JPH06118007A - 円筒体の表面欠陥検査方法およびその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 低光沢な表面をもつ円筒体の極く緩やかな凹
凸等の表面欠陥を自動的に検査する。 【構成】 円筒体１の低光沢な表面２の軸心方向に明部
１１と暗部１２および明部１１と暗部１２との間に明暗
部１３の繰り返しパターンをもつスリット光像１０を形
成し、前記形成されたスリット光像１０の明暗部１３に
おいて表面欠陥による反射光の顕在化を検出する。 【効果】 スリット光像の繰り返しパターンを軸方向に
移動させ、円筒体を回転させることで円筒体の表面全域
の表面欠陥が自動的に検出される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は表面欠陥検査にかかり、
特に静電複写機やレーザープリンタ等の画像出力装置に
おける定着器に用いられるヒートロールのようなロール
状部品の表面欠陥検査方法およびその装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】静電写真方式の複写機やレーザプリンタ
の画像出力装置に用いられる定着装置の多くは、感光体
に形成した静電潜像をトナーで現像した後、この静電潜
像を紙に転写し、トナー像を転写した紙を加熱した２つ
のロール間に通過させることでトナーを溶融して用紙に
像を定着する，所謂ヒートロール方式が採用されてい
る。

【０００３】この種のヒートロールは、ランプ等の熱源
を内蔵したアルミニウム等の素管（円筒基体）の表面
に、接着剤を介してフッ素樹脂やフッ素ゴム等の表面層
を塗布した後、その表面を研磨して平滑な曲面に仕上げ
る工程を経て製造される。この製造工程においては、円
筒体表面の塗布工程における上記表面層の塗布むらや異
物の混入、あるいは定着装置に組みこむ工程での取扱い
時に上記表面に打痕や擦り傷等の欠陥が発生することが
ある。

【０００４】図５はヒートロール等の低光沢な表面をも
つ円筒体の表面欠陥の説明図であって、４０は円筒体、
４１は表面の軸方向に付いた欠陥、４２は表面の周方向
に付いた欠陥をそれぞれ模式的に示したものである。上
記欠陥の大きさは、通常０．１ｍｍ以上数ｍｍ程度の広
がりで、深さは数μｍ程度である。これらの欠陥の中で
表面に凹凸をもたらすものは、トナー像の定着を十分に
行うことができずコピー上に白点等の画質欠陥となる。
また、塗布むらは表面層の耐久性に影響する。そのた
め、ヒートロール等の円筒体全数の表面検査を行ってい
る。

【０００５】「しみ」「むら」等の表面欠陥は色あいの
微妙な変化として、また、「擦り傷」等の欠陥（機械
傷）はヒートロール表面に薄い線として表れるため、念
入りに観察して初めて検出できるものである。表面検査
の方法として従来から検査員による目視検査が行われて
いる（例えば実開昭６３−５４１６６号公報参照）。し
かしながら、目視による検査では、検査品質のばらつき
や、検査工数の増大、検査スペースの増大、目視疲労に
よる作業環境の悪化、作業者確保の困難、作業者教育時
間の増大などの問題があった。目視検査作業の自動化と
しては感光体ドラムを対象としたものを適用するものと
して、下記のようなものが提案されている。

【０００６】図６は従来の感光体ドラム表面の自動検査
装置の第１例の説明図であって、レーザ１１３のスポッ
ト光を偏向器１１４を介して被検査体である感光体ドラ
ム１１１の表面上で線走査し、集光器１１２で検査表面
の欠陥による散乱光を集め、これをオプチカルファイバ
ー束１１５で導き光電子増倍管からなる受光器１１６で
受光し、演算手段１１７で所定の閾値と演算して、演算
結果を表示手段１１８に表示するものである（特開昭６
０−８６４０５号公報）。しかし、この従来例では感光
層での干渉縞が発生して、検査精度を低下させてしまう
という問題がある。

