JPH06117400A - フィルター付き送風機ユニット - Google Patents
フィルター付き送風機ユニットInfo
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- JPH06117400A JPH06117400A JP3804892A JP3804892A JPH06117400A JP H06117400 A JPH06117400 A JP H06117400A JP 3804892 A JP3804892 A JP 3804892A JP 3804892 A JP3804892 A JP 3804892A JP H06117400 A JPH06117400 A JP H06117400A
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- JP
- Japan
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- filter
- blower
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- metal plate
- porous metal
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- Pending
Links
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 25
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 7
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 6
- 239000011491 glass wool Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
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- 238000013016 damping Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
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Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Soundproofing, Sound Blocking, And Sound Damping (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 クリーンルームにダストの飛散を生ぜずに騒
音の低減ができることを可能とする。 【構成】 下部が開口した外箱１の頂部に吸込口２を形
成し、その吸込口２に位置した外箱１内に送風機３を設
け、外箱１の開口部にフイルター８を設けたフィルター
付き送風機ユニットにおいて、上記外箱１に、上記送風
機３の吹出口４からフィルター８に至る空気流を迂回さ
せる迂回部材１１を設けると共にその迂回部材１１の内
側表面と外箱１の内面をある間隔をおいて多孔質金属板
１０で覆ったことを特徴としている。
音の低減ができることを可能とする。 【構成】 下部が開口した外箱１の頂部に吸込口２を形
成し、その吸込口２に位置した外箱１内に送風機３を設
け、外箱１の開口部にフイルター８を設けたフィルター
付き送風機ユニットにおいて、上記外箱１に、上記送風
機３の吹出口４からフィルター８に至る空気流を迂回さ
せる迂回部材１１を設けると共にその迂回部材１１の内
側表面と外箱１の内面をある間隔をおいて多孔質金属板
１０で覆ったことを特徴としている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルームのフィ
ルター付き送風機ユニットに係り、特に騒音を低減でき
るフィルター付き送風機ユニットに関する。
ルター付き送風機ユニットに係り、特に騒音を低減でき
るフィルター付き送風機ユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】クリーンルームは、天井にフィルターが
設けられ、床にグレーチングが設けられ、送風機でグレ
ーチングを介してクリーンルーム内の空気を吸引すると
共にこれをフィルターを介してクリーンルームに循環
し、クリーンルームの清浄度を保つようになっている。
設けられ、床にグレーチングが設けられ、送風機でグレ
ーチングを介してクリーンルーム内の空気を吸引すると
共にこれをフィルターを介してクリーンルームに循環
