JPH0611408A - 洩れ検査装置 - Google Patents
洩れ検査装置Info
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- JPH0611408A JPH0611408A JP32626791A JP32626791A JPH0611408A JP H0611408 A JPH0611408 A JP H0611408A JP 32626791 A JP32626791 A JP 32626791A JP 32626791 A JP32626791 A JP 32626791A JP H0611408 A JPH0611408 A JP H0611408A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 内容積が微小な容器の洩れの有無を検査する
ことができる洩れ検査装置を提供する。 【構成】 洩れの有無を検査すべきワークを収納したワ
ークカプセルと、洩れの無いマスタ容器を収納したマス
タカプセルとに空気圧源からそれぞれ一定の空気圧を与
えると共に、その空気圧供給路をそれぞれ別々に遮断す
る電磁弁を設け、この電磁弁で空気圧供給路を遮断した
状態で容積可変手段によってワークカプセル側とマスタ
カプセル側のそれぞれの内容積を一定量ずつ変化させ、
この容積変化によりワークカプセル側とマスタカプセル
側との間の容積差によって発生する圧力差を拡大して発
生させるように構成する。
ことができる洩れ検査装置を提供する。 【構成】 洩れの有無を検査すべきワークを収納したワ
ークカプセルと、洩れの無いマスタ容器を収納したマス
タカプセルとに空気圧源からそれぞれ一定の空気圧を与
えると共に、その空気圧供給路をそれぞれ別々に遮断す
る電磁弁を設け、この電磁弁で空気圧供給路を遮断した
状態で容積可変手段によってワークカプセル側とマスタ
カプセル側のそれぞれの内容積を一定量ずつ変化させ、
この容積変化によりワークカプセル側とマスタカプセル
側との間の容積差によって発生する圧力差を拡大して発
生させるように構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は微小容積の密封容器の
洩れの有無を検査することに用いられる洩れ検査装置に
関する。
洩れの有無を検査することに用いられる洩れ検査装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来は、例えば水晶発振子、リードリレ
ーあるいは容器に納められたリレー等の電子部品、腕時
計等の密封容器に洩れが有るか否かを検査する装置の一
例として図２に示す容積差検出型の洩れ検査装置が用い
られている。図２に示した洩れ検査装置は一定の空気圧
を発生する空気圧源１と、この空気圧源１が発生する空
気圧を遮断操作する３方電磁弁２と、この３方電磁弁２
の出力側Ｂに接続されて空気圧源１の空気圧を２本の通
路３Ａ，３Ｂに分岐する分岐管３Ｃと、この分岐管３Ｃ
で分岐された２本の通路３Ａ，３Ｂに挿入され、この通
路３Ａ，３Ｂに分岐された空気圧を断続操作する２方電
磁弁４Ａ，４Ｂと、この２方電磁弁４Ａ，４Ｂの出力側
に設けられ、互いに等しい内容積を持つタンクＴＮ１，
ＴＮ２と、このタンクＴＮ１およびＴＮ２の出力側に設
けられた２方電磁弁と、この２方電磁弁５Ａ，５Ｂの各
出力側に接続されたワークカプセル６Ａ，マスタカプセ
ル６Ｂと、これらワークカプセル６Ａとマスタカプセル
６Ｂとの間の圧力差を測定する差圧検出器７とによって
構成される。
ーあるいは容器に納められたリレー等の電子部品、腕時
計等の密封容器に洩れが有るか否かを検査する装置の一
例として図２に示す容積差検出型の洩れ検査装置が用い
られている。図２に示した洩れ検査装置は一定の空気圧
を発生する空気圧源１と、この空気圧源１が発生する空
