JPH06105307B2 - ウエハキャリア出し入れポートの障害物検知方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、検知空間内に進入した障害物を検知する方法
に係り、特に半導体製造装置の自動化においてウエハキ
ャリアの出し入れポートにおける障害物を検知するよう
にしたウエハキャリア出し入れポートの障害物検知方法
に関する。

（従来の技術） 一般に、工場内における進入禁止領域や、半導体製造装
置における操作介入禁止領域等への作業者や装置が進入
した際の安全対策として、カーテン状の障害物検知装置
が用いられている。

第３図はカーテン状の障害物検知装置を示すもので、複
数の発光部１が等間隔で配設された光源２と、複数の受
光部３が等間隔で配設された受光器４とが対向配置さ
れ、夫々発光部１と受光部３とが１対１で対応してい
る。この光源２と受光器４を進入禁止領域や操作介入禁
止領域を挟んだ状態で対向配置し、複数の発光部１から
例えば赤外線５を発光させ、上記発光部１に対応した複
数の受光部３で赤外線５を夫々受光する。この時、複数
の発光部１から発光された赤外線５の空間すなわち検知
空間内に作業者等が進入した場合、上記赤外線を遮断す
るため、これにより上記検知空間内への作業者等の進入
を検知して、事故等を防止する。

一方、半導体製造装置においては、複数枚の半導体ウエ
ハを収容したウエハキャリアをクリーンルーム内でロボ
ット等の自動搬送装置により出し入れポートに搬入して
載置し、これを各種処理装置に自動的に搬送する自動化
が進められているが、完全な自動化ではなく、必要に応
じて作業者によるウエハキャリアの搬入や所定位置に正
しく載置されていないウエハキャリアの位置の修正作業
等を許容する作業者の介入を伴う場合がある。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、上記説明の従来の障害物検知装置では、
複数の発光部及び受光部を必要とし、小物体の進入検知
には更に上記発光部及び受光部を必要とするため、コス
トが増大してしまうという問題点があった。

また、このような従来の障害物検知装置を利用して、上
記ウエハキャリアの出し入れポートにおける障害物を検
知することも考えられるが、この場合、障害物検知装置
が作業者の介入、正しい位置に載置されないウエハキャ
リアだけでなく、自動搬送装置による搬入、搬出作業ま
でも障害物として検知してしまい、作業効率の低下を来
す問題がある。

本発明は、上記問題点に対処してなされたもので、半導
体製造装置の自動化においてウエハキャリアの出し入れ
ポートにおける障害物を作業効率の低下を来さずに低コ
ストで検知することができるウエハキャリア出し入れポ
ートの障害物検知方法を提供しようとするものある。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段） 上記目的を達成するために本発明は、自動搬送装置によ
りウエハキャリアを出し入れポートの所定位置に搬入、
搬出するに際して、光源からのビーム光を少なくとも１
回反射させて受光する光学系を上記出し入れポートの入
口に設けておき、上記光学系による検知を上記自動搬送
装置による自動搬送時にのみ解除し、上記光学系により
正しい位置に載置されないウエハキャリア及び作業者の
介入を障害物として検知することを特徴とする。

上記光学系は、１個でもよいが、上記出し入れポートの
所定位置に載置されるキャリアの個数に対応させて複数
設けられていてもよい。

（作用） 本発明方法によれば、ウエハキャリアの出し入れポート
の入口に設けた光学系による検知を自動搬送装置による
自動搬送時にのみ解除するようにしたので、自動搬送装
置による搬送作業を障害物として検知することがなく、
作業効率の向上が図れると共に、上記光学系により正し
い位置に載置されていないウエハキャリア及び作業者の
介入を障害物として検知するため、安全性の向上が図
れ、しかも、上記光学系が光源からのビーム光を少なく
とも１回反射させて受光するものであるから、上記検知
を低コストで行うことが可能となる。

