JPH0610685Y2 - ウエハ移し換え装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、ウエハ処理工程中で用いるウエハ移し換え
装置に関するものである。

〔従来の技術〕

ウエハ処理工程中、キャリア（ウエハ収納容器）に収容
したウエハは、何回も他のウエハ収納容器、例えば石英
ボートに移し換えられるが、このウエハの移し換えは、
ウエハチャックの上部に駆動装置を設けたウエハ移し換
え装置を用いて行なわれる。

この従来の技術では、ウエハ収納容器に収納されたウエ
ハをつかむ（挟持する）ウエハチャックの上部に駆動装
置が設けられているので、駆動装置から生ずる塵芥が落
下しウエハチャックに挟持されたウエハもしくはウエハ
収納容器に収納されたウエハに付着して、半導体製品に
悪影響をおよぼし、半導体製品製造の歩留まりを低下さ
せるおそれがある。

ウエハチャック駆動装置をウエハチャックの側面に設け
て上記おそれをなくすることは、特開昭６１−１３１４
６５号公報に開示されている。

しかし、この方法はウエハチャックがウエハを保持した
後上昇して上方に停止している間にウエハ収納容器を交
換載置してこの交換されたウエハ収納容器の中にウエハ
を再び収納するものであって、ウエハ収納容器の交換手
段が必要となるとともにウエハ収納容器を交換する時間
が必要となって、ウエハ処理装置が大型になる傾向を来
すばかりでなくウエハ処理能力に時間的な限界を生じる
という問題を有している。

〔考案が解決しようとする課題〕

本考案は上記問題点に対処してなされたもので、駆動装
置から塵埃がウエハ上もしくはウエハ収納容器上に落下
するおそれのないウエハ移し換えに有効な技術を提供す
ることを目的とする。

さらに本発明は、ウエハ収納容器を交換載置することな
くウエハの移し換えを実行できるウエハ移し換え装置を
提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この考案は、ウエハ収納容器に収納されたウエハをウエ
ハチャックにより保持して他のウエハ収納容器に移し換
えるウエハ移し換え装置において、対向配置されるとと
もに対向間隔を変えて前記ウエハ収納容器内に収納され
たウエハを挟持し前記他のウエハ収納容器内へ挟持され
た複数枚のウエハを離脱する第１のウエハチャック部お
よび第２のウエハチャック部と、上記第１のウエハチャ
ック部および第２のウエハチャック部の間隔制御方向に
並行に配置されかつ互いに相反する方向にそれぞれ移動
可能とされ上記第１のウエハチャック部および第２のウ
エハチャック部をそれぞれ支持する第１のロッドおよび
第２のロッドと、この各ロッドに設けられ上記第１のウ
エハチャック部および第２のウエハチャック部を相対的
に移動させるウエハチャック部相対移動機構と、該ウエ
ハチャック部相対移動機構を水平方向に移動させる水平
移動機構とを具備するとともに、前記ウエハチャック部
相対移動機構および上記水平移動機構を、それぞれ前記
ウエハチャックの側方に設けてなるものである。

さらに、この考案は、第１のウエハチャック部および第
２のウエハチャック部をそれぞれ支持する第１のロッド
および第２のロッドは、一方のウエハチャック部を移動
制御する一方のロッドが他方のウエハチャック部を貫通
して設けられるものである。

〔作用〕

本考案は、ウエハチャック部相対移動機構を水平方向に
移動させる水平移動機構を具備することによって、ウエ
ハが収納されたウエハ収納容器と他のウエハ収納容器を
同時にウエハ移し換え装置に配置することができるの
で、ウエハを保持した後にウエハ収納容器を交換する装
置に比較して、ウエハ移し換えに要する時間を短縮する
ことができる。

また、本考案は、ウエハチャック部相対移動機構および
上記水平移動機構を、それぞれ前記ウエハチャックの側
方に設けたので、ウエハを移し換えるときに上記機構が
ウエハの上にくることがなくなり、該機構から生じるの
塵芥がウエハに付着するおそれがなくなる。

〔実施例〕

本考案の実施例を、第１図ないし第３図を用いて説明す
る。各図を通して同一の符号はその名称も機能も同一の
ものを示す。

図において、ウエハチャック１は、駆動装置２により作
動する。さらに、ウエハチャック１は、ウエハ溝を形成
した第１のウエハチャック部３および第２のウエハチャ
ック部４を有する。

駆動装置２は、ウエハチャックの開閉装置（ウエハチャ
ック部相対移動機構）５と平行移動装置（水平移動機
構）６と上下動装置７とにより構成されている。この各
装置５，６，７はウエハチャック１の側方に設けられて
いる。

ウエハチャックの開閉装置５は、第１のウエハチャック
部３に連結された第１のロッド８および第２のウエハチ
ャック部４に連結された第２のロッド９と、第１のロッ
ド８を送りねじ１２へ連結する第１の連結アーム１０お
よび第２のロッドを送りねじ１２へ連結する第２の連結
アーム１１と、送りねじ１２とからなる。

第１の連結アーム１０および第２の連結アーム１１に
は、それぞれ第３図に示す様にその上部に送りねじ１２
と螺合するねじ穴１３が形成され、その下部には第１の
ロッド８の挿通孔１４および第２のロッド９の挿通孔１
５が設けられている。

送りねじ１２には、右ねじ部１６と左ねじ部１７を形成
し、かつその端部には駆動源（図示しない）と連結する
ヘリカルギヤ１８が設けられている。

ロッド１８の一方を第２図に示す如くチャック部３に固
定し、他方を右ねじ部１６に螺合する連結アーム１０の
挿通孔１４に固定すると共に左ねじ部１７に螺合する連
結アーム１１の連通孔１５に遊嵌合する。