気圧を遮断操作する３方電磁弁２と、この３方電磁弁２
の出力側Ｂに接続されて空気圧源１の空気圧を２本の通
路３Ａ，３Ｂに分岐する分岐管３Ｃと、この分岐管３Ｃ
で分岐された２本の通路３Ａ，３Ｂに挿入され、この通
路３Ａ，３Ｂに分岐された空気圧を断続操作する２方電
磁弁４Ａ，４Ｂと、この２方電磁弁４Ａ，４Ｂの出力側
に設けられ、互いに等しい内容積を持つタンクＴＮ１，
ＴＮ２と、このタンクＴＮ１およびＴＮ２の出力側に設
けられた２方電磁弁と、この２方電磁弁５Ａ，５Ｂの各
出力側に接続されたワークカプセル６Ａ，マスタカプセ
ル６Ｂと、これらワークカプセル６Ａとマスタカプセル
６Ｂとの間の圧力差を測定する差圧検出器７とによって
構成される。
【０００３】この構成において、３方電磁弁２をＡ−Ｂ
間が連通する状態に制御すると共に２方電磁弁４Ａと４
Ｂを開き、空気圧源１の空気圧をタンクＴＮ１とＴＮ２
に与える。この場合、２方電磁弁５Ａと５Ｂは閉じられ
ている。従ってタンクＴＮ１とＴＮ２には空気圧源１か
ら出力される圧力が蓄えられる。タンクＴＮ１とＴＮ２
の空気圧が安定した時点で２方電磁弁４Ａと４Ｂを閉に
制御し、代わって２方電磁弁５Ａと５Ｂを開に制御す
る。２方電磁弁５Ａと５Ｂが開の状態に制御されること
により、タンクＴＮ１とＴＮ２に蓄えられた空気圧はワ
ークカプセル６Ａとマスタカプセル６Ｂに与えられる。
間が連通する状態に制御すると共に２方電磁弁４Ａと４
Ｂを開き、空気圧源１の空気圧をタンクＴＮ１とＴＮ２
に与える。この場合、２方電磁弁５Ａと５Ｂは閉じられ
ている。従ってタンクＴＮ１とＴＮ２には空気圧源１か
ら出力される圧力が蓄えられる。タンクＴＮ１とＴＮ２
の空気圧が安定した時点で２方電磁弁４Ａと４Ｂを閉に
制御し、代わって２方電磁弁５Ａと５Ｂを開に制御す
る。２方電磁弁５Ａと５Ｂが開の状態に制御されること
により、タンクＴＮ１とＴＮ２に蓄えられた空気圧はワ
ークカプセル６Ａとマスタカプセル６Ｂに与えられる。
【０００４】ワークカプセル６Ａおよびマスタカプセル
６Ｂは特に図示していないが、蓋が開閉自在に設けられ
る。マスタカプセル６Ｂには予めワーク８と同一の容積
を持つマスタ容器９が挿入されており、ワークカプセル
６Ａの蓋を開閉してワーク８の入れ替えを行う。ワーク
カプセル６Ａにワーク８を挿入することによりワークカ
プセル６Ａ側とマスタカプセル６Ｂ側の空隙内容積（カ
プセルと配管を含む全内容積）が等しくなる。
６Ｂは特に図示していないが、蓋が開閉自在に設けられ
る。マスタカプセル６Ｂには予めワーク８と同一の容積
を持つマスタ容器９が挿入されており、ワークカプセル
６Ａの蓋を開閉してワーク８の入れ替えを行う。ワーク
カプセル６Ａにワーク８を挿入することによりワークカ
プセル６Ａ側とマスタカプセル６Ｂ側の空隙内容積（カ
プセルと配管を含む全内容積）が等しくなる。
【０００５】ワークカプセル６Ａとマスタカプセル６Ｂ
にタンクＴＮ１とＴＮ２から一定の容量の空気圧を放出
させたとき、ワーク８に大きな洩れが無ければワークカ
プセル６Ａとマスタカプセル６Ｂとの間には差圧が発生
しない。また、その後徐々に差圧が発生しなければ小さ
な洩れもないことが解る。従ってこの場合、判定装置１
０はワーク８を良品と判定する。
にタンクＴＮ１とＴＮ２から一定の容量の空気圧を放出
させたとき、ワーク８に大きな洩れが無ければワークカ
プセル６Ａとマスタカプセル６Ｂとの間には差圧が発生
しない。また、その後徐々に差圧が発生しなければ小さ
な洩れもないことが解る。従ってこの場合、判定装置１
０はワーク８を良品と判定する。
【０００６】一方、タンクＴＮ１およびＴＮ２からワー
クカプセル６Ａとマスタカプセル６Ｂに一定容量の空気
圧を与えたとき、差圧検出器７によって差圧が検出され
た場合には、判定装置１０はワーク８に大きな洩れがあ
ると判定する。つまりワークカプセル６Ａとマスタカプ
セル６Ｂに空気圧を与えた直後に差圧が発生した場合
