JPH0694642A - 表面欠陥検査方法および装置 - Google Patents
表面欠陥検査方法および装置Info
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- JPH0694642A JPH0694642A JP24659092A JP24659092A JPH0694642A JP H0694642 A JPH0694642 A JP H0694642A JP 24659092 A JP24659092 A JP 24659092A JP 24659092 A JP24659092 A JP 24659092A JP H0694642 A JPH0694642 A JP H0694642A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】表面の粗さが大きい被検査材の表面欠陥をレー
ザ光で検出する場合、回折散乱光の広がりが大きく、欠
陥に起因する反射光を区別できないので熱延鋼板の表面
の欠陥検出には適用できない。被検査材の表面の粗さに
応じて投射すべきレーザ光の設定条件を明確にする。 【構成】赤外Ｈｅ−Ｎｅレーザ１から発せられた波長λ
＝３．３９μｍの赤外レーザビーム２は、コリメータレ
ンズ３を経てポリゴンミラー４によつて熱延鋼板５の板
幅方向に連続的に走査される。反射光は集光レンズ６に
よって受光器７に導かれ、信号処理装置８はこの電気信
号をリアルタイムで処理し、検出結果を出力装置９から
出力する。熱延鋼板５の表面プロフィルの高さ方向の準
備偏差σに応じて（σ×ｃｏｓθ／λ）＜０．３５の条
件になるよう入射角θを定めて入射すると反射された赤
外波長の回折散乱光のピーク強度を容易に検出でき、欠
陥検出の感度が向上する。
ザ光で検出する場合、回折散乱光の広がりが大きく、欠
陥に起因する反射光を区別できないので熱延鋼板の表面
の欠陥検出には適用できない。被検査材の表面の粗さに
応じて投射すべきレーザ光の設定条件を明確にする。 【構成】赤外Ｈｅ−Ｎｅレーザ１から発せられた波長λ
＝３．３９μｍの赤外レーザビーム２は、コリメータレ
ンズ３を経てポリゴンミラー４によつて熱延鋼板５の板
幅方向に連続的に走査される。反射光は集光レンズ６に
よって受光器７に導かれ、信号処理装置８はこの電気信
号をリアルタイムで処理し、検出結果を出力装置９から
出力する。熱延鋼板５の表面プロフィルの高さ方向の準
備偏差σに応じて（σ×ｃｏｓθ／λ）＜０．３５の条
件になるよう入射角θを定めて入射すると反射された赤
外波長の回折散乱光のピーク強度を容易に検出でき、欠
陥検出の感度が向上する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、熱延鋼板などの高速移
動する被検査材の表面欠陥を検出する方法及び装置に関
するものであり、特に、レーザの回折散乱光から被検査
材表面の欠陥検出を行う技術に関するものである。
動する被検査材の表面欠陥を検出する方法及び装置に関
するものであり、特に、レーザの回折散乱光から被検査
材表面の欠陥検出を行う技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】被検査材の表面にレーザ光を投射し、そ
の回折散乱光の強度、分布の変化から欠陥を検出する方
法や装置は、既に鉄鋼、アルミ、製紙ラインなどで実用
化されている。この装置は、例えば図８に示すように、
レーザ光源１１から出力されたレーザ光１２をコリメー
タレンズ１３を通して欠陥検査に最適なビーム径に集光
した後、ポリゴンミラー１４により被検査材１５の幅方
向に走査するように投射し、被検査材表面の反射光を集
光レンズ１６を通して光検出器１７により測定し、その
強度から欠陥を検出するものである。ここで、欠陥の検
出感度、検出欠陥の識別能力を向上させるために、空間
マスクと呼ばれる反射光の透過フィルター１８を用いる
技術やいくつかのある特定の反射角度に光検出器を配置
することにより、反射光分布の中から欠陥検出に必要な
成分、すなわち欠陥に起因する反射光を抽出する工夫が
なされている。
の回折散乱光の強度、分布の変化から欠陥を検出する方
