JPS6367564A

JPS6367564A - 超音波探傷装置

Info

Publication number: JPS6367564A
Application number: JP61213050A
Authority: JP
Inventors: Kuniharu Uchida; 内田　邦治
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1986-09-10
Filing date: 1986-09-10
Publication date: 1988-03-26
Anticipated expiration: 2009-12-21
Also published as: JPH06105241B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】ＣＢ明の目的）（産業上の利用分野）本発明は金属及び非金属材料の欠陥を超音波ビームによ
って検査する電子走査形の超音波探傷装置に間するもの
である。

（従来の技術）電子走査形超音波探傷装置は？！数圓の微小振動子を並
設したアレイ形の超音波ビームを用い、隣接する複数の
振動子をそれぞれ時間を異ならせて励振し、最大５　Ｍ
　８２程度の超音波をそれぞれ発生させるとともに、こ
れら発生された位相差のある超音波の干渉により超音波
ビームとするもので、複数個の微小振動子から送波され
る超音波ビームの送波タイミングの位相をｉｌＪ　ｌＩ
Ｉすることにより、所望の方向へ超音波指向性を強め、
また、所望点へ超音波を集束させることができる。また
、送（ｇされた超音波の反ｔＪＪ波も各微小振動子で受
波して遅延をかけることで同様に位相制御を実施し、加
算合成して送信時のビーム方向における戻口・ｊエコー
の受信信号として利用する。

このような超音波探１カ装置では特に、受渡ご−ムの位
相制御については、超音波の受信信号を遅延線により遅
延させたり、ディジタル化して処理したりする等、高度
な技術を必要とし、装置の大型化を招いたり、受信信号
の増幅並びに探傷範囲に関するダイナミックレンジに制
限を与えている。

第１０図（ａ）は従来におけるこのような電子走査形の
超音波探傷装置の概略的な（１成を示すブロック図であ
る。セクタスキャン（扇状走査）を例にこれを説明する
と、図に示すように、信号制御器１０より所定のタイミ
ングで信号が出力され、これがマルチチャンネルパルサ
３に与えられる。

すると、マルチチャンネルバルサ３はアレイ探触子２の
各振動素子にそれぞれ超音波Ｅ動用高圧パルスを与える
。この超音波駆動用高圧パルスはビーム方向に応じて必
要とする各撮動素子位置毎の遅延口を与えられたかたち
で、それぞれ対応の振動素子に送られる。これにより、
各振動素子はその遅延り対応のタイミングを以て動感さ
れ、指向性を持った超音波ビームとなって被検体Ｍに送
られる。

一方、被検体Ｍからの反射波は各振動素子に受信され、
各振動素子は受信超音波の強さに対応した電気信号を発
生する。これら各信号はマルチチャンネルレシーバ４に
送られ、ここでそれぞれ信号増幅と検波処理等が成され
た後、高速ＡＤ変換器群５に送られる。

そして、ここでそれぞれＡＤ変換されてディジタルデー
タ化され、次にディジタル加算器６で送信時対応の遅延
を与えたかたちで加算されて合成された後、信号処理器
６で超音波走査時の走査方向対応の画像データに処理さ
れ、映像信号化されてＣＲ７表示器８に映像として表示
される。

超音波ビームの走査方向はコンピュータ９のＩＩＩ　Ｉ
ＩＩのもとにセクタスキャンとなるよう逐次遅延時間が
制御され、こうしてアレイ探触子２からの超音波ビーム
ＢＭはセクタスキャンされることになる。

このように受信系としては、アレイ探触子２の各振動子
に対応させたｍａ個の超音波受信器４と、これら超音波
受信器４からの信号をディジタル化するＡＤ変変換前群
５これら各ＡＤ変換器群５の出力データを遅延加算する
加算器６よりなる。

これらのうち、各ＡＤ変換器群５は高周波の超音波の受
信信号をディジタル化するために、少なくとも１波長を
５〜１０点でディジタル化することの可能な高速ディジ
タル変換器が必要である。

