JPH06108183A - 真空シール用金属部材 - Google Patents
真空シール用金属部材Info
- Publication number
- JPH06108183A JPH06108183A JP26155492A JP26155492A JPH06108183A JP H06108183 A JPH06108183 A JP H06108183A JP 26155492 A JP26155492 A JP 26155492A JP 26155492 A JP26155492 A JP 26155492A JP H06108183 A JPH06108183 A JP H06108183A
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Landscapes
- Gasket Seals (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ガス放出が少なく、かつ耐熱性および耐放射
線性に優れた真空シール用金属部材を提供する。 【構成】 熱弾性型マルテンサイト変態を示し、マルテ
ンサイト相からオーステナイト相への変態開始温度が使
用温度より低い金属からなることを特徴とする真空シー
ル用金属部材。
線性に優れた真空シール用金属部材を提供する。 【構成】 熱弾性型マルテンサイト変態を示し、マルテ
ンサイト相からオーステナイト相への変態開始温度が使
用温度より低い金属からなることを特徴とする真空シー
ル用金属部材。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、真空機器に用いられ
る、Ｏリング、ガスケット、ボルト、ナットおよびワッ
シャー等の真空シール用部材に関するものである。
る、Ｏリング、ガスケット、ボルト、ナットおよびワッ
シャー等の真空シール用部材に関するものである。
【０００２】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】最近
の化学技術の発展に伴い、超高真空、または高温もしく
は放射線の下などの特殊な真空の環境下で用いることの
できる真空用シール部材が望まれている。しかしなが
ら、従来から用いられているニトリルゴム、スチレンブ
タジエンゴム、シリコンゴムおよびフッ素ゴム等の有機
化合物によるシール部材では、シール部材からのガス放
出があり、超高真空が得られないという問題があった。
の化学技術の発展に伴い、超高真空、または高温もしく
は放射線の下などの特殊な真空の環境下で用いることの
できる真空用シール部材が望まれている。しかしなが
ら、従来から用いられているニトリルゴム、スチレンブ
タジエンゴム、シリコンゴムおよびフッ素ゴム等の有機
化合物によるシール部材では、シール部材からのガス放
出があり、超高真空が得られないという問題があった。
【０００３】また、一部の特殊な用途には、Ｉｎまたは
Ｐｂ等の金属が使用されているが、このようなシール部
材であっても、高温下で使用できないという問題があっ
たり、あるいは耐放射線性に劣るという問題があった。
Ｐｂ等の金属が使用されているが、このようなシール部
材であっても、高温下で使用できないという問題があっ
たり、あるいは耐放射線性に劣るという問題があった。
【０００４】この発明の目的は、ガス放出が少なく、か
つ耐熱性および耐放射線性に優れた真空シール用部材を
提供することにある。
つ耐熱性および耐放射線性に優れた真空シール用部材を
提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明に従う真空シー
ル用金属部材は、熱弾性型マルテンサイト変態を示し、
マルテンサイト相からオーステナイト相への変態開始温
度が使用温度より低い金属からなることを特徴とする。
ル用金属部材は、熱弾性型マルテンサイト変態を示し、
マルテンサイト相からオーステナイト相への変態開始温
度が使用温度より低い金属からなることを特徴とする。
【０００６】この発明において、使用温度とは、真空を
達成するため真空機器において真空シール用部材が用い
られる際の温度であり、この発明は、この使用温度に応
じて、上記変態開始温度が使用温度よりも低い金属で真
空シール用部材を構成することを特徴とする。
達成するため真空機器において真空シール用部材が用い
られる際の温度であり、この発明は、この使用温度に応
じて、上記変態開始温度が使用温度よりも低い金属で真
空シール用部材を構成することを特徴とする。
【０００７】この発明において、使用温度は、典型的に
は、たとえば一般に２０±５°の範囲にとられる常温と
することができる。
は、たとえば一般に２０±５°の範囲にとられる常温と
することができる。
【０００８】この発明に従う真空シール用金属部材を形
成するための金属として、たとえば、Ａｌを１３．８〜
１５．０重量％、Ｎｉを２．０〜６．０重量％が含有
し、残部がＣｕおよび不可避的不純物からなる合金を用
いることが好ましい。
成するための金属として、たとえば、Ａｌを１３．８〜
