JPH061168B2 - 形状不良検出装置 - Google Patents
形状不良検出装置Info
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- JPH061168B2 JPH061168B2 JP60097602A JP9760285A JPH061168B2 JP H061168 B2 JPH061168 B2 JP H061168B2 JP 60097602 A JP60097602 A JP 60097602A JP 9760285 A JP9760285 A JP 9760285A JP H061168 B2 JPH061168 B2 JP H061168B2
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B11/306—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces for measuring evenness
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Control Of Metal Rolling (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、鋼板等の帯状体に発生する形状不良部を、
帯状体の走行中に高精度に検出する装置に関するもので
ある。
帯状体の走行中に高精度に検出する装置に関するもので
ある。
鋼板等の帯状体に発生する形状不良には中のび、側の
び、波のようにある程度の範囲にまたがっているものも
あるが、くぼみ、ふくらみ、折れ等のように局部的なも
のもなる。これらの帯状体の形状不良を走行中に検出す
る場合、従来ある程度の範囲にまたがる形状不良につい
ては形状検出器として各種の方式が提案され、一部は実
用化されている。例えば特開昭５７−１２４２４３のよ
うに帯状体に映った棒状光源の虚像をテレビカメラで撮
影し、形状不良により発生する像のゆがみをビデオ信号
から自動検出する方法や、変位計により帯状体の高さ変
化を検出する方法などは良く知られている。しかしなが
らこれらの方法はそれなりの作用効果があるものの、帯
状体表面を２次元的にくまなく検査することは極めて困
難であり、また微少な形状不良に対する感度も低いこと
から局部的に発生する形状不良に対しては全くといって
良いほど無力である。局部的な形状不良の検出は、従来
いわゆる光学的疵検出器の役割であった。しかしながら
該光学的疵検出器は色、反射率、粗度等表面性状の変化
を伴なう疵に比して、これらの変化を伴なわない形状不
良の検出率は極めて低いのが実態であって、反射光が大
きく乱れるか、反射光の向きが大きく変化するような急
峻な形状不良のみが検出可能である。また、これらの光
学的疵検出器は、のび、波のようにゆるやかに広範囲に
広がるような形状不良の検出に関しては無力である。
び、波のようにある程度の範囲にまたがっているものも
あるが、くぼみ、ふくらみ、折れ等のように局部的なも
のもなる。これらの帯状体の形状不良を走行中に検出す
る場合、従来ある程度の範囲にまたがる形状不良につい
ては形状検出器として各種の方式が提案され、一部は実
用化されている。例えば特開昭５７−１２４２４３のよ
うに帯状体に映った棒状光源の虚像をテレビカメラで撮
影し、形状不良により発生する像のゆがみをビデオ信号
から自動検出する方法や、変位計により帯状体の高さ変
化を検出する方法などは良く知られている。しかしなが
らこれらの方法はそれなりの作用効果があるものの、帯
状体表面を２次元的にくまなく検査することは極めて困
難であり、また微少な形状不良に対する感度も低いこと
から局部的に発生する形状不良に対しては全くといって
良いほど無力である。局部的な形状不良の検出は、従来
いわゆる光学的疵検出器の役割であった。しかしながら
該光学的疵検出器は色、反射率、粗度等表面性状の変化
を伴なう疵に比して、これらの変化を伴なわない形状不
良の検出率は極めて低いのが実態であって、反射光が大
きく乱れるか、反射光の向きが大きく変化するような急
峻な形状不良のみが検出可能である。また、これらの光
学的疵検出器は、のび、波のようにゆるやかに広範囲に