法や装置は、既に鉄鋼、アルミ、製紙ラインなどで実用
化されている。この装置は、例えば図８に示すように、
レーザ光源１１から出力されたレーザ光１２をコリメー
タレンズ１３を通して欠陥検査に最適なビーム径に集光
した後、ポリゴンミラー１４により被検査材１５の幅方
向に走査するように投射し、被検査材表面の反射光を集
光レンズ１６を通して光検出器１７により測定し、その
強度から欠陥を検出するものである。ここで、欠陥の検
出感度、検出欠陥の識別能力を向上させるために、空間
マスクと呼ばれる反射光の透過フィルター１８を用いる
技術やいくつかのある特定の反射角度に光検出器を配置
することにより、反射光分布の中から欠陥検出に必要な
成分、すなわち欠陥に起因する反射光を抽出する工夫が
なされている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
技術では欠陥に起因する反射光を精度よく検出するため
の光源波長、レーザ光の投射角度に対する条件が明らか
にされていないために、被検査材の正常部による回折散
乱光と欠陥に起因する反射光を区別できない場合があっ
た。特に、熱延鋼板のような表面の粗さが大きい被検査
材では、正常部からの回折散乱光の広がりが大きく、こ
の中に欠陥に起因する反射光が埋もれてしまう結果にな
るために、Ｓ／Ｎ比が劣化する。従って、従来装置の例
で多く見られるような波長６３３ｎｍのＨｅ−Ｎｅレー
ザを用いると、熱延鋼板のような被検査材の表面欠陥の
検出には適用できないのである。
技術では欠陥に起因する反射光を精度よく検出するため
の光源波長、レーザ光の投射角度に対する条件が明らか
にされていないために、被検査材の正常部による回折散
乱光と欠陥に起因する反射光を区別できない場合があっ
た。特に、熱延鋼板のような表面の粗さが大きい被検査
材では、正常部からの回折散乱光の広がりが大きく、こ
の中に欠陥に起因する反射光が埋もれてしまう結果にな
るために、Ｓ／Ｎ比が劣化する。従って、従来装置の例
で多く見られるような波長６３３ｎｍのＨｅ−Ｎｅレー
ザを用いると、熱延鋼板のような被検査材の表面欠陥の
検出には適用できないのである。
【０００４】本発明は、前記問題点を解決するために、
被検査材の表面の粗さに応じて投射するレーザ光源の設
定条件を明確にすることを目的とする。
被検査材の表面の粗さに応じて投射するレーザ光源の設
定条件を明確にすることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、被検査材の表
面に光束を投射し、その回折散乱光を検出して被検査材
の表面欠陥を検出するに当り、被検査材の表面プロフィ
ルの高さ方向の標準偏差σを求め、投射する光束の波長
λ、光束の被検査材表面への投射角度θを次式に従って
設定し、測定することを特徴とする表面欠陥検査方法で
ある。
面に光束を投射し、その回折散乱光を検出して被検査材
の表面欠陥を検出するに当り、被検査材の表面プロフィ
ルの高さ方向の標準偏差σを求め、投射する光束の波長
λ、光束の被検査材表面への投射角度θを次式に従って
設定し、測定することを特徴とする表面欠陥検査方法で
ある。
【０００６】（σ×ｃｏｓθ／λ） ＜ ０．３５ この方法は被検査材の表面が熱延鋼板の場合に好適に実
施することができ、また、光束が赤外レーザであると好
適である。本発明の装置は、上記方法の実施に好適に用
いられるものであって、波長λの光束を発射するレーザ
光源と、このレーザ光を、高速移動する被検査材の表面
に投射するポリゴンミラーと、被検査材からの反射光を
受光する受光器とを備え、被検査材の表面プロフィルの
高さ方向の標準偏差σに応じて、前記ポリゴンミラーと
被検査材表面との空間位置関係を次式に従うレーザ光投
射角度θを次式に従って設定したことを特徴とする表面
欠陥検査装置である。
施することができ、また、光束が赤外レーザであると好
適である。本発明の装置は、上記方法の実施に好適に用
いられるものであって、波長λの光束を発射するレーザ
光源と、このレーザ光を、高速移動する被検査材の表面
に投射するポリゴンミラーと、被検査材からの反射光を
受光する受光器とを備え、被検査材の表面プロフィルの