は、比較的大きい洩れがあることが判る。また空気圧の
供給後、ある時間経過した時点で電磁弁５Ａ，５Ｂを閉
じ、この状態で徐々に差圧値が上昇する場合は、判定装
置１０は小さな洩れがあると判定する。
クカプセル６Ａとマスタカプセル６Ｂに一定容量の空気
圧を与えたとき、差圧検出器７によって差圧が検出され
た場合には、判定装置１０はワーク８に大きな洩れがあ
ると判定する。つまりワークカプセル６Ａとマスタカプ
セル６Ｂに空気圧を与えた直後に差圧が発生した場合
は、比較的大きい洩れがあることが判る。また空気圧の
供給後、ある時間経過した時点で電磁弁５Ａ，５Ｂを閉
じ、この状態で徐々に差圧値が上昇する場合は、判定装
置１０は小さな洩れがあると判定する。
【０００７】検査が終了すると、２方電磁弁４Ａと４Ｂ
を開け、更に３方電磁弁２をＢ−Ｃが連通する状態に切
替え、空気通路３Ａと３Ｂを大気に開放し、ワークカプ
セル６Ａとマスタカプセル６Ｂの差圧を大気圧に戻す。
ワークカプセル６Ａの蓋を開け、ワーク８を交換し、再
び上述と同様の過程を経てワーク８の検査を行う。
を開け、更に３方電磁弁２をＢ−Ｃが連通する状態に切
替え、空気通路３Ａと３Ｂを大気に開放し、ワークカプ
セル６Ａとマスタカプセル６Ｂの差圧を大気圧に戻す。
ワークカプセル６Ａの蓋を開け、ワーク８を交換し、再
び上述と同様の過程を経てワーク８の検査を行う。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従来の装置において、
ワーク８の容積が小さくなると、その洩れの有無を検出
できない欠点がある。つまり、ワークカプセルおよびこ
れに通じる配管、電磁弁等の内容積（空隙内容積）は有
限であり、微小値にすることはできない。このためにワ
ーク８の内容積が小さくなると、空隙内容積とワーク８
の内容積との比が大きくなり、差圧の発生感度が低くな
るからである。従って、従来の技術により差圧発生感度
を高めるためには、空隙内容積を限りなく小さくしなけ
ればならない。このために電磁弁５Ａ，５Ｂを閉じてタ
ンクＴＮ１，ＴＮ２を切り離す等して空隙内容積を小さ
くする工夫を施しているが、それには限度がある。この
結果従来の技術で検査が可能なワーク８の容積は１cc程
度までで、これ以下の容積のワークに対しては洩れ検査
を行うことができない不都合がある。
ワーク８の容積が小さくなると、その洩れの有無を検出
できない欠点がある。つまり、ワークカプセルおよびこ
れに通じる配管、電磁弁等の内容積（空隙内容積）は有
限であり、微小値にすることはできない。このためにワ
ーク８の内容積が小さくなると、空隙内容積とワーク８
の内容積との比が大きくなり、差圧の発生感度が低くな
るからである。従って、従来の技術により差圧発生感度
を高めるためには、空隙内容積を限りなく小さくしなけ
ればならない。このために電磁弁５Ａ，５Ｂを閉じてタ
ンクＴＮ１，ＴＮ２を切り離す等して空隙内容積を小さ
くする工夫を施しているが、それには限度がある。この
結果従来の技術で検査が可能なワーク８の容積は１cc程
度までで、これ以下の容積のワークに対しては洩れ検査
を行うことができない不都合がある。
【０００９】最近の傾向としてどの分野でも小型化が盛
んである。特に電子部品の分野では各種の部品、例えば
リードリレー、水晶発振子等は小型化されており、微小
容積の部品の洩れの有無を検査できる技術が要求されて
いる。
んである。特に電子部品の分野では各種の部品、例えば
リードリレー、水晶発振子等は小型化されており、微小
容積の部品の洩れの有無を検査できる技術が要求されて
いる。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明では、ワークカ
プセルおよびマスタカプセルに空気圧源から直接空気圧
を与えると共に、ワークカプセルおよびマスタカプセル
に通じる空気圧供給路に２方空気圧制御式の制御弁と容