し、クリーンルームの清浄度を保つようになっている。
【０００３】このクリーンルームの天井を区画するフィ
ルターとして、フィルターと送風機とが一体となったフ
ィルター付き送風機ユニットが使用されている。このフ
ィルター付き送風機ユニットはクリーンルームを形成す
べき天井に多数並べて使用している。
ルターとして、フィルターと送風機とが一体となったフ
ィルター付き送風機ユニットが使用されている。このフ
ィルター付き送風機ユニットはクリーンルームを形成す
べき天井に多数並べて使用している。
【０００４】ところで、従来このフィルター付き送風機
ユニットを多数並べてクリーンルームを形成するとその
騒音が大きくなるため、ユニットの外箱内にグラスウー
ルなどの吸音材を張付けて騒音を低減することがなされ
ている。
ユニットを多数並べてクリーンルームを形成するとその
騒音が大きくなるため、ユニットの外箱内にグラスウー
ルなどの吸音材を張付けて騒音を低減することがなされ
ている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、グラス
ウールなどの吸音材を張付けた場合、グラスウールが微
細なダストとなってクリーンルーム内に飛散する問題が
あり好ましくない。
ウールなどの吸音材を張付けた場合、グラスウールが微
細なダストとなってクリーンルーム内に飛散する問題が
あり好ましくない。
【０００６】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、クリーンルームにダストの飛散を生ぜずに騒音の低
減ができるフィルター付き送風機ユニットを提供するこ
とにある。
し、クリーンルームにダストの飛散を生ぜずに騒音の低
減ができるフィルター付き送風機ユニットを提供するこ
とにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、下部が開口した外箱の頂部に吸込口を形成
し、その吸込口に位置した外箱内に送風機を設け、外箱
の開口部にフイルターを設けたフィルター付き送風機ユ
ニットにおいて、上記外箱に、上記送風機の吹出口から
フィルターに至る空気流を迂回させる迂回部材を設ける
と共にその迂回部材の表面と外箱内面をある間隔をおい
て多孔質金属板で覆ったものである。
に本発明は、下部が開口した外箱の頂部に吸込口を形成
し、その吸込口に位置した外箱内に送風機を設け、外箱
の開口部にフイルターを設けたフィルター付き送風機ユ
ニットにおいて、上記外箱に、上記送風機の吹出口から
フィルターに至る空気流を迂回させる迂回部材を設ける
と共にその迂回部材の表面と外箱内面をある間隔をおい
て多孔質金属板で覆ったものである。
【０００８】
【作用】上記構成によれば、迂回部材の表面と外箱内面
をある間隔をおいて多孔質金属板で覆うことで騒音が低
減され、しかも多孔質金属板は従来のグラスウールよう
に微細なダストになることもない。
をある間隔をおいて多孔質金属板で覆うことで騒音が低
減され、しかも多孔質金属板は従来のグラスウールよう
に微細なダストになることもない。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面に基づい
て詳述する。
て詳述する。
【００１０】図１，図２，図３において、１は下端が開
口した外箱で、その外箱１の頂面の中央に吸込口２が形
成される。この外箱１内には吸込口２に位置して送風機
３が設けられる。送風機３は、吸込口２に位置して外箱
１内に設けられ、両側に吹出口４，４を有するファンケ
ーシング５と、そのファンケーシング５内に回転自在に
設けられた羽根６と、その羽根６を回転するモータ７か
ら構成される。
口した外箱で、その外箱１の頂面の中央に吸込口２が形
成される。この外箱１内には吸込口２に位置して送風機
３が設けられる。送風機３は、吸込口２に位置して外箱
１内に設けられ、両側に吹出口４，４を有するファンケ
ーシング５と、そのファンケーシング５内に回転自在に
設けられた羽根６と、その羽根６を回転するモータ７か
ら構成される。
【００１１】外箱１の開口部にはフィルター８が収容さ
れたフィルターボックス９が取り付けられる。
れたフィルターボックス９が取り付けられる。
【００１２】外箱１の内周面１ａ及びケーシング５の下
面５ａには、その面と所定間隔をおいて多孔質金属板１
０が、内周面１ａ及び下面５ａを覆うように設けられ
る。また外箱１には、中央に向けて水平に延びる金属板
で形成された迂回部材１１が設けられ、その内側表面
に、ある間隔をおいてそれを覆うように多孔質金属板１
０が設けられている。またケーシング５の下部中央に
は、金属板で仕切部材１２が設けられ、その内側表面に
