JPH0518728A - 表面検査装置 - Google Patents
表面検査装置Info
- Publication number
- JPH0518728A JPH0518728A JP19837091A JP19837091A JPH0518728A JP H0518728 A JPH0518728 A JP H0518728A JP 19837091 A JP19837091 A JP 19837091A JP 19837091 A JP19837091 A JP 19837091A JP H0518728 A JPH0518728 A JP H0518728A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- inspected
- image pickup
- image
- inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 被検査体の表面に一定のパターンを投影し、
パターンの歪みを検出する。 【構成】 感光体シームレスベルトなどの被検査体１は
円筒体２,３により支持され、かつ円筒体３は駆動装置
４および動力を伝えるベルト５により回転駆動し、被検
査体１を駆動する。被検査体１の表面の撮像領域は、光
源６と投光レンズ７と拡散板８とよりなる照明装置９で
均一照明され、撮像レンズ１０およびＣＣＤなどの撮像
デバイス１１により撮像される。被検査体の表面の撮像
領域に一定のパターンを投影するために、光源１２とパ
ターンを記録したスライド１３とプロジェクタレンズ１
４とから構成される投影装置１５を備えている。投影装
置により格子パターンの輝度分布を被検査体の表面に投
影し、そのパターンの変形から被検査体の表面の変形を
検出することができる。
パターンの歪みを検出する。 【構成】 感光体シームレスベルトなどの被検査体１は
円筒体２,３により支持され、かつ円筒体３は駆動装置
４および動力を伝えるベルト５により回転駆動し、被検
査体１を駆動する。被検査体１の表面の撮像領域は、光
源６と投光レンズ７と拡散板８とよりなる照明装置９で
均一照明され、撮像レンズ１０およびＣＣＤなどの撮像
デバイス１１により撮像される。被検査体の表面の撮像
領域に一定のパターンを投影するために、光源１２とパ
ターンを記録したスライド１３とプロジェクタレンズ１
４とから構成される投影装置１５を備えている。投影装
置により格子パターンの輝度分布を被検査体の表面に投
影し、そのパターンの変形から被検査体の表面の変形を
検出することができる。
Description
【０００１】
【技術分野】本発明は、表面検査装置に関し、より詳細
には、電子写真方式を利用した複写機やプリンタなどの
感光体の表面検査装置に関する。例えば、シームレスベ
ルト感光体の表面検査装置に適用されるものである。
には、電子写真方式を利用した複写機やプリンタなどの
感光体の表面検査装置に関する。例えば、シームレスベ
ルト感光体の表面検査装置に適用されるものである。
【０００２】
【従来技術】従来一般に使用されている静電式複写機に
おいては、複写機体の略中央部において、円筒状の外周
面に感光層が被覆されている感光ドラムが回転自在に装
着されている。この感光ドラムは、その周面に被覆され
た感光層の表面にキズがあると感光層に潜像を形成し難
くなったり、またはトナーが円滑に複写紙に付着しなく
なったりして画像形成に支障をきたすことになる。そこ
で製造された感光ドラムを複写機体内にセットするに際
して、感光ドラムを検査して不良品を取り除く必要性が
ある。
おいては、複写機体の略中央部において、円筒状の外周
面に感光層が被覆されている感光ドラムが回転自在に装
着されている。この感光ドラムは、その周面に被覆され
た感光層の表面にキズがあると感光層に潜像を形成し難
くなったり、またはトナーが円滑に複写紙に付着しなく
なったりして画像形成に支障をきたすことになる。そこ
で製造された感光ドラムを複写機体内にセットするに際
して、感光ドラムを検査して不良品を取り除く必要性が
ある。
【０００３】複写機の感光ドラムの表面検査に関して
は、例えば、特開昭６２−５２４０８号公報に「複写機
用感光ドラムの検査方法および装置」が提案されてい
る。この公報のものは、潜像が形成される複写機の感光
