信号制御器24からのトリガタイミング信号に従
い、高圧パルスを発生するマルチチャンネルパルサ13か
らの高圧パルスによって駆動され、所望の方向へ超音波
ビームを送波するものである。15は超音波像を表示する
CRT表示器、14は１チャンネル分のレシーバであり、こ
のレシーバ14はアレイ探触子12の例えば中央の振動子で
受波された超音波ビームを増幅検波するものである。16
はCRT信号発生器でCRT表示器15に表示させる超音波像の
表示信号を作製するものである。具体的にはレシーバ14
により増幅検波された受波超音波ビームの信号を受け、
Ｙ軸掃引信号を発生するとともに、また、Ｚ軸信号を発
生し、また、CRT信号発生器16は信号制御器24から送波
ビームのトリガ同期信号を受けることにより、コンピュ
ータ25より同時に走査位置についてのアクリルシュー11
内でのビーム路程長liとビーム入射点位置aiと屈折角θ
ｉとを知り、CRT信号としてのＸ軸、すなわち、ビーム
路程長信号Ｔに所定の演算を施してCRT信号としてのＸ
軸、すなわち、時間掃引を行うものである。

22は設定データメモリ（ROM）、23は収集データを記録
する磁気デイスクなどの探傷データ収録器、24は信号制
御器、25は全体の制御を司るコンピュータである。設定
データメモリ22には各電子走査を実施するための各超音
波振動子への高圧パルスを送信するトリガ発生タイミン
グの設定データが走査線18の番号とともに格納されてお
り、コンピュータ25はセクタ走査の進行に伴って変わる
超音波走査線の放射方向に応じて電子走査を実施するた
めの各超音波振動子への高圧パルスを送信するトリガ発
生タイミングの設定データを、このメモリ22より読み出
して制御に用いている。また、コンピュータ25内のメモ
リには各走査線毎に定まる第３図に示したアクリルシュ
ー11内のビーム路程距離liとビーム入射点aiと被検体Ｍ
への屈折角θｉが書込まれている。こと書き込みはコン
ピュータ25のキーボードから各走査線毎に入力しても良
く、また、理論計算に基づいて自動的に行っても良い。

ここで信号制御器24はコンピュータ25が設定データメモ
リ22のデータに基づき出力するｎ本の走査線17−1,〜17
−ｎのトリガ発生タイミング指令を順次繰返して読取り
つつ、送波ビーム用のトリガ信号を各々パルサに送る機
能を有している。20は被検体Ｍ上におけるアレイ探触子
位置を測定する探触子位置検出器であり、ポテンショメ
ータやエンコーダ、磁気スケールなどを利用したもので
ある。21は設定ゲート範囲の信号を出力するゲート信号
発生器であり、ゲート範囲設定することにより、CRT信
号発生器16はこのゲート信号発生器21からのゲート範囲
設定信号を受けて、CRT表示器15上へゲート範囲を輝度
変調させる。ゲート信号発生器21では２つの走査線を選
んでその走査線上の各々任意の２点を自由に設定するこ
とができる。かかる設定がなされると、これをもとにゲ
ート信号を発生するものである。

次に上記構成の本装置の作用について説明する。

送受波面にアクリルシュー11を取付けたアレイ探触子12
は、アクリルシュー11を介して被検体Ｍに接触させてセ
ットされる。このような状態でアレイ探触子12は、信号
制御器24からのトリガタイミング信号に伴い、高圧パル
スを発生するアルチチャンネルパルサ13からの高圧パル
スによって駆動され、所望の方向へ超音波ビームを送波
する。この超音波ビームの送波は第２図に示すように、
位相制御によって被検体Ｍ内を電子走査されるが、受波
ビームRWはアレイ探触子12の送波ビームTWを形成する振
動子群とほぼ中央の１個（若しくは２個程度）の振動子
を利用し、その出力をレシーバ14に与える。

このようにしてアレイ探触子12の中央で受波された超音
波ビームの受信信号は、レシーバ14で増幅検波されて
後、CRT信号発生器16に入力されＹ軸信号として利用さ
れる。