１５．０重量％、Ｎｉを２．０〜６．０重量％が含有
し、残部がＣｕおよび不可避的不純物からなる合金を用
いることが好ましい。
【０００９】さらに、上記金属は、一方向凝固体または
単結晶体であることが好ましい。
単結晶体であることが好ましい。
【００１０】
【作用】熱弾性型マルテンサイト変態を示し、かつ、マ
ルテンサイトからオーステナイトへの変態開始温度（Ａ
ｓ点）が使用温度より低い金属は、使用温度においてそ
の金属を変形させても熱力学的に不安定であり、元の形
状に戻ろうとする。このような金属からなる真空シール
用金属部材を、シール部にあてがって締めつければ、元
の状態に戻ろうとする性質のため、該部材は使用に際し
てシール部へ良好に密着する。このため、本発明に従う
部材でシールを行なえば、超高真空を容易に達成かつ維
持することができる。
ルテンサイトからオーステナイトへの変態開始温度（Ａ
ｓ点）が使用温度より低い金属は、使用温度においてそ
の金属を変形させても熱力学的に不安定であり、元の形
状に戻ろうとする。このような金属からなる真空シール
用金属部材を、シール部にあてがって締めつければ、元
の状態に戻ろうとする性質のため、該部材は使用に際し
てシール部へ良好に密着する。このため、本発明に従う
部材でシールを行なえば、超高真空を容易に達成かつ維
持することができる。
【００１１】また、このような性質を有する金属は、従
来よりシール部材として使用されてきた有機物および金
属よりも、耐熱性および耐放射線性について優れてい
る。
来よりシール部材として使用されてきた有機物および金
属よりも、耐熱性および耐放射線性について優れてい
る。
【００１２】さらに、マルテンサイトからオーステナイ
トへの変態開始温度と使用温度（典型的には常温）との
差が、特に約７０℃以内であれば、本発明に従う金属は
比較的柔らかく、シーリングにおいて小さな力で締めつ
けることが可能である。
トへの変態開始温度と使用温度（典型的には常温）との
差が、特に約７０℃以内であれば、本発明に従う金属は
比較的柔らかく、シーリングにおいて小さな力で締めつ
けることが可能である。
【００１３】熱弾性型マルテンサイトを示す金属の中で
も、特にＡｌを１３．８〜１５．０重量％、Ｎｉを２．
０〜６．０重量％含有し、残部がＣｕおよび不可避的不
純物からなる金属は、後述する実施例に示すようにシー
ル部材としてシール部への密着性に優れている。
も、特にＡｌを１３．８〜１５．０重量％、Ｎｉを２．
０〜６．０重量％含有し、残部がＣｕおよび不可避的不
純物からなる金属は、後述する実施例に示すようにシー
ル部材としてシール部への密着性に優れている。
【００１４】また、このような組成の金属中に含有する
ガスの量も少ないため、真空におけるガス放出量も少な
く、超高真空の達成および維持に適している。
ガスの量も少ないため、真空におけるガス放出量も少な
く、超高真空の達成および維持に適している。
【００１５】また、これら熱弾性型マルテンサイト変態
を示す金属中、一方向凝固させたもの、または単結晶を
使用すると、より密なシールが可能であるとともに、ガ
ス放出量を少なくすることができる。さらに、一方向凝
固体および単結晶体は、耐熱性および耐放射線性等にお
いても優れている。
を示す金属中、一方向凝固させたもの、または単結晶を
使用すると、より密なシールが可能であるとともに、ガ
ス放出量を少なくすることができる。さらに、一方向凝
固体および単結晶体は、耐熱性および耐放射線性等にお
いても優れている。
【００１６】
【実施例】細径横型鋳造装置により、表１に組成を示す
線径２．０ｍｍの金属線を得た。また、鋳型の温度Ｔ1
を変えることにより、所望の結晶組織を形成することが
できた。すなわち、Ｔ1 ≧鋳造金属の融点（Ｔ2 ）の場
合、単結晶、Ｔ2 ＞Ｔ1 ＞Ｔ2 −５０℃の場合、一方向
凝固体、Ｔ1 ＜Ｔ2 −１００℃の場合、多結晶体を得る
ことができた。
線径２．０ｍｍの金属線を得た。また、鋳型の温度Ｔ1
を変えることにより、所望の結晶組織を形成することが
できた。すなわち、Ｔ1 ≧鋳造金属の融点（Ｔ2 ）の場
合、単結晶、Ｔ2 ＞Ｔ1 ＞Ｔ2 −５０℃の場合、一方向
凝固体、Ｔ1 ＜Ｔ2 −１００℃の場合、多結晶体を得る
ことができた。
【００１７】
【表１】
【００１８】これらの金属を溶接してリング状にし、そ
の状態で９５０℃で１時間処理後、水焼入れすることに
より溶体化処理をほどこしてＯリングを得た。
の状態で９５０℃で１時間処理後、水焼入れすることに
より溶体化処理をほどこしてＯリングを得た。
【００１９】得られた５種類のＯリングをそれぞれ真空
容器のシール部に用い、容器内を真空ポンプによって常
温で２４時間排気した後、真空容器内の圧力を測定し
た。５種類のＯリングについて圧力をそれぞれ測定した
結果を表２に示す。
容器のシール部に用い、容器内を真空ポンプによって常
温で２４時間排気した後、真空容器内の圧力を測定し
た。５種類のＯリングについて圧力をそれぞれ測定した
結果を表２に示す。
【００２０】一方、従来例として、シリコンゴム製で断