【０００７】図７は従来の円筒体表面の自動検査装置の
第２例の説明図であって、感光体ドラム１４１の表面を
照明装置１４３で照明し、反射光を等倍結像素子１４５
でセンサアレー１４６に結像し、画像処理装置１４７で
処理することによって得た欠陥データを表面手段１４８
に表示するものである（特開平３−５４４３８号公
報）。

【０００８】図８図は従来の円筒体表面の自動検査装置
の第３例の説明図であって、８１ａ，８１ｂはハロゲン
光源、８２ａ，８２ｂはオプチカルファイバー束、８４
はレンズホルダ、８５は縮小光学系を構成するシリンダ
レンズ、８６は円筒体、８８はスリット光装置、８９は
ラインセンサである。同図に示すように、ハロゲン光源
８１ａ，８１ｂの光をオプチカルファイバー束８２ａ，
８２ｂとスリット光装置８８を通したスリット光をシリ
ンダレンズ８５で縮小して円筒体８６の軸方向表面に照
射し、その反射光をラインセンサ８９で受光して表面欠
陥を検出するものである。

【０００９】図９は円筒体表面の自動検査装置の第４例
の説明図であって、１９１は感光体ドラム、１９２は蛍
光灯１９２１とスリット１９２２からなるスリット光
源、１９３はラインセンサからなる受光器、１９４は投
写光像、１９５は投写光像の中心部、１９６は投写光像
の境界部、１９７は画像処理部、１９８は欠陥判定部で
ある。

【００１０】同図に示したように、この装置では光源に
スリット光源１９２を構成する白色散乱光源を用い、被
検査体である感光ドラム１９１の表面上の投写光像１９
４の中心部１９５及び境界部１９６をラインセンサから
なる受光器１９３で受光し受光信号を画像処理部１９７
で処理し、欠陥判定部１９８で欠陥の判定を行うように
したものであって、本発明者等が先に提案したものであ
る（特願平３−２７１４８７号）。

【００１１】なお、図１０は本出願人の他の出願に係る
円筒体の表面欠陥検査装置の概略構成を説明する模式図
であって、９０は円筒体、９１は円筒体の表面、９２は
投光器、９３は投写光像、９４は投写光像領域外の表
面、９５は受光器の視野、９６は欠陥、９７は受光器、
９８は縮小光学系、９９は３軸姿勢調整装置、１００は
欠陥信号抽出部、１０１は欠陥判定処理部である。

【００１２】同図において、投光器９２を構成する光源
として蛍光灯を用い、蛍光灯の前面に当該蛍光灯の長手
方向に沿ってスリットを設置し、円筒体９０の表面９１
に対して、その長軸が上記円筒体９０の軸心方向と直交
する方向に設置し、帯状の投写光像９３を形成する。投
光器９２と受光器９７とは、円筒体９０の軸方向（長手
方向に）沿って同期移動する。

【００１３】円筒体９０の軸方向に沿った走査が完了す
ると、円筒体を一定角度（上記帯状の投写光像の長手方
向幅に相当する角度）だけ回転させる。この円筒体の長
手方向走査と円筒体の回転走査を交互に順次行うことで
円筒体９０の表面９１の全域の走査がなされる。受光器
９７を構成するラインセンサの長手方向を帯状の投写光
像９３の境界部分に合わせ、境界線付近（境界部分近
傍）の反射光を縮小光学系９８を通して受光する。

【００１４】ラインセンサの受光視野９５は３軸姿勢調
整装置９９により上記境界部分に一致するように設定す
る。投写光像９３の境界部分が表面にへこみやふくらみ
欠陥９６の近傍を走査したとき、当該投写光像９６の境
界線部（端縁部）が乱れ、受光視野９５で散乱光が受光
される。ラインセンサはこの境界部分近傍の反射光を光
電変換し、その出力信号を欠陥信号抽出回路１００に与
えて欠陥信号を抽出し、欠陥判定処理部１０１で欠陥良
否と欠陥種類判定装置の判定が行われる。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら前記した
図６〜図８の従来技術の中で、レーザー光を用いるもの
では暗室条件が必要になり装置が大型化し、また検査対
象であるヒートロールの表面は比較的粗面（低光沢表
面）であることによりレーザースポット光が散乱し正常
面と欠陥部分の区別が困難である。また、等倍結像素子
を用いるため検査ドラム幅以上のセンサアレイや結像素
子が必要となり装置が大型化するという問題があり、ハ
ロゲン光源８１ａ，８１ｂとオプチカルファイバー束８
２ａ，９２ｂとによるハロゲンスリット光を用いたもの
では、微妙な色むら等を検出できないという問題があ
る。

