JPH06109914A - フィルターパターン欠陥部補修方法及び補修装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】フィルターの着色画素中の欠陥部に着色インキ
を補給して補修する際、その欠陥部の大きさ（面積）や
状態（欠陥部の深度など）に対応する適切な量の着色イ
ンキを正確に安定して供給し、しかも欠陥部のフィルタ
ー基板（ガラス基板）を傷付けることなく供給して、フ
ィルター着色パターン欠陥部の補修を迅速に安定して補
修できるようにすることにある。 【構成】フィルター補修用のプロッティングピン７の先
端部７ａをフィルター２のパターン欠陥部４内に接触さ
せた後に、該プロッティングピン先端部７ａより補修用
着色インキ９を適量押し出して、該パターン欠陥部４内
に該インキ９を充填して補修するフィルターパターン欠
陥部補修方法及び装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶カラーティスプレ
イに使用される液晶表示用カラーフィルターなどフィル
ターパターンのパターン欠陥部を補修するためのフィル
ターパターン欠陥部補修方法及び補修装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般的に、フィルターの着色パターン
（ストライプ型パターン、矩形状交差型パターン、菱形
状交差型パターンなどフィルター用の画素パターン）
は、フォトリソグラフ法（あるいはパターン露光法）、
印刷法などを用いてガラスなどの透明基板上に作成され
る。

【０００３】フォトリソグラフ法においては露光時の露
光用原版上の異物、印刷法においては、印刷用インキに
混入した異物による転移不良、転写不良などの原因によ
り、形成される画素パターン中には、通称、白ピンと称
される抜け（欠陥部）が生じることがあり、特に１００
μｍ以下の微細な欠陥部の補修については、その欠陥部
内に適切な量の微量のフィルター着色用インキを正確に
補給する必要があり、従来のような補修用インキ滴下方
式、若しくはそれに近似する方式による補修方式では、
インキの供給量に過不足が生じやすく、その補給を正確
且つ迅速に安定して行なうことは、現在の時点では非常
に困難であって、より良い修正方法や修正装置が望まれ
ている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、フィルター
の着色画素中の欠陥部に、着色インキを補給して補修す
る際、その欠陥部の大きさ（面積）や状態（欠陥部の深
度など）に対応する適切な量の着色インキを正確に安定
して供給し、しかも欠陥部のガラス基板（ガラス基板）
を傷付けることなく供給して、フィルター着色パターン
欠陥部の補修を迅速に安定して補修できるようにするこ
とにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の第１の発明は、
フィルター補修用のプロッティングピン７の先端部７ａ
を、フィルター２のパターン欠陥部４内に接触させた後
に、該プロッティングピン先端部７ａより補修用着色イ
ンキ９を適量押し出して、該パターン欠陥部４内に該イ
ンキ９を充填して補修することを特徴とするフィルター
パターン欠陥部補修方法である。

【０００６】又、本発明の前記第１の発明において、前
記プロッティングピン７の少なくともその先端部７ａが
セラミックからなるフィルターパターン欠陥部補修方法
である。

【０００７】又、本発明の第２の発明は、フィルター２
を載置する定盤１１と、フィルター補修用インキ９が押
し出されるパイプ状のプロッティングピン７を備えたデ
ィスペンサー８と、定盤１１上に載置されるフィルター
２のパターン欠陥部４と前記プロッティングピン７の先
端部７ａとの位置を整合するために前記定盤１１とプロ
ッティングピン先端部７ａとの相対位置を移動調整する
ための水平移動機構１０と、該ディスペンサー８を上下
方向に移動可能に支持して、フィルター２表面に接触し
た際のプロッティングピン７に掛かる圧力を緩和するた
めの緩衝機構２０と、該緩衝機構２０を上下移動可能に
支持する上下移動機構３０とを備えたことを特徴とする
フィルターパターン欠陥部補修装置である。

【０００８】又、本発明の前記第２の発明において、前
記プロッティングピン７の少なくともその先端部７ａが
セラミックからなるフィルターパターン欠陥部補修装置
である。