広がるような形状不良の検出に関しては無力である。
帯状体例えば表面処理用鋼板、電磁鋼板等の製造におい
て、十分に管理しているとはいえども、発生する形状不
良の種類や形態は前述のように種々あるが、従来装置で
はこれらの形状不良を現場製造ライン内で十分に満足し
得る精度で検出することは困難であった。
て、十分に管理しているとはいえども、発生する形状不
良の種類や形態は前述のように種々あるが、従来装置で
はこれらの形状不良を現場製造ライン内で十分に満足し
得る精度で検出することは困難であった。
ところで、電磁鋼板は多層に積み重ねて使用されるが、
磁気特性の損失を極力少なくするためには層の密着性が
重要であり、鋼板の形状不良部は確実に取り除く必要が
ある。また表面処理用鋼板においても例えば缶用等に供
されるものは、欠陥部の検出を厳しく行ないそれを除去
する必要がある。これらに対処するため現状では目視監
察が行われているのが実情である。
磁気特性の損失を極力少なくするためには層の密着性が
重要であり、鋼板の形状不良部は確実に取り除く必要が
ある。また表面処理用鋼板においても例えば缶用等に供
されるものは、欠陥部の検出を厳しく行ないそれを除去
する必要がある。これらに対処するため現状では目視監
察が行われているのが実情である。
本発明は、帯状体に発生する種々の形状不良を走行中に
高精度に検出可能な装置を提供するものである。他の目
的として、単に帯状体の長さ方向に関する形状不良の有
無信号だけでなく、形状不良が幅方向のどの位置にどの
幅にわたって存在しているかを知ることも可能にしよう
とするものである。
高精度に検出可能な装置を提供するものである。他の目
的として、単に帯状体の長さ方向に関する形状不良の有
無信号だけでなく、形状不良が幅方向のどの位置にどの
幅にわたって存在しているかを知ることも可能にしよう
とするものである。
本発明は、レーザービームを被検材に照射して形状不良
を検出する装置において、レーザービームを被検材の幅
方向へ走査ビームとして照射する平行走査機構と、被検
材から反射された走査正反射ビームを入射し幅方向のみ
集光する走査方向集光装置と、走査方向集光装置からの
走査正反射ビームを受光する受光素子列と、受光素子列
で受光している受光素子を判定する受光判定回路と、受
光している受光素子の位置を検出する回路と、受光して
いる受光素子の個数を計数する回路とを設けたことを特
徴とするものである。
を検出する装置において、レーザービームを被検材の幅
方向へ走査ビームとして照射する平行走査機構と、被検
材から反射された走査正反射ビームを入射し幅方向のみ
集光する走査方向集光装置と、走査方向集光装置からの
走査正反射ビームを受光する受光素子列と、受光素子列
で受光している受光素子を判定する受光判定回路と、受
光している受光素子の位置を検出する回路と、受光して
いる受光素子の個数を計数する回路とを設けたことを特
徴とするものである。
第１図により本発明の原理を説明する。第１図に於て１
はＸ方向に走行する被検材たる帯状体である。２はレー
ザー装置であり、レーザビーム３を凸レンズ４を通して
回転ミラー５に照射する。回転ミラー５で反射されたレ
ーザービーム３は放物面鏡６で反射され、板幅方向に平
行移動する走査ビーム７となって被検材１に対する角度
θで被検材表面に照射する。被検材１の反射点８で反射
された走査ビーム７は受光装置内に入り、シリンドリカ
ルレンズ９によって幅方向に集光され、上下方向に密に
多数個配置された受光素子列１０に入射する。ここで、
受光素子列１０上での反射スポットは、帯状体１の反射
点８の傾きにより次のように変化する。即ち第２図(a)
に示すように正常部１−１により走査ビーム７が反射さ
れる場合は、走査反射ビーム７−１は受光素子列１０上
のＡ点に入射する。形状不良部１−２で走査ビーム７が
反射される場合は、走査反射ビーム７−１は受光素子列
１０上のＡ点に入射する。形状不良部１−２で走査ビー
ム７が反射される場合は走査反射ビーム７−１が受光素
子列１０上に入射する位置は形状不良部１−２の傾きの
向きにより第２図(b)に示すようにＡ点より高い位置の
Ｂ点になったり、第２図(c)のようにＡ点より低い位置
のＣ点になったりする。レーザビームは有限の太さをも