【００１６】そして、図９で説明した自動検査装置は、
本発明者等の実験の結果、ロール表面１９１のスリット
光の正反射光を受光する位置１９５により異物や打痕、
擦り傷を、拡散光を受光する位置１９６により色むら等
の主な欠陥の種類を検出できることが分かった。また、
円筒体表面の凹凸に対しては、正反射受光の境界部分で
散乱光を受光する位置１９６により検出でき、「へこ
み」や「擦り傷」等筋状の欠陥の中で軸方向の欠陥４１
（図５参照）は検出できるが、円周方向に連続する筋状
の「へこみ」や擦り傷４２に対しては、図１１に示した
模式図にように、スリット６２が円筒体６０の軸方向す
なわち上記筋状欠陥４１の方向と直交していることで、
当該スリット光６３が表面の傾きに対し広い角度で照射
されるために影の部分が無くなり、上記円周方向に連続
する筋状の「へこみ」や擦り傷４２が検出できないとい
う問題がある。

【００１７】これに対して、図１０で説明した円筒体９
０の軸方向表面９１に対して直交方向（円周方向）に配
置した光源９２からスリット光を投写して、円筒体の軸
方向に明部（投写光像９３）と暗部（投写光像領域外の
表面９４）を１組だけ形成して境界部分９５での反射光
を検出する方法では、円筒体の円周方向のへこみ欠陥９
６は検出可能である。この検出対象は鏡面であるＯＰＣ
感光体ドラム表面で、本発明が対象とする低光沢な表面
では明部と暗部の境界部分９５が広い範囲となるのに対
し明部と暗部も明確となる。このため、この装置では、
円筒体軸方向と直交する方向にスリット光を投写する投
光器９２を配置し、同じく円筒体軸方向と直交する方向
に受光する受光器９７を配置し、この投光器９２と受光
器９７とを同期して移動させて感光体ドラム全面を走査
する構成であるため、装置が大がかりになり、検査に時
間がかかるという問題がある。

【００１８】本発明の目的は、上記従来技術の問題点を
解消し、アルミニウム等の金属素管（円筒基体）の表面
に、接着剤を介してフッ素樹脂やフッ素ゴム等の表面層
を塗布した後、その表面を研磨して平滑な曲面としたヒ
ートローラ、あるいはプレッシャローラ等の低光沢な表
面をもつ円筒体の表面上に発生する欠陥の中で、特に円
周方向の緩やかな「へこみ」や「ふくらみ」欠陥を検出
することのできる表面欠陥検査方法およびその装置を提
供することにある。

【００１９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、低光沢な表面２をもつ円筒体１の前記表
面に、前記円筒体１の軸方向１５に沿って明部１１と暗
部１２の繰り返しパターンをもつスリット光像１０を形
成し、前記低光沢な表面２に存在する表面欠陥５による
前記スリット光像１０の明部１１と暗部１２との中間に
ある明暗部１３領域の反射光レベルの変化により前記表
面欠陥を検知する方法としたことを特徴とする。

【００２０】また、本発明は、低光沢な表面２をもつ円
筒体１の前記表面に光を照射し、その反射光を受光して
表面欠陥を検査する装置において、前記円筒体１の低光
沢な表面２に対して、前記円筒体１の軸方向１５に沿っ
て明部１１と暗部１２の繰り返しパターンのスリット光
像１０を形成する遮光板８をもつスリット光光源３と、
前記円筒体１の低光沢な表面２に形成されたスリット光
像１０を前記円筒体１の軸１５方向に沿って走査するラ
インセンサ６と、前記スリット光像１０の明部１１と暗
部１２の繰り返しパターンを前記円筒体１の軸方向１５
に移動させる遮光板移動機構９とを備え、前記低光沢な
表面２に存在する表面欠陥５による前記スリット光像１
０の明部１１と暗部１２の中間の明暗部１３の反射光レ
ベルの変化により前記円筒体１の軸方向１５に沿って前
記表面欠陥５を検知する構成としたことを特徴とする。