【０００９】

【実施例】本発明の第１の発明のフィルター着色パター
ン欠陥部補修方法を、図１の実施例に従って以下に詳細
に説明する。

【００１０】図１（ａ）は、補修を必要とするフィルタ
ー２であり、所定のフィルター作成手順に従って、ガラ
ス基板１上にブルー（Ｂｕ）、グリーン（Ｇ）、レッド
（Ｒ）からなるストライプ状（若しくは矩形状、菱形状
など）の微細画素状着色パターン３が作成されたもので
あり、パターンニングされたフィルター２の前記着色パ
ターン３の中には、補修を必要とするパターン欠陥部４
（白ピン）が発生している。

【００１１】まず、図１（ｂ）に示すように、上記フィ
ルター２を、その着色パターン３を上面にして、Ｘ−Ｙ
方向（二次元方向）それぞれ独立して移動可能な定盤５
上に載置し、定盤５上に載置したフィルター２の両端部
を、固定用部材１ａ，１ｂによってクランプして位置決
め固定する。なお、定盤５上にフィルター２を載置する
場合は、定盤５にフィルター２が直接接触してガラス基
板１下面に傷が付かないように、適宜スペーサー（プラ
スチックフィルムなど）を介在して載置することが望ま
しい。

【００１２】次に、該定盤５上方の定位置に、該定盤５
上に載置されるフィルター２の上面より適宜間隔を以
て、フィルター用のインキ（ブルー、グリーン、レッド
などの透明性の着色インキ、無着色インキなど）を充填
したインキディスペンサー８を固定状態で設置する。

【００１３】充填するフィルター用のインキは、ＦＬＰ
−ＣＦインキ（例えば、特願平１−１９４５６４号「精
細パターンフィルタの製造方法」に記載する精密印刷に
使用するカラーフィルター用インキ）を使用し、適宜透
明ニスによって着色濃度を調整したものを使用する。
又、必要に応じて、インキに適宜有機溶媒など希釈剤を
混入して粘度が調整されたものを使用する。

【００１４】ディスペンサー８は、インキ押出し用のエ
アー圧によって内部が加圧制御されるインキ充填部６
（インキ充填容器部）と、該インキ充填部６より連通す
るインキ通路７ｃを備えた金属製の中空パイプ状のプロ
ッティングピン７を備え、インキ充填部６内を適宜制御
されたインキ押出し用のエアー圧により加圧することに
よって、該プロッティングピン７先端部７ａのインキ通
路７ｃと連通する吐出孔７ｂより適切な量のインキを押
出す。

【００１５】ディスペンサー８へのエアー加圧条件とし
ては、使用するインキの粘度、温度条件などに対応して
適宜調整するものであるが、例えばエアー圧力は、０．
０１〜０．２０ｋｇｆ／ｃｍ² の範囲の適宜圧力に設定
し、又、エアー加圧時間は、例えば０．００１〜０．０
１秒の範囲の適宜時間に設定して行なうが、必ずしもこ
の範囲に限定されるものではない。

【００１６】上記プロッティングピン７より押出される
インキの直径は、前記エアー加圧条件の下では、およ
そ、そのピン内径によって決まることが判明しており、
使用するプロッティングピン７の内径（中空パイプの内
径）は、およそ８０〜２００μｍ程度のもの、あるいは
それ以上のものが使用できるが、補正すべきパターン欠
陥部４の大きさや深さ（深度）に応じて各種内径のもの
を使用する。

【００１７】本発明方法において、ピン内径が１００μ
ｍ程度のプロッティングピン７を使用し、エアー圧を
０．１ｋｇｆ／ｃｍ² 前後にしてインキを押出した場合
は、エアー加圧時間の誤差が０．０２秒程度あったとし
ても、ピン内径に近似する直径のインキを塗布すること
ができる。又、同様に、ピン内径が１００μｍ程度のプ
ロッティングピン７を使用し、エアー加圧時間を０．０
０５秒程度にしてインキを押出した場合は、エアー圧の
誤差が０．１ｋｇｆ／ｃｍ² 程度あったとしても、ピン
内径に近似する直径のインキを塗布することができる。