ある間隔をおいてそれを覆うように多孔質金属板１０が
設けられている。この多孔質金属板１０の空気流路の反
対側には適宜の厚さの空気層１３が形成される。
面５ａには、その面と所定間隔をおいて多孔質金属板１
０が、内周面１ａ及び下面５ａを覆うように設けられ
る。また外箱１には、中央に向けて水平に延びる金属板
で形成された迂回部材１１が設けられ、その内側表面
に、ある間隔をおいてそれを覆うように多孔質金属板１
０が設けられている。またケーシング５の下部中央に
は、金属板で仕切部材１２が設けられ、その内側表面に
ある間隔をおいてそれを覆うように多孔質金属板１０が
設けられている。この多孔質金属板１０の空気流路の反
対側には適宜の厚さの空気層１３が形成される。
【００１３】多孔質焼結板１０は、一例を挙げれば、ア
ルミニュウムの粒子を板状に焼結したもので、気孔率４
０±１０％，厚さ１〜３mm, 密度１．５〜１．６ｇ／cm
2 のものを用いる。
ルミニュウムの粒子を板状に焼結したもので、気孔率４
０±１０％，厚さ１〜３mm, 密度１．５〜１．６ｇ／cm
2 のものを用いる。
【００１４】尚図１〜３において外箱１の頂面の内側に
は多孔質金属板を設けていないが、適宜設けることによ
り吸音効果は更に高まる。さらに空気層１３内にハニカ
ム状の仕切板を適宜設けることにより、吸音効果は更に
高まる。
は多孔質金属板を設けていないが、適宜設けることによ
り吸音効果は更に高まる。さらに空気層１３内にハニカ
ム状の仕切板を適宜設けることにより、吸音効果は更に
高まる。
【００１５】またこのフィルター付き送風機ユニットを
使用する場合、互いに密に整列させてクリーンルームの
天井となるように配置する。
使用する場合、互いに密に整列させてクリーンルームの
天井となるように配置する。
【００１６】次に実施例の作用を述べる。
【００１７】送風機３が駆動されると、吸込口２より空
気が吸込まれ、ケーシング５の吹出し口４，４より外箱
１の開口部に設けたフィルター８を通過し、清浄空気と
してクリーンルームに吹出される。この際、送風機３か
らの空気流は騒音を伴っているが、迂回部材１１及び仕
切部材１２で、その流れが規制され、かつ多孔質金属板
１０及びその背後の空気層１３で騒音は、減衰される。
また多孔質金属板１０は、空気流に接触しても焼結板１
０から微細なダストが飛散することがない。また、これ
らの部材により、流路断面積を必要以上狭めることがな
いので、空気抵抗を最小に抑えることができる。
気が吸込まれ、ケーシング５の吹出し口４，４より外箱
１の開口部に設けたフィルター８を通過し、清浄空気と
してクリーンルームに吹出される。この際、送風機３か
らの空気流は騒音を伴っているが、迂回部材１１及び仕
切部材１２で、その流れが規制され、かつ多孔質金属板
１０及びその背後の空気層１３で騒音は、減衰される。
また多孔質金属板１０は、空気流に接触しても焼結板１
０から微細なダストが飛散することがない。また、これ
らの部材により、流路断面積を必要以上狭めることがな
いので、空気抵抗を最小に抑えることができる。
【００１８】図４は、多孔質金属板１０による吸音効果
の一例を挙げた説明図である。
の一例を挙げた説明図である。
【００１９】矢印１４で示すように入射音が、多孔質金
属板１０に入射すると、矢印１５で示すように減衰入射
音となり、外箱１などの壁で矢印１６に示すような反射
音となり、多孔質金属板１０を通って矢印１７に示すよ
うな減衰反射音となり、その騒音が低減される。
属板１０に入射すると、矢印１５で示すように減衰入射
音となり、外箱１などの壁で矢印１６に示すような反射
音となり、多孔質金属板１０を通って矢印１７に示すよ
うな減衰反射音となり、その騒音が低減される。
【００２０】すなわち、空気層１３（振動減衰系のバネ
に相当）、多孔質金属板１０の内部空気（質量に相
当）、内部空気の粒子と多孔質金属板１０の内壁との摩
擦（減衰器に相当））よりなる振動系が激しく共振（共
鳴）し、減衰器により入射音のエネルギーを吸収する結
果、騒音が低減する。
に相当）、多孔質金属板１０の内部空気（質量に相
当）、内部空気の粒子と多孔質金属板１０の内壁との摩
擦（減衰器に相当））よりなる振動系が激しく共振（共
鳴）し、減衰器により入射音のエネルギーを吸収する結
果、騒音が低減する。
【００２１】次に本発明のフィルター付き送風機ユニッ
トと従来のユニットの騒音測定を行った結果を説明す
る。
トと従来のユニットの騒音測定を行った結果を説明す
る。
【００２２】騒音の測定に当たって、外箱１の外径寸法
６００×１２００×５００、風量１４．０ＣＭＭ、フィ
ルタ効率９９．９９９９、風速０．４ｍ／ｓ、電源１φ
×２００Ｖ、消費電力１８０Ｗ、機外静圧１５ｍｍＡｑ
の送風機ユニットを用い、他方に上述した多孔質金属板
