JPH06114309A - 塗布装置 - Google Patents
塗布装置Info
- Publication number
- JPH06114309A JPH06114309A JP4268699A JP26869992A JPH06114309A JP H06114309 A JPH06114309 A JP H06114309A JP 4268699 A JP4268699 A JP 4268699A JP 26869992 A JP26869992 A JP 26869992A JP H06114309 A JPH06114309 A JP H06114309A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bar coater
- coating
- coating liquid
- container
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】液晶表示素子用のカラーフィルター等を大面積
にわたって安定した薄膜形成ができ、色ムラ等を解消し
た高品質且つ高信頼性の各種電子部品を提供する。 【構成】塗布液が入った容器２内に支持台を設置し、支
持台の上に外周に螺旋状の溝が設けられたバーコータ４
を載置し、バーコータ４の上に基板を搬送することによ
ってバーコータ４の回転とともに基板面にバーコータ４
の外周面に付着した塗布液を層状に塗布せしめる塗布装
置１０において、容器内２の塗布液をバーコータ４の長
手方向に沿って一方向に流動せしめる手段を配設した。
にわたって安定した薄膜形成ができ、色ムラ等を解消し
た高品質且つ高信頼性の各種電子部品を提供する。 【構成】塗布液が入った容器２内に支持台を設置し、支
持台の上に外周に螺旋状の溝が設けられたバーコータ４
を載置し、バーコータ４の上に基板を搬送することによ
ってバーコータ４の回転とともに基板面にバーコータ４
の外周面に付着した塗布液を層状に塗布せしめる塗布装
置１０において、容器内２の塗布液をバーコータ４の長
手方向に沿って一方向に流動せしめる手段を配設した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は例えば液晶等に採用され
ているレジストや着色レジスト等を塗布する塗布装置に
関し、特に塗布液が入った容器の内部にバーコータを設
置して成る塗布装置に関するものである。
ているレジストや着色レジスト等を塗布する塗布装置に
関し、特に塗布液が入った容器の内部にバーコータを設
置して成る塗布装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶セル用のカラーフィルター等の微細
なパターンを着色レジストを用いた薄膜技術により形成
する場合、その着色レジストはスピンコート法により塗
布することが行われていたが、この方法は層厚を所要通
りに制御できるのであるが、その反面、レジスト液が飛
散し、また、基板の塗布面積が大きくなると適用できな
くなるという難点があった。そこで、この飛散という点
を解決し、更にこの大面積基板に適した塗布法として塗
布液が入った容器の内部にバーコータを設置して成る塗
布装置を用いる方法、所謂バーコータを用いた塗布方法
が提案されている。
なパターンを着色レジストを用いた薄膜技術により形成
する場合、その着色レジストはスピンコート法により塗
布することが行われていたが、この方法は層厚を所要通
りに制御できるのであるが、その反面、レジスト液が飛
散し、また、基板の塗布面積が大きくなると適用できな
くなるという難点があった。そこで、この飛散という点
を解決し、更にこの大面積基板に適した塗布法として塗
布液が入った容器の内部にバーコータを設置して成る塗
布装置を用いる方法、所謂バーコータを用いた塗布方法
が提案されている。
【０００３】図４は従来のバーコータを用いた塗布方法
において、塗布装置１の概略図であり、２はある一定の
粘性を有する塗布液３が入った容器であり、この塗布液
３の界面に５分の４程度が浸漬するようにバーコータ４
が設置されている。この容器２の上にはバーコータ４に
沿って回転ローラ（図示せず）が配置され、この回転ロ
ーラとバーコータ４との間に基板５が挿入される。そし
て、この回転ローラはバーコータ４に対して押圧しなが
ら基板５を搬送する。これにより、バーコータ４が回転
しながらバーコータ４の外周面に塗布液３を付着させ、
その付着した液３が基板５の面に塗布される。また、バ
ーコータ４の下側には、それを支持してブレを防止する
ために樹脂製の支持台が配置されており、この支持台６
は図６に示すような形状である。即ち、この支持台６の
上面側にはバーコータ４の長手方向に沿って曲面状の凹
部６ａが形成され、そして、この凹部６ａの上にバーコ
ータ４が載置されるとともに、この載置状態においてバ
ーコータ４が回転するようになっている。更にバーコー
タ４の両端には、その回転を支えるために軸台７が設け