【００１８】なお、前記定盤５を、例えば定位置に固定
状態で設置した場合には、ディスペンサー８側をＸ−Ｙ
方向に移動可能に設置するものである。

【００１９】次に、図１（ｃ）に示すように、定盤５を
Ｘ−Ｙ方向に適宜移動して、フィルター２の着色パター
ン３の中にある欠陥部４を、ディスペンサー部８のプロ
ッティングピン７の先端部７ａの真下に移動させる。

【００２０】次に、図１（ｄ）に示すように、ディスペ
ンサー８を垂直に下降させ、プロッティングピン７の先
端部７ａを、パターン欠陥部４内に突入させて、ガラス
基板１と接触させ、若しくは欠陥部４内の着色パターン
３薄膜部と接触させ、続いて適宜制御されたインキ吐出
用のエアー圧によって、インキ充填部６内部を加圧し
て、該インキ充填部６内よりプロッティングピン先端部
７ａの吐出孔７ｂより適量のインキ９を欠陥部４内に吐
出して充填し、該欠陥部４内面にてインキをスプレッド
させながら、該欠陥部４内から外部にインキ９が溢れ出
る直前で、直ちにインキ吐出用のエアー圧を中止してイ
ンキ充填部６内のエアー加圧を零、若しくは僅かに負圧
にして、吐出孔７ｂからのインキの吐出を停止する。

【００２１】なお、インキ充填部６内のエアー加圧を直
ちに零にする操作については、該インキ充填部６に外気
と直接連通する開閉弁を設け、該開閉弁を開放操作する
ことによって行なうようにする。

【００２２】又、インキ充填部６内のエアー加圧を負圧
にする操作については、該インキ充填部６に接続したエ
アー吸引手段を別途に設けることによって行なうことが
可能である。

【００２３】続いて、図１（ｅ）に示すように、直ちに
ディスペンサー８を垂直に上昇復帰させて、プロッティ
ングピン先端部７ａを欠陥部４内より離脱して、欠陥部
４の補修を終了する。なお、欠陥部４内に補修されたイ
ンキ９が、パターン３表面よりも突出している場合に
は、乾燥固化した後において適宜研磨材にて平滑に研磨
するなど、平滑化することは可能である。このようにし
て、例えばパターン欠陥部の概略直径が２０μｍ〜１０
０μｍ程度、深度が３μｍ〜２０μｍ程度のパターン欠
陥部４を補修することが可能である。

【００２４】本発明においては、図１（ｄ）に示すよう
に、プロッティングピン先端部７ａの吐出孔７ｂより適
量のインキを欠陥部４内に吐出させて充填しながら、該
欠陥部４内面にてインキをスプレッドさせ、その操作を
継続しながら、ディスペンサー８を継続的に垂直に上昇
させ、プロッティングピン先端部７ａがガラス基板１に
対して僅かに非接触の状態になった直後から、欠陥部４
内より離脱する直前までの間で、インキ吐出用のエアー
圧を中止して、インキ充填部６内のエアー加圧を零、若
しくは僅かに負圧にして、吐出孔７ｂからのインキの吐
出を停止するようにしてもよい。

【００２５】上記補修操作を必要とするフィルター２の
着色パターン３に発生しているパターン欠陥部４の側断
面形状としては、図２（ａ）に示すように、着色パター
ン３における欠陥部４内周面がオーバーハングの状態の
場合と、図２（ｂ）に示すように、欠陥部４内周面が垂
直状態の場合と、図２（ｃ）に示すように、欠陥部４内
周面が上方に向かって拡がった状態の場合などがある。

【００２６】例えば、上記図２（ａ）に示したオーバー
ハング状態の欠陥部４の場合の補修操作においては、図
３にその操作の一例を示すように、プロッティングピン
７の先端部７ａをフィルター２のパターン欠陥部４内に
突入させ、その欠陥部４の発生している着色パターン３
の色調に該当する色調の補修用インキ９（例えばブルー
系着色インキ、グリーン系着色インキ、レッド系着色イ
ンキ、或いは、その他補修に必要とする各色調の透明イ
ンキ）を先端部７ａより吐出させて補修するものであ
り、フィルター２表面と接する先端部７ａの下面は概略
平坦であり、その先端部７ａ下面は、そのフィルター２
のガラス基板１における平坦な表面に平行に接触させる
ものである。

