JPS61131465A - ウエハ移換え装置 - Google Patents
ウエハ移換え装置Info
- Publication number
- JPS61131465A JPS61131465A JP59251606A JP25160684A JPS61131465A JP S61131465 A JPS61131465 A JP S61131465A JP 59251606 A JP59251606 A JP 59251606A JP 25160684 A JP25160684 A JP 25160684A JP S61131465 A JPS61131465 A JP S61131465A
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- JP
- Japan
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- wafer
- sensor
- motor
- detects
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/06—Apparatus for monitoring, sorting, marking, testing or measuring
- H10P72/0606—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/34—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H10P72/3411—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers
- H10P72/3412—Batch transfer of wafers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/50—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for positioning, orientation or alignment
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野〕
この発明はウニへ収納容器間にウェハを移換える装置に
関するものである。
関するものである。
ウェハは通常プラスチック製のウェハ収納容器に収納さ
れているが、ウェハを゛半導体製造装置で処理するとき
には、ウェハを耐熱材料製たとえば石英硝子膜のウェハ
収納容器に収納する必要がある。このため、ウェハをプ
ラスチック製のウェハ収納容器、耐熱材料製のウェハ収
納容１間に移換える必要がある。
れているが、ウェハを゛半導体製造装置で処理するとき
には、ウェハを耐熱材料製たとえば石英硝子膜のウェハ
収納容器に収納する必要がある。このため、ウェハをプ
ラスチック製のウェハ収納容器、耐熱材料製のウェハ収
納容１間に移換える必要がある。
第２図は従来のウェハ移換え装置の一部を示す概略正面
図、＄３図は第２図のＡ矢視図、 ＄４．悶。
図、＄３図は第２図のＡ矢視図、 ＄４．悶。
は第２図に示したウェハ移換え装置のホルダ駆動装置を
示す平面図である０図において、１は装置本体、２は本
体１に固定された支持台、３は支持台２に支持されたウ
ェハ収納容器、４はウェハ収納容器３の枠体、５は枠体
４に固定された複数の仕切板、６は仕切板５間に設けら
れた載置部、７は仕切板５間に収納されたウェハ、８は
ウェハ７を昇降するためのブツシャで、ブツシャ８はモ
ータ（図示せず）によって駆動される。９は本体１に固
定されたモータ、ｔｏはモータ９の出力軸に取付けられ
た小プーリ、１１は本体１に固定された軸受、１２は軸
受１１に回転可能に支持された送りネジ。
示す平面図である０図において、１は装置本体、２は本
体１に固定された支持台、３は支持台２に支持されたウ
ェハ収納容器、４はウェハ収納容器３の枠体、５は枠体
４に固定された複数の仕切板、６は仕切板５間に設けら
れた載置部、７は仕切板５間に収納されたウェハ、８は
ウェハ７を昇降するためのブツシャで、ブツシャ８はモ
ータ（図示せず）によって駆動される。９は本体１に固
定されたモータ、ｔｏはモータ９の出力軸に取付けられ
た小プーリ、１１は本体１に固定された軸受、１２は軸
受１１に回転可能に支持された送りネジ。
１３は送りネジ１２に取付けられた大プーリ、 １４は
小プーリ１０と大プーリ１３とに掛けられたベルト、１