積可変手段とを設ける。ワークカプセルおよびマスタカ
プセルに所定圧力の空気圧を与えた後に２方制御弁を閉
じ、空圧源とワークカプセルおよびマスタカプセルを切
り離す。この状態で差圧が徐々に発生するか否かを見て
ワーク８の微小な洩れの有無を判定する。微小な洩れが
なければ可変容積手段を可変制御し、ワークカプセル側
およびマスタカプセル側の空隙内容積を等量ずつ変化さ
せるように構成する。
プセルおよびマスタカプセルに空気圧源から直接空気圧
を与えると共に、ワークカプセルおよびマスタカプセル
に通じる空気圧供給路に２方空気圧制御式の制御弁と容
積可変手段とを設ける。ワークカプセルおよびマスタカ
プセルに所定圧力の空気圧を与えた後に２方制御弁を閉
じ、空圧源とワークカプセルおよびマスタカプセルを切
り離す。この状態で差圧が徐々に発生するか否かを見て
ワーク８の微小な洩れの有無を判定する。微小な洩れが
なければ可変容積手段を可変制御し、ワークカプセル側
およびマスタカプセル側の空隙内容積を等量ずつ変化さ
せるように構成する。
【００１１】この内容積の変化により、仮に大きな洩れ
がある場合は、空気圧を与えた時点で瞬時にワークの内
容積がワークカプセルの内容積に加えられる。このため
ワークカプセル側とマスタカプセル側との間に内容積に
差が発生し、この容積差によって差圧が発生する。ワー
クに洩れが無ければ可変容積手段を可変制御しても差圧
は発生しない。
がある場合は、空気圧を与えた時点で瞬時にワークの内
容積がワークカプセルの内容積に加えられる。このため
ワークカプセル側とマスタカプセル側との間に内容積に
差が発生し、この容積差によって差圧が発生する。ワー
クに洩れが無ければ可変容積手段を可変制御しても差圧
は発生しない。
【００１２】よって、この発明によれば容積が微小な部
品でも、洩れの有無を検査することができる。
品でも、洩れの有無を検査することができる。
【００１３】
【実施例】図１にこの発明の一実施例を示す。図中１は
空気圧源、２は３方電磁弁、４Ａ，４Ｂは２方制御弁、
６Ａはワークカプセル、６Ｂはマスタカプセル、７は差
圧検出器を示す点は従来の技術の説明と同じである。こ
の発明では、ワークカプセル６Ａおよびマスタカプセル
６Ｂに連通させて可変容積手段１２Ａ，１２Ｂを設け
る。この例では、この可変容積手段１２Ａ，１２Ｂをダ
イヤフラムＤＦによって構成した場合を示す。ダイヤフ
ラムＤＦによって仕切られた一方の室Ｃ2 をワークカプ
セル６Ａおよびマスタカプセル６Ｂに連通させ、他方の
室Ｃ1 を３方電磁弁１３を通じて空気圧源１４に接続す
る。
空気圧源、２は３方電磁弁、４Ａ，４Ｂは２方制御弁、
６Ａはワークカプセル、６Ｂはマスタカプセル、７は差
圧検出器を示す点は従来の技術の説明と同じである。こ
の発明では、ワークカプセル６Ａおよびマスタカプセル
６Ｂに連通させて可変容積手段１２Ａ，１２Ｂを設け
る。この例では、この可変容積手段１２Ａ，１２Ｂをダ
イヤフラムＤＦによって構成した場合を示す。ダイヤフ
ラムＤＦによって仕切られた一方の室Ｃ2 をワークカプ
セル６Ａおよびマスタカプセル６Ｂに連通させ、他方の
室Ｃ1 を３方電磁弁１３を通じて空気圧源１４に接続す
る。
【００１４】空気圧源１４は空気圧源１の圧力より高い
正圧を発生するが、検査開始時は３方電磁弁１３はＢ−
Ｃ間を連通させる。従って検査開始時点では、空気圧源
１４の圧力はダイヤフラムＤＦに与えられず、ダイヤフ
ラムＤＦで仕切られた一方の室Ｃ1 は大気に開放されて
いる。この状態で、ワークカプセル６Ａおよびマスタカ
プセル６Ｂに空気圧源１から空気圧Ｐを与える。よっ
て、このとき空気圧ＰによってダイヤフラムＤＦは、室
Ｃ1 の壁に圧接される。空気圧Ｐが安定するに必要な時
間を経て、２方制御弁４Ａ，４Ｂを閉じる。この状態で
差圧検出器７の検出感度を電気的に高め差圧の発生の有
