JPH0611181B2 - リニアアクチユエ−タ - Google Patents
リニアアクチユエ−タInfo
- Publication number
- JPH0611181B2 JPH0611181B2 JP61012758A JP1275886A JPH0611181B2 JP H0611181 B2 JPH0611181 B2 JP H0611181B2 JP 61012758 A JP61012758 A JP 61012758A JP 1275886 A JP1275886 A JP 1275886A JP H0611181 B2 JPH0611181 B2 JP H0611181B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic flux
- movable part
- magnetic
- coil
- sensing element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 30
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical group [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は直線位置制御、特に微小位置制御を行う装置に
関する。
関する。
直線位置制御を行う手段としては従来、主として２つの
方式があった。
方式があった。
まず第１の方式としては制御対象物それ自身の位置を適
当な検出手段で検出してフィードバックするものがあっ
た。
当な検出手段で検出してフィードバックするものがあっ
た。
また第２の方式としては位置決めモータ等を使用し、回
転動作を直線動作に変換するものがあった。
転動作を直線動作に変換するものがあった。
第１の方式における問題点としては、以下の点がある。
すなわち、 (1)制御対象物に直接あるいは近接して検出手段（位置
センサ）を設けねばならず機器設計の自由度が損なわれ
る欠点があった。
すなわち、 (1)制御対象物に直接あるいは近接して検出手段（位置
センサ）を設けねばならず機器設計の自由度が損なわれ
る欠点があった。
(2)また、制御対象物が検出手段取り付け不適当な場所
にある場合等、検出手段自体が装着できないあるいは不
適当な位置に検出手段を取り付けざるを得ない問題点が
あった。
にある場合等、検出手段自体が装着できないあるいは不
適当な位置に検出手段を取り付けざるを得ない問題点が
あった。
第２の方式の問題点としては回転動作を直線動作に変換
する直線変換機構を必要とするという点にある。これも
また、設計の自由度を損なうものであり、直線変換機構
それ自体、高度の技術を有するものでであった。
する直線変換機構を必要とするという点にある。これも
また、設計の自由度を損なうものであり、直線変換機構
それ自体、高度の技術を有するものでであった。
本発明はこれらの点に鑑み成されたもので、小型・安価
なリニアアクチュエータを実現するものである。
なリニアアクチュエータを実現するものである。
このため、本発明のリニアアクチュエータは、 磁束発生手段を有する固定部、上記磁束発生手段からの
主磁束が貫通するよう配置されたコイルと上記磁束発生
手段からの漏れ磁束を感知して該漏れ磁束の強さに応じ
た信号を出力する磁気感知素子とを有する可動部、上記
コイルに対し可動部上下信号に基づく電力を供給する電
力供給手段、及び上記磁気感知素子の出力を上記電力供
給手段にフィードバックするフィードバック手段を有
し、 上記可動部が上記電力供給手段により上下された際に上
記磁気感知素子の感知する上記固定部の磁束発生手段の
漏れ磁束の強度を位置制御要素として利用する構成とし
ている。
主磁束が貫通するよう配置されたコイルと上記磁束発生
手段からの漏れ磁束を感知して該漏れ磁束の強さに応じ
た信号を出力する磁気感知素子とを有する可動部、上記
コイルに対し可動部上下信号に基づく電力を供給する電
力供給手段、及び上記磁気感知素子の出力を上記電力供
給手段にフィードバックするフィードバック手段を有
し、 上記可動部が上記電力供給手段により上下された際に上
記磁気感知素子の感知する上記固定部の磁束発生手段の
漏れ磁束の強度を位置制御要素として利用する構成とし
ている。
磁気発生手段から生じた磁束のうち主磁束を可動部のコ
イルに作用させ、また漏れ磁束を磁気感知素子に作用さ
せるよう上記コイル及び上記磁気感知素子を異なる位置
に配置する。
イルに作用させ、また漏れ磁束を磁気感知素子に作用さ
せるよう上記コイル及び上記磁気感知素子を異なる位置
に配置する。
この漏れ磁束は磁気発生手段からの距離に応じてその強
さが小さくなるので上記磁気感知素子の出力により上記
可動部の位置を検出することができる。
さが小さくなるので上記磁気感知素子の出力により上記
可動部の位置を検出することができる。
第１図は本発明の一実施例を示す構成説明図で円柱状に
形成されているものの断面を示すものである。
形成されているものの断面を示すものである。
図において、１０はヨーク、１１は磁束発生手段として
の永久磁石（以下、単に磁石という）、１２は鉄芯、１
３はコイル、１４はコイル保持具、１５はガイド軸、１
６は軸受、１７は固定ネジ、１８は位置検出器としての
ホール素子である。
の永久磁石（以下、単に磁石という）、１２は鉄芯、１
３はコイル、１４はコイル保持具、１５はガイド軸、１
６は軸受、１７は固定ネジ、１８は位置検出器としての
ホール素子である。
ヨーク１０、磁石１１および鉄芯１２により磁気回路が
形成される。磁束の流れは磁石１１のＮ極から発し鉄芯
１２およびヨーク１０を通って磁石１１のＳ極に入る。
この磁気回路が磁束の主経路となるもので、磁石１１か
らの磁束の大部分（主磁束）を含んでいる。
形成される。磁束の流れは磁石１１のＮ極から発し鉄芯
１２およびヨーク１０を通って磁石１１のＳ極に入る。