５は本体１に固定されたスライドブロック、１６はスラ
イドブロック１５に移動可能に支持された゛滑すナット
で、滑りナツト１６は送りネジ１２の中心線と平行な方
向に移動し、滑りナツト１６は送りネジ１２と螺合して
いる。３０は滑りナツト１６に固定された昇降装置、１
７は昇降装置３０に取付けられたホルダサポート、１８
はホルダサポート１７に固着されたホルダ、１９はホル
ダ１８に設けられた溝、２０は溝１９の下部に設けられ
た載置部、２１は滑りナツト１６に固着されたセンサド
ッグ、 ２２．２３は本体１に取付けられたセンサ、２
４はセンサ２２．２３の出力な人力して。
小プーリ１０と大プーリ１３とに掛けられたベルト、１
５は本体１に固定されたスライドブロック、１６はスラ
イドブロック１５に移動可能に支持された゛滑すナット
で、滑りナツト１６は送りネジ１２の中心線と平行な方
向に移動し、滑りナツト１６は送りネジ１２と螺合して
いる。３０は滑りナツト１６に固定された昇降装置、１
７は昇降装置３０に取付けられたホルダサポート、１８
はホルダサポート１７に固着されたホルダ、１９はホル
ダ１８に設けられた溝、２０は溝１９の下部に設けられ
た載置部、２１は滑りナツト１６に固着されたセンサド
ッグ、 ２２．２３は本体１に取付けられたセンサ、２
４はセンサ２２．２３の出力な人力して。
モータ９を制御する制御装−で、制御゛装置２４はホル
ダ１８（滑りナツト１６）が内方に移動しているときに
センサ２２がセンサドッグ２１を検知すると、モータ９
を停止し、ホルダ１８が外方に移動しているときにセン
サ２３がセンサドッグ２１を検知すると、モータ９を停
止する。
ダ１８（滑りナツト１６）が内方に移動しているときに
センサ２２がセンサドッグ２１を検知すると、モータ９
を停止し、ホルダ１８が外方に移動しているときにセン
サ２３がセンサドッグ２１を検知すると、モータ９を停
止する。
つぎに、このウェハ移換え装置によりウェハを移換える
動作について説明する。まず、第２図に示す状態から、
昇降装置３０によりホルダ１８を下降し、ホルダ１８を
ウェハ収納容器３に当接する（第５図（ａ））。つぎに
、ブツシャ８によりウェハ７を押上げると、ウェハ７の
端部が溝１９内に入る（第５図（ｂ））。ついで、モー
ター９により送りネジ１２を回転することにより、ホル
ダ１８を内方に移動すると、センサ２２がセンサドッグ
２１を検知したとき、モータ９が停止し、ホルダ１８が
停止して、こののちブツシャ８を下降すると、ウェハ７
は載置部２０に保持される（第５図（Ｑ））、ついで、
昇降装置３０によりホルダ１８を上昇する（第５図（ｄ
））。
動作について説明する。まず、第２図に示す状態から、
昇降装置３０によりホルダ１８を下降し、ホルダ１８を
ウェハ収納容器３に当接する（第５図（ａ））。つぎに
、ブツシャ８によりウェハ７を押上げると、ウェハ７の
端部が溝１９内に入る（第５図（ｂ））。ついで、モー
ター９により送りネジ１２を回転することにより、ホル
ダ１８を内方に移動すると、センサ２２がセンサドッグ
２１を検知したとき、モータ９が停止し、ホルダ１８が
停止して、こののちブツシャ８を下降すると、ウェハ７
は載置部２０に保持される（第５図（Ｑ））、ついで、
昇降装置３０によりホルダ１８を上昇する（第５図（ｄ
））。
つぎに、つ臣ハ収納容器３を支持台２から取外し。
別のウェハ収納容器を支持台２に取付けたのち。
上述と逆の動作を行なえばよい、すなわち、ホルダ１８
を下降し、ブツシャ８を上昇し、ホルダ１８を外方に移
動し、センサ２３がセンサドッグ２１を検知したときホ
ルダ１８を停止し、ブツシャ８を下降し、ホルダ１８を
上昇すれば、ウェハ７は別のウェハ収納容器に収納され
る。
を下降し、ブツシャ８を上昇し、ホルダ１８を外方に移
動し、センサ２３がセンサドッグ２１を検知したときホ
ルダ１８を停止し、ブツシャ８を下降し、ホルダ１８を
上昇すれば、ウェハ７は別のウェハ収納容器に収納され
る。
ところで、ウェハ７としでは、外径が７．６２゜１０．
１６．１２．７０．１５．２４ａａ （以下、それぞれ
３，４゜５．６ｉｎという）のものが用いられているが
、従来のウェハ移換え装置においては、ウェハ７を保持
したときのホルダ１８間の距離が定まっているので、外
径が所定値のウェハ７しか移換えることができない、こ
のため、外径の異なる複数種のウェハ７を移換えるには
、複数のウェハ移換え装置を用いる必要がある。
１６．１２．７０．１５．２４ａａ （以下、それぞれ
３，４゜５．６ｉｎという）のものが用いられているが
、従来のウェハ移換え装置においては、ウェハ７を保持