っており、被検材１の走査箇所で形状不良部１−２の傾
きが一定でない場合は第２図(d)のように走査反射ビー
ム７−１は受光素子列１０上の１点に当らず、Ｂ点から
Ｃ点までの広範囲に当ることもある。
はＸ方向に走行する被検材たる帯状体である。２はレー
ザー装置であり、レーザビーム３を凸レンズ４を通して
回転ミラー５に照射する。回転ミラー５で反射されたレ
ーザービーム３は放物面鏡６で反射され、板幅方向に平
行移動する走査ビーム７となって被検材１に対する角度
θで被検材表面に照射する。被検材１の反射点８で反射
された走査ビーム７は受光装置内に入り、シリンドリカ
ルレンズ９によって幅方向に集光され、上下方向に密に
多数個配置された受光素子列１０に入射する。ここで、
受光素子列１０上での反射スポットは、帯状体１の反射
点８の傾きにより次のように変化する。即ち第２図(a)
に示すように正常部１−１により走査ビーム７が反射さ
れる場合は、走査反射ビーム７−１は受光素子列１０上
のＡ点に入射する。形状不良部１−２で走査ビーム７が
反射される場合は、走査反射ビーム７−１は受光素子列
１０上のＡ点に入射する。形状不良部１−２で走査ビー
ム７が反射される場合は走査反射ビーム７−１が受光素
子列１０上に入射する位置は形状不良部１−２の傾きの
向きにより第２図(b)に示すようにＡ点より高い位置の
Ｂ点になったり、第２図(c)のようにＡ点より低い位置
のＣ点になったりする。レーザビームは有限の太さをも
っており、被検材１の走査箇所で形状不良部１−２の傾
きが一定でない場合は第２図(d)のように走査反射ビー
ム７−１は受光素子列１０上の１点に当らず、Ｂ点から
Ｃ点までの広範囲に当ることもある。
帯状体１の形状が平坦な場合は受光素子列１０から受信
される受光信号はＡ点の近傍にある受光素子だけから発
生される。言いかえれば形状不良部による走査反射ビー
ム７−１は、それを受ける受光素子の数が多くなるか、
ある上限位置より上の受光素子又はある下限位置より下
の受光素子にまで当るか、あるいは極端な場合はどの受
光素子にも当たらないかのいずれかの現象を引きおこす
ので、受光信号を用いてこれらの現象の単独あるいは複
数の現象が有効照射時間内に発生したことを検知すれば
形状不良を検出することができる。このようにして形状
不良を検出するので、本発明では中のび、側のびのよう
に比較的長い範囲にわたって形状不良を呈するものであ
っても、あるいはスポット的に発生する凹み、飛び込み
欠陥等の局部的な形状不良であっても、精度よく検出で
きる。
される受光信号はＡ点の近傍にある受光素子だけから発
生される。言いかえれば形状不良部による走査反射ビー
ム７−１は、それを受ける受光素子の数が多くなるか、
ある上限位置より上の受光素子又はある下限位置より下
の受光素子にまで当るか、あるいは極端な場合はどの受
光素子にも当たらないかのいずれかの現象を引きおこす
ので、受光信号を用いてこれらの現象の単独あるいは複
数の現象が有効照射時間内に発生したことを検知すれば
形状不良を検出することができる。このようにして形状
不良を検出するので、本発明では中のび、側のびのよう
に比較的長い範囲にわたって形状不良を呈するものであ
っても、あるいはスポット的に発生する凹み、飛び込み
欠陥等の局部的な形状不良であっても、精度よく検出で
きる。
この原理は前に述べた説明の如く、反射点８の表面の傾
きを検出するものであるが、反射された走査ビーム７の
向きは反射点８の傾きの２倍変化し、さらに、受光素子
列１０上での上下移動距離は反射点８と受光素子列１０
の距離Ｌに比例するため、該距離Ｌを十分離せば極めて
敏感に傾き変化を促えうるという特徴を有している。
きを検出するものであるが、反射された走査ビーム７の
向きは反射点８の傾きの２倍変化し、さらに、受光素子
列１０上での上下移動距離は反射点８と受光素子列１０
の距離Ｌに比例するため、該距離Ｌを十分離せば極めて
敏感に傾き変化を促えうるという特徴を有している。
従来の光学的疵検出器は反射光の強度変化を検出する方
式であり、本発明のように走査反射ビーム７−１が受光
素子列１０に入射する時の上下位置を検出するというも
のではない。そのため、極端な形状不良部以外は検出で
きなかったことは既の述べた通りである。なお被検材１
により反射された反射光の上下動を検出して物体の表面