（実施例） 以下に、本発明方法の一実施例につき図面を参照して説
明する。

第１図において、15はクリーンルーム内に設置される半
導体製造装置にウエハキャリア14を搬入、搬出するため
の出し入れポートであり、この出し入れポート15に対し
て自動搬送装置例えばハンドリング装置により上記ウエ
ハキャリア14の搬入、搬出が行われる。

上記出し入れポート15は、キャリアポート台13上に設け
られ、所定位置にウエハキャリア14を横列に複数個実施
例では３個載置できるようになっている。この出し入れ
ポート13の入口には、障害物を検知するための光学系か
らなる障害物検知装置が設けられている。

この障害物検知装置の基本的構成を第２図により説明す
ると、センサー体６には離間状態で一端部に光センサー
の単一光源７が、他端部には単一受光器８が設けられ、
この光源７と受光器８の間には表面が研磨された反射板
例えばミラー９が設けられている。

上記センサー体６の対向位置にはこれと平行に支持体10
が載置され、この支持体10の上記センサー体６の対向面
には表面が研磨された反射板例えばミラー11が設けられ
ている。このように構成された障害物検知装置において
は、上記光源７から例えば赤外線ビーム光12を上記ミラ
ー11に向けて多少の角度をつけた状態で照射させ、その
赤外線ビーム光12を上記支持体10に設けたミラー11と、
センサー体６に設けたミラー９との間で複数回反射させ
て、上記センサー体６に設けた受光器８で受光する。こ
の時、光源７から赤外線ビーム光12を照射する角度は、
受光器８が受光可能な範囲で角度調整するが、照射角度
を大きくするに従い上記ミラー11とミラー９の間におけ
る反射回数が減少し、小物体の検知不可能領域が多く発
生するため、検知物体の大小により選択したり、上記障
害物検知装置を複数箇所に使用して物体の検知を行えば
よい。

このような光学系からなる障害物検知装置を上記出し入
れポート15における障害物の検知に適用する場合には、
第１図に示すように出し入れポート15の入口に角度微調
整可能な光源7aと受光器8aとが多少の間隔をおいて配設
される。この光源7aと受光器8aとの間には、表面が研磨
された反射板例えばミラー9aが設けられている。このミ
ラー9aの対向位置にはポート天井部16が設けられ、この
ポート天井部16の上記ミラー9aの対向面には表面が研磨
された反射板例えばミラー11aが配設されている。

このように光源7a、受光器8a、ミラー9a及びミラー11a
から構成された光学系（障害物検知装置）により図示例
の左端に載置されるウエハキャリアに対応する空間Ａを
検知する。また、上記構成と同様に光源7b、受光器8b、
ミラー9b及びミラー11bから構成された光学系により図
示例の中央に載置されるウエハキャリアに対応する空間
Ｂを検知する。更に、光源7c、受光器8c、ミラー9c及び
ミラー11cから構成された光学系により図示例の右端に
載置されるウエハキャリアに対応する空間Ｃを検知す
る。この３箇所の光学系により上記出し入れポート15の
入口全域をカバーする。

上記構成において、先ず光源7aから例えば赤外線ビーム
光12を上記ミラー11aに向けて多少の角度をつけた状態
で照射すると、赤外線ビーム光はこのミラー11aに到達
して反射した後、更にミラー9a、ミラー11aで順次反射
して受光器8aに受光される。この時、夫々に配設されて
いるミラー、光源及び受光器は上記赤外線ビーム12が到
達可能な如く角度調整されて設定されている。このよう
にして空間Ａにおける障害物の検知を行い、また、空間
Ｂ及び空間Ｃも同様に行う。

このように障害物の検知を実行中、上記空間A,B,Cに上
記赤外線ビーム光12を遮断する障害物として作業者の介
入、正しく載置されなかったウエハキャリア等が存在す
ると、これらの障害物により受光器8a,8b,8cは上記赤外
線ビーム光を検知することができず、異常事態であるこ
とを認識し、アラーム表示、装置動作の停止、更に警報
ベル等の対処を行い異常事態を報告する。