【００２１】さらに、本発明は、低光沢な表面２をもつ
円筒体１の前記表面に光を照射し、その反射光を受光し
て表面欠陥を検査する装置において、前記円筒体１の低
光沢な表面２に対して、前記円筒体１の軸方向１５に沿
って明部１１と暗部１２の繰り返しパターンをもつスリ
ット光像１０を形成する遮光板８をもつスリット光光源
３と、前記円筒体１の低光沢な表面２に形成されたスリ
ット光像１０を前記円筒体１の軸１５方向に沿って走査
するラインセンサ６と、前記円筒体１をその軸回りに回
転させる円筒体回転機構１８と、前記スリット光像１０
の明部１１と暗部１２の繰り返しパターンを前記円筒体
１の１回転ごとに前記円筒体１の軸方向１５に沿って移
動させる遮光板移動機構９とを備え、前記低光沢な表面
２に存在する表面欠陥５による前記スリット光像１０の
明部１１と暗部１２の中間の明暗部１３の反射光レベル
の変化により前記円筒体１の全面に渡って表面欠陥５を
検知する構成としたことを特徴とする。

【００２２】なお、前記スリット光光源３は蛍光灯等の
線光源の前面に開口部７を持つ格子状の遮光板８を有
し、円筒体１の軸方向１５に対して明部１１と暗部１２
の繰り返しパターンとなるスリット光４を形成する。ラ
インセンサ６は円筒体１上に投写されたスリット光像１
０を軸方向１５に走査し、特に明部１１と暗部１２の中
間の明暗部１３を検査範囲とし、遮光板８をロールの回
転毎に遮光位置をスリット光光源３の長手方向１４に移
動する遮光板移動機構９を有する。

【００２３】

【作用】図１に示したように、スリット光光源３からの
スリット光４は、遮光板８により格子状のスリット光像
１０となり、円筒体１の表面２の円筒体軸１５方向に明
部１１と明暗部１３と暗部１２の繰り返しパターンの照
度分布となるように照射する。円筒体１を回転させ、円
周方向の穏やかなへこみや擦り傷等の表面欠陥がスリッ
ト光の明暗部の位置となった時に、図１２に示したよう
に、遮光板の開口部７からのスリット光４は表面欠陥５
の部分で影もしくは散乱部分６１となる。これをスリッ
ト光像１０の中心線部分１７に沿って円筒体１の軸方向
１５に走査するラインセンサ６により検出する。

【００２４】円筒体１の１回転の後にスリット光移動機
構９によりスリットを水平方向（スリット光光源３の長
手方向１４）に移動して、円筒体１の非鏡面２上のスリ
ット光像１０の明暗部を移動させて、順次これを繰り返
すことで円筒体１の全面が検査される。

【００２５】

【実施例】以下、本発明の実施例につき、図面を参照し
て詳細に説明する。図１は本発明による円筒体の表面欠
陥検査方法を適用する装置構成の１実施例を説明する模
式図であって、１は被検査対象である円筒体、２は円筒
体の低光沢な表面、３はスリット光光源、４はスリット
光、５は表面欠陥、６はラインセンサ、７は遮光板の開
口部、８は遮光板、９は遮光板移動機構、１０はスリッ
ト光像、１１はスリット光像の明部、１２は同暗部、１
３はスリット光像の明部と暗部との間にある明暗部、１
４はスリット光水平移動方向、１５は円筒体軸方向、１
６は遮光部、１７はスリット光の中心線部分、１８は円
筒体回転機構である。