の傾きを求めるという考え方を特に新規なわけではな
い。例えば特開昭５２−６９８５３に示されているよう
に、走行する帯状体の１点に平行光線を照射し、その反
射平行光線の上下位置を検出することにより帯状体の反
りを検出する方法が既にある。しかし、この方法は帯状
体の幅方向に関して１点しか検査できないので、反りの
ように部分から全体形状を推定できる場合には有効であ
るが、局部的に発生する形状不良を検出することはでき
ない。
式であり、本発明のように走査反射ビーム７−１が受光
素子列１０に入射する時の上下位置を検出するというも
のではない。そのため、極端な形状不良部以外は検出で
きなかったことは既の述べた通りである。なお被検材１
により反射された反射光の上下動を検出して物体の表面
の傾きを求めるという考え方を特に新規なわけではな
い。例えば特開昭５２−６９８５３に示されているよう
に、走行する帯状体の１点に平行光線を照射し、その反
射平行光線の上下位置を検出することにより帯状体の反
りを検出する方法が既にある。しかし、この方法は帯状
体の幅方向に関して１点しか検査できないので、反りの
ように部分から全体形状を推定できる場合には有効であ
るが、局部的に発生する形状不良を検出することはでき
ない。
要するに本発明の最大の特徴は走査反射ビームの上下変
動を監視することにより被検材表面の傾き変化を求める
という優れた検出原理を、走行する帯状体に対し２次元
的にくまなく適用し、広範囲に広がる形状不良だけでな
く局部的に発生する形状不良も確実に検出できるように
したところにある。
動を監視することにより被検材表面の傾き変化を求める
という優れた検出原理を、走行する帯状体に対し２次元
的にくまなく適用し、広範囲に広がる形状不良だけでな
く局部的に発生する形状不良も確実に検出できるように
したところにある。
次に本発明を一実施例に基づき図面を参照して詳細に説
明する。
明する。
第１図に示したように、そして一部は既に説明したよう
に、１は被検材で例えばストリップである。２はレーザ
ー装置であり、そのレーザービーム３は偏向装置例えば
回転ミラー５に入射する。偏向装置は回転ミラー５に限
ることなく周期的な振動ミラー等、投射されたレーザビ
ーム３を振り分ける機能をもつものであればいずれでも
用いられる。６は平行走査器で例えば放物面積であり、
前記回転ミラー５から入射されたレーザビーム３を反射
して被検材１の幅方向に平行移動する走査ビーム７とし
て被検材１を走査する。４はレーザー装置２と回転ミラ
ー５との間に設けられた集光器で例えば凸レンズであ
り、前記放物面鏡６で反射された走査ビーム７のビーム
径、拡がり角を適当に設定する役割をもっている。走査
ビーム７は被検材１に照射されるが、その照射される箇
所を反射点８と称する。９は走査反射ビーム７−１の走
査方向集光装置で例えばシリンドリカルレンズであり、
被検材１の幅方向に設けられる。
に、１は被検材で例えばストリップである。２はレーザ
ー装置であり、そのレーザービーム３は偏向装置例えば
回転ミラー５に入射する。偏向装置は回転ミラー５に限
ることなく周期的な振動ミラー等、投射されたレーザビ
ーム３を振り分ける機能をもつものであればいずれでも
用いられる。６は平行走査器で例えば放物面積であり、
前記回転ミラー５から入射されたレーザビーム３を反射
して被検材１の幅方向に平行移動する走査ビーム７とし
て被検材１を走査する。４はレーザー装置２と回転ミラ
ー５との間に設けられた集光器で例えば凸レンズであ
り、前記放物面鏡６で反射された走査ビーム７のビーム
径、拡がり角を適当に設定する役割をもっている。走査
ビーム７は被検材１に照射されるが、その照射される箇
所を反射点８と称する。９は走査反射ビーム７−１の走
査方向集光装置で例えばシリンドリカルレンズであり、
被検材１の幅方向に設けられる。
前述の如く回転ミラー５、放物面鏡６による平行走査機
構と、シリンドリカルレンズ９による幅方向のみの集光
機構が取り入れられているので、走査反射ビーム７−１
の上下方向の情報は何ら影響をうけることがなく、形状
不良の情報が失なわれることはない。また、走査周期も
十分短くして、走査ピッチを十分細かくすれば被検材１
の走行に伴なって被検材表面をくまなく検査することが