高さ方向の標準偏差σに応じて、前記ポリゴンミラーと
被検査材表面との空間位置関係を次式に従うレーザ光投
射角度θを次式に従って設定したことを特徴とする表面
欠陥検査装置である。
【０００７】ｃｏｓθ ＜ ０．３５×（λ／σ） ただし、 θ：投射角度（被検査材表面の鉛直線からの傾き角度）
（度） λ：波長（μｍ） σ：被検査材の表面プロフィルの高さ方向の標準偏差
（μｍ）
（度） λ：波長（μｍ） σ：被検査材の表面プロフィルの高さ方向の標準偏差
（μｍ）
【０００８】
【作用】光の回折現象を用いて表面の粗さを測定する方
法は、回折散乱光が被測定表面の微細形状に関する情報
を含んでいることが理論的にも、実験的にも確認されて
いるために、既に多くの技術が公開されている。本発明
者らは、この表面粗さ測定の基本技術を表面欠陥の検
出、特に熱延鋼板のインプロセス欠陥検出への応用を試
みた。具体的には、被検査材の正常部からの回折散乱光
と欠陥部からの回折散乱光が、十分なＳ／Ｎ比を有する
条件について調べた。
法は、回折散乱光が被測定表面の微細形状に関する情報
を含んでいることが理論的にも、実験的にも確認されて
いるために、既に多くの技術が公開されている。本発明
者らは、この表面粗さ測定の基本技術を表面欠陥の検
出、特に熱延鋼板のインプロセス欠陥検出への応用を試
みた。具体的には、被検査材の正常部からの回折散乱光
と欠陥部からの回折散乱光が、十分なＳ／Ｎ比を有する
条件について調べた。
【０００９】被検査材の表面の粗さの程度を示す値とし
て、表面プロフィルの高さ方向の標準偏差σを用いるこ
ととした。図２に示すように波長λのレーザ光２が入射
角度θで粗さσを有する被検査材１５の表面に投射され
ると、表面の微小な凹凸によって回折散乱光２１が生じ
る。図３は標準偏差σの異なる鋼板サンプルに対する回
折散乱光の測定結果である。図３で明らかなように標準
偏差σの大きな鋼板では回折光の散乱が大きく、もはや
ピーク強度を認めることも難しくなっている。本発明者
らは、回折散乱光のピーク強度が明瞭に検出できる条件
について検討を加えた。ここで、ピーク強度が明瞭に検
出できるか否かを判断するために、散乱光分布の尖度を
評価パラメータとして用いた尖度γは
て、表面プロフィルの高さ方向の標準偏差σを用いるこ
ととした。図２に示すように波長λのレーザ光２が入射
角度θで粗さσを有する被検査材１５の表面に投射され
ると、表面の微小な凹凸によって回折散乱光２１が生じ
る。図３は標準偏差σの異なる鋼板サンプルに対する回
折散乱光の測定結果である。図３で明らかなように標準
偏差σの大きな鋼板では回折光の散乱が大きく、もはや
ピーク強度を認めることも難しくなっている。本発明者
らは、回折散乱光のピーク強度が明瞭に検出できる条件
について検討を加えた。ここで、ピーク強度が明瞭に検
出できるか否かを判断するために、散乱光分布の尖度を
評価パラメータとして用いた尖度γは
【００１０】
【数１】
【００１１】によって計算される値であり、この値が０
の場合は分布曲線が正規分布に従うものであり、大きく
なるほど分布曲線が鋭いピークを有し、小さくなるほど
分布が滑らかになることを示すものである。図４は被検
査材表面の高さ方向の標準偏差σが異なる鋼板サンプル
に対して入射角度θ一定の条件で光源のレーザ波長λを
変化させた場合の尖度、図５は光源のレーザ波長λ一定
の条件で入射角度θを変化させた場合の尖度をそれぞれ
実験により求めた結果である。図より明らかなように、
一定投射角度の下ではレーザ波長λが長いほど、また、
一定レーザ波長の下では入射角度θが大きいほど、尖度
γが大きく、ピーク強度を明瞭に観察できる範囲が広
い。そこで、このような現象を定量的に評価するため
に、 パラメータα＝σ×ｃｏｓθ／λ を導入した。このパラメータは被検査材の表面粗さとレ
ーザ波長、入射角度を含んだパラメータであり、この値
が小さいほどピーク強度が明瞭に検出できることを示す
ものである。図４、図５に示した実験データを用いて、
パラメータαと尖度γとの関係を調べた結果を図６に示
す。図６から明らかなように、パラメータαと尖度γの
間には反比例関係が成立ことが分る。本発明者らはこの