【００２６】同図において、スリット光光源３は線状光
源の前面に格子状の遮光板８を設置してなり、この遮光
板８を通した明暗の繰り返しスリット光４を円筒体１の
検査表面（低光沢な表面２）に照射してスリット光像１
０を形成する。このスリット光光源は、拡散光源として
拡散面の照度が高く光量分布の均一なことから白色蛍光
灯を用いるのを好適とする。本発明者等の実験によれ
ば、スリット光光源３から円筒体１の表面２までの距離
を約１００ｍｍ、スリット光光源３の円筒体の円周方向
の幅を約３０ｍｍとして、直径１７ｍｍφの円筒体表面
でその円周方向に幅約１．５ｍｍのスリット光像１０を
得ている。

【００２７】スリット光光源３の前面に格子状の遮光板
８を設置して、暗部１２，明暗部１３，明部１１，明暗
部１３，暗部１２・・の繰り返しパターンを形成する。
円筒体１の表面２はある程度の粗面（低光沢な表面）で
あり、明部１１と暗部１２の境界部分がＯＰＣ感光体ド
ラムに比べて明確でなく、明暗部１３の領域が広くな
る。本発明者等の実験によれば、円筒体の円周方向のへ
こみ欠陥は、この明暗部１３の領域内であれば黒い影が
できるか、あるいは明るく散乱して顕在化する。これ
は、明暗部１３における欠陥部分に対する光の照射が、
遮光板８の開口部７２（図１２）からの照射光４が一方
向からの角度からの照射光であるためである。

【００２８】明暗部１３はスリット光４の繰り返しパタ
ーンにより複数箇所形成されるので、ラインセンサ６を
円筒体１の軸方向１５に走査することが可能で、前記図
１０で説明した方法に比べ高速検査が可能となる。遮光
板８の開口部７及び遮光部１６の設定は、円筒体１の円
周方向のへこみの検出時間の重要な要因となる。開口部
７と遮光部１６の幅と比率により、欠陥検出が可能とな
る明暗部１３の幅が決まる。この明暗部１３の幅により
遮光板８を切り換える回数と円筒体１を回転して全面を
検査する時間が決まる。

【００２９】実験によれば、最も明暗部の幅が大きくな
り、円周方向のへこみを感度よく検出できるものとし
て、開口部１６の幅を１０ｍｍ、遮光部の幅を３０ｍｍ
とする組み合わせにより、例えば幅が０．４ｍｍ、円周
方向の長さ２ｍｍ、深さ数μｍの円周方向のへこみを検
出した。円筒体１の表面２上に形成されたの暗部１２，
明暗部１３，明部１１，明暗部１３，・・の幅の比率は
１：１：１：１となり、ロールの１回転目でラインセン
サ６は明暗部１３を検出領域として円筒体１の表面全周
の検査を行い、次ぎに遮光板８の位置を遮光板駆動機構
９により移動してロールの２回転目を行って全面の円筒
体１の表面２の全周検査が完了する。

【００３０】図２は本発明による円筒体の表面欠陥検査
方法を適用する装置構成の１実施例における動作説明図
であって、（ａ）は１回転目、（ｂ）は２回転目のスリ
ット光像１０の位置を示し、１１ａ，１１ｂ、１２ａ，
１２ｂ、１３ａ，１３ｂはそれぞれ円筒体１の１回転
目、２回転目の明部、暗部、明暗部を示す。同図におい
て、１回目のドラム回転による走査に続いて遮光板８を
移動したことにより、１回転目のロール面上の明暗部１
３ａの分布が２回転目の明暗部１３ｂに移動しているこ
とを示す図１の要部模式図である。

【００３１】前記した遮光板８の開口部７と遮光部１６
の幅においては、開口部７の間隔の４分の１の距離だけ
遮光板８をスリット光水平移動方向に平行移動させれば
よい。図３はラインセンサから出力される検査信号の説
明図であって、横軸はラインセンサのセンサ画素位置、
縦軸はセンサ信号レベルを示し、３１はラインセンサか
らの検査出力、３２はハイレベル領域、３３はローレベ
ル領域、３４ａ，３４ｂは信号分布領域である。