第１０図（ｂ）には、このような装置を用いてアレイ探
触子２の探傷面に音波伝播媒体であるアクリルシュー１
を付加し、超音波の屈折を利用して被検体Ｍであるター
ビンホイール部の羽根植込み部７に横波を入射させ、超
音波ビームを扇形走査した時の様子を示しており、また
、第１０図の（Ｃ）はその時の８スコープ像を示したも
のである。

一般に、アクリルシューから鋼材に超音波を入射させた
時には、ビームの屈折を生じ、そのため超音波ビームの
送受波点は見掛は上、一点とはならなくなるため、この
日スコープ像では直感的な欠陥位置判断が困難である。

勿論、超音波振動子のアクリルシュー内回転移動に伴い
、超音波ビームの送受波点並びにアクリルシュー内での
ビーム伝播時間の変動等を考慮し、Ｂスコープ断面懺を
表示させる可変角探傷法の例もあるが、この方法におい
ては予め、探傷領域を決め、＠域内のデータを１度デイ
ジタル化し、欠陥位置を算定した後、ＣＲＴ画面上に表
示する方法となることから、エコーを検出した詩の屈折
角、ビーム路程長等を直感的に判断し難い。そのため、
結果の判断を適確に行い難い。

特に、超音波ビームが幾重にも同じような幾何学的形状
が続く被検体の該幾何学的形状部分それぞれで反射し、
モード変換等が生じた場合に現われた像を、誤って欠陥
像と判断する危険性もあり、実用性は必ずしも高くない
。

また、実時間（リアルタイム）で欠陥像を表示するには
、ディジタル化処理等によって表示が遅くなり、電子走
査法などのように、高速の画像表示を必要とする場合で
は、装置が大型化し、複雑化して可搬性が損われる。

更に、第１０図（ｂ）のように、セクタ走査でＢスコー
プ表示させる場合、一般に、超音波ビームの屈折角が大
きくなると、探傷距離も大きくなる他、探傷装置では被
検体形状が変化すれば、被検体断面に応じた表示が必要
となるので、探傷対重となる被検体に合せた探傷ｖｉ＠
とじて設計する必要が生じ、汎用性に欠ける。

（発明が解決しようとする問題点）このように電子走査形超音波探傷装置はその受信系とし
ては、アレイ探触子２の各振動子に対応させた複数個の
超音波受信器４と、これら超音波受信器４からの信号を
ディジタル化するＡＤ！換器群５とこれら各ＡＤ変換器
群５の出力データを遅延加算する加算器６よりなる。

これらのうち、各ＡＤ変換器群５は高周波の超音波の受
信信号をディジタル化するために、少なくとも１波長を
５〜１０点でディジタル化することの可能な高速ディジ
タル変換器が必要であり、しかも、各振動子毎に対応し
て設ける必要がある。

従って、その数が膨大でコストや占有面積の問題が残る
。

また、超音波の受波信号を遅延させて位相加算する必要
があるが、超音波が高周波となると受信波形の位相整合
のための遅延１１！ｆｌ制［１度が不十分となり、波形
も遅延によって歪み、十分な位相加算ができない。その
ため、像が不明瞭となり、探傷精度も悪い。

また、電子走査の特徴としてＢスコープ像を実時間でＣ
ＲＴ上に表示することができる点が挙げられるが、被検
体形状が変化したり、屈折角が大きくなり、探傷Ｉｌ域
が増加したり、被検体内で反射・散乱・モード変換が生
じたりすると、表示が画一的であるために探傷結果の判
所を困難にしている。更に、探傷結果を外部記憶装置に
記録するに当り、記録する領域を予め固定するか、また
は探傷画面をそのままディジタル化して記録するため、
欠陥エコーの検出条件が事前に十分把握されていない場
合は、重要な欠陥エコーを記録し１ワなかつたり、ある
いは不必要なデータまで記録することになり、膨大な記
憶容母を必要としたりする。