１０を施して両者の騒音を測定した。
６００×１２００×５００、風量１４．０ＣＭＭ、フィ
ルタ効率９９．９９９９、風速０．４ｍ／ｓ、電源１φ
×２００Ｖ、消費電力１８０Ｗ、機外静圧１５ｍｍＡｑ
の送風機ユニットを用い、他方に上述した多孔質金属板
１０を施して両者の騒音を測定した。
【００２３】測定は、それぞれユニットを長さ方向に２
台、幅方向に３台、計６台並べそのうちの１台を運転
し、その運転している送風機ユニットの１ｍ下方で騒音
を測定した。
台、幅方向に３台、計６台並べそのうちの１台を運転
し、その運転している送風機ユニットの１ｍ下方で騒音
を測定した。
【００２４】この結果従来においては、全騒音は５３ｄ
Ｂ（Ａ）であったが、本発明では、４３ｄＢ（Ａ）とな
り、騒音を１０ｄＢ（Ａ）低減できた。
Ｂ（Ａ）であったが、本発明では、４３ｄＢ（Ａ）とな
り、騒音を１０ｄＢ（Ａ）低減できた。
【００２５】図５は、この時の騒音の周波数分析を示し
たものである。
たものである。
【００２６】図において、斜線で示したグラフが本発明
の特性、点で塗ったグラフが従来の特性を示すものであ
る。図より、本発明においては２５０Ｈｚ以上の騒音に
対して特に減衰効果があり、各周波数帯域において約１
０ｄＢ程度減衰していることが判った。
の特性、点で塗ったグラフが従来の特性を示すものであ
る。図より、本発明においては２５０Ｈｚ以上の騒音に
対して特に減衰効果があり、各周波数帯域において約１
０ｄＢ程度減衰していることが判った。
【００２７】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、迂回部材
の表面と外箱内面を多孔質金属板で覆うことで騒音が低
減され、しかも多孔質金属板は従来のグラスウールのよ
うに微細なダストになることもない。
の表面と外箱内面を多孔質金属板で覆うことで騒音が低
減され、しかも多孔質金属板は従来のグラスウールのよ
うに微細なダストになることもない。
【図１】本発明の一実施例を示す正面図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】図１の要部拡大断面図である。
【図４】本発明において吸音の原理を説明する図であ
る。
る。
【図５】本発明と従来例における騒音の周波数分析を示
す図である。
す図である。
１ 外箱 ２ 吸込口 ３ 送風機 ４ 吹出口 ８ フイルター １０ 多孔質金属板 １１ 迂回部材
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年４月９日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１３】 多孔質金属板１０は、一例を挙げれば、
アルミニュウムの粒子を板状に焼結したもので、気孔率
４０±１０％，厚さ１〜３mm, 密度１．５〜１．６ｇ／
cm2 のものを用いる。
アルミニュウムの粒子を板状に焼結したもので、気孔率
４０±１０％，厚さ１〜３mm, 密度１．５〜１．６ｇ／
cm2 のものを用いる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１７】 送風機３が駆動されると、吸込口２より
空気が吸込まれ、ケーシング５の吹出し口４，４より外
箱１の開口部に設けたフィルター８を通過し、清浄空気
としてクリーンルームに吹出される。この際、送風機３
からの空気流は騒音を伴っているが、迂回部材１１及び
仕切部材１２で、その流れが規制され、かつ多孔質金属
板１０及びその背後の空気層１３で騒音は、減衰され
る。また多孔質金属板１０は、空気流に接触しても多孔
質金属板１０から微細なダストが飛散することがない。
また、これらの部材により、流路断面積を必要以上狭め
ることがないので、空気抵抗を最小に抑えることができ
る。
空気が吸込まれ、ケーシング５の吹出し口４，４より外
箱１の開口部に設けたフィルター８を通過し、清浄空気
としてクリーンルームに吹出される。この際、送風機３
からの空気流は騒音を伴っているが、迂回部材１１及び
仕切部材１２で、その流れが規制され、かつ多孔質金属
板１０及びその背後の空気層１３で騒音は、減衰され
る。また多孔質金属板１０は、空気流に接触しても多孔
質金属板１０から微細なダストが飛散することがない。
また、これらの部材により、流路断面積を必要以上狭め
ることがないので、空気抵抗を最小に抑えることができ
る。
フロントページの続き (72)発明者 磯野 一智 東京都港区浜松町１−25−７ 株式会社朝 日工業社内 (72)発明者 籠山 宏 千葉県習志野市東習志野６−17−16 株式 会社朝日工業社技術研究所内 (72)発明者 草刈 和彦 東京都新宿区百人町１−15−18 石川島防 音工業株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 下部が開口した外箱の頂部に吸込口を形