られている。尚、同図中のＡとＢはそれぞれ基板５の搬
送方向とバーコータ４の回転方向である。
において、塗布装置１の概略図であり、２はある一定の
粘性を有する塗布液３が入った容器であり、この塗布液
３の界面に５分の４程度が浸漬するようにバーコータ４
が設置されている。この容器２の上にはバーコータ４に
沿って回転ローラ（図示せず）が配置され、この回転ロ
ーラとバーコータ４との間に基板５が挿入される。そし
て、この回転ローラはバーコータ４に対して押圧しなが
ら基板５を搬送する。これにより、バーコータ４が回転
しながらバーコータ４の外周面に塗布液３を付着させ、
その付着した液３が基板５の面に塗布される。また、バ
ーコータ４の下側には、それを支持してブレを防止する
ために樹脂製の支持台が配置されており、この支持台６
は図６に示すような形状である。即ち、この支持台６の
上面側にはバーコータ４の長手方向に沿って曲面状の凹
部６ａが形成され、そして、この凹部６ａの上にバーコ
ータ４が載置されるとともに、この載置状態においてバ
ーコータ４が回転するようになっている。更にバーコー
タ４の両端には、その回転を支えるために軸台７が設け
られている。尚、同図中のＡとＢはそれぞれ基板５の搬
送方向とバーコータ４の回転方向である。
【０００４】図７は上記バーコータ４であり、ステンレ
ス製ロッド８の周面にステンレス製のワイヤ９を巻き付
け、これにより、螺旋状の溝を形成し、塗布液３の付着
性を高めている。
ス製ロッド８の周面にステンレス製のワイヤ９を巻き付
け、これにより、螺旋状の溝を形成し、塗布液３の付着
性を高めている。
【０００５】
【発明が解決しようとする問題点】図４の塗布装置１に
よれば、バーコータ４は、その表面の塗布液が乾燥しな
いようにするために基板５を挿入しない時でも回転させ
ており、これにより、図５に示すように容器２内の塗布
液３には対流が発生する。
よれば、バーコータ４は、その表面の塗布液が乾燥しな
いようにするために基板５を挿入しない時でも回転させ
ており、これにより、図５に示すように容器２内の塗布
液３には対流が発生する。
【０００６】図５は図４の平面図であり、矢印はその対
流の方向である。図５によれば、バーコータ４はワイヤ
８に塗布液を保持しながら回転するので、基板搬送方向
の起点側の容器内領域３ａの塗布液は、バーコータ４を
介してその反対側の容器内の領域３ｂへ送られようとす
る。これにより、この領域３ａの塗布液は減少する傾向
にあり、また、領域３ｂの塗布液は領域３ａへ巡回しよ
うとするのであるが、支持台６により直接戻らずにバー
コータ４の両端付近を回って戻ろうとし、領域３ａのほ
ぼ中央部では、その戻ってくる液の合流箇所Ｃになり、
その箇所Ｃでは増大した液量となり、その結果、基板５
に塗布した層にはスジ状の塗布ムラが発生するという問
題点があった。
流の方向である。図５によれば、バーコータ４はワイヤ
８に塗布液を保持しながら回転するので、基板搬送方向
の起点側の容器内領域３ａの塗布液は、バーコータ４を
介してその反対側の容器内の領域３ｂへ送られようとす
る。これにより、この領域３ａの塗布液は減少する傾向
にあり、また、領域３ｂの塗布液は領域３ａへ巡回しよ
うとするのであるが、支持台６により直接戻らずにバー
コータ４の両端付近を回って戻ろうとし、領域３ａのほ
ぼ中央部では、その戻ってくる液の合流箇所Ｃになり、
その箇所Ｃでは増大した液量となり、その結果、基板５
に塗布した層にはスジ状の塗布ムラが発生するという問
題点があった。
【０００７】上記の場合以外にも、基板の塗布過程で、
合流箇所Ｃと同様な合流が発生し、これによっても基板
５に塗布した層にはスジ状の塗布ムラが発生することが
判明した。
合流箇所Ｃと同様な合流が発生し、これによっても基板
５に塗布した層にはスジ状の塗布ムラが発生することが
判明した。
【０００８】
【問題点を解決するための手段】本発明の塗布装置は、
塗布液が入った容器内に支持台を設置し、支持台の上に
外周に螺旋状の溝が設けられたバーコータを載置し、バ
ーコータの上に基板を搬送することによって上記バーコ
ータの回転とともに基板面にバーコータの外周面に付着
した塗布液を層状に塗布せしめる装置であって、容器内
の塗布液をバーコータの長手方向に沿って一方向に流動
せしめる手段を配設したことを特徴する。
塗布液が入った容器内に支持台を設置し、支持台の上に
外周に螺旋状の溝が設けられたバーコータを載置し、バ
ーコータの上に基板を搬送することによって上記バーコ
ータの回転とともに基板面にバーコータの外周面に付着
した塗布液を層状に塗布せしめる装置であって、容器内
の塗布液をバーコータの長手方向に沿って一方向に流動
せしめる手段を配設したことを特徴する。
【０００９】
【作用】上記構成の塗布装置においては、容器内の塗布
液をバーコータの長手方向に沿って一方向に流動せしめ
る手段を配設したことにより、基板搬送方向の起点側の
容器内の領域で、そこに戻ってくる液の合流箇所が発生