面が円形状（直径２．０ｍｍ）のＯリングを真空容器の
シール部に用い、常温で２４時間排気後の真空容器内の
圧力を測定した。測定圧力の結果を表２のＮｏ．6 に示
す。
面が円形状（直径２．０ｍｍ）のＯリングを真空容器の
シール部に用い、常温で２４時間排気後の真空容器内の
圧力を測定した。測定圧力の結果を表２のＮｏ．6 に示
す。
【００２１】また、同様の形状でフッ素ゴム製のＯリン
グをシール部に用いて、常温で２４時間排気した場合の
圧力測定値を表２のＮｏ．７に示す。
グをシール部に用いて、常温で２４時間排気した場合の
圧力測定値を表２のＮｏ．７に示す。
【００２２】さらに、９９．９９％の無酸素銅を直径
２．０ｍｍの線材に鋳造後、溶接によってリング状にし
たＯリングを、真空容器のシール部に用いて常温で２４
時間排気した場合の圧力測定値を表２のＮｏ．８に示
す。
２．０ｍｍの線材に鋳造後、溶接によってリング状にし
たＯリングを、真空容器のシール部に用いて常温で２４
時間排気した場合の圧力測定値を表２のＮｏ．８に示
す。
【００２３】
【表２】
【００２４】表２に示すように、本発明例（Ｎｏ．１〜
５）の真空シール用金属部材を使用すれば、従来のシー
ル用部材に比べて高い真空度を達成かつ維持できること
がわかる。
５）の真空シール用金属部材を使用すれば、従来のシー
ル用部材に比べて高い真空度を達成かつ維持できること
がわかる。
【００２５】また、本発明例のＯリングは、２００℃で
ベーキング処理してもシールの性能が劣化することもな
かった。
ベーキング処理してもシールの性能が劣化することもな
かった。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、この発明に従う真
空シール用金属部材は、高い真空度を達成かつ維持させ
ることができ、しかも耐熱性および耐放射線性において
優れているため、超高真空用のシール部材および高温や
放射線にさらされる特殊な条件下で使用されるシール部
材として有用である。
空シール用金属部材は、高い真空度を達成かつ維持させ
ることができ、しかも耐熱性および耐放射線性において
優れているため、超高真空用のシール部材および高温や
放射線にさらされる特殊な条件下で使用されるシール部
材として有用である。
Claims (3)
- 【請求項１】 熱弾性型マルテンサイト変態を示し、マ
ルテンサイト相からオーステナイト相への変態開始温度
が使用温度より低い金属からなることを特徴とする、真
空シール用金属部材。 - 【請求項２】 前記金属が、Ａｌを１３．８〜１５．０
重量％、Ｎｉを２．０〜６．０重量％含有し、残部がＣ
ｕおよび不可避的不純物からなることを特徴とする、請
求項１の真空シール用金属部材。 - 【請求項３】 前記金属が、単結晶または一方向凝固の
組織を有することを特徴とする、請求項１または２の真
空シール用金属部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26155492A JPH06108183A (ja) | 1992-09-30 | 1992-09-30 | 真空シール用金属部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26155492A JPH06108183A (ja) | 1992-09-30 | 1992-09-30 | 真空シール用金属部材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06108183A true JPH06108183A (ja) | 1994-04-19 |
Family
ID=17363514
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26155492A Withdrawn JPH06108183A (ja) | 1992-09-30 | 1992-09-30 | 真空シール用金属部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06108183A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030027522A (ko) * | 2001-09-29 | 2003-04-07 | 장우양 | 일방향 응고조직을 갖는 구리-알루미늄-니켈계 초탄성합금선재와 그의 제조방법 |
-
1992
- 1992-09-30 JP JP26155492A patent/JPH06108183A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030027522A (ko) * | 2001-09-29 | 2003-04-07 | 장우양 | 일방향 응고조직을 갖는 구리-알루미늄-니켈계 초탄성합금선재와 그의 제조방법 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991130 |