又、ロッド９の一方を第２図に示す如くチャック部４に
固定し、他方を、前記連結アーム１０の挿通孔１４に遊
嵌合すると共に前記連結アーム１１の連通孔１５に固定
する。

ウエハチャックの平行移動装置６は、送りねじ１９と送
りナット２０とからなる。送りねじ１９の一端にはプー
リ２１が設けられ、プーリ２１の回転により、ウエハチ
ャック１を載置した送りナット２０は、案内ロッド２２
に案内されながら平行移動する。

上下動装置７は、モータ２３と、プーリ２４，２５と、
上下動用ねじ２６および前記上下動用ねじ２６に螺合す
る支持部材２７とからなる。なお、図において３０はナ
ットである。

次に、本実施例の作動につき説明すると、ウエハキャリ
ア（ウエハ収納容器）２８内のウエハ２９を突き上げ装
置により突き上げ、ウエハチャック１内に位置せしめ、
チャック駆動源を駆動させてヘリカルギヤ１８を回転さ
せると、送りねじ１２が回転し、第１のチャック部３に
連結する連結アーム１０を矢印Ａ１０方向に移動させる
と同時に第２のチャック部４に連結する連結アーム１１
は矢印Ａ１１方向に移動する。

従って第１のチャック部３は矢印Ａ３方向に移動し一点
鎖線３Ａで示す位置に移行する。同時に第２のチャック
部４も矢印Ａ４方向に移動一点鎖線４Ａで示す位置に移
行するので前記ウエハ２９は両側からすくい上げられる
状態（挟持）でウエハチャック１に収容され、一点鎖線
２９Ａで示した状態となる。即ち第１のチャック部３と
第２のチャック部４が相対的に移動し、その間隔が相対
的に変化する。

次に、モータ２３を駆動させて、プーリ２４およびプー
リ２５を回転させ、上下動用ねじ２６を回転させると、
支持部材２７は矢印Ａ２７方向に移動し、ウエハチャッ
ク１を同方向に移動せしめる。

次いで、プーリ２１を回転させ送りねじ１９を回転せし
めて、ウエハチャック１の載置されている送りナット２
０を矢印Ａ２０方向に移動せしめ、図示しない石英ボー
ト（他のウエハ収納容器）の位置までウエハチャック１
を移動せしめると共に、ヘリカルギヤ１８を前述と逆方
向に回転させて連結アーム１０および連結アーム１１を
各々矢印Ａ１０および矢印Ａ１１方向と逆方向に移動せ
しめ、第１のチャック部３および第２のチャック部４の
間隔を開いてウエハ２９を開放し、石英ボートに移し換
える。

次いで、ウエハチャックを上方に移動させ前記と逆に操
作をすると、ウエハチャック１を元の位置に戻すことが
できる。

〔考案の効果〕

本考案は、ウエハチャック部相対移動機構を水平方向に
移動させる水平移動機構を具備することによって、ウエ
ハが収納されたウエハ収納容器と他のウエハ収納容器を
同時にウエハ移し換え装置に配置することができるの
で、ウエハを保持した後にウエハ収納容器を交換する装
置に比較して、ウエハ移し換えに要する時間を短縮する
ことができる。従って、ウエハ処理装置の生産性を向上
させることができる。

また、本考案は、ウエハチャック部相対移動機構および
上記水平移動機構を、それぞれ前記ウエハチャックの側
方に設けたので、ウエハを移し換えるときに上記機構が
ウエハの上にくることがなくなり、該機構から生じる塵
芥がウエハに付着するおそれがなくなる。従って、製品
の製造時の歩留まりが向上し、製品コストを下げること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の実施例を示す側面図、第２図は第１
図の要部平面図、第３図は第１図，第２図の連結アーム
の平面図である。 符号の説明 １…ウエハチャック、２…駆動装置、３…第１のウエハ
チャック部、４…第２のウエハチャック部、５…ウエハ
チャック部相対移動機構、６…水平移動機構、８…第１
のロッド、９…第２のロッド、１０…第１の連結アー
ム、１１…第２の連結アーム、１２…送りねじ、２８…
ウエハ収納容器、２９…ウエハ

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】ウエハ収納容器に収納されたウエハをウエ
   ハチャックにより保持して他のウエハ収納容器に移し換
   えるウエハ移し換え装置において、 対向配置されるとともに対向間隔を変えて前記ウエハ収
   納容器内に収納されたウエハを挟持し前記他のウエハ収
   納容器内へ挟持された複数枚のウエハを離脱する第１の
   ウエハチャック部および第２のウエハチャック部と、 上記第１のウエハチャック部および第２のウエハチャッ
   ク部の間隔制御方向に並行に配置されかつ互いに相反す
   る方向にそれぞれ移動可能とされ上記第１のウエハチャ
   ック部および第２のウエハチャック部をそれぞれ支持す
   る第１のロッドおよび第２のロッドと、 この各ロッドに設けられ上記第１のウエハチャック部お
   よび第２のウエハチャック部を相対的に移動させるウエ
   ハチャック部相対移動機構と、 該ウエハチャック部相対移動機構を水平方向に移動させ
   る水平移動機構とを具備するとともに、 前記ウエハチャック部相対移動機構および上記水平移動
   機構を、それぞれ前記ウエハチャックの側方に設けてな
   るウエハ移し換え装置。
2. 【請求項２】第１のウエハチャック部および第２のウエ
   ハチャック部をそれぞれ支持する第１のロッドおよび第
   ２のロッドは、一方のウエハチャック部を移動制御する
   一方のロッドが他方のウエハチャック部を貫通して設け
   られる実用新案登録請求の範囲第１項記載のウエハ移し
   換え装置。