一方、CRT信号発生器16は信号制御器24から送波ビーム
のトリガ同期信号を受けることにより、コンピュータ25
より同時に走査位置についてのアクリルシュー11内での
ビーム路程長liとビーム入射点位置aiと屈折角θｉとを
知り、CRT信号としてのＸ軸、すなわち、ビーム路程長
信号Ｔに以下の演算を施してCRT信号としてのＸ軸信
号、すなわち、時間掃引信号を発生する。

Ti−Ｔ−（li/C1）＋ｕ …（１） Ti′＝Ti−cosθ１＋ｕ′ …（２） Ti″＝Ti−sinθ１−（l1/C1）＋ｕ″ …（３） ここで第１式におけるビーム路程長信号Ｔはビーム路程
基準による表示に用いるものであり、第４図に示すよう
に、信号制御器24からパルサ13に送られるトリガ信号に
同期した信号を基準に発生される掃引信号である。

またC1は超音波のアクリルシュー11内での音速、ｕは任
意に固定されたCRT表示器15上の掃引スタート点を制御
する信号であり、CRT信号発生器16で調整される。

また、第２式のものは深さ方向基準による表示に用いる
もので、CRT表示器15へのＸ軸掃引を、被検体Ｍ表面か
らの深さ距離で実施する場合の演算式であり、ｕ′はｕ
と同様にCRT信号発生器16で調整される。

第３式のものは距離方向基準による表示に用いるもの
で、探触子12からの被検体上の距離をＸ軸上に表示する
場合の演算式であり、C2は被検体中の音速、ｕ″はu,
u′と同様、CRTのＸ軸掃引スタート点を制御する信号で
ある。

これにより、第３図に示すように走査線毎に超音波ビー
ムを見掛け上の入射点位置ai,〜an並びにビーム路程長l
1,lnが変化するが、これらを補正して表示することがで
きるようになる。

以上の３つの表示方式、すなわち、Ｘ軸の掃引方式は第
５図に示すように、いずれもセクタ走査の走査順に並べ
て18−1,〜18−ｎのように並列的に表示され、また、い
ずれの方式を選ぶかはCRT信号発生器16で任意に選択で
きる。

Ｚ軸信号すなわち輝度変調信号も各走査線毎にCRT信号
発生器16から出力され、また、Ｙ軸信号が各走査線18−
1,〜18−ｎ毎に与えられる結果、CRT表示器15上の超音
波走査線対応の表示位置にその走査線での探傷波形（Ａ
スコープ像）が表示される。

この表示は第５図に示すように、セクタ走査の走査順に
並べて18−1,〜18−ｎのように並列的に表示され、しか
も、Ａスコープ表示であるので、欠陥の状況と位置が明
確にわかる。このように走査線毎に超音波ビームと見掛
け上の入射点位置ai,〜an並びにビーム路程長l1,〜lnが
変化するが、これを補正して表示することができるよう
になるため探傷結果の判断がやり易くなる。

CRT信号発生器16は例えばコンピュータ25を介して切換
え指令を与えることにより、CRT表示器15へ任意に選定
される一部または全部の走査線についてのＡスコープ像
26を拡大表示するとともに、CRT表示器15上へ輝度変調
実施の有無を決定するための比較基準レベル27を設定・
表示することを可能にしている。

次にゲート信号発生器21にてゲート範囲設定することに
より、CRT信号発生器16はこのゲート信号発生器21から
のゲート範囲設定信号を受けて、CRT表示器15上へゲー
ト範囲を輝度変調させる。ゲート信号発生器21では２つ
の走査線18i,18jを選んでその走査線上の任意の２点p1,
p2を自由に設定することができ、かかる設定がなされる
と、これをもとにゲート信号を発生するものである。CR
T表示器15に表示される輝度表示点19のうち、ゲート信
号発生器21に設定されたこれら合計４点で囲まれる領域
内での輝度表示点19の探傷データはコンピュータ25へ送
られる。