関係を記述するものとして、次のような実験式を得た。
の場合は分布曲線が正規分布に従うものであり、大きく
なるほど分布曲線が鋭いピークを有し、小さくなるほど
分布が滑らかになることを示すものである。図４は被検
査材表面の高さ方向の標準偏差σが異なる鋼板サンプル
に対して入射角度θ一定の条件で光源のレーザ波長λを
変化させた場合の尖度、図５は光源のレーザ波長λ一定
の条件で入射角度θを変化させた場合の尖度をそれぞれ
実験により求めた結果である。図より明らかなように、
一定投射角度の下ではレーザ波長λが長いほど、また、
一定レーザ波長の下では入射角度θが大きいほど、尖度
γが大きく、ピーク強度を明瞭に観察できる範囲が広
い。そこで、このような現象を定量的に評価するため
に、 パラメータα＝σ×ｃｏｓθ／λ を導入した。このパラメータは被検査材の表面粗さとレ
ーザ波長、入射角度を含んだパラメータであり、この値
が小さいほどピーク強度が明瞭に検出できることを示す
ものである。図４、図５に示した実験データを用いて、
パラメータαと尖度γとの関係を調べた結果を図６に示
す。図６から明らかなように、パラメータαと尖度γの
間には反比例関係が成立ことが分る。本発明者らはこの
関係を記述するものとして、次のような実験式を得た。
【００１２】 γ ＝ （１／１．５α）−１．９ …（２） 欠陥検出に必要なピーク観察の条件として尖度γ＝０、
すなわち散乱光分布が正規分布に従うことを選ぶと、第
２式よりα＜０．３５が必要である。従って、（σ×ｃ
ｏｓθ／λ）＜０．３５を満たすように光学条件を設定
すれば、回折散乱光のピーク強度を明瞭に検出すること
が可能である。
すなわち散乱光分布が正規分布に従うことを選ぶと、第
２式よりα＜０．３５が必要である。従って、（σ×ｃ
ｏｓθ／λ）＜０．３５を満たすように光学条件を設定
すれば、回折散乱光のピーク強度を明瞭に検出すること
が可能である。
【００１３】さらに、熱延鋼板の製造ラインにおいて最
も問題となる欠陥は、例えば圧延ロールに異物が付着し
たことで発生する飛込み疵のような表面に凹凸が発生す
るものであるから、正常部の粗さのオーダに比較して疵
が明らかに大きな形状を有している。従って、このよう
な欠陥によって起因する反射光は、もはや光の回折現象
によってその散乱強度、分布が決定するのではなく、欠
陥の幾何的な形状によって決まるものであり、散乱が非
常に大きな反射となる。このため、熱延鋼板の正常部か
らの回折散乱光があまりに広がりすぎると、欠陥に起因
する反射光の変化を検出することが不可能になり、欠陥
検出が行えないのである。
も問題となる欠陥は、例えば圧延ロールに異物が付着し
たことで発生する飛込み疵のような表面に凹凸が発生す
るものであるから、正常部の粗さのオーダに比較して疵
が明らかに大きな形状を有している。従って、このよう
な欠陥によって起因する反射光は、もはや光の回折現象
によってその散乱強度、分布が決定するのではなく、欠
陥の幾何的な形状によって決まるものであり、散乱が非
常に大きな反射となる。このため、熱延鋼板の正常部か
らの回折散乱光があまりに広がりすぎると、欠陥に起因
する反射光の変化を検出することが不可能になり、欠陥
検出が行えないのである。
【００１４】また、熱延鋼板の場合、表面プロフィルの
高さ方向の標準偏差σが１μｍを越えるものが多い。そ
のため、前期条件に従えば、赤外レーザを用いて欠陥検
出を行うことが必要になるのである。
高さ方向の標準偏差σが１μｍを越えるものが多い。そ
のため、前期条件に従えば、赤外レーザを用いて欠陥検
出を行うことが必要になるのである。
【００１５】
【実施例】本発明による実施例を熱延鋼板に適用した結
果を説明する。図１は本発明による熱延鋼板のインプロ
セス表面欠陥検査装置の一例であり、光源として波長
３．３９μｍの赤外Ｈｅ−Ｎｅレーザを用いた熱延鋼板
用の欠陥検出装置である。
果を説明する。図１は本発明による熱延鋼板のインプロ
セス表面欠陥検査装置の一例であり、光源として波長
３．３９μｍの赤外Ｈｅ−Ｎｅレーザを用いた熱延鋼板
用の欠陥検出装置である。
【００１６】図において、赤外Ｈｅ−Ｎｅレーザ１から
発せられた波長λ＝３．３９μｍの赤外レーザビーム２
