JPH06112381A - 沸騰冷却装置内の不凝縮ガス抜き方法と装置 - Google Patents
沸騰冷却装置内の不凝縮ガス抜き方法と装置Info
- Publication number
- JPH06112381A JPH06112381A JP9168892A JP9168892A JPH06112381A JP H06112381 A JPH06112381 A JP H06112381A JP 9168892 A JP9168892 A JP 9168892A JP 9168892 A JP9168892 A JP 9168892A JP H06112381 A JPH06112381 A JP H06112381A
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- cooling device
- boiling cooling
- chamber
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、沸騰冷却装置の冷媒に含まれる空気
や半導体スタック等の発熱体の吸着空気等の不凝縮生ガ
ス排出することを目的とする。 【構成】沸騰冷却装置の不凝縮ガス抜き方法は、沸騰冷
却装置の内圧と配管によって接続したチャンバの内圧と
を操作して沸騰冷却装置内の不凝縮ガスを排出した後、
外部から熱を加えて沸騰冷却装置内の冷媒を沸騰させて
沸騰冷却装置の内圧を上げ、再度不凝縮ガスを排出する
ようにする。沸騰冷却装置の不凝縮ガス抜き装置は、真
空ポンプと、冷媒および半導体スタックを収納する収納
タンクとよりなる沸騰冷却装置内の不凝縮ガス抜き装置
において、バルブを設けた配管を介して、真空ポンプと
接続したチャンバと、前記チャンバに設けた圧力計と、
バルブを設けた配管を介し、前記チャンバと接続した沸
騰冷却装置と、前記沸騰冷却装置に設けた圧力計と、前
記沸騰冷却装置の外部にヒータ設けたものとする。
や半導体スタック等の発熱体の吸着空気等の不凝縮生ガ
ス排出することを目的とする。 【構成】沸騰冷却装置の不凝縮ガス抜き方法は、沸騰冷
却装置の内圧と配管によって接続したチャンバの内圧と
を操作して沸騰冷却装置内の不凝縮ガスを排出した後、
外部から熱を加えて沸騰冷却装置内の冷媒を沸騰させて
沸騰冷却装置の内圧を上げ、再度不凝縮ガスを排出する
ようにする。沸騰冷却装置の不凝縮ガス抜き装置は、真
空ポンプと、冷媒および半導体スタックを収納する収納
タンクとよりなる沸騰冷却装置内の不凝縮ガス抜き装置
において、バルブを設けた配管を介して、真空ポンプと
接続したチャンバと、前記チャンバに設けた圧力計と、
バルブを設けた配管を介し、前記チャンバと接続した沸
騰冷却装置と、前記沸騰冷却装置に設けた圧力計と、前
記沸騰冷却装置の外部にヒータ設けたものとする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、沸騰冷却装置におい
て、冷却性能を阻害する装置内の不凝縮ガスを沸騰冷却
装置の外へ排出する沸騰冷却装置内の不凝縮ガス抜き方
法および装置に関する。
て、冷却性能を阻害する装置内の不凝縮ガスを沸騰冷却
装置の外へ排出する沸騰冷却装置内の不凝縮ガス抜き方
法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、沸騰冷却装置において不凝縮ガス
を排除するものとして、冷媒および半導体スタックを収
納する収納タンクと、この収納タンクに連通した凝縮器
と、凝縮器上部および収納タンクに温度検出を設け、こ
の両者の温度に規定値以上の温度差がある場合、凝縮器
とパイプを介し接続した真空ポンプを動作させ沸騰冷却
装置内の不凝縮ガスを抜くものはある（例えば、実開昭
６１−１８８３６４号公報）。
を排除するものとして、冷媒および半導体スタックを収
納する収納タンクと、この収納タンクに連通した凝縮器
と、凝縮器上部および収納タンクに温度検出を設け、こ
の両者の温度に規定値以上の温度差がある場合、凝縮器
とパイプを介し接続した真空ポンプを動作させ沸騰冷却
装置内の不凝縮ガスを抜くものはある（例えば、実開昭
６１−１８８３６４号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来技術で
は、沸騰冷却装置内に存在していた空気等の不凝縮ガス
は排出できるが、冷媒に含まれる空気や装置内面の吸着
空気までは排出することができないため、これらの不凝