可能であり、微少な形状不良も確実に検出可能である。
構と、シリンドリカルレンズ９による幅方向のみの集光
機構が取り入れられているので、走査反射ビーム７−１
の上下方向の情報は何ら影響をうけることがなく、形状
不良の情報が失なわれることはない。また、走査周期も
十分短くして、走査ピッチを十分細かくすれば被検材１
の走行に伴なって被検材表面をくまなく検査することが
可能であり、微少な形状不良も確実に検出可能である。
また１０は受光素子列で、受光素子１１が複数個設けら
れたものであり、シリンドリカルレンズ９からの走査反
射ビーム７−１が入射される。受光素子１１の個数は任
意に設定されるが、シリンドリカルレンズ９は幅方向あ
らゆる点での走査反射ビーム７−１を受光素子列１０に
集めるので、受光素子列１０は１列設けるだけでよく、
また信号の処理も容易になる。被検材１の全幅検査には
放物面鏡６及びシリンドリカルレンズ９を該被検材の幅
相当の大きさのものにする必要があるが、被検材の幅が
大である場合は第１図の装置をｎ組設けて各々が該幅の
１／ｎを検査するようにしてもよい。受光素子列１０上
に入射する走査反射ビーム７−１のビームスポットを極
力明瞭なものにするためには走査ビーム７と被検材１と
のなす角θを小さく、例えば１５°以下にすることが好
ましい。
れたものであり、シリンドリカルレンズ９からの走査反
射ビーム７−１が入射される。受光素子１１の個数は任
意に設定されるが、シリンドリカルレンズ９は幅方向あ
らゆる点での走査反射ビーム７−１を受光素子列１０に
集めるので、受光素子列１０は１列設けるだけでよく、
また信号の処理も容易になる。被検材１の全幅検査には
放物面鏡６及びシリンドリカルレンズ９を該被検材の幅
相当の大きさのものにする必要があるが、被検材の幅が
大である場合は第１図の装置をｎ組設けて各々が該幅の
１／ｎを検査するようにしてもよい。受光素子列１０上
に入射する走査反射ビーム７−１のビームスポットを極
力明瞭なものにするためには走査ビーム７と被検材１と
のなす角θを小さく、例えば１５°以下にすることが好
ましい。
次に信号処理について第３図を用いて説明する。１０は
Ｎ個の受光素子列を配した前述の受光素子列である。１
２は受光素子毎に計Ｎ個設けられた受光判定回路であ
り、走査反射ビーム７−１が入射している受光素子に対
応したものだけが出力を出す。１３は走査反射ビーム７
−１が入射している受光素子のうち最大の番号ｈと最小
の番号ｌを求める受光位置検出回路であり、これにより
走査反射ビーム７−１の上端位置及び下端位置が求めら
れる。１４，１５は判定回路で、それぞれ上端位置ｈが
あらかじめ設定された位置ｈ０以上の時、下端位置ｌが
あらかじめ設定された位置ｌ０以上の時、下端位置ｌが
あらかじめ設定された位置ｌ０以下の時に出力し、形状
不良が検出される。１６は計数回路で、受光判定回路１
２の出力個数に対応した出力ｎを出す。１７，１８は判
定回路でそれぞれｎ＝０、ｎ≧ｋ（ｋはあらかじめ設定
された値）の時に出力を出す。これによっても形状不良
が検出される。１９はゲート信号発生回路で、投光ヘッ
ド（図示しない）から別途送られてくる走査同期パルス
と、走査ビーム７が帯状体１のエッジからはみ出す場合
は別途設けられたエッジ検出器（図示しない）から出力
されるエッジ信号をもとにして走査ビーム７が帯状体１
を有効に照射している有効時間に対応するゲート信号を
発生する。
Ｎ個の受光素子列を配した前述の受光素子列である。１
２は受光素子毎に計Ｎ個設けられた受光判定回路であ
り、走査反射ビーム７−１が入射している受光素子に対
応したものだけが出力を出す。１３は走査反射ビーム７
−１が入射している受光素子のうち最大の番号ｈと最小
の番号ｌを求める受光位置検出回路であり、これにより
走査反射ビーム７−１の上端位置及び下端位置が求めら
れる。１４，１５は判定回路で、それぞれ上端位置ｈが
あらかじめ設定された位置ｈ０以上の時、下端位置ｌが
あらかじめ設定された位置ｌ０以上の時、下端位置ｌが
あらかじめ設定された位置ｌ０以下の時に出力し、形状
不良が検出される。１６は計数回路で、受光判定回路１
２の出力個数に対応した出力ｎを出す。１７，１８は判
定回路でそれぞれｎ＝０、ｎ≧ｋ（ｋはあらかじめ設定