は、コリメータレンズ３を経てビーム径が所定の大きさ
に調節された後、ポリゴンミラー４によつて熱延鋼板５
の板幅方向に連続的に走査される。反射光は集光レンズ
６によって受光器７に導かれ、その強度、分布が電気信
号に変換される。信号処理装置８はこの電気信号をリア
ルタイムで処理し、検出結果を出力装置９から出力す
る。熱延鋼板５によって反射された赤外波長の回折散乱
光は、そのピーク強度が容易に検出できるような分布を
有するので、例えば、ロールマークと呼ばれる凹凸欠陥
が走査赤外光を通過した時には散乱が非常に大きな反射
を発生するから、欠陥検出の感度が向上する。
発せられた波長λ＝３．３９μｍの赤外レーザビーム２
は、コリメータレンズ３を経てビーム径が所定の大きさ
に調節された後、ポリゴンミラー４によつて熱延鋼板５
の板幅方向に連続的に走査される。反射光は集光レンズ
６によって受光器７に導かれ、その強度、分布が電気信
号に変換される。信号処理装置８はこの電気信号をリア
ルタイムで処理し、検出結果を出力装置９から出力す
る。熱延鋼板５によって反射された赤外波長の回折散乱
光は、そのピーク強度が容易に検出できるような分布を
有するので、例えば、ロールマークと呼ばれる凹凸欠陥
が走査赤外光を通過した時には散乱が非常に大きな反射
を発生するから、欠陥検出の感度が向上する。
【００１７】図７は、σ＝１．１±１．０μｍの熱延鋼
板をサンプルとして正常部と欠陥部の反射光分布を測定
した結果である。図７の例では波長３．３９μｍの赤外
Ｈｅ−Ｎｅレーザを入射角度θ＝３０度にて投射した結
果であり、正常部ではパラメータα≒０．２８である。
図で明らかなように、正常部と欠陥部では反射光に著し
い差があり、検出感度の高い表面欠陥検査を行うことが
できる。
板をサンプルとして正常部と欠陥部の反射光分布を測定
した結果である。図７の例では波長３．３９μｍの赤外
Ｈｅ−Ｎｅレーザを入射角度θ＝３０度にて投射した結
果であり、正常部ではパラメータα≒０．２８である。
図で明らかなように、正常部と欠陥部では反射光に著し
い差があり、検出感度の高い表面欠陥検査を行うことが
できる。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、被検査材の表面粗さと
投射する光束の波長、投射角度の最適条件を明確にした
ので、被検査材の表面粗さが大きい場合でも欠陥検出の
感度を高めることができる。特に、熱延鋼板に対して赤
外レーザ光を用いることにより、大量不良品発生の原因
となる凹凸欠陥をインプロセスで検出することが可能と
なる。
投射する光束の波長、投射角度の最適条件を明確にした
ので、被検査材の表面粗さが大きい場合でも欠陥検出の
感度を高めることができる。特に、熱延鋼板に対して赤
外レーザ光を用いることにより、大量不良品発生の原因
となる凹凸欠陥をインプロセスで検出することが可能と
なる。
【図１】本発明による一実施例の構成を示す概要図であ
る。
る。
【図２】レーザ光の回折散乱光の説明図である。
【図３】鋼板からの反射光分布の測定結果例を示すグラ
フである。
フである。
【図４】投射角度θ一定の条件で光源のレーザ波長λを
変化させた場合の回折散乱光の分布の尖度を示すグラフ
である。
変化させた場合の回折散乱光の分布の尖度を示すグラフ
である。
【図５】光源のレーザ波長λ一定の条件で投射角度θを
変化させた場合の回折散乱光の分布の尖度を示すグラフ
である。
変化させた場合の回折散乱光の分布の尖度を示すグラフ
である。
【図６】パラメータαと尖度との関係を示すグラフであ
る。
る。
【図７】反射角度と反射強度の測定結果を示すグラフで
ある。
ある。
【図８】従来の欠陥検出装置の概略説明図である。
１ 赤外レーザ ２ 赤外レー
ザビーム ３ コリメータレンズ ４ ポリゴン
ミラー ５ 熱延鋼板 ６ 集光レン
ズ ７ 受光器 ８ 信号処理
装置 ９ 出力装置 １１ レーザ
光源 １２ レーザ光 １３ コリメ
ータレンズ １４ ポリゴンミラー １５ 被検査
材 １６ 集光レンズ １７ 光検出
器 １８ 透過フィルター １９ 信号処
理装置 ２０ 出力装置
ザビーム ３ コリメータレンズ ４ ポリゴン
ミラー ５ 熱延鋼板 ６ 集光レン