無を見る。差圧が発生した場合は、微小な洩れがあるこ
とが解る。ワーク８に瞬時に空気が侵入するような大き
な洩れが存在する場合は、空気圧源１から与えられた空
気が瞬時にワーク８に侵入してしまうため、差圧の発生
はない。
正圧を発生するが、検査開始時は３方電磁弁１３はＢ−
Ｃ間を連通させる。従って検査開始時点では、空気圧源
１４の圧力はダイヤフラムＤＦに与えられず、ダイヤフ
ラムＤＦで仕切られた一方の室Ｃ1 は大気に開放されて
いる。この状態で、ワークカプセル６Ａおよびマスタカ
プセル６Ｂに空気圧源１から空気圧Ｐを与える。よっ
て、このとき空気圧ＰによってダイヤフラムＤＦは、室
Ｃ1 の壁に圧接される。空気圧Ｐが安定するに必要な時
間を経て、２方制御弁４Ａ，４Ｂを閉じる。この状態で
差圧検出器７の検出感度を電気的に高め差圧の発生の有
無を見る。差圧が発生した場合は、微小な洩れがあるこ
とが解る。ワーク８に瞬時に空気が侵入するような大き
な洩れが存在する場合は、空気圧源１から与えられた空
気が瞬時にワーク８に侵入してしまうため、差圧の発生
はない。
【００１５】差圧の発生が無であれば、大きい洩れがあ
るか否かを検査する。このため、この発明では空気圧源
１４側に挿入した３方電磁弁１３のＡ−Ｂ間を連通させ
る状態に切替え、ダイヤフラムＤＦで仕切られた室Ｃ1
に空気圧源１４の圧力を与える。空気圧源１４の圧力は
テスト圧Ｐより大きく採っているから、ダイヤフラムＤ
Ｆは室Ｃ2 の壁に圧接される。このダイヤフラムＤＦの
移動により、ワークカプセル６Ａおよびマスタカプセル
６Ｂの見かけの内容積は、室Ｃ1 とＣ2 の内容積を加え
た量だけ小さくなる。この容積変化により、仮にワーク
カプセル６Ａ側とマスタカプセル６Ｂ側とで容積に差が
ある場合は差圧が発生し、その差圧は差圧検出器７で検
出され、判定装置１０で大きい洩れがあると判定され
る。
るか否かを検査する。このため、この発明では空気圧源
１４側に挿入した３方電磁弁１３のＡ−Ｂ間を連通させ
る状態に切替え、ダイヤフラムＤＦで仕切られた室Ｃ1
に空気圧源１４の圧力を与える。空気圧源１４の圧力は
テスト圧Ｐより大きく採っているから、ダイヤフラムＤ
Ｆは室Ｃ2 の壁に圧接される。このダイヤフラムＤＦの
移動により、ワークカプセル６Ａおよびマスタカプセル
６Ｂの見かけの内容積は、室Ｃ1 とＣ2 の内容積を加え
た量だけ小さくなる。この容積変化により、仮にワーク
カプセル６Ａ側とマスタカプセル６Ｂ側とで容積に差が
ある場合は差圧が発生し、その差圧は差圧検出器７で検
出され、判定装置１０で大きい洩れがあると判定され
る。
【００１６】ワークカプセル６Ａ側とマスタカプセル６
Ｂ側との間で配管を含めて容積を合致させておき、マス
タカプセル６Ｂにワーク８と同容量の洩れのないマスタ
容器９を挿入しておくことにより、ワーク８に洩れがな
ければワークカプセル６Ａ側とマスタカプセル６Ｂ側と
で容積は等しい。従ってこの場合には、容積可変手段１
２Ａと１２Ｂとで容積を変化させても両者間に差圧は発
生しない。
Ｂ側との間で配管を含めて容積を合致させておき、マス
タカプセル６Ｂにワーク８と同容量の洩れのないマスタ
容器９を挿入しておくことにより、ワーク８に洩れがな
ければワークカプセル６Ａ側とマスタカプセル６Ｂ側と
で容積は等しい。従ってこの場合には、容積可変手段１
２Ａと１２Ｂとで容積を変化させても両者間に差圧は発
生しない。
【００１７】しかしながら、ワーク８に洩れがある場合
には、ワーク８の内容積がワークカプセル６Ａの内容積
に加わるため、ワークカプセル６Ａ側とマスタカプセル
６Ｂ側との間に内容積の差が発生する。この結果、容積
可変手段１２Ａと１２Ｂで容積変化を与えると容積差に
比例した差圧が発生する。これを数式を用いて説明す
る。ここで使うワーク８の条件として比較的大きい洩れ
があり、短時間にワーク８内に空気が侵入する。ワーク
８の内容積はΔＶ，ワークカプセル６Ａおよびマスタカ