【００３２】同図において、検査領域は明暗部１３ａ，
１３ｂであるため、ラインセンサ６（図１）のセンサ信
号３１は図示したように、明部１１がハイレベル領域３
２、暗部１２がローレベル領域３３にあるのに対して、
明暗部１３は片上がりの不均一な信号分布領域３４ａ，
３４ｂとなる。これに対しては、センサ信号分布領域３
４ａ，３４ｂに応じて、正方向の閾値３６と負方向の閾
値３７を設定して欠陥信号３５を抽出する。

【００３３】（ａ）に示した円筒体１の１回転目では明
暗部１３のセンサ信号分布領域３４ａを検査領域とし、
（ｂ）に示した円筒体１の２回転目では遮光板８の移動
により平行移動した明暗部１３ｂに応じて信号分布領域
３４ｂを検査領域として全面の検査が達成される。閾値
３６，３７のセンサ信号３１に対する高さは、限度見本
の表面欠陥を測定して実験的に決定すればよい。

【００３４】図４は本発明による円筒体の表面欠陥検査
方法を適用する装置構成の応用例を説明する模式図であ
って、４’はスリット、５’は表面欠陥、８’は遮光
板、１０’はスリット光像、図１と同一符号は同一部分
に対応し、前記実施例で説明した円筒体の円周方向の欠
陥以外の欠陥検出を行う方法を示す。すなわち、表面検
査対象である円筒体１の低光沢な表面の軸方向に存在す
る表面欠陥５’は、図１における遮光板８に替えて軸方
向に一様なスリット４’をもつ遮光板８’を設け、円筒
体１の軸方向と平行なスリット光像１０’を当該表面２
に形成し、その反射光のレベル変化をラインセンサ６で
検出するものである。

【００３５】なお、上記実施例においては、スリット光
光源として開口部７をもつ遮光板８を機械的に移動する
ものを例として説明したが、これに限らず例えばスリッ
ト光源の全面に液晶シャッターアレイ等の電気的遮光手
段を設けることにより開口部と遮光部を形成してもよ
い。これにより任意の遮光パターンを形成することがで
き、欠陥の種類に対する開口部、遮光部のパラメータ変
更への対応や、検査時における遮光位置切り換えの時間
を大幅に短縮することが可能となる。

【００３６】また、上記説明では、表面欠陥を検出する
被検査対象として複写機やプリンタを構成するヒートロ
ールを例として説明したが、これに限るものでなく、ヒ
ートロールと対にして定着装置として用いられるプレッ
シャーロール、接触式帯電ロール、その他パイプ状基体
やシャフト状基体の表面に樹脂やゴム材料を塗布して製
造されるロール類の円周方向のへこみ欠陥の検出にも有
効である。

【００３７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
低光沢な表面をもつ円筒体等の軸方向に明部と暗部を交
互にもつスリット光を投光することで、軸方向から照射
される光の方向が一方向に限られる明暗部ができ、明暗
部で円筒体表面上の円周方向のへこみ欠陥が影の部分叉
は明るく散乱する部分となり、この散乱光を検出して当
該欠陥を検出できる。

【００３８】明部と暗部の繰り返しパターンのスリット
光像により当該円筒体の軸方向表面の複数箇所に明暗部
ができるため、ラインセンサの走査方向を軸方向として
円筒体全面の検査を高速に行うことが可能となる。本発
明は、従来の円筒体軸方向にスリット光を投写するスリ
ット光源装置に遮光板を付設するだけで特に円周方向の
穏やかな「へこみ」や「ふくらみ」欠陥を検出すること
のできる表面欠陥検査方法およびその装置を提供するこ
とができ、自動化装置として構成することが容易であ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明による円筒体の表面欠陥検査方法を適
用する装置構成の１実施例を説明する模式図である。