された値）の時に出力を出す。これによっても形状不良
が検出される。１９はゲート信号発生回路で、投光ヘッ
ド（図示しない）から別途送られてくる走査同期パルス
と、走査ビーム７が帯状体１のエッジからはみ出す場合
は別途設けられたエッジ検出器（図示しない）から出力
されるエッジ信号をもとにして走査ビーム７が帯状体１
を有効に照射している有効時間に対応するゲート信号を
発生する。
また２０，２１，２２，２３は、前記判定回路１４，１
５，１６，１７，１８の出力のうち有効時間内に発生し
たものだけを通すためのＡＮＤ回路、２４は前記ＡＮＤ
回路２０，２１，２２，２３の出力から単独あるいは複
数のものを必要に応じてえらび出すための選択回路であ
る。選択回路２４からの出力は、１回のレーザ走査の中
で、前に述べたような走査反射ビーム７−１の異常が発
生している間だけ出されている。したがって、この信号
が走査の中でどのタイミングで発生開始し、どのタイミ
ングで発生終了したかを捉えれば、形状不良の幅方向の
位置、幅を知ることができる。
５，１６，１７，１８の出力のうち有効時間内に発生し
たものだけを通すためのＡＮＤ回路、２４は前記ＡＮＤ
回路２０，２１，２２，２３の出力から単独あるいは複
数のものを必要に応じてえらび出すための選択回路であ
る。選択回路２４からの出力は、１回のレーザ走査の中
で、前に述べたような走査反射ビーム７−１の異常が発
生している間だけ出されている。したがって、この信号
が走査の中でどのタイミングで発生開始し、どのタイミ
ングで発生終了したかを捉えれば、形状不良の幅方向の
位置、幅を知ることができる。
本発明は以上のようであるから、帯状体例えば電磁鋼板
や表面処理用鋼板などの鋼板に生じてる比較的広い範囲
にわたる形状不良、あるいは局部的な微細な形状不良と
も精度よく、走行中に検出できる。
や表面処理用鋼板などの鋼板に生じてる比較的広い範囲
にわたる形状不良、あるいは局部的な微細な形状不良と
も精度よく、走行中に検出できる。
鋼板の形状きずは金属光沢を有し光反射に際しては正反
射成分が多い、きずタイプとしては急峻や微小きずや伸
び、波のように緩やかな形状不良が多いという特徴があ
るが、本発明はこのようなきず検出に有効である。即ち
本発明では、その多い正反射成分を利用している。この
正反射成分は反射面のΔθの角度変化に対して反射光の
角度が２Δθ変化し、反射面とセンサとの間の距離を大
きくとることで角度変化Δθに対応したセンサ上の光移
動距離Δｓを充分とることができ、高精度な検出が可能
である。また、急峻な微小きずの反射光は平坦な場合よ
り受光位置がずれたり、広がりが出たりし、緩やかに変
化する形状不良は平坦な場合より受光位置がずれるが、
本発明では受光素子の位置検出と個数計数を行なうの
で、これらでかゝるきずや形状不良の検出、識別が可能
である。
射成分が多い、きずタイプとしては急峻や微小きずや伸
び、波のように緩やかな形状不良が多いという特徴があ
るが、本発明はこのようなきず検出に有効である。即ち
本発明では、その多い正反射成分を利用している。この
正反射成分は反射面のΔθの角度変化に対して反射光の
角度が２Δθ変化し、反射面とセンサとの間の距離を大
きくとることで角度変化Δθに対応したセンサ上の光移
動距離Δｓを充分とることができ、高精度な検出が可能
である。また、急峻な微小きずの反射光は平坦な場合よ
り受光位置がずれたり、広がりが出たりし、緩やかに変
化する形状不良は平坦な場合より受光位置がずれるが、
本発明では受光素子の位置検出と個数計数を行なうの
で、これらでかゝるきずや形状不良の検出、識別が可能
である。
【図面の簡単な説明】 第１図、第２図は本発明の一実施例と原理を説明する
図、第３図は本発明の一実施例においての信号処理ブロ
ックを示す図である。 図面で、３はレーザービーム、１は被検材、５，６は平
行走査機構、７−１は反射ビーム、９は幅方向集光装
置、１０は受光素子列、１２は受光判定回路、１３は受
光位置検出回路、１６は計数回路である。
図、第３図は本発明の一実施例においての信号処理ブロ
ックを示す図である。 図面で、３はレーザービーム、１は被検材、５，６は平
行走査機構、７−１は反射ビーム、９は幅方向集光装
置、１０は受光素子列、１２は受光判定回路、１３は受
光位置検出回路、１６は計数回路である。