したときのホルダ１８間の距離が定まっているので、外
径が所定値のウェハ７しか移換えることができない、こ
のため、外径の異なる複数種のウェハ７を移換えるには
、複数のウェハ移換え装置を用いる必要がある。
この発明は上述の問題点を解決するためになされたもの
で、外径の異なる複数種のウェハを移換えることができ
るウェハ鴨換え装置を提供することを目的とする。
で、外径の異なる複数種のウェハを移換えることができ
るウェハ鴨換え装置を提供することを目的とする。
この目的を達成するため、この発明においては、ウェハ
を昇降するブツシャと、上記ウェハを保持するホルダと
を有するウェハ移換え装置において。
を昇降するブツシャと、上記ウェハを保持するホルダと
を有するウェハ移換え装置において。
上記ホルダの位置を検出する位置検出器と、その位置検
出器の出力を入力し、上記ホルダが内方に移動するとき
あらかじめ設定された複数の位置のうちの指令されたい
ずれか１つの位置で上記ホルダを停止させる制御装置を
設ける。
出器の出力を入力し、上記ホルダが内方に移動するとき
あらかじめ設定された複数の位置のうちの指令されたい
ずれか１つの位置で上記ホルダを停止させる制御装置を
設ける。
このようなウェハ移換え装置においては、ホルダのウェ
ハ保持位置をあらかじめ設定された複数の位置のいずれ
か１つに選択的に設定することができる。
ハ保持位置をあらかじめ設定された複数の位置のいずれ
か１つに選択的に設定することができる。
第１図はこの発明に係るウェハ移換え装置のホルダ駆動
装置を示す平面図である６図において。
装置を示す平面図である６図において。
２５、２６はウェハ保持位置センサ、２７．２８はウェ
ハ開放位置センサで、センサ２５〜２８は本体１に取付
けられており、センサ２５〜ｚ８．センサドッグ２２で
位置検出器を構成していて、センサ２５．２６はそれぞ
れホルダ１８が外径４６５ｉｎのウェハを保持する位置
に対応する位置に設けられている。２９はセンサ２５〜
２８の出力を入力して、モータ９を制御する制御装置で
、制御装置２９に外径４ｉｎのウェハの移換えが指令さ
れた場合には、ホルダ１８が内方に移動しているときに
センサ２５がセンサドッグ２１を検知すると、モータ９
を停止し、ホルダ１８が外方に移動しているときにセン
サ２７がセンサドッグ２１を検知すると、モータ９を停
止する。また、制御装置２９に外径５ｉｎのウェハの移
換えが指令された場合には、ホルダ１８が内方に移動し
ているときにセンサ２６がセンサドッグ２１を検知する
と、モータ９を停止し、ホルダ１８が外方に移動してい
るときにセンサ２８がセンサドッグ２１を検知すると、
モータ９を停止する。
ハ開放位置センサで、センサ２５〜２８は本体１に取付
けられており、センサ２５〜ｚ８．センサドッグ２２で
位置検出器を構成していて、センサ２５．２６はそれぞ
れホルダ１８が外径４６５ｉｎのウェハを保持する位置
に対応する位置に設けられている。２９はセンサ２５〜
２８の出力を入力して、モータ９を制御する制御装置で
、制御装置２９に外径４ｉｎのウェハの移換えが指令さ
れた場合には、ホルダ１８が内方に移動しているときに
センサ２５がセンサドッグ２１を検知すると、モータ９
を停止し、ホルダ１８が外方に移動しているときにセン
サ２７がセンサドッグ２１を検知すると、モータ９を停
止する。また、制御装置２９に外径５ｉｎのウェハの移
換えが指令された場合には、ホルダ１８が内方に移動し
ているときにセンサ２６がセンサドッグ２１を検知する
と、モータ９を停止し、ホルダ１８が外方に移動してい
るときにセンサ２８がセンサドッグ２１を検知すると、
モータ９を停止する。
このウェハ移換え装置においては、制御装置２９に外径
４ｉｎのウェハの移換えが指令された場合には、ホルダ
１８を内方に移動させると、センサ２５がセンサドッグ
２１を検知したとき、制御装置２９によリモータ９が停
止され、ホルダ１８が停止するから、ホルダ１８により
外径４ｉｎのウェハを保持することができる。この状態
で、ホルダ１８を外方に移動させると、センサ２７がセ
ンサドッグ２１を検知したとき、制御装置２９によりモ
ータ９が停止され、ホルダ１８が停止して、ウェハがホ
ルダ１８から開放される。この状態で、制御装置２９に
外径５ｉｎのウェハの移換えが指令された場合には、制
御装置２９がモータ９を回転して、ホルダ１８を外方に
移動し、センサ２８がセンサドッグ２１を検知したとき
、制御装置２９がモータ９を停止し、ホルーダ１８が停
止する。
４ｉｎのウェハの移換えが指令された場合には、ホルダ