【００２７】前記プロッティングピン７内の補修用イン
キ９は、図３に示すように、プロッティングピン７の接
触圧力に抗してその面接触部分からインキ吐出用エアー
圧によって吐出し、吐出したインキ９は欠陥部４内にて
矢印方向にスプレッドして欠陥部４内を埋設するもので
ある。

【００２８】プロッティングピン７の材質については、
図４（ａ）に示すように、例えば銅のように比較的柔ら
かい材質では、フィルター２面に接触時或いは接触を繰
り返すうちに変形することが多く、又、銅先端部７ａと
インキ９との界面張力による濡れが少ないため、先端部
７ａに付着するインキ９が自重で移動し、その先端部７
ａにてボール状に溜まってしまう。そのため欠陥部４に
対する適切なインキ供給量のコントロールが困難であっ
たり、インキの粘度によっては液垂れを起こすことがあ
る。そこでプロッティングピン７の材質としては、剛
性、加工性、インキとの濡れ易さなどを考慮して、例え
ば、アルミナ系のセラミックスが適当である。

【００２９】又、先端部７ａの形状としては、図４
（ｂ）に示すようなプロッティングピン７の直径方向に
全面的にフラットな形状であると、供給時のインキ９
が、図４（ｃ）に示すように先端部７ａ下面に全面的に
拡がって、欠陥部４内に充填するインキ量のコントロー
ルが行い難い場合があり、特に、例えば５０μｍ程度の
小さい欠陥を修正する場合には影響が大きいものであ
る。又、欠陥部４内に先端部７ａが良好に入り込むこと
も必要であり、以上のようなことから、先端部７ａの形
状は、図４に示すような尖鋭状に加工しておくことが適
当である。

【００３０】上記本発明の補修方法は、印刷法（例えば
凹版オフセット印刷法など）によって作成されたフィル
ター以外にも、使用する補修用インキの粘度（若しくは
フロー値）及びその光学的透過率などを適宜に調整する
ことによって、例えば顔料分散法や染色法によって作成
されたフィルターの欠陥部補修方法として適用すること
が可能である。

【００３１】次に本発明の第２の発明のフィルター着色
パターン欠陥部補修装置の実施例を図５の正面図、及び
図６の図５右側面図に従って詳細に説明する。

【００３２】図５は、本発明装置の正面図であり、装置
本体フレームＦ上には、水平なＸ−Ｙ方向（二次元方
向）に移動自在な定盤１１を備えた水平移動機構１０を
設け、該定盤１１上には、補修すべきフィルター２を載
置することができ、該定盤１１上面の周辺部の適宜位置
には、該定盤１１面より僅かに突出させたスペーサー１
１ｅが設けられ、フィルター２が直接定盤１１に接触し
ないようになっている。

【００３３】定盤１１に載置されたフィルター２は、定
盤１１の両端部に設けた固定用ピン１１ａ，１１ｂによ
って挟むようにして固定され、一方の固定用ピン１１ａ
は、定盤１１に突出して取付け固定されており、又、他
方の固定用ピン１１ｂも、定盤１１面に対してその先端
を突出した状態で、該定盤１１に移動可能に取付けられ
ており、これと対向する前記一方の固定用ピン１１ａ方
向に付勢するコイルバネ１１ｃの付勢力によって、フィ
ルター２を押圧して挟み付け固定する。

【００３４】前記他方の固定用ピン１１ｂと、コイルバ
ネ１１ｃは、調整ねじ１１ｄによって、前記一方の固定
用ピン１１ｂに対して接近乃至離間する水平方向に一体
的に移動調整が可能であり、フィルター２のサイズが多
少変化しても対応可能になっている。なお、必要に応じ
て、前記他方の固定用ピン１１ｂ（図５左側の固定用ピ
ン１１ｂ）とコイルバネ１１ｃと調整ねじ１１ｄによる
挟み付け機構は互いに一体化した構造になっており、定
盤１１に対して該挟み付け機構は交換可能に取付けら
れ、フィルターサイズが大きく変化する場合には、その
サイズ用に交換することにより対応できる。