【図２】 本発明による円筒体の表面欠陥検査方法を適
用する装置構成の１実施例における動作説明図である。

【図３】 ラインセンサから出力される検査信号の説明
図である。

【図４】 本発明による円筒体の表面欠陥検査方法を適
用する装置構成の応用例を説明する模式図である。

【図５】 ヒートロール等の低光沢な表面をもつ円筒体
の表面欠陥の説明図である。

【図６】 従来の感光体ドラム表面の自動検査装置の第
１例の説明図である。

【図７】 従来の円筒体表面の自動検査装置の第２例の
説明図である。

【図８】 従来の円筒体表面の自動検査装置の第３例の
説明図である。

【図９】 円筒体表面の自動検査装置の第４例の説明図
である。

【図１０】 本出願人の他の出願に係る円筒体の表面欠
陥検査装置の概略構成を説明する模式図である。

【図１１】 円周方向に連続する筋状の「へこみ」や擦
り傷の欠陥検出の問題点の説明図である。

【図１２】 円周方向の緩やかなへこみや擦り傷等の表
面欠陥がスリット光の明暗部の位置となった時に生じる
影もしくは散乱部分の説明図である。

【符号の説明】

１・・・・被検査対象である円筒体、２・・・・円筒体
の低光沢な表面、３・・・・スリット光光源、４・・・
・スリット光、５・・・・表面欠陥、６・・・・ライン
センサ、７・・・・遮光板の開口部、８・・・・遮光
板、９・・・・遮光板移動機構、１０・・・・スリット
光像、１１・・・・スリット光像の明部、１２・・・・
同暗部、１３・・・・スリット光像の明部と暗部との間
にある明暗部、１４・・・・スリット光水平移動方向、
１５・・・・円筒体軸方向、１６・・・・遮光部、１７
・・・・スリット光の中心線部分、１８・・・・円筒体
回転機構。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 低光沢な表面をもつ円筒体の前記表面
   に、前記円筒体の軸方向に沿って明部と暗部の繰り返し
   パターンをもつスリット光像を形成し、前記低光沢な表
   面に存在する表面欠陥による前記スリット光像の明部と
   暗部との中間にある明暗部領域の反射光レベルの変化に
   より前記表面欠陥を検知する方法としたことを特徴とす
   る円筒体の表面欠陥検査方法。
2. 【請求項２】 低光沢な表面をもつ円筒体の前記表面に
   光を照射し、その反射光を受光して表面欠陥を検査する
   円筒体の表面欠陥検査装置において、 前記円筒体の低光沢な表面に対して、前記円筒体の軸方
   向に沿って明部と暗部の繰り返しパターンのスリット光
   像を形成する遮光板をもつスリット光光源と、 前記円筒体の低光沢な表面に形成されたスリット光像を
   前記円筒体の軸方向に沿って走査するラインセンサと、 前記スリット光像の明部と暗部の繰り返しパターンを前
   記円筒体の軸方向に移動させる遮光板移動機構とを備
   え、 前記低光沢な表面に存在する表面欠陥による前記スリッ
   ト光像の明部と暗部の中間の明暗部の反射光レベルの変
   化により前記円筒体の軸方向に沿って前記表面欠陥を検
   知する構成としたことを特徴とする円筒体の表面欠陥検
   査装置。
3. 【請求項３】 低光沢な表面をもつ円筒体の前記表面に
   光を照射し、その反射光を受光して表面欠陥を検査する
   円筒体の表面欠陥検査装置において、 前記円筒体の低光沢な表面に対して、前記円筒体の軸方
   向に沿って明部と暗部の繰り返しパターンのスリット光
   像を形成する遮光板をもつスリット光光源と、 前記円筒体の低光沢な表面に形成されたスリット光像を
   前記円筒体の軸方向に沿って走査するラインセンサと、 前記円筒体をその軸回りに回転させる円筒体回転機構
   と、 前記スリット光像の明部と暗部の繰り返しパターンを前
   記円筒体の１回転ごとに前記円筒体の軸方向に沿って移
   動させる遮光板移動機構とを備え、 前記低光沢な表面に存在する表面欠陥による前記スリッ
   ト光像の明部と暗部の中間の明暗部の反射光レベルの変
   化により前記円筒体の全面に渡って前記表面欠陥を検知
   する構成としたことを特徴とする円筒体の表面欠陥検査
   装置。