すなわち、第６図に示すように、比較基準レベル27を超
えるゲート内28探傷波形の最大ピーク値P1,P2,P3とそれ
らのピーク値のビーム路程長t1,t2,t3がCRT信号発生器1
6内で検出され、走査線の番号とともにコンピュータ25
へ送り込まれる。

コンピュータ25には各電子走査を実施するための超音波
振動子への高圧パルスを送信するトリガ発生タイミング
の設定データを走査線18の番号とともに格納した設定デ
ータメモリ22より与えられている。また、コンピュータ
25内のメモリには各走査線毎に定まる第３図に示したア
クリルシュー11内のビーム路程距離liとビーム入射点ai
と被検体Ｍへの屈折角θｉが書込まれている。

また、コンピュータ25には磁気デイスクなどの探傷デー
タ収録器23が接続されており、このコンピュータ25によ
り探傷データ収録器23には上述したゲート内の探傷デー
タがアクリルシュー11内のビーム路程距離li,ビーム入
射点ai,屈折角θｉと、アレイ探触子12に対応する位置
情報がとともに書込まれ、保存される。もちろん、アレ
イ探触子位置は接触子位置検出器20によって測定される
位置情報である。

次に第７図には本発明の他の応用例として、探触子並び
にシューを曲面部に適用した例を示した。この場合には
被検体の曲面形状A1,A2,…,Ai…を予め知っておけば、
各走査線毎にアレイ探触子のシュー端面からの位置ai,b
iがわかり、容易に第５図に示すような探傷像表示を行
うことができる。

第８図はアレイ探触子は送波時の電子走査に使用し、受
波は別の探触子により行う例を示すものである。

この場合、受波用探触子としては十分大きな寸法の振動
子を使用することができるから、探傷感度が向上する。
これはまた、縦波をアレイ探触子で送波し、垂直の縦波
探触子29で受波する場合を考えれば、第９図に示すよう
に超音波の送波時と受波時で、共に高い音圧通過効率を
有するため、従来より高い探傷精度が得られるようにな
る。

尚、この場合には垂直探触子とアレイ探触子間の距離Ｓ
を知れば、超音波ビーム路程Ｔがアレイ探触子入射点F1
と垂直探触子受波点F2を焦点とする等ビーム路程が、楕
円曲面30となることから、送波ビームの屈折角θｉを知
ることで容易に欠陥31の位置を知ることができる。勿
論、横波を入射し、縦波で受波する場合も同様に欠陥位
置を計測し得ることは云うまでもない。

このように、本装置は送波超音波ビームは位相制御によ
り電子走査させるとともに、受波信号はアレイ探触子の
振動子群の中央の振動子の出力を用い、送波は指向性を
持たせ、受波は無指向性で送受波を行うとともに受波信
号を表示器の表示画面の超音波走査線対応位置にＡスコ
ープ表示するようにしたものである。

従って、本装置によれば、受波信号を位相制御せずに処
理するため、高周波の電子走査形超音波探傷を容易に実
施できるようになる他、装置の構成が簡素化され、また
AD変換器が不用で小形化できるために本装置を狭い場所
で使用することを容易にする。また、アナログ信号のま
ま取扱えるため、信号の処理スピードが高く、従って、
探傷距離も十分にとることができるため、探傷効率が向
上する他、Ａスコープ表示であるため、対ノイズ比、ダ
イナミックレンジなどが大幅に向上する。また、本発明
ではセクタスキャンにおいても、Ａスコープを走査順に
配列表示することができるため、Ｂスコープと同様な観
察効果が得られる他、CRT表示系の構成は簡単で済み、
従来のように遠距離路程上と近距離路程上での表示走査
密度が異なったり、超音波ビーム反射，屈折，散乱に伴
うＢスコープ像の判定の複雑さが解消される。また、Ａ
スコープ表示系をビーム路程基準と深さ方向基準と距離
方向基準に瞬時に切換えて表示し得るため、探傷結果を
直接的に評価し易くなる。