【００３５】前記定盤１１のＸ−Ｙ方向への移動は、下
記に説明するように、定盤１１下側に備えたＸ−Ｙ移動
機構１２によって行なう。

【００３６】該Ｘ−Ｙ移動機構１２は、装置本体フレー
ムＦ上に取付け固定された基台１３を備え、該基台１３
上側には、その基台１３上面、若しくは両側面（図５の
表裏側）に取り付けた水平滑動面１３ａ（各々Ｘ方向支
持ガイドレール）に沿ってＸ方向（図５の左右方向）へ
滑動移動自在なそれぞれコロ１４ａを軸支した可動板１
４を備え、該可動板１４には可動台１５を備える。（図
６参照）

【００３７】該可動台１５のＸ方向両端部に取り付けた
水平滑動面１５ａ（各々Ｙ方向支持ガイドレール）に沿
ってＹ方向（図５の表裏方向）へ滑動移動自在なそれぞ
れコロ１６ａを軸支した可動板１６，１６を備え、該可
動板１６，１６を介して、前記定盤１１がその上側に水
平に取付けられ、可動台１５に対して、Ｙ方向に滑動移
動可能になっている。（図５参照）

【００３８】Ｘ方向（図５の左右方向）に移動可能な前
記可動台１５には、ボールねじ機構１７のナットブロッ
ク１７ａが一体的に取付けられ、装置本体Ｆ又は基台１
３側に軸支したスクリューシャフト１７ｂの回転によっ
てＸ方向に移動可能である。スクリューシャフト１７ｂ
の回転は、ハンドル１７ｃにより手動又は電動モーター
により自動で回転させるものである。

【００３９】又、Ｙ方向（図５の表裏方向）に移動可能
な前記定盤１１には、ボールねじ機構１８のナットブロ
ック１８ａが一体的に取付けられ、前記可動台１５側に
軸支したスクリューシャフト１８ｂの回転によって、Ｙ
方向に移動可能である。スクリューシャフト１８ｂの回
転は、ハンドル１８ｃにより手動又は電動モーターによ
り自動で回転させるものである。

【００４０】前記定盤１１上方には、フィルター補修用
の着色インキ９を押し出すディスペンサー８を設ける。

【００４１】該ディスペンサー８は、図５に示すよう
に、補修用の着色インキ９を充填するインキ充填部６
と、該充填部６下部には、充填されたインキ９を送流す
る金属パイプ状のプロッティングピン７を備え、該充填
部６上部には補修用インキ９を前記プロッティングピン
７の先端部７ａより押し出すための制御された加圧エア
ー供給用のエアー管６ａを備える。

【００４２】前記ディスペンサー８は上下方向の外圧に
対する緩衝機構２０に取付けられている。該ディスペン
サー８は、定盤１１面に対して垂直方向のホルダー２１
に取付け支持され、該ホルダー２１は、ガイド板２３に
ボールベアリングを介在させた垂直方向の滑動面２２に
て、上下方向に滑動可能に取付け支持されている。

【００４３】該ガイド板２３の上部２３ａと前記ホルダ
ー２１の間には、伸長方向に付勢するコイルバネ２４が
取付けられ、ガイド板２３に対してディスペンサー８を
下方に押し下げる。なお、２５は、ディスペンサー８の
下方への移動における下止点を設定する停止板である。
これによってディスペンサー８は、コイルバネ２４及び
ボールベアリングにより上下方向にスライド移動可能に
支持され、フィルター２表面に接触した際のプロッティ
ングピン７の先端部７ａに掛かる圧力を緩和できるよう
になっている。