そこで本発明の目的とするところは、高い周波の超音波
を発生する探触子を用いての電子走査形超音波を実施可
能にするとともに、探傷結果の判定が容易で小形化の可
能な超音波探傷装置を提供することにある。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段）上記目的を達成するため、本発明は次のように構成する
。すなわち、アレイ探触子と、このアレイ探触子を構成
する各撮動子に対して送波超音波ビームについて位相制
御により電子走査させるべく駆動制御する駆動１ｔｉｌ
Ｊ　１０手段と、アレイ探触子の振動子群うち１つまた
は少数の摂動子の受渡信号出力を得て、これを検波増幅
するレシーバと、このレシーバの出力信号を受け表示器
の表示画面の超音波走査線対応位置に順に並列にＡスコ
ープ表示する表示制御手段とより構成する。

（作　用）このような構成において、駆動制御手段はアレイ探触子
を構成する各振動子に対して送波超音波ビームについて
位相制御により電子走査させるべく駆動制御する。そし
て、送波超音波ビームについて電子走査させる。一方、
受波はレシーバによりアレイ探触子を構成する振動子群
の１つまたは少数の振動子の受波信号出力についてこれ
を検波増幅する。このレシーバの出力信号は表示制御手
段に与えられ、表示制御手段はこのレシーバからの信号
を受けるとこれを表示器の表示画面の超音波走査線対応
位置に順にＡスコープ表示するように制御して表示信号
を発生する。これにより表示器の表示画面の超音波走査
線対応位置には超音波走査に対応して順に並列にＡスコ
ープ像が表示されることになる。

このように、本装置は送波超音波ビームは位相１制御に
より電子走査させるとともに、受波信号はアレイ探触子
の振動子群の１つまたは少数の振動子の出力を用い、送
波は指向性を以て、また、受波は無指向性で行うように
し、無指向性の受波波形は表示器の表示画面の超音波走
査線対応位野にＡスコープ表示するようにしたものであ
る。

従って、本装置によれば、受渡信号を位相制御せずに処
理するため、高周波の電子走査形超音波探闘を容易に実
施できるようになる他、装置の構成がｌｌ！！累化され
、またＡＤ変換器が不用で小形化できる。また、アナロ
グ信号のまま取扱えるため、信号の処理スピードが高く
、従って、探傷距離も十分にとることができるため、探
（ｎ効率が向上する他、Ａスコープ表示であるため、探
傷結果を評画し易くなる。また、本発明ではセクタスキ
ャンにおいても、Ａスコープを走査順に配列表示するこ
とができるため、Ｂスコープと同様な観察効果が得られ
る他、Ａスコープ表示であるから超音波ビーム反射、屈
折、散乱に伴うＢスコープ像のような判定の複雑さが解
消される。

従って本発明によれば、高い周波の超音波を発生する探
触子を用いての電子走査形超音波を実流可能にするとと
もに、探傷結果の判定が容易で小形化の可能な超音波探
（Ｉ装置を提供することができる。

（実施例）以下、本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。

第１図は本発明による装置の一実施例を示すブロック図
である。

図において、１１はアクリルシュー、１２はアレイ探触
子であり、送受波面にアクリルシュー１１を有したアレ
イ探触子１２は、信号制御器２４からのトリガタイミン
グ信号に従い、高圧パルスを発生するマルチチャンネル
バルサ１３からの高圧パルスによって駆動され、所望の
方向へ超音波ビームを送波するものである。１５は超音
波像を表示するＣＲ１表示器、１４は１チャンネル分の
レシーバであり、このレシーバ１４はアレイ探触子１２
の例えば中央の振動子で受波された超音波ビームを増幅
検波するものである。１６はＣＲＴ信号発生器でＣＲＴ
表示器１５に表示させる超音波像の表示信号を作製する
ものである。具体的にはレシーバ１４により増幅検波さ
れた受渡超音波ビームの信号を受け、Ｙ軸１１引信号を
発生するとともに、また、２軸信号を発生し、また、Ｃ
ＲＴ信号発生器１６は信号制御器２４から送波ビームの
トリガ同期信号を受けることにより、コンピュータ２５
より同時に走査位置につ′いてのアクリルシュー１１内
でのビーム路程長Ｃ１とビーム入射点位置ａｉと屈折角
θｉとを知り、ＣＲＴ信号としてのＸ軸、すなわち、ビ
ーム路程長信＠王に所定の演口を旋してＣＲＴ信号とし
てのＸ軸、すなわち、時間掃引を行うものである。