縮ガスが装置使用時に徐々に排出されて凝縮器の冷却性
能が安定しない。そこで、本発明は、冷媒に含まれる空
気と沸騰冷却装置や半導体スタック等の発熱体の吸着空
気も含めた全ての不凝縮性ガスを一時に排出することを
目的とする。
は、沸騰冷却装置内に存在していた空気等の不凝縮ガス
は排出できるが、冷媒に含まれる空気や装置内面の吸着
空気までは排出することができないため、これらの不凝
縮ガスが装置使用時に徐々に排出されて凝縮器の冷却性
能が安定しない。そこで、本発明は、冷媒に含まれる空
気と沸騰冷却装置や半導体スタック等の発熱体の吸着空
気も含めた全ての不凝縮性ガスを一時に排出することを
目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、沸騰冷却装置の不凝縮ガス抜き方法は、沸騰冷却装
置の内圧と配管によって接続したチャンバの内圧とを操
作して沸騰冷却装置内の不凝縮ガスを排出した後、外部
から熱を加えて沸騰冷却装置内の冷媒を沸騰させて沸騰
冷却装置の内圧を上げ、再度不凝縮ガスを排出するよう
にする。沸騰冷却装置の不凝縮ガス抜き装置は、真空ポ
ンプと、冷媒および半導体スタックを収納する収納タン
クとよりなる沸騰冷却装置内の不凝縮ガス抜き装置にお
いて、バルブを設けた配管を介して、真空ポンプと接続
したチャンバと、前記チャンバに設けた圧力計と、バル
ブを設けた配管を介し、前記チャンバと接続した沸騰冷
却装置と、前記沸騰冷却装置に設けた圧力計と、前記沸
騰冷却装置の外部にヒータ設けたものとする。
め、沸騰冷却装置の不凝縮ガス抜き方法は、沸騰冷却装
置の内圧と配管によって接続したチャンバの内圧とを操
作して沸騰冷却装置内の不凝縮ガスを排出した後、外部
から熱を加えて沸騰冷却装置内の冷媒を沸騰させて沸騰
冷却装置の内圧を上げ、再度不凝縮ガスを排出するよう
にする。沸騰冷却装置の不凝縮ガス抜き装置は、真空ポ
ンプと、冷媒および半導体スタックを収納する収納タン
クとよりなる沸騰冷却装置内の不凝縮ガス抜き装置にお
いて、バルブを設けた配管を介して、真空ポンプと接続
したチャンバと、前記チャンバに設けた圧力計と、バル
ブを設けた配管を介し、前記チャンバと接続した沸騰冷
却装置と、前記沸騰冷却装置に設けた圧力計と、前記沸
騰冷却装置の外部にヒータ設けたものとする。
【０００５】
【作用】上記手段により、沸騰冷却装置内の冷媒を沸騰
させて冷媒の含有空気や壁面の吸着空気を引出し、さら
に沸騰冷却装置とチャンバ間に相対的な圧力差を作るこ
とによって沸騰冷却装置内の不凝縮性ガスを排出する。
させて冷媒の含有空気や壁面の吸着空気を引出し、さら
に沸騰冷却装置とチャンバ間に相対的な圧力差を作るこ
とによって沸騰冷却装置内の不凝縮性ガスを排出する。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の実施例を図１に示して説明す
る。沸騰冷却装置１には圧力計１０が設置してあり、そ
の内部には発熱体９と冷媒４が収納され、外部にヒータ
１５が装着されている。チャンバ１１には、圧力計１２
が設けられており、バルブ８を持った配管７によって真
空ポンプ６が接続されている。沸騰冷却装置１の上部と
チャンバ１１とは配管１３で接続しており、その途中に
はバルブ１４を設けてある。このような構成において、
まず、バルブ１４を閉めてバルブ８を開き、真空ポンプ
６を作動させてチャンバ１１の内圧を沸騰冷却装置１の
内圧よりも低くし、バルブ８を閉じる。沸騰冷却装置１
の内部では不凝縮ガス（例えば空気）１６と冷媒蒸気１
７とが比重量の差で層を成している。バルブ１４を徐々
に開いて冷媒蒸気１７の上にある空気１６を圧力差によ
って沸騰冷却装置１の上部にある配管１３を通してチャ
ンバ１１へ排出する。沸騰冷却装置１とチャンバ１１の
内圧が平衡したところでバルブ１４を閉じる。再度、バ
ルブ８を開いて真空ポンプ６を作動させてチャンバ１１
の内圧を沸騰冷却装置１の内圧よりも低くする。この操
作を繰り返して、沸騰冷却装置１の内圧を冷媒４の当該
温度における沸騰圧力付近まで下げる。この時点で、当
初沸騰冷却装置１内に存在した不凝縮ガスはほぼ排出さ
れる。つぎに、ヒータ１５で冷媒４を加熱して沸騰さ
せ、沸騰冷却装置１の内圧をチャンバ１１の内圧よりも
高くする。沸騰冷却装置１の内圧は、すでに冷媒４の沸
騰圧力付近まで下がっているので、わずかな加熱によっ
て冷媒４をはげしく沸騰させることができる。冷媒４を
はげしく沸騰させることによって、十分にかくはんする