【００４４】前記ガイド板２３には、定盤１１面に対し
て垂直方向に上下に駆動移動する上下移動機構３０を備
える。該ガイド板２３は、ボールねじ機構のナットブロ
ック２６を一体に備え、定盤１１上方に、装置本体フレ
ームＦに取付け固定されて架設される支持アーム３１を
備え、該支持アーム３１に備えたブラケット３２に、軸
受部３５，３６を介して電動モーター３４にて駆動回転
するねじシャフト３３を定盤１１面に対して垂直方向に
軸支し、前記ガイド板２３のナットブロック２６と、ね
じシャフト３３とにより構成するボールねじ機構によっ
て、ガイド板２３を定盤１１に対して垂直方向に上下に
駆動移動させるもので、これによってディスペンサー８
を定盤１１上のフィルター２表面に対して接触、乃至、
適宜間隔に離間動作させるものである。

【００４５】なお、前記ガイド板２３の上下移動距離、
あるいは、高さ（上下方向の現在位置）を検出できるガ
イド板高さ検出センサー３７を設けるようにしてもよ
い。

【００４６】例えば、前記ボールねじのねじシャフト３
３を軸支する軸受部３６に、該ねじシャフト３３と一体
に連動回転、若しくは、適宜ギアを介して連動回転する
ロータリーエンコーダー、又は、リニアエンコーダー、
ポテンショメーター、リミットスイッチなどの検出セン
サーを用いた高さ（上下方向の位置）検出センサー３７
を設けることによって、ガイド板２３の高さ（上下方向
の現在位置）を検出し、その検出信号に基づいて、電動
モーター３４を始動させて、ディスペンサー８を、定盤
１１上面に対して適宜高さに駆動移動して、パターン欠
陥部４の補修操作において、その都度、フィルター２の
総厚、パターン欠陥部４の大きさや深度などに応じて、
適宜に定盤１１面に対するプロッティングピン７の高さ
及びその先端部７ａによる押圧力を設定して、欠陥部の
補修を行なうものである。

【００４７】上記本発明のフィルターパターン欠陥部補
修装置においては、図６に示すように、例えば、前記支
持アーム３１に一体的に、フィルター２のパターン３に
発生しているパターン欠陥部４を観察し、該パターン欠
陥部４と、プロッティングピン７先端部７ａとの見当の
整合を観察するための監視機構４０を備える。

【００４８】観察機構４０は、ＣＣＤカメラなどの画像
入力装置４１と、照明装置４２を備え、画像入力装置４
１は、適宜所定の倍率機能を備え、画像入力信号は、Ｃ
ＲＴ出力装置（図示せず）によって画像出力でき、補修
操作においては、該ＣＲＴ出力装置の出力表示画像を見
ながら操作するものである。

【００４９】本発明のフィルターパターン欠陥部補修装
置を用いて、フィルター２のパターン欠陥部４を補修す
る場合について、以下に説明する。

【００５０】まず、フィルター２（フィルター）を定盤
１１上に載置する。この際、定盤１１に直接接触しない
ようにスペーサー１１ｅの上側に載置する。

【００５１】ハンドル１７ｃを回して定盤１１をＸ方向
（図５の左右方向）に移動しながらフィルター２に形成
されているフィルターパターン３の欠陥部４を、ディス
ペンサー８のプロッティングピン７先端部７ａの真下に
位置決めする。

【００５２】次に、電動モーター３４（ステップモータ
ー）の回転をねじシャフト３３に伝え、ボールねじ機構
のナットブロック２６を上下方向に移動し、ディスペン
サー８を上下方向に移動する。

【００５３】ステップモーター３４のモーター制御部
（図示せず）には、予め１ステップ分の上下移動距離
（例えば１μｍ）を設定入力しておき、又、補修時に
は、ディスペンサー８がフィルター２の厚さを見込んだ
所定の距離だけ下降動作するようにその都度下降動作距
離を入力設定する。

