JPH0610683Y2 - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JPH0610683Y2
JPH0610683Y2 JP1989060537U JP6053789U JPH0610683Y2 JP H0610683 Y2 JPH0610683 Y2 JP H0610683Y2 JP 1989060537 U JP1989060537 U JP 1989060537U JP 6053789 U JP6053789 U JP 6053789U JP H0610683 Y2 JPH0610683 Y2 JP H0610683Y2
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wire bond
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striped pattern
electrode
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修治 片山
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Tottori Sanyo Electric Co Ltd
Sanyo Electric Co Ltd
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  • Wire Bonding (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本考案はワイヤボンド配線がなされた半導体装置に関す
る。
（ロ）従来の技術 従来より発光ダイオード等の半導体素子においては、特
開昭６０−５２０６６号公報等に示される様にエピタキ
シャル成長層の上に電極を設け、この電極の上にワイヤ
ボンド法により配線を施こしている。
（ハ）考案が解決しようとする課題 ところで近年種々の半導体材料が発光素子として着目さ
れるようになってきたが、その中でもエピタキシャル成
長の不均一さが生じるものがあり、例えばスパイラル状
のパターンが生じるものは基板上のある核を中心に結晶
が成長し、それらがそれぞれ成長し合体する。
アルミニウムを含む発光素子（化合物半導体）では第２
図に示すように、エピタキシャル成長によって表面に縞
模様(12)が生じる。従来この縞模様と作業性との関係は
注目されていなかったが、ワイヤボンド不良との間に相
関関係がある事が判った。
（ニ）課題を解決するための手段 本考案は上述の分析に基づいてなされたもので、ワイヤ
ボンドの金属細線の延在方向と縞模様とを略直交させた
ものである。
（ホ）作用 斯る縞模様は化合物半導体の結晶むらやエピタキシャル
成長時の温度むらに起因するものと推測されるが、ワイ
ヤボンド時の衝撃や金属細線の張架時の引張応力によ
り、化合物半導体の歪方向に力が加わる等によりチップ
欠けや電極剥離、金属細線密着不良が生じていたものと
考えられ、この様な不良が生じ難い結晶性方位が縞模様
に直交する方向ということである。
（ヘ）実施例 第１図は本考案実施例の半導体装置の斜視図で、（１）
は縞模様（２）とワイヤボンド電極（３）とを表面に有
した半導体素子で、アルミニウムを含む化合物半導体、
例えばＧａＡｌＡｓ発光ダイオードからなり、裏面電極
（４）はプリントパターン、リードフレーム等の導体
（５）に導電接着剤等で固定されている。この様な半導
体素子の表面側は、例えば液相エピタキシャル成長によ
って形成された混晶比約０．６のＧａＡｌＡｓ層上にＡ
ｕＮｉＧｅを主成分とする電極材料を蒸着し４００〜５
００℃、５〜３０分熱処理してオーミック接触のとられ
た厚さ０．９μｍの乃至１．５μｍのワイヤボンド電極
（３）を形成したものである。
（６）はワイヤボンド電極（３）に第１ワイヤボンド、
導体（７）に第２ワイヤボンドされた金属細線で、半導
体素子（１）の表面の縞模様（２）に対して略直交する
ように延在している。
（ト）考案の効果 この様なワイヤボンド方向についての効果は以下の通り
である。尚、各ロットは素子３００個に対するチップの
欠け、電極剥離、金属細線密着不良（目視判断）等の不
良を示している。
【図面の簡単な説明】
第１図は本考案実施例の半導体装置の斜視図、第２図は
従来の半導体装置の平面図である。 （１）…半導体素子、（２）…縞模様、（３）…ワイヤ
ボンド電極、（６）…金属細線。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】表面にエピタキシャル成長によって生じた
    縞模様とワイヤボンド電極とを有する化合物半導体から
    なる半導体素子と、その素子のワイヤボンド電極にワイ
    ヤボンドされ縞模様と略直交する方向に延在する金属細
    線とを具備した事を特徴とする半導体装置。
JP1989060537U 1989-05-25 1989-05-25 半導体装置 Expired - Lifetime JPH0610683Y2 (ja)

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Publication Number Publication Date
JPH031536U JPH031536U (ja) 1991-01-09
JPH0610683Y2 true JPH0610683Y2 (ja) 1994-03-16

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