成し、その吸込口に位置した外箱内に送風機を設け、外
箱の開口部にフイルターを設けたフィルター付き送風機
ユニットにおいて、上記外箱に、上記送風機の吹出口か
らフィルターに至る空気流を迂回させる迂回部材を設け
ると共にその迂回部材の表面と外箱内面をある間隔をお
いて多孔質金属板で覆ったことを特徴とするフィルター
付き送風機ユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3804892A JPH06117400A (ja) | 1992-02-25 | 1992-02-25 | フィルター付き送風機ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3804892A JPH06117400A (ja) | 1992-02-25 | 1992-02-25 | フィルター付き送風機ユニット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06117400A true JPH06117400A (ja) | 1994-04-26 |
Family
ID=12514642
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3804892A Pending JPH06117400A (ja) | 1992-02-25 | 1992-02-25 | フィルター付き送風機ユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06117400A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014091056A (ja) * | 2012-10-31 | 2014-05-19 | Shimizu Corp | ファンフィルタユニット |
| JP2020038918A (ja) * | 2018-09-05 | 2020-03-12 | 株式会社ロータス・サーマル・ソリューション | ファン付きヒートシンク |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60187798A (ja) * | 1984-03-07 | 1985-09-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 送風機の吹き出し装置 |
| JPS6220621A (ja) * | 1985-07-18 | 1987-01-29 | Yamaha Motor Co Ltd | ２サイクルエンジン |
| JPS6277363A (ja) * | 1985-09-28 | 1987-04-09 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | マレイミド樹脂の製造方法 |
| JPH0370908A (ja) * | 1989-08-11 | 1991-03-26 | Mitsubishi Electric Corp | 燃焼用空気送風機 |
| JPH0374600A (ja) * | 1989-08-11 | 1991-03-29 | Mitsubishi Electric Corp | 送風機 |
-
1992
- 1992-02-25 JP JP3804892A patent/JPH06117400A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60187798A (ja) * | 1984-03-07 | 1985-09-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 送風機の吹き出し装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| WO2020050313A1 (ja) * | 2018-09-05 | 2020-03-12 | 株式会社ロータス・サーマル・ソリューション | ファン付きヒートシンク |
| US11510337B2 (en) | 2018-09-05 | 2022-11-22 | Lotus Thermal Solution Inc. | Fan-equipped heatsink |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19960625 |