ズ ７ 受光器 ８ 信号処理
装置 ９ 出力装置 １１ レーザ
光源 １２ レーザ光 １３ コリメ
ータレンズ １４ ポリゴンミラー １５ 被検査
材 １６ 集光レンズ １７ 光検出
器 １８ 透過フィルター １９ 信号処
理装置 ２０ 出力装置
フロントページの続き (72)発明者 横尾 雅一 千葉市中央区川崎町１番地 川崎製鉄株式 会社技術研究本部内 (72)発明者 丸山 智 千葉市中央区川崎町１番地 川崎製鉄株式 会社技術研究本部内 (72)発明者 守屋 進 千葉市中央区川崎町１番地 川崎製鉄株式 会社技術研究本部内
Claims (4)
- 【請求項１】 被検査材の表面に光束を投射し、その回
折散乱光を検出して被検査材の表面欠陥を検出するに当
り、被検査材の表面プロフィルの高さ方向の標準偏差σ
を求め、投射する光束の波長λ、光束の被検査材表面へ
の投射角度θを次式に従って設定し、測定することを特
徴とする表面欠陥検査方法。 （σ×ｃｏｓθ／λ）＜ ０．３５ - 【請求項２】 被検査材の表面が熱延鋼板であることを
特徴とする請求項１記載の表面欠陥検査方法。 - 【請求項３】 光束が赤外レーザであることを特徴とす
る請求項１記載の表面欠陥検査方法。 - 【請求項４】 波長λの光束を発射するレーザ光源と、
高速移動する被検査材の表面にレーザ光を投射するポリ
ゴンミラーと、被検査材からの反射光を受光する受光器
とを備え、被検査材の表面プロフィルの高さ方向の標準
偏差σに応じて、前記ポリゴンミラーと被検査材表面と
の空間位置関係を次式に従うレーザ光投射角度θに一致
させて配設したことを特徴とする表面欠陥検査装置。 ｃｏｓθ ＜ ０．３５×（λ／σ）
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24659092A JPH0694642A (ja) | 1992-09-16 | 1992-09-16 | 表面欠陥検査方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24659092A JPH0694642A (ja) | 1992-09-16 | 1992-09-16 | 表面欠陥検査方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0694642A true JPH0694642A (ja) | 1994-04-08 |
Family
ID=17150684
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24659092A Withdrawn JPH0694642A (ja) | 1992-09-16 | 1992-09-16 | 表面欠陥検査方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0694642A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100403189B1 (ko) * | 2000-08-04 | 2003-10-23 | 가부시키가이샤 니콘 | 표면검사장치 |
| JP2005003691A (ja) * | 1999-02-08 | 2005-01-06 | Jfe Steel Kk | 表面検査装置 |
| JP2006208347A (ja) * | 2004-02-25 | 2006-08-10 | Jfe Steel Kk | 圧延用ロールの表面欠陥検出装置、研削装置、表面欠陥検出方法及び表面欠陥検出用プログラム並びに圧延用ロール研削方法 |
| JP2008157788A (ja) * | 2006-12-25 | 2008-07-10 | Nippon Steel Corp | 表面検査方法及び表面検査装置 |
| JP2009080033A (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Nippon Steel Corp | 表面検査方法及び表面検査装置 |
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