１８を内方に移動させると、センサ２５がセンサドッグ
２１を検知したとき、制御装置２９によリモータ９が停
止され、ホルダ１８が停止するから、ホルダ１８により
外径４ｉｎのウェハを保持することができる。この状態
で、ホルダ１８を外方に移動させると、センサ２７がセ
ンサドッグ２１を検知したとき、制御装置２９によりモ
ータ９が停止され、ホルダ１８が停止して、ウェハがホ
ルダ１８から開放される。この状態で、制御装置２９に
外径５ｉｎのウェハの移換えが指令された場合には、制
御装置２９がモータ９を回転して、ホルダ１８を外方に
移動し、センサ２８がセンサドッグ２１を検知したとき
、制御装置２９がモータ９を停止し、ホルーダ１８が停
止する。
つぎに、ホルダ１８を内方に移動させると、センサ２６
がセンサドッグ２１を検知したとき、制御装置２９によ
りモータ９が停止され、ホルダ１８が停止するから、ホ
ルダ１８により外径５ｉｎのウェハを保持することがで
きる。ついで、ホルダ１８を外方に移動させると、セン
サ２８がセンサドッグ２１を検知したとき、制御装置２
９によりモータ９が停止され、ホルダ１８が停止して、
ウェハがホルダ１８から開放される。この状態で、制御
装置２９に外径４ｉｎのウェハの移換えが指令された場
合には、制御装置２９がモータ９を回転して、ホルダ１
８を内方に移動し。
がセンサドッグ２１を検知したとき、制御装置２９によ
りモータ９が停止され、ホルダ１８が停止するから、ホ
ルダ１８により外径５ｉｎのウェハを保持することがで
きる。ついで、ホルダ１８を外方に移動させると、セン
サ２８がセンサドッグ２１を検知したとき、制御装置２
９によりモータ９が停止され、ホルダ１８が停止して、
ウェハがホルダ１８から開放される。この状態で、制御
装置２９に外径４ｉｎのウェハの移換えが指令された場
合には、制御装置２９がモータ９を回転して、ホルダ１
８を内方に移動し。
センサ２７がセンサドッグ２１を検知したとき、制御装
置２９がモータ９を停止し、ホルダ１８が停止する。
置２９がモータ９を停止し、ホルダ１８が停止する。
このように、制御装置２９に外径４ｉｎのウェハの移換
えが指令されたときには、ホルダ１８が外径４ｉｎのウ
ェハを保持する位置と、そのウェハを開放する位置との
間で移動し、制御装置２９に外径５ｉｎのウェハの移換
えが指令されたときには、ホルダ１８が外径５ｉｎのウ
ェハを保持する位置と、そのウェハを開放する位置との
間で移動するから、外径４ｉｎのウェハおよび外径５ｉ
ｎのウェハを移換えることができる。
えが指令されたときには、ホルダ１８が外径４ｉｎのウ
ェハを保持する位置と、そのウェハを開放する位置との
間で移動し、制御装置２９に外径５ｉｎのウェハの移換
えが指令されたときには、ホルダ１８が外径５ｉｎのウ
ェハを保持する位置と、そのウェハを開放する位置との
間で移動するから、外径４ｉｎのウェハおよび外径５ｉ
ｎのウェハを移換えることができる。
なお、上述実施例においては、外径４ｉｎのウェハおよ
び外径５ｉｎのウェハを移換える場合について説明した
が、他の外径が異なるウェハを移換える場合にもこの発
明を適用しうろことは当然である。また、上述実施例に
おいては、外径の異なる２種のウェハを移換える場合に
ついて説明したが、外径の異なる３種以上のウェハを移
換える場合にもこの発明を適用できることは明らかであ
る。さらに、センサ２５〜２８としては電磁式、先代等
のものを用いることができる。また、上述実施例におい
ては１位置検出器としてセンサドッグ２１を検知するセ
ンサ２５〜２８を用いたが、位置検出器としてモータ９
の回転を検出するものを用いてもよい。
び外径５ｉｎのウェハを移換える場合について説明した
が、他の外径が異なるウェハを移換える場合にもこの発
明を適用しうろことは当然である。また、上述実施例に
おいては、外径の異なる２種のウェハを移換える場合に
ついて説明したが、外径の異なる３種以上のウェハを移
換える場合にもこの発明を適用できることは明らかであ
る。さらに、センサ２５〜２８としては電磁式、先代等
のものを用いることができる。また、上述実施例におい
ては１位置検出器としてセンサドッグ２１を検知するセ
ンサ２５〜２８を用いたが、位置検出器としてモータ９
の回転を検出するものを用いてもよい。
さらに、上述実施例においては、ホルダ１８をウェハ開
放位置にする場合に、センサ２７．２Ｂがセンサドッグ
２１を検知したとき、制御装置２９がモータ９を停止し
て、ホルダ１８を停止させたが、センサ２７゜２ａを設
けずに、制御装置ｚ９によりホルダ１８をあらかじめ設