プセル６Ｂの内容積（ワーク８およびマスタ容器９の内
容積ΔＶを含まず）はＶ，容積可変手段１２Ａ，１２Ｂ
の容積変化量をΔＶ1 ，空気圧源１から与えられる空気
圧（テスト圧力）をＰ，容積可変手段１２Ａ，１２Ｂの
容積がΔＶ1 変化したときのワークカプセル側の圧力変
化をΔＰ1 ，マスタカプセル側の圧力変化をΔＰ2 とす
ると、 ワーク側 Ｐ（Ｖ＋ΔＶ＋ΔＶ1）＝（Ｐ＋ΔＰ1）（Ｖ＋ΔＶ−ΔＶ1） ……(1) マスタ側 Ｐ（Ｖ＋ΔＶ1）＝（Ｐ＋ΔＰ2）（Ｖ−ΔＶ1 ） ……(2) （１）式から ΔＰ1 ＝２Ｐ×ΔＶ1 ／（Ｖ＋ΔＶ−ΔＶ1 ） ……(3) （２）式から ΔＰ2 ＝２Ｐ×ΔＶ1 ／（Ｖ−ΔＶ1 ） ……(4) ΔＰ2−ΔＰ1＝２Ｐ×ΔＶ1×ΔＶ／（Ｖ−ΔＶ1）（Ｖ＋ΔＶ−ΔＶ1） ……(5) （５）式より、容積差の感度はテスト圧力Ｐと容積変化
ΔＶ1 に比例し、カプセル６Ａ，６Ｂの内容積Ｖの２乗
にほゞ反比例する。
には、ワーク８の内容積がワークカプセル６Ａの内容積
に加わるため、ワークカプセル６Ａ側とマスタカプセル
６Ｂ側との間に内容積の差が発生する。この結果、容積
可変手段１２Ａと１２Ｂで容積変化を与えると容積差に
比例した差圧が発生する。これを数式を用いて説明す
る。ここで使うワーク８の条件として比較的大きい洩れ
があり、短時間にワーク８内に空気が侵入する。ワーク
８の内容積はΔＶ，ワークカプセル６Ａおよびマスタカ
プセル６Ｂの内容積（ワーク８およびマスタ容器９の内
容積ΔＶを含まず）はＶ，容積可変手段１２Ａ，１２Ｂ
の容積変化量をΔＶ1 ，空気圧源１から与えられる空気
圧（テスト圧力）をＰ，容積可変手段１２Ａ，１２Ｂの
容積がΔＶ1 変化したときのワークカプセル側の圧力変
化をΔＰ1 ，マスタカプセル側の圧力変化をΔＰ2 とす
ると、 ワーク側 Ｐ（Ｖ＋ΔＶ＋ΔＶ1）＝（Ｐ＋ΔＰ1）（Ｖ＋ΔＶ−ΔＶ1） ……(1) マスタ側 Ｐ（Ｖ＋ΔＶ1）＝（Ｐ＋ΔＰ2）（Ｖ−ΔＶ1 ） ……(2) （１）式から ΔＰ1 ＝２Ｐ×ΔＶ1 ／（Ｖ＋ΔＶ−ΔＶ1 ） ……(3) （２）式から ΔＰ2 ＝２Ｐ×ΔＶ1 ／（Ｖ−ΔＶ1 ） ……(4) ΔＰ2−ΔＰ1＝２Ｐ×ΔＶ1×ΔＶ／（Ｖ−ΔＶ1）（Ｖ＋ΔＶ−ΔＶ1） ……(5) （５）式より、容積差の感度はテスト圧力Ｐと容積変化
ΔＶ1 に比例し、カプセル６Ａ，６Ｂの内容積Ｖの２乗
にほゞ反比例する。
【００１８】 因みに、カプセル６Ａ，６Ｂの内容積Ｖ：２cc 容積可変手段１２Ａ，１２Ｂの容積変化量ΔＶ1 ：0.３
cc テスト圧力（絶対圧） Ｐ：1.５
kg／cm2 ワーク８の内容積 ΔＶ：0.０
１cc とした場合、ΔＰ2 −ΔＰ1 は（５）式より、 ΔＰ2−ΔＰ1＝２Ｐ×1.5×104×0.3×0.01／(2−0.3）(2＋0.01−0.3) ＝３１（mm H2O） となり、この圧力差は通常の差圧検出器によって充分測
定可能である。
cc テスト圧力（絶対圧） Ｐ：1.５
kg／cm2 ワーク８の内容積 ΔＶ：0.０
１cc とした場合、ΔＰ2 −ΔＰ1 は（５）式より、 ΔＰ2−ΔＰ1＝２Ｐ×1.5×104×0.3×0.01／(2−0.3）(2＋0.01−0.3) ＝３１（mm H2O） となり、この圧力差は通常の差圧検出器によって充分測
定可能である。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
ワーク８として内容積が例えば0.０１cc程度の微小な物
でも、その洩れの有無、特に大きな洩れの有無を検知す
ることができる。よって電子部品あるいは腕時計等の微
小容積の密封容器の洩れを検査することができる大きな
効果が得られる。また、この発明では制御弁４Ａ，４Ｂ
を空気作動型の弁を用いたから、動作時に電磁弁のよう
に発熱を伴わないから、空気回路に温度変化を与えるお
それがない。よって安定して検査を実行することがで