しなくなり、その結果、塗布した層にはスジ状の塗布ム
ラが発生しなくなる。
液をバーコータの長手方向に沿って一方向に流動せしめ
る手段を配設したことにより、基板搬送方向の起点側の
容器内の領域で、そこに戻ってくる液の合流箇所が発生
しなくなり、その結果、塗布した層にはスジ状の塗布ム
ラが発生しなくなる。
【００１０】
【実施例】図１〜図３に示す各塗布装置１０、１６、１
７により本発明を詳細に説明する。これらの図におい
て、図４と図５の塗布装置１と同一箇所には同一符号を
付す。また、塗布液３には粘度１３ｃｐｓ、固形分濃度
２４重量％の感光性樹脂を、基板５には厚み１．１ｍｍ
のガラス基板を用いて、その基板５の搬送速度を２ｍ／
分、回転ローラとバーコータ４との間のギャップを０．
９０ｍｍに設定した。先ず図１に示す塗布装置１０の縦
断面図においては、容器２の下部両端付近に配管接続用
の穴１１、１２を設け、これらの穴１１、１２には配管
１３、１４を介してポンプ１５を接続する。このポンプ
１５により容器２の塗布液３を、バーコータ４の回転時
に矢印の方向に常時流動させ、これにより、前述したよ
うに基板搬送方向の起点側の容器内領域３ａの塗布液
は、バーコータ４を介してその反対側の容器内の領域３
ｂへ送られ、これにより、この領域３ａの塗布液は減少
する傾向にあり、また、領域３ｂの塗布液は領域３ａへ
巡回しようとするのであるが、強制的に容器内の塗布液
３をバーコータ４の長手方向に沿って一方向に流動させ
ているので、前述の液の合流箇所Ｃに発生しなくなり、
その結果、基板５に塗布した層にはスジ状の塗布ムラが
発生せず、均一な膜厚で塗布できた。
７により本発明を詳細に説明する。これらの図におい
て、図４と図５の塗布装置１と同一箇所には同一符号を
付す。また、塗布液３には粘度１３ｃｐｓ、固形分濃度
２４重量％の感光性樹脂を、基板５には厚み１．１ｍｍ
のガラス基板を用いて、その基板５の搬送速度を２ｍ／
分、回転ローラとバーコータ４との間のギャップを０．
９０ｍｍに設定した。先ず図１に示す塗布装置１０の縦
断面図においては、容器２の下部両端付近に配管接続用
の穴１１、１２を設け、これらの穴１１、１２には配管
１３、１４を介してポンプ１５を接続する。このポンプ
１５により容器２の塗布液３を、バーコータ４の回転時
に矢印の方向に常時流動させ、これにより、前述したよ
うに基板搬送方向の起点側の容器内領域３ａの塗布液
は、バーコータ４を介してその反対側の容器内の領域３
ｂへ送られ、これにより、この領域３ａの塗布液は減少
する傾向にあり、また、領域３ｂの塗布液は領域３ａへ
巡回しようとするのであるが、強制的に容器内の塗布液
３をバーコータ４の長手方向に沿って一方向に流動させ
ているので、前述の液の合流箇所Ｃに発生しなくなり、
その結果、基板５に塗布した層にはスジ状の塗布ムラが
発生せず、均一な膜厚で塗布できた。
【００１１】また図２に示す塗布装置１６の縦断面図に
おいては、上記塗布装置１０と比べて、その容器２の形
状や塗布液３の性状が変わって理想通りに強制的に容器
内の塗布液３をバーコータ４の長手方向に沿って一方向
に流動させることができない場合であって、同図によれ
ば、Ｄに示すようにバーコータ４の端部付近の箇所で合
流しても、バーコータ４の長手寸法のうち領域Ｅが実質
上の有効な膜域になるように設定することにより、本発
明の目的が達成できる。
おいては、上記塗布装置１０と比べて、その容器２の形
状や塗布液３の性状が変わって理想通りに強制的に容器
内の塗布液３をバーコータ４の長手方向に沿って一方向
に流動させることができない場合であって、同図によれ
ば、Ｄに示すようにバーコータ４の端部付近の箇所で合
流しても、バーコータ４の長手寸法のうち領域Ｅが実質
上の有効な膜域になるように設定することにより、本発
明の目的が達成できる。
【００１２】更に他の実施例を図３に示す。同図に示す
塗布装置１７の縦断面図においては、上記のポンプ１５
を用いないで、これに代わってバーコータ４の一方の端
部の寸法を大きくして、例えば円柱状もしくは楕円状で
あれば、その径を大きくした拡大端部１８を設ける。こ
の場合には、基板搬送方向の起点側の容器内領域３ａの
塗布液は、バーコータ４を介してその反対側の容器内の
領域３ｂへ送られようとし、これにより、この領域３ａ
の塗布液は減少する傾向にあり、また、領域３ｂの塗布
液は領域３ａへ巡回しようとするが、支持台６により直
接戻らずにバーコータ４の両端付近を回って戻ろうとす
る流動力が働く。しかしながら、拡大端部１８を設けた
ことにより、その付近での塗布液はその拡大端部１８に
回転力により送り出され、これにより、強制的に容器内
の塗布液３をバーコータ４の長手方向に沿って一方向に
流動させているので、前述の液の合流箇所Ｃに発生しな
くなり、その結果、基板５に塗布した層にはスジ状の塗
布ムラが発生せず、均一な膜厚で塗布できた。
塗布装置１７の縦断面図においては、上記のポンプ１５