ことができるので冷媒４に含まれている不凝縮ガスや沸
騰冷却装置１の内壁、および発熱体９の表面に吸着して
いる不凝縮ガスを引出し、沸騰冷却装置１内の空間に集
めることができる。この状態で加熱を止めてバルブ１４
を徐々に開くと、沸騰冷却装置１の上部に集まった不凝
縮ガス１６が圧力差によってチャンバ１１に排出され
る。沸騰冷却装置１とチャンバ１１の内圧が平衡したと
ころでバルブ１４を閉じる。バルブ８を開いて真空ポン
プ６を作動させてチャンバ１１の内圧を下げた後、バル
ブ８を閉じる。冷媒４の加熱からチャンバ１１の内圧を
下げるまでの操作を数回繰り返すことによって、沸騰冷
却装置内の不凝縮ガス１６をほとんど排出することがで
きる。なお、沸騰冷却装置１とチャンバ１１の圧力のモ
ニタは、それぞれの圧力計１０、１２によって行う。
る。沸騰冷却装置１には圧力計１０が設置してあり、そ
の内部には発熱体９と冷媒４が収納され、外部にヒータ
１５が装着されている。チャンバ１１には、圧力計１２
が設けられており、バルブ８を持った配管７によって真
空ポンプ６が接続されている。沸騰冷却装置１の上部と
チャンバ１１とは配管１３で接続しており、その途中に
はバルブ１４を設けてある。このような構成において、
まず、バルブ１４を閉めてバルブ８を開き、真空ポンプ
６を作動させてチャンバ１１の内圧を沸騰冷却装置１の
内圧よりも低くし、バルブ８を閉じる。沸騰冷却装置１
の内部では不凝縮ガス（例えば空気）１６と冷媒蒸気１
７とが比重量の差で層を成している。バルブ１４を徐々
に開いて冷媒蒸気１７の上にある空気１６を圧力差によ
って沸騰冷却装置１の上部にある配管１３を通してチャ
ンバ１１へ排出する。沸騰冷却装置１とチャンバ１１の
内圧が平衡したところでバルブ１４を閉じる。再度、バ
ルブ８を開いて真空ポンプ６を作動させてチャンバ１１
の内圧を沸騰冷却装置１の内圧よりも低くする。この操
作を繰り返して、沸騰冷却装置１の内圧を冷媒４の当該
温度における沸騰圧力付近まで下げる。この時点で、当
初沸騰冷却装置１内に存在した不凝縮ガスはほぼ排出さ
れる。つぎに、ヒータ１５で冷媒４を加熱して沸騰さ
せ、沸騰冷却装置１の内圧をチャンバ１１の内圧よりも
高くする。沸騰冷却装置１の内圧は、すでに冷媒４の沸
騰圧力付近まで下がっているので、わずかな加熱によっ
て冷媒４をはげしく沸騰させることができる。冷媒４を
はげしく沸騰させることによって、十分にかくはんする
ことができるので冷媒４に含まれている不凝縮ガスや沸
騰冷却装置１の内壁、および発熱体９の表面に吸着して
いる不凝縮ガスを引出し、沸騰冷却装置１内の空間に集
めることができる。この状態で加熱を止めてバルブ１４
を徐々に開くと、沸騰冷却装置１の上部に集まった不凝
縮ガス１６が圧力差によってチャンバ１１に排出され
る。沸騰冷却装置１とチャンバ１１の内圧が平衡したと
ころでバルブ１４を閉じる。バルブ８を開いて真空ポン
プ６を作動させてチャンバ１１の内圧を下げた後、バル
ブ８を閉じる。冷媒４の加熱からチャンバ１１の内圧を
下げるまでの操作を数回繰り返すことによって、沸騰冷
却装置内の不凝縮ガス１６をほとんど排出することがで
きる。なお、沸騰冷却装置１とチャンバ１１の圧力のモ
ニタは、それぞれの圧力計１０、１２によって行う。
【０００７】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば沸騰
冷却装置において冷媒を容易に沸騰させる事ができるの
で、冷媒中に含まれる不凝縮ガスや沸騰冷却装置内壁の
吸着ガスを排出することができるという効果がある。
冷却装置において冷媒を容易に沸騰させる事ができるの
で、冷媒中に含まれる不凝縮ガスや沸騰冷却装置内壁の
吸着ガスを排出することができるという効果がある。
【図１】本発明の実施例
【図２】従来例
【符号の説明】 １ 沸騰冷却装置 ２ 冷媒タンク ３、７、１３ 配管 ４ 冷媒 ５、８ バルブ ６ 真空ポンプ ９ 発熱体 １０、１２ 圧力計 １１ チャンバ １４ バルブ １５ ヒータ １６ 不凝縮ガス（空気） １７ 冷媒蒸気
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年１０月１３日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施例の装置を示す構成図。