き、信頼性の高い検査を行うことができる。
ワーク８として内容積が例えば0.０１cc程度の微小な物
でも、その洩れの有無、特に大きな洩れの有無を検知す
ることができる。よって電子部品あるいは腕時計等の微
小容積の密封容器の洩れを検査することができる大きな
効果が得られる。また、この発明では制御弁４Ａ，４Ｂ
を空気作動型の弁を用いたから、動作時に電磁弁のよう
に発熱を伴わないから、空気回路に温度変化を与えるお
それがない。よって安定して検査を実行することがで
き、信頼性の高い検査を行うことができる。
【００２０】なお、上述の実施例では容積可変手段１２
Ａ，１２ＢとしてダイヤフラムＤＦを用いた例を説明し
たが、他の要素として、例えばシリンダあるいはペロー
ズ等の要素を用いることもできる。また容積可変手段１
２Ａ，１２Ｂを大きい洩れの有無を検査する際に空隙内
容積を小さくする方向に変化させたが、空隙内容積を大
きくする方向に変化させても、大きい洩れの有無を検査
することができる。
Ａ，１２ＢとしてダイヤフラムＤＦを用いた例を説明し
たが、他の要素として、例えばシリンダあるいはペロー
ズ等の要素を用いることもできる。また容積可変手段１
２Ａ，１２Ｂを大きい洩れの有無を検査する際に空隙内
容積を小さくする方向に変化させたが、空隙内容積を大
きくする方向に変化させても、大きい洩れの有無を検査
することができる。
【図１】この発明の一実施例を説明するためのブロック
図。
図。
【図２】従来の技術を説明するためのブロック図。
１ 空気圧源 ２ ３方電磁弁 ４Ａ，４Ｂ ２方制御弁 ６Ａ ワークカプセル ６Ｂ マスタカプセル ７ 差圧検出器 ８ ワーク ９ マスタ容器 １２Ａ，１２Ｂ 可変容積手段 １３ ３方電磁弁 １４ 空気圧源
Claims (1)
- 【請求項１】 Ａ．一定圧力の空気圧を発生する空圧源
と、 Ｂ．この空圧源が発生する空気圧がそれぞれ与えられる
ワークカプセルおよびマスタカプセルと、 Ｃ．このワークカプセルおよびマスタカプセルに通じる
通路に挿入され、通路を開閉する一対の制御弁と、 Ｄ．上記ワークカプセルとマスタカプセルとの間の圧力
差を測定する差圧検出器と、 Ｅ．上記ワークカプセルとマスタカプセルに与えられた
圧力をそれぞれ一定量ずつ変化させる容積可変手段と、 によって構成した洩れ検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3326267A JPH07104224B2 (ja) | 1991-12-11 | 1991-12-11 | 洩れ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3326267A JPH07104224B2 (ja) | 1991-12-11 | 1991-12-11 | 洩れ検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0611408A true JPH0611408A (ja) | 1994-01-21 |
| JPH07104224B2 JPH07104224B2 (ja) | 1995-11-13 |
Family
ID=18185864
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3326267A Expired - Fee Related JPH07104224B2 (ja) | 1991-12-11 | 1991-12-11 | 洩れ検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07104224B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5792940A (en) * | 1996-09-30 | 1998-08-11 | Becton, Dickinson And Company | Rapid evaluation of thin-film barrier coatings on thick substrates via transient response measurements |