２２は設定データメモリ（ＲＯ〜１）、２３は収集デー
タを記録する磁気ディスクなどの探傷データ収録器、２
４は信号制ｍ器、２５は全体の制御を司るコンピュータ
である。設定データメモリ２２には各電子走査を実施す
るための各超音波振動子への高圧パルスを送信するトリ
が発生タイミングの設定データが走査ｌ！１８の番号と
ともに格納されており、コンピュータ２５はセクタ走査
の進行に伴って変わる超音波走査線の放射方向に応じて
電子走査を実施するだめの各超音波＋ｆｉ動子への高圧
パルスを送信するトリガ発生タイミングの設定データを
、このメモリ２２より読み出して制御に用いている。ま
た、コンピュータ２５内のメモリには各走査線毎に定ま
る第３図に示したアクリルシュー１１内のビーム路程距
ｗｉｔとビーム入射点ａ１と被検体Ｍへの屈折角θ１が
書込まれている。この書き込みはコンピュータ２５のキ
ーボードから各走査線毎に入力しても良く、また、理論
計Ｊに基づいて自助的に行っても良い。

ここで信号制御器２４はコンピュータ２５が設定データ
メモリ２２のデータに基づき出力するｎ本の走査＄３１
７−４．〜１７−ｎのトリガ発生タイミング指令を順次
繰返して読取りつつ、送波ビーム用のトリガ信号を各々
バルサに送る四面を有している。

２０は被検体Ｍ上におけるアレイ探触子位置な測定する
探触子位置検出器であり、ポテンショメータやエンコー
ダ、磁気スケールなどを利用しＩ；ものである。２１は
設定ゲート範囲の信号を出力するゲート信号発生器であ
り、ゲート範囲設定することにより、ＣＲＴ信号発生器
１６はこのゲート信号発生器２１からのゲート範囲設定
信号を受けて、ＣＲＴ表示器１５上へゲート範囲を騨度
変調させる。

ゲート信号発生器２１では２つの走査線を運んでその走
査線上の各々任意の２点を自由に設定することができ、
かかる設定がなされると、これをもとにゲート信号を発
生するものである。

次に上記構成の本装置の作用について説明する。

送受波面にアクリルシュー１１を取付けたアレイ探触子
１２は、アクリルシュー１１を介して被検体Ｍに接触さ
せてセットされる。このような状態でアレイ探触子１２
は、信号制御器２４からのトリガタイミング信号に従い
、高圧パルスを発生するマルチチャンネルバルサ１３か
らの高圧パルスによって駆動され、所望の方向へ超音波
ビームを送波する。

この超音波ビームの送波は第２図に示すように、位相制
御によって被検体Ｍ内を電子走査されるが、受波ビーム
ＲＷはアレイ探触子１２の送波ビームＴＷを形成する振
動子群のほぼ中央の１個（若しくは２個程度）の振動子
を利用し、その出力をレシーバ１４に与える。

このようにしてアレイ探触子１２の中央で受波された超
音波ビームの受信信号は、レシーバ１４で増幅検波され
て後、ＣＲＴ信号発生器１Ｇに入力されＹ軸信号として
利用される。

一方、ＣＲＴ信号発生器１６は信号制御器２４から送波
ビームのトリガ同期ＩＺ号を受けることにより、コンピ
ュータ２５より同時に走査位置についてのアクリルシュ
ー１１内でのビーム路程長λｉとビーム入射点位置ａ１
と屈折角θｉとを知り、ＣＲＴ信号としてのＸ軸、すな
わち、ビーム路程長信号Ｔに以下の演算を施してＣＲＴ
信号としてのＸ軸信号、すなわち、時間掃引信号を発生
する。