を用いないで、これに代わってバーコータ４の一方の端
部の寸法を大きくして、例えば円柱状もしくは楕円状で
あれば、その径を大きくした拡大端部１８を設ける。こ
の場合には、基板搬送方向の起点側の容器内領域３ａの
塗布液は、バーコータ４を介してその反対側の容器内の
領域３ｂへ送られようとし、これにより、この領域３ａ
の塗布液は減少する傾向にあり、また、領域３ｂの塗布
液は領域３ａへ巡回しようとするが、支持台６により直
接戻らずにバーコータ４の両端付近を回って戻ろうとす
る流動力が働く。しかしながら、拡大端部１８を設けた
ことにより、その付近での塗布液はその拡大端部１８に
回転力により送り出され、これにより、強制的に容器内
の塗布液３をバーコータ４の長手方向に沿って一方向に
流動させているので、前述の液の合流箇所Ｃに発生しな
くなり、その結果、基板５に塗布した層にはスジ状の塗
布ムラが発生せず、均一な膜厚で塗布できた。
【００１３】尚、本発明は上記実施例に限定されるもの
ではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変
更、改良等は何ら差し支えない。例えば、図３の塗布装
置１７において、拡大端部１８に代えて塗布液の流動を
強制するもの、例えば羽状の治具を設けてもよい。
ではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変
更、改良等は何ら差し支えない。例えば、図３の塗布装
置１７において、拡大端部１８に代えて塗布液の流動を
強制するもの、例えば羽状の治具を設けてもよい。
【００１４】
【発明の効果】以上のように、本発明の塗布装置におい
ては、容器内の塗布液をバーコータの長手方向に沿って
一方向に流動せしめる手段を配設したことにより、基板
搬送方向の起点側の容器内の領域で、そこに戻ってくる
液の合流箇所が発生しなくなり、これにより、塗布した
層にはスジ状の塗布ムラが発生しなくなり、その結果、
液晶表示素子用のカラーフィルター等を大面積にわたっ
て安定した薄膜形成ができ、色ムラ等を解消した高品質
且つ高信頼性の各種電子部品を提供することができた。
ては、容器内の塗布液をバーコータの長手方向に沿って
一方向に流動せしめる手段を配設したことにより、基板
搬送方向の起点側の容器内の領域で、そこに戻ってくる
液の合流箇所が発生しなくなり、これにより、塗布した
層にはスジ状の塗布ムラが発生しなくなり、その結果、
液晶表示素子用のカラーフィルター等を大面積にわたっ
て安定した薄膜形成ができ、色ムラ等を解消した高品質
且つ高信頼性の各種電子部品を提供することができた。
【図１】実施例の塗布装置の縦断面図である。
【図２】実施例の塗布装置の縦断面図である。
【図３】実施例の塗布装置の縦断面図である。
【図４】従来の塗布装置の斜視図である。
【図５】従来の塗布装置の横断面図である。
【図６】支持台の斜視図である。
【図７】バーコータの概略図である。
３・・・・塗布液 ４・・・・バーコータ １５・・・ポンプ １８・・・拡大端部
Claims (1)
- 【請求項１】 塗布液が入った容器内に支持台を設置
し、該支持台の上に外周に螺旋状の溝が設けられたバー
コータを載置し、バーコータの上に基板を搬送すること
によってバーコータの回転とともに基板面にバーコータ
の外周面に付着した塗布液を層状に塗布せしめる塗布装
置において、前記容器内の塗布液をバーコータの長手方
向に沿って一方向に流動せしめる手段を配設したことを
特徴する塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4268699A JPH06114309A (ja) | 1992-10-07 | 1992-10-07 | 塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4268699A JPH06114309A (ja) | 1992-10-07 | 1992-10-07 | 塗布装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06114309A true JPH06114309A (ja) | 1994-04-26 |
Family
ID=17462151
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4268699A Pending JPH06114309A (ja) | 1992-10-07 | 1992-10-07 | 塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06114309A (ja) |
-
1992
- 1992-10-07 JP JP4268699A patent/JPH06114309A/ja active Pending
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