ところで、クリーンルーム内における無人化、自動化へ
の過程として、作業者が介在する自動化がある。そし
て、上記出し入れポート15上における障害物としては、
正しい位置に載置されていないウエハキャリア14、自動
搬送装置及び作業者が考えられる。上記自動搬送装置に
よる自動搬送のスケジューリングは、ホストコンピュー
タにより行われ、作業者の認識外において上記出し入れ
ポート15はリザーブ状態となる。この時の自動搬送装置
による自動搬送のスケジューリングを記憶しておき、自
動搬送時にのみ上記光学系による検知を解除することに
より、自動搬送装置による搬送作業を障害物として検知
してしまうことがなくなり、また、上記光学系により正
しい位置に載置されていないウエハキャリア14及び作業
者の介入を障害物として検知することが可能となる。

従って、自動搬送装置によりウエハキャリア14を出し入
れポート15の所定位置に搬入、搬出するに際して、光源
からのビーム光12を少なくとも１回反射させて受光する
光学系を上記出し入れポート15の入口に設けておき、上
記光学系による検知を上記自動搬送装置による自動搬送
時にのみ解除し、上記光学系により正しい位置に載置さ
れていないウエハキャリア及び作業者の介入を障害物と
して検知するようにする。

このような検知方法を採用することにより、ウエハキャ
リア14の出し入れポート15の入口に設けた光学系による
検知を自動搬送装置による自動搬送時にのみ解除するた
め、自動搬送装置による搬送作業を障害物として検知す
ることがなく、作業効率の向上が図れると共に、上記光
学系により正しい位置に載置されていないウエハキャリ
ア及び作業者の介入を障害物として検知するため、出し
入れポート15に設けられている図示しない自動開閉ドア
によるウエハキャリアの破損等を防止することができ、
安全性の向上が図れ、しかも、上記光学系が光源からの
ビーム光を少なくとも１回反射させて受光するものであ
るから、上記検知を低コストで行うことが可能となる。

上記実施例では、光学系からなる障害物検知装置に赤外
線ビーム光を使用して説明したが、可視光線等でも同様
な効果を得ることができる。また、上記実施例では、２
次元的に障害物の検知を行うようにしたが、３次元的に
障害物の検知を行うようにしてもよい。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、ウエハキャリアの
出し入れポートの入口に設けた光学系による検知を移動
搬送装置による自動搬送時にのみ解除するようにしたの
で、自動搬送装置による搬送作業を障害物として検知す
ることがなく、作業効率の向上が図れると共に、上記光
学系により正しい位置に載置されていないウエハキャリ
ア及び作業者の介入を障害物として検知するため、安全
性の向上が図れ、しかも、上記光学系が光源からのビー
ム光を少なくとも１回反射させて受光するものであるか
ら、上記検知を低コストで行うことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法の一実施例を説明するための斜視
図、第２図は検知装置の基本的構成を示す斜視図、第３
図は従来の障害物検知装置を示す斜視図である。 7,7a,7b,7c……光源、8,8a,8b,8c……受光器、9,9a,9b,
9c,11,11a,11b,11c……ミラー、12……赤外線ビーム
光、14……ウエハキャリア、15……出し入れポート。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】自動搬送装置によりウエハキャリアを出し
   入れポートの所定位置に搬入、搬出するに際して、光源
   からのビーム光を少なくとも１回反射させて受光する光
   学系を上記出し入れポートの入口に設けておき、上記光
   学系による検知を上記自動搬送装置による自動搬送時に
   のみ解除し、上記光学系により正しい位置に載置されな
   いウエハキャリア及び作業者の介入を障害物として検知
   することを特徴とするウエハキャリア出し入れポートの
   障害物検知方法。
2. 【請求項２】上記光学系が、上記出し入れポートの所定
   位置に載置されるキャリアの個数に対応させて複数設け
   られていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
   のウエハキャリア出し入れポートの障害物検知方法。