Ｔ　ｉ　−Ｔ　−（ｆｆｉ　ｌ／ＣＩ　）　＋ＬＪ　　
　・・・（１）Ｔｌ−−Ｔｉ−ｃｏｓθ１＋ｕ−−・・
（２＞Ｔｉ″−Ｔｉ−ｓｉｎθ１ −（βｉ／ＣＩ）＋ｕ″　　・・・（３）ここで第１式
におけるビーム路程長信号Ｔはビーム路程基準による表
示に用いるものであり、第４図に示すように、信号制御
器２４からバルサ１３に送られるトリガ信号に同期した
信号を基準に発生される掃引信号である。

またＣ１は超音波のアクリルシュー１１内での音速、Ｕ
は任意に固定されたＣＲ７表示器１５上の挿引スタート
点を制御する信号であり、ＣＲＴ信号発生器１６でｙ４
整される。

また、第２式のものは深さ方向基準による表示に用いる
もので、ＣＲＴ表示器１５へのｘ？ｉｌｌ掃引を、被検
体Ｍ表面からの深さ距離で実施する場合の演算式であり
、Ｕ′はりと同様にＣＲＴ信号発生器１６で調整される
。

第３式のものは距離方向Ｍ準による表示に用いるもので
、探触子１２からの被検体上の距離をＸ軸上に表示する
場合の演算式であり、Ｃ２は被検体中の音速、ｕ″はＵ
、Ｕ−と同様、ＣＲＴ（７）Ｘｌｌｌ撞引スタート点を
制御する信号である。

これにより、第３因に示すように走査線毎に超音波ビー
ムの見掛は上の入射点位置ａ１．〜ａｎ並びにビーム路
程長λ１．〜２ｎが変化するが、これらを補正して表示
することができるようになる。

以上の３つの表示方式、すなわち、Ｘ軸の１，１引力式
は第５図に示すように、いずれもセクタ走査の走査順に
並べて１８−１、〜１８−ｎのように並列的に表示され
、また、いずれの方式を選ぶかはＣＲＴ信号発生器１６
で任意に選択できる。

２軸信号すなわち輝度変調信号も各走査線毎にＣＲＴ信
号発生器１Ｇから出力され、また、Ｙ軸信号が各走査線
ｉａ−ｉ　、〜１８−ｎ＠に与えられる結果、ＣＲ７表
示器１５上の超音波走査線対応の表示位置にその走査線
での探Ｉ波形（Ａスコープ像）が表示される。

この表示は第５図に示すように、セクタ走査の走査順に
並べて１８−１、〜１８−ｎのように並列的に表示され
、しかも、Ａスコープ表示であるので、欠陥の状況と位
置が明確にわかる。このように走査線毎に超音波ビーム
の見掛は上の入射点位置ａｉ、〜ａｎ並びにビーム路程
長λ１．〜２ｎが変化するが、これを補正して表示する
ことができるようになるため探１ｍ結果の判断がやり易
くなる。

ＣＲＴ信号発生器１６は例えばコンビ１〜り２５を介し
て切換え指令を与えることにより、ＣＲ７表示器１５へ
任意に選定される一部または全部の走査線についてのＡ
スコープ像２６を拡大表示するとともに、ＣＲ７表示器
１５上へ輝度変調実施の有無を決定するための比較基準
レベル２７を設定・表示することを可能にしている。

次にゲート信号発生器２１にてゲート範囲設定すること
により、ＣＲＴ信号発生器１６はこのゲート信号発生器
２１からのゲート範囲設定信号を受けて、ＣＲ７表示器
１５上へゲート範囲を輝度変調させる。ゲート信号発生
器２１では２つの走査線１８１゜１８ｊを選んでその走
査機上の任意の２点ｐ１゜ｐ２を自由に設定することが
でき、かがる設定がなされると、これをもとにゲート信
号を発生するものである。ＣＲ７表示器１５に表示され
る輝度表示点１９のうち、ゲート信号発生器２１に設定
されたこれら合計４点で囲まれる領域内での輝度表示点
１９の探傷データはコンピュータ２５へ送られる。

すなわち、第６図に示すように、比較基準レベル２７を
超えるゲート内２８深傷波形の最大ピークｌｉｔ！Ｐ１
．Ｐ２．Ｐ３とそれらのピーク値のビーム路程長ｔ１．
ｔ２．ｔ３がＣＲＴ信号発生器１６内で検出され、走査
線の番号とともにコンピュータ２５へ送り込まれる。