さらに、探傷結果の像を観察しつつ記録すべきデータの
範囲を任意に設定することができるため、探傷データを
効率良くメモリに収録できる。これらのメモリ内のデー
タは探触子位置、探傷条件とともに収録されるため、オ
フライン処理によってＢスコープ像、Ｃスコープ像を作
製できる。更に、これらのデータを開口合成用のデータ
として使用しても良く、これによって高解像度のＢスコ
ープまたはＣスコープ像を作製することができるように
なる。

尚、本発明の実施例においては、単一のレシーバ14を使
用した構成例を示したが、レシーバを1,〜２個程度増や
し、少数の複数の振動子出力を用いるようにしても良
い。また、レシーバ14の受信信号増幅を超音波ビーム走
査線毎に変更させても良い。特に、受信信号増幅度をビ
ーム伝播路程に沿って変更させれば、いわゆるビーム路
程距離減衰補正曲線に沿った増幅が可能になり、探傷結
果の判定も容易になる。また、受波に用いる振動子はア
レイ探触子の振動子群のうちの中央のものに限らず、送
信に供したもののうちの中央や、その他の任意の位置の
ものでも可能である。また、本実施例に示した比較基準
レベル曲線を走査線毎に与えても同様な効果が得られ、
いずれも本発明の要旨に含まれる。更に、本発明の実施
例としてアクリルシューを設けたアレイ探触子の場合に
ついて説明したが、水袋等の液体の局部水浸または水浸
で探傷する場合も本願に含まれる。更にはシュー等を付
けずに直接アレイ探触子を被検体に接触させて測定する
こともできる。更に、本実施例では直線状に振動子を配
列した探触子を用いた例を示したが円環状配列、曲面状
配列でも適用できる。また、実施例ではデータ収録器に
収録するデータを最大ピーク値としたがゲート内の信号
波形を収録するようにしても良い。

〔発明の効果〕

以上詳述したように本発明によれば、高い周波の超音波
を発生する探触子を用いての電子走査形超音波を実施可
能にするとともに、探傷結果の判定が容易で小形化の可
能な超音波探傷装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は本発明の一実施例を示すブロック図、第
１図（ｂ）（ｃ）は本装置におけるデータ収集領域の設
定と輝度変調設定を説明するための図、第２図は本発明
の作用を説明するための原理図、第３図は本発明の作用
を説明するための電子走査の模式図、第４図及び第５図
（ａ）（ｂ）（ｃ）は本発明の実施例としてのＡスコー
プ表示例を示す図、第６図は本発明における探傷データ
の収録部分の内容例を説明するための図、第７図は本発
明を曲面部に応用する例を説明するための図、第８図
（ａ）（ｂ）は本発明の他の応用例としての二探触子法
を説明する図、第９図（ａ）（ｂ）は本発明の効果を説
明するための図、第10図（ａ）（ｂ）（ｃ）は従来例を
説明するための図である。 11……アクリルシュー、12……アレイ探触子、13……マ
ルチチャンネルパルサ、14……レシーバ、15……CRT表
示器、22……設定データメモリ（ROM）、23……探傷デ
ータ収録器、24……信号制御器、25……コンピュータ。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】アレイ探触子と、 このアレイ探触子を構成する各振動子に対して送波超音
   波ビームについて位相制御により多次元の領域内につい
   て電子走査させるべく駆動制御する駆動制御手段と、 アレイ探触子の振動子群のうち１つまたは少数の振動子
   の受波信号出力を得て、これを検波増幅する受信手段
   と、 この受信手段の出力信号を受け、これを表示器の表示画
   面において送波時における前記電子走査での超音波走査
   線対応位置順に並列にＡスコープ表示する表示制御手段
   とを具備してなる超音波探傷装置。
2. 【請求項２】表示制御手段にはＡスコープ表示をビーム
   路程基準，深さ方向基準，距離方向基準のいずれか基準
   とする表示に切換えて表示する機能を持たせたことを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載の超音波探傷装置。