【００５４】ステップモーター３４を始動することによ
って、ディスペンサー８は下降を開始し、プロッティン
グピン７先端部７ａが、フィルター２のパターン欠陥部
４まで下降動作して接触する。この場合、モーター制御
部によってステップモーター３４は、プロッティングピ
ン先端部７ａがパターン欠陥部４内に最初に接触後、暫
く下降を継続した後に下降動作が停止するように予め入
力設定しておいた下降動作距離データに基づいて動作す
る。あるいは、ＣＣＤカメラ４１によって観察しなが
ら、ディスペンサー８をフィルターのパターン欠陥部４
に接触させるか、若しくは接触させた後、暫く下降動作
した後に停止するようにモーター制御部に下降動作距離
のリアルデータを追加で入力設定して、微調整するよう
にしてもよい。

【００５５】ディスペンサー８が、フィルター２に接触
する際には、緩衝機構２０が動作して、接触によりフィ
ルター２面に損傷が生じないようにしてある。補修に用
いられるインキ９は、ディスペンサー８のインキ充填部
６内に保持され、補修時にはエアー供給管６ａから送ら
れるエアーによってプロッティングピン７先端部７ａよ
り押出すことにより、インキを欠陥部４内に充填する。

【００５６】先端部７ａを欠陥部４内に密着させながら
インキ９を押し出すことにより、少量のインキ量でも欠
陥部４内に確実に充填することができ、その充填状況
は、ＣＣＤカメラ４１で観察することにより確認でき
る。

【００５７】又、先端部７ａをフィルター２の欠陥部４
に密着しながらインキ９を押し出した時に、緩衝機構に
よりディスペンサー８が微妙に僅かに上方に移動して、
フィルター２面との間に間隙を作り出し、その間隙から
インキ９が押し出されることにより、フィルター２に過
剰な圧力が掛かることを防いでいる。

【００５８】充填後は、ステップモーター３４の回転に
より、ディスペンサー８は上方に引上げられる。その
後、１００℃、３０分程度の乾燥工程を経て、補修が完
了する。

【００５９】

【作用】本発明のフィルターパターン欠陥部補修方法及
び補修装置によれば、補修用のインキの充填されたイン
キ充填部６とプロッティングピン７とを備えたディスペ
ンサー８を用いて、そのプロッティングピン先端部７ａ
を欠陥部４内部に接触させた後に、補修用のインキ９を
その先端部７ａより押し出すようにしたので、先端部７
ａより押出されるインキ９が欠陥部４内に充填されてい
く状態を監視しながら補修でき、押出されたインキ９が
欠陥部４内にほぼ満たされた状態になった時点で、イン
キ９の押出しを停止することが可能となる。

【００６０】そのため、欠陥部４内には、該欠陥部４の
大きさ（面積、深度など）に見合った適量の補修用イン
キ９を正確に充填でき、例えばパターン欠陥部４が、オ
ーバーハング状態の場合には、特に、欠陥部４内部より
外方に向かってインキ９を充填できるので、欠陥部４内
に、気泡や未充填部分の発生するのを回避することがで
きる。

【００６１】本発明のフィルターパターン欠陥部補修装
置には緩衝機構２０を備えたので、プロッティングピン
７先端部７ａによって、フィルター２表面に傷を付ける
心配がなく、又、プロッティングピン７先端部７ａを、
フィルター２のパターン欠陥部４内に密着させた状態で
先端部７ａより補修用のインキ９を押出すことができ
て、そのインキ９の押出し力が先端部７ａを上方に持ち
上げて、その持ち上がりにより生じた間隙からインキ９
を先端部７ａの側方に向かってスフレッドさせることが
できる。

【００６２】

【発明の効果】本発明のフィルターパターン欠陥部補修
方法及び補修装置は、フィルターの着色画素パターンに
発生したパターン欠陥部に、その欠陥部の大きさ（面
積）や状態（欠陥部の深度など）に対応する適切な量の
補修用のインキを正確に安定して供給でき、従来のよう
な補修用インキ滴下方式、若しくはそれに近似する方式
による補修方式によるインキの供給量の過不足を発生さ
せず、その補給を正確且つ迅速に安定して行なうことが
でき、より良いパターン欠陥部の補修・修正方法及び装
置として顕著な効果が期待できるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）本発明のフィルターパターン欠陥部補修
方法において補修すべきパターン欠陥部の発生している
フィルターの側面図である。 （ｂ）本発明のフィルターパターン欠陥部補修方法を説
明する側面図である。 （ｃ）本発明のフィルターパターン欠陥部補修方法を説
明する側面図である。 （ｄ）本発明のフィルターパターン欠陥部補修方法を説
明する側面図である。 （ｅ）本発明のフィルターパターン欠陥部補修方法を説
明する側面図である。