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｎ 21/88 8304−2Ｊ
Claims (1)
- 【請求項１】レーザビームを被検材に照射して形状不良
を検出する装置において、レーザビームを被検材の幅方
向へ走査ビームとして照射する平行走査機構と、被検材
から反射された走査正反射ビームを入射し、幅方向のみ
集光する走査方向集光装置と、走査方向集光装置からの
走査正反射ビームを受光する受光素子列と、受光素子列
で受光している受光素子を判定する受光判定回路と、受
光している受光素子の位置を検出する回路と、受光して
いる受光素子の個数を計数する回路とを設けたことを特
徴とする形状不良検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60097602A JPH061168B2 (ja) | 1985-05-08 | 1985-05-08 | 形状不良検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60097602A JPH061168B2 (ja) | 1985-05-08 | 1985-05-08 | 形状不良検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61254809A JPS61254809A (ja) | 1986-11-12 |
| JPH061168B2 true JPH061168B2 (ja) | 1994-01-05 |
Family
ID=14196780
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60097602A Expired - Lifetime JPH061168B2 (ja) | 1985-05-08 | 1985-05-08 | 形状不良検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH061168B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH077653B2 (ja) * | 1987-04-11 | 1995-01-30 | 株式会社日立製作所 | 走査電子顕微鏡による観察装置 |
| JPH082562Y2 (ja) * | 1990-02-26 | 1996-01-29 | 三菱重工業株式会社 | 炉内蛇行検出装置 |
| JPH0778418B2 (ja) * | 1991-12-06 | 1995-08-23 | 住友軽金属工業株式会社 | 板形状計測装置 |
| JPH0778417B2 (ja) * | 1991-12-06 | 1995-08-23 | 住友軽金属工業株式会社 | 板形状計測装置 |
| FR2772122A1 (fr) * | 1997-12-05 | 1999-06-04 | Premium Instr Sa | Procede et dispositif de mesure de la forme et/ou de la position d'un profil d'une surface laterale d'un produit allonge |
| JP5347661B2 (ja) * | 2009-04-02 | 2013-11-20 | 新日鐵住金株式会社 | 帯状体の表面検査装置、表面検査方法及びプログラム |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59148806A (ja) * | 1983-02-14 | 1984-08-25 | Matsushita Electric Works Ltd | 膜厚分布検査装置 |
-
1985
- 1985-05-08 JP JP60097602A patent/JPH061168B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61254809A (ja) | 1986-11-12 |
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