【符号の説明】 １ 沸騰冷却装置 ２ 冷媒タンク ３、７、１３ 配管 ４ 冷媒 ５、８ バルブ ６ 真空ポンプ ９ 発熱体 １０、１２ 圧力計 １１ チャンバ １４ バルブ １５ ヒータ １６ 不凝縮ガス（空気） １７ 冷媒蒸気
Claims (2)
- 【請求項１】 沸騰冷却装置内の不凝縮ガス抜き方法に
おいて、沸騰冷却装置の内圧と配管によって接続したチ
ャンバの内圧とを操作して沸騰冷却装置内の不凝縮ガス
を排出した後、外部から熱を加えて沸騰冷却装置内の冷
媒を沸騰させて沸騰冷却装置の内圧を上げ、再度不凝縮
ガスを排出することを特徴とする沸騰冷却装置内の不凝
縮ガス抜き方法。 - 【請求項２】 真空ポンプと、冷媒および半導体スタッ
クを収納する収納タンクとよりなる沸騰冷却装置内の不
凝縮ガス抜き装置において、バルブを設けた配管を介し
て、真空ポンプと接続したチャンバと、前記チャンバに
設けた圧力計と、バルブを設けた配管を介して、前記チ
ャンバと接続した沸騰冷却装置と、前記沸騰冷却装置に
設けた圧力計と、前記沸騰冷却装置の外部に設けたヒー
タとよりなることを特徴とする沸騰冷却装置内の不凝縮
ガス抜き装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9168892A JPH06112381A (ja) | 1992-03-16 | 1992-03-16 | 沸騰冷却装置内の不凝縮ガス抜き方法と装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9168892A JPH06112381A (ja) | 1992-03-16 | 1992-03-16 | 沸騰冷却装置内の不凝縮ガス抜き方法と装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06112381A true JPH06112381A (ja) | 1994-04-22 |
Family
ID=14033449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9168892A Pending JPH06112381A (ja) | 1992-03-16 | 1992-03-16 | 沸騰冷却装置内の不凝縮ガス抜き方法と装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06112381A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022504024A (ja) * | 2018-11-16 | 2022-01-13 | ティーエムジーコア，エルエルシー | 液浸冷却プラットフォーム |
| US12384419B2 (en) | 2021-11-12 | 2025-08-12 | Modine LLC | Distributed computing network comprised of autonomous vehicles carrying liquid immersion cooling platforms |
| US12408308B2 (en) | 2018-11-16 | 2025-09-02 | Modine LLC | Hydrofire rods for liquid immersion cooling platform |
-
1992
- 1992-03-16 JP JP9168892A patent/JPH06112381A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022504024A (ja) * | 2018-11-16 | 2022-01-13 | ティーエムジーコア，エルエルシー | 液浸冷却プラットフォーム |
| US12408308B2 (en) | 2018-11-16 | 2025-09-02 | Modine LLC | Hydrofire rods for liquid immersion cooling platform |
| US12384419B2 (en) | 2021-11-12 | 2025-08-12 | Modine LLC | Distributed computing network comprised of autonomous vehicles carrying liquid immersion cooling platforms |
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