| JPH10232179A (ja) * | 1996-12-20 | 1998-09-02 | Cosmo Keiki:Kk | 微小部品の洩れ検査方法及びこの検査方法を用いた洩れ検査装置 |
| US8910509B2 (en) | 2008-03-31 | 2014-12-16 | Pall Technology Uk Limited | Apparatus and method for the integrity testing of flexible containers |
| US9279737B2 (en) | 2012-09-14 | 2016-03-08 | Advanced Scientifics, Inc. | Test system and method for flexible containers |
| US11623200B2 (en) | 2017-10-03 | 2023-04-11 | Abec, Inc. | Reactor systems |
| US11649426B2 (en) | 2013-12-10 | 2023-05-16 | Abec, Inc. | Attachment device for single use containers |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02306133A (ja) * | 1989-05-19 | 1990-12-19 | Kanebo Ltd | 漏れ検査装置 |
-
1991
- 1991-12-11 JP JP3326267A patent/JPH07104224B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPH02306133A (ja) * | 1989-05-19 | 1990-12-19 | Kanebo Ltd | 漏れ検査装置 |
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| US9285291B2 (en) | 2012-09-14 | 2016-03-15 | Advanced Scientific, Inc. | Test system and method for flexible containers |
| US9528905B2 (en) | 2012-09-14 | 2016-12-27 | Advanced Scientifics, Inc. | Test system and method for flexible containers |
| US11649426B2 (en) | 2013-12-10 | 2023-05-16 | Abec, Inc. | Attachment device for single use containers |
| US11976264B2 (en) | 2013-12-10 | 2024-05-07 | Abec, Inc. | Attachment device for single use containers |
| US11623200B2 (en) | 2017-10-03 | 2023-04-11 | Abec, Inc. | Reactor systems |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07104224B2 (ja) | 1995-11-13 |
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