コンピュータ２５には各電子走査を実１Ｍするための各
超音波振動子への高圧パルスを送信するトリガ発生タイ
ミングの設定データを走査線１８の番号とともに格納し
た設定データメモリ２２より与えられている。また、コ
ンピュータ２５内のメモリには各走査線毎に定まる第３
図に示したアクリルシュー１１内のビーム路程距離りｉ
とビーム入射点ａｉと被検体Ｍへの屈折角θ１が書込ま
れている。

また、コンピュータ２５には磁気ディスクなど一ト内の
探傷データがアクリルシュー１１内のビーム路程距離λ
ｉ、ビーム入射点ａ１．屈折角Ｑｉと、アレイ探触子１
２に対応する位置情報がとともに書込まれ、保存される
。もちろん、アレイ探触子位置は探触子位置検出器２０
によって測定される位置情報である。

次に第７図には本発明の他の応用例として、探触子並び
にシューを曲面部に適用した例を示した。この場合には
被検体の曲面形状Ａ１．Ａ２゜・・・、Ａｉ・・・を予
め知っておけば、各走査線毎アレイ探触子のシュ一端面
からの位１ｆｆａｉ、ｂｉがわかり、容易に第５図に示
すような探閤像表示を行うことができる。

第８図はアレイ探触子は送波時の電子走査に使用し、受
波は別の探触子により行う例を示すものである。

この場合、受波用探触子としては十分大きな寸法の撮動
子を使用することができるから、深間感度が向上する。

これはまた、縦波をアレイ探触子で送波し、垂直の縦波
探触子２９で受波する場合を考えれば、第９図に示すよ
うに超音波の送波時と受渡時で、共に高い音圧通過効率
を有するため、従来より高い探傷精度が得られるように
なる。

尚、この場合には垂直探触子とアレイ探触子間の距ｌｌ
１ＩｌＳを知れば、超音波ビーム路程Ｔがアレイ探触子
入射点Ｆ１と垂直探触子受波点Ｆ２を焦点とする等ビー
ム路程が、楕円曲面３０となることから、送波ビームの
屈折角θｉを知ることで容易に欠陥３１の位置を知るこ
とができる。勿論、横波を入射し、縦波で受波する場合
も同様に欠陥位置を計測し得ることは云うまでもない。

このように、本装置は送波超音波ビームは位相制御によ
り電子走査させるとともに、受波信号はアレイ探触子の
振動子群の中央の振動子の出力を用い、送波は指向性を
持たせ、受波は無指向性で送受波を行うとともに受波信
号を表示器の表示画面の超音波走査線対応位置にＡスコ
ープ表示するようにしたものである。

従って、本ｖ装置によれば、受波信号を位相制御せずに
処理するため、高周波の電子走査形超音波探１鵡を容易
に実厖できるようになる他、装置の構成が簡素化され、
またＡＤ変換器が不用で小形化できるために本装置を狭
い場所で使用することを容易にする。また、アナログ信
号のまま取扱えるため、信号の処理スピードが高く、従
って、探傷距離も十分にとることができるため、探傷効
率が向上する他、Ａスコープ表示であるため、対ノイズ
比、ダイナミックレンジなどが大幅に向上する。また、
本発明ではセクタスキャンにおいても、Ａスコープを走
査順に配列表示することができるため、Ｂスコープと同
様なりＡ￥Ｘ効果が得られる池、ＯＲ丁表示系の構成は
簡単で済み、従来のように遠距離路程上と近距離路程上
での表示走査密度が異なったり、超音波ビーム反射、屈
折、散乱に伴うＢスコープ像の判定の複雑さが解消され
る。また、Ａスコープ表示系をビーム路程基準と深さ方
向基準と距離方向基準に瞬時に切換えて表示し得るため
、探傷結果を直接的に評価し易くなる。