定された距離だけ外方に移動するようにしてもよい。
放位置にする場合に、センサ２７．２Ｂがセンサドッグ
２１を検知したとき、制御装置２９がモータ９を停止し
て、ホルダ１８を停止させたが、センサ２７゜２ａを設
けずに、制御装置ｚ９によりホルダ１８をあらかじめ設
定された距離だけ外方に移動するようにしてもよい。
（発明の効果〕
以上説明したように、この発明に係るウェハ移換え装置
においては、ホルダのウェハ保持位置をあらかじめ設定
された複数の位置のいずれか１つに選択的に設定するこ
とができるから、外径の異なる複数種のウェハを移換え
ることが可能である。
においては、ホルダのウェハ保持位置をあらかじめ設定
された複数の位置のいずれか１つに選択的に設定するこ
とができるから、外径の異なる複数種のウェハを移換え
ることが可能である。
このように、この発明の効果は顕著である２
第１図はこの発明に係るウェハ移換え装置のホルダ駆動
装置を示す平面図、第２図は従来のウェハ移換え装置の
一部を示す機略正面図、第３図゛は。 第２図のＡ矢視図、第４図は第２図に示したウェハ移換
え装置のホルダ駆動装置を示す平面図、第５図は第２図
に示したウェハ移換え装置の動作説明図である。 ３・・・ウェハ収納容器 ７・・・ウェハ８・・・ブ
ツシャ ９・・・モータ１８・・・ホルダ ２５、２６・・・ウェハ保持位置センサ２９・・・制御
装置
装置を示す平面図、第２図は従来のウェハ移換え装置の
一部を示す機略正面図、第３図゛は。 第２図のＡ矢視図、第４図は第２図に示したウェハ移換
え装置のホルダ駆動装置を示す平面図、第５図は第２図
に示したウェハ移換え装置の動作説明図である。 ３・・・ウェハ収納容器 ７・・・ウェハ８・・・ブ
ツシャ ９・・・モータ１８・・・ホルダ ２５、２６・・・ウェハ保持位置センサ２９・・・制御
装置
Claims (1)
- ウェハを昇降するプッシャと、上記ウェハを保持するホ
ルダとを有するウェハ移換え装置において、上記ホルダ
の位置を検出する位置検出器と、その位置検出器の出力
を入力し、上記ホルダが内方に移動するときあらかじめ
設定された複数の位置のうちの指令されたいずれか１つ
の位置で上記ホルダを停止させる制御装置とを具備する
ことを特徴とするウェハ移換え装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59251606A JPS61131465A (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | ウエハ移換え装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59251606A JPS61131465A (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | ウエハ移換え装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61131465A true JPS61131465A (ja) | 1986-06-19 |
Family
ID=17225315
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59251606A Pending JPS61131465A (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | ウエハ移換え装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61131465A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61102044U (ja) * | 1984-12-11 | 1986-06-28 | ||
| JPH0480988U (ja) * | 1990-11-26 | 1992-07-14 |
-
1984
- 1984-11-30 JP JP59251606A patent/JPS61131465A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61102044U (ja) * | 1984-12-11 | 1986-06-28 | ||
| JPH0480988U (ja) * | 1990-11-26 | 1992-07-14 |
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