【図２】（ａ）本発明のフィルターパターン欠陥部補修
方法において補修すべきパターン欠陥部の拡大側面図で
ある。 （ｂ）本発明のフィルターパターン欠陥部補修方法にお
いて補修すべきパターン欠陥部の拡大側面図である。 （ｃ）本発明のフィルターパターン欠陥部補修方法にお
いて補修すべきパターン欠陥部の拡大側面図である。

【図３】本発明のフィルターパターン欠陥部補修方法に
おける補修操作を説明する側面図である。

【図４】（ａ）本発明のフィルターパターン欠陥部補修
方法において使用するプロッティングピンの一例を説明
する側面図である。 （ｂ）本発明のフィルターパターン欠陥部補修方法にお
いて使用するプロッティングピンの比較例を説明する側
面図である。 （ｃ）本発明のフィルターパターン欠陥部補修方法にお
いて使用するプロッティングピンの比較例を説明する側
面図である。

【図５】本発明のフィルターパターン欠陥部補修装置の
一実施例を説明する正面図である。

【図６】本発明のフィルターパターン欠陥部補修装置の
一実施例を説明する右側面図である。

【符号の説明】

１…ガラス基板 ２…フィルター ３…パターン ４…
パターン欠陥部 ５…定盤 ６…インキ充填部 ７…プロッティングピン
７ａ…先端部 ７ｂ…吐出孔 ７ｃ…送流路 ８…ディスペンサー ９
…補修用インキ １０…水平移動機構 １１…定盤 １２…Ｘ−Ｙ移動機
構 １３…基台 １４…可動板 １５…可動盤 １６…可動板 １７…ボ
ールねじ機構 １８…ボールねじ機構 ２０…緩衝機構 ２１…ホルダ
ー ２２…滑動面 ２３…ガイド板 ２４…コイルバネ ２５…停止板 ２
６…ナットブロック ３０…上下移動機構 ３１…支持アーム ３２…ブラケ
ット ３３…ねじシャフト ３４…電動モーター ３５，３６
…軸受部 ３７…高さ検出センサー ４０…監視機構 ４１…画像
入力部 ４２…照明部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 瀧川 茂明 東京都台東区台東一丁目５番１号 凸版印 刷株式会社内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】フィルター補修用のプロッティングピン７
   の先端部７ａを、フィルター２のパターン欠陥部４内に
   接触させた後に、該プロッティングピン先端部７ａより
   補修用着色インキ９を適量押し出して、該パターン欠陥
   部４内に該インキ９を充填して補修することを特徴とす
   るフィルターパターン欠陥部補修方法。
2. 【請求項２】前記プロッティングピン７は、少なくとも
   その先端部７ａがセラミックからなる請求項１に記載の
   フィルターパターン欠陥部補修方法。
3. 【請求項３】フィルター２を載置する定盤１１と、フィ
   ルター補修用インキ９が押し出されるパイプ状のプロッ
   ティングピン７を備えたディスペンサー８と、定盤１１
   上に載置されるフィルター２のパターン欠陥部４と前記
   プロッティングピン７の先端部７ａとの位置を整合する
   ために前記定盤１１とプロッティングピン先端部７ａと
   の相対位置を移動調整するための水平移動機構１０と、
   該ディスペンサー８を上下方向に移動可能に支持して、
   フィルター２表面に接触した際のプロッティングピン７
   に掛かる圧力を緩和するための緩衝機構２０と、該緩衝
   機構２０を上下移動可能に支持する上下移動機構３０と
   を備えたことを特徴とするフィルターパターン欠陥部補
   修装置。
4. 【請求項４】前記プロッティングピン７は、少なくとも
   その先端部７ａがセラミックからなる請求項３に記載の
   フィルターパターン欠陥部補修装置。