さらに、探傷結果の像を観察しつつ記録すべきデータの
範囲を任意に設定することができるため、探傷データを
効率良くメモリに収録できる。

これらのメモリ内のデータは探触子位置、探傷条件とと
もに収録されるため、オフライン処理によって８スコー
プ像、Ｃスコープ像を作製できる。

更に、これらのデータを開口合成用のデータとして使用
しても良く、これによって高解ｌ！１度のＢスコープま
たはＣスコープ像を作製することができるようになる。

尚、本発明の実施例においては、単一のレシーバ１４を
使用した構成例を示したが、レシーバを１、〜２個程度
増やし、少数の複数の振動子出力を用いるようにしても
良い。また、レシーバ１４の受信信号増幅を超音波ビー
ム走査線毎に変更させても良い。特に、受信信号増幅度
をビーム伝播路程に沿って変更させれば、いわゆるビー
ム路程距離減衰補正曲線に沿った増幅が可能になり、探
傷結果の判定も容易になる。また、受渡に用いる振動子
はアレイ探触子の振動子群のうちの中央のものに限らず
、送信に供したもののうちの中央や、その他のＦｆ意の
位置のものでも可能である。また、本実施例に示した比
較基準レベル曲線を走査線毎に与えても同様な効果が得
られ、いずれも本発明の要旨に含まれる。更に、本発明
の実施例としてアクリルシューを設けたアレイ探触子の
場合について説明したが、氷袋等の液体の局部水浸また
は水浸で探傷する場合も本願に含まれる。更にはシュー
等を付けずに直接アレイ探触子を被検体に接触させて測
定することもできる。更に、本実施例では直線状に振動
子を配列した探触子を用いた例を示したが円環状配列、
曲面状配列でも適用できる。また、実施例ではデータ収
録器に収録するデータを最大ピーク値としたがゲート内
の信号波形を収録するようにしても良い。

〔発明の効果〕

以上詳述したように本発明によれば、高い周波の超音波
を発生する探触子を用いての電子走査形層音波を実施可
能にするとともに、探傷結果の判定が容易で小形化の可
能な超音波探＠装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は本発明の一実施例を示すブロック図、第
１図（ｂ）（ｃ）は本装置におけるデータ収集ｗ４域の
設定と輝度変調設定を説明するための図、第２図は本発
明の詳細な説明するための原理図、茅３図は本発明の詳
細な説明するための電子走査の模式図、第４図及び第５
図（ａ）（ｂ）（Ｃ）は本発明の実施例としてのＡスコ
ープ表示例を示す図、第６図は本発明における探傷デー
タの収録部分の内容例を説明するための図、第７図は本
発明を曲面部に応用する例を説明するための図、第８図
（ａ）（ｂ）は本発明の池の応用例どしての二探触子法
を説明する図、第９図（ａ）（ｂ）は本発明の詳細な説
明するための図、第１０図（ａ）（ｂ）（ｃ）は従来例
を説明するための図である。１１・・・アクリルシュー、１２・・・アレイ探触子、
１３・・・マルチチャンネルバルサ、１４・・・レシー
バ、１５・・・ＣＲＴ表示器、２２・・・設定データメ
モリ（ＲＯＭ）、２３・・・探傷データ収録器、２４・
・・信号制御Ｊ器、２５・・・コンピュータ。出願人代理人　弁理士　鈴江武彦（ｂ）　　　　　　　　　　　　　　（ｃ）第１図第２図一〇第４図第５図第７図第８図（ａ）（ｂ）第９図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）アレイ探触子と、このアレイ探触子を構成する各
振動子に対して送波超音波ビームについて位相制御によ
り電子走査させるべく駆動制御する駆動制御手段と、ア
レイ探触子の振動子群のうち１つまたは少数の振動子の
受波信号出力を得て、これを検波増幅するレシーバと、
このレシーバの出力信号を受け表示器の表示画面の超音
波走査線対応位置に順に並列にＡスコープ表示する表示
制御手段とを具備してなる超音波探傷装置。
（２）表示制御手段にはＡスコープ表示をビーム路程基
準、深さ方向基準、距離方向基準のいずれかを基準とす
る表示に切換えて表示する機能を持たせたことを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の超音波探傷装置。