この磁気回路が磁束の主経路となるもので、磁石１１か
らの磁束の大部分（主磁束）を含んでいる。
コイル１３、コイル保持具１４、ガイド軸１５が可動部
となるもので、この可動部のコイル１３が前述の磁気回
路を形成するヨーク１０と鉄芯１２の間に配置される。
この時、コイル１３に電流を供給することにより、可動
部は上下に変位し、アクチュエータとして動作する。
となるもので、この可動部のコイル１３が前述の磁気回
路を形成するヨーク１０と鉄芯１２の間に配置される。
この時、コイル１３に電流を供給することにより、可動
部は上下に変位し、アクチュエータとして動作する。
可動部にはそれ自身の位置を検出する位置検出器として
ホール素子１８が埋め込まれている。
ホール素子１８が埋め込まれている。
コイル１３に供給される電流に応じて、可動部が変位
し、従ってホール素子１８が変位する。
し、従ってホール素子１８が変位する。
一方、前述の磁気回路から可動部を変位させるためだけ
の磁束だけでなく、常に漏れ磁束が存在している。この
漏れ磁束の一部は鉄芯１２から発し、ホール素子１８を
貫いている。この漏れ磁束による磁束密度は距離に応じ
て減少している。
の磁束だけでなく、常に漏れ磁束が存在している。この
漏れ磁束の一部は鉄芯１２から発し、ホール素子１８を
貫いている。この漏れ磁束による磁束密度は距離に応じ
て減少している。
従って、可動部すなわちホール素子１８が変位すること
により、第２図に示す出力を得ることができ、第３図に
示すサーボループを構成することができる。第３図にお
いて、２は誤差増幅器、３は電力増幅器、４はフィード
バック回路である。
により、第２図に示す出力を得ることができ、第３図に
示すサーボループを構成することができる。第３図にお
いて、２は誤差増幅器、３は電力増幅器、４はフィード
バック回路である。
この第３図に示すようなサーボループを使用することに
より、リニアアクチュエータとしての位置制御が極めて
容易に行うことができる。
より、リニアアクチュエータとしての位置制御が極めて
容易に行うことができる。
例えば記録装置のペン駆動部、流量制御のためのバルブ
制御等極めて広い範囲で応用することができる。
制御等極めて広い範囲で応用することができる。
またアクチュエータ自身に位置検出器を埋め込む構成と
しているので小型でかつ安価に製作できる。
しているので小型でかつ安価に製作できる。
以上、説明したように本発明によれば構成が簡単で小型
かつ安価なリニアアクチュエータを提供することができ
る。
かつ安価なリニアアクチュエータを提供することができ
る。
第１図、第２図および第３図は本発明の一実施例を示す
構成説明図である。 １０……ヨーク、１１……磁石、１２……鉄芯、１３…
…コイル、１４……コイル保持具、１８……ホール素子
構成説明図である。 １０……ヨーク、１１……磁石、１２……鉄芯、１３…
…コイル、１４……コイル保持具、１８……ホール素子
Claims (1)
- 【請求項１】磁束発生手段としての永久磁石を有した固
定部、 この固定部の上記磁束発生手段により発生される主磁束
が貫通するよう配置されたコイル及び上記磁束発生手段
により発生される漏れ磁束を感知して該漏れ磁束の強さ
に応じた信号を出力する磁気感知素子とを有する可動
部、 上記可動部のコイルに可動部上下信号に基づく電力を供
給する電力供給手段、 上記可動部の磁気感知素子の出力を上記電力供給手段に
フィードバックするフィードバック手段とを有し、 上記可動部が上記電力供給手段により上下された際に上
記磁気感知素子の感知する上記固定部の磁束発生手段の
漏れ磁束の強度を位置情報として利用することを特徴と
するリニアアクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61012758A JPH0611181B2 (ja) | 1986-01-23 | 1986-01-23 | リニアアクチユエ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61012758A JPH0611181B2 (ja) | 1986-01-23 | 1986-01-23 | リニアアクチユエ−タ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62171453A JPS62171453A (ja) | 1987-07-28 |
| JPH0611181B2 true JPH0611181B2 (ja) | 1994-02-09 |
Family
ID=11814307
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61012758A Expired - Lifetime JPH0611181B2 (ja) | 1986-01-23 | 1986-01-23 | リニアアクチユエ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0611181B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5568869A (en) * | 1978-11-17 | 1980-05-23 | Sony Corp | Linear motor |
| JPS59114781U (ja) * | 1983-01-19 | 1984-08-02 | 昭和電線電纜株式会社 | リニアモ−タ |
-
1986
- 1986-01-23 JP JP61012758A patent/JPH0611181B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62171453A (ja) | 1987-07-28 |
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