ドラムの外周面に被覆されている感光層に、オプティカ
ルフラットを感光層との間に多少の間隙を存して対向さ
せ、つぎにオプティカルフラットに光を照射して、オプ
ティカルフラットに生ずる干渉縞を目視することによ
り、感光ドラムの不良品を検査するものである。すなわ
ち、オプティカルフラットを用いて、感光体ドラムとの
干渉縞を観察し、表面検査を行うものである。
は、例えば、特開昭６２−５２４０８号公報に「複写機
用感光ドラムの検査方法および装置」が提案されてい
る。この公報のものは、潜像が形成される複写機の感光
ドラムの外周面に被覆されている感光層に、オプティカ
ルフラットを感光層との間に多少の間隙を存して対向さ
せ、つぎにオプティカルフラットに光を照射して、オプ
ティカルフラットに生ずる干渉縞を目視することによ
り、感光ドラムの不良品を検査するものである。すなわ
ち、オプティカルフラットを用いて、感光体ドラムとの
干渉縞を観察し、表面検査を行うものである。
【０００４】また、特開平１−２１８８３号公報に提案
されている「表面像検査装置」は、レーザー光を被検査
体表面に線状に走査するように照射し、その反射光ある
いは透過光の変化を検出して被検査体の表面傷を検査す
るものである。すなわち、レーザー照射による円柱体側
面の表面傷検査において、被検査体の表面の状態を散乱
光あるいは反射光の強度変化を検出するものである。ま
た、特開平１−２８４７４２号公報に提案されている
「表面欠陥検査装置」は、投光ファイバと受光ファイバ
とを一体的に備えた反射型光ファイバセンサを用いて、
被検査物の表面に形成されている欠陥部を光学的に検出
するものである。すなわち、投光ファイバと受光ファイ
バを一体とし、反射光の強度変化から凹凸などの表面欠
陥を検出するものである。
されている「表面像検査装置」は、レーザー光を被検査
体表面に線状に走査するように照射し、その反射光ある
いは透過光の変化を検出して被検査体の表面傷を検査す
るものである。すなわち、レーザー照射による円柱体側
面の表面傷検査において、被検査体の表面の状態を散乱
光あるいは反射光の強度変化を検出するものである。ま
た、特開平１−２８４７４２号公報に提案されている
「表面欠陥検査装置」は、投光ファイバと受光ファイバ
とを一体的に備えた反射型光ファイバセンサを用いて、
被検査物の表面に形成されている欠陥部を光学的に検出
するものである。すなわち、投光ファイバと受光ファイ
バを一体とし、反射光の強度変化から凹凸などの表面欠
陥を検出するものである。
【０００５】電子写真複写機や電子写真の原理を用いた
プリンタなどに用いられる感光体は、その表面にキズや
塗工ムラなどの欠陥があると、画像品質を低下させる。
したがって、複写機などに組み込む前に、感光体の表面
の欠陥検査を行う必要がある。現在、感光体の表面の欠
陥検査は、感光体の表面を目視により検査している場合
がほとんどであるが、感光体ドラムなどでは、検査を自
動化するために、ドラムを回転駆動させ、１次元センサ
アレイで撮像し、撮像したドラム表面の画像を処理する
ことにより欠陥検出する方法などが提案されている。
プリンタなどに用いられる感光体は、その表面にキズや
塗工ムラなどの欠陥があると、画像品質を低下させる。
したがって、複写機などに組み込む前に、感光体の表面
の欠陥検査を行う必要がある。現在、感光体の表面の欠
陥検査は、感光体の表面を目視により検査している場合
がほとんどであるが、感光体ドラムなどでは、検査を自
動化するために、ドラムを回転駆動させ、１次元センサ
アレイで撮像し、撮像したドラム表面の画像を処理する
ことにより欠陥検出する方法などが提案されている。
【０００６】最近、アルミドラムを基体とする感光体ド
ラムと共に、ニッケルベルトなどを基体とする感光体の
生産が盛んになってきている。これにともなって、感光
体ドラムでは発生しなかった基体の変形による欠陥が発
生している。このような欠陥は表面を撮像した画像上で
は、明確な輝度変化として観察することのできない場合
があり、輝度変化のみに頼った画像処理では検出するこ
とが困難である。
ラムと共に、ニッケルベルトなどを基体とする感光体の
生産が盛んになってきている。これにともなって、感光
体ドラムでは発生しなかった基体の変形による欠陥が発
生している。このような欠陥は表面を撮像した画像上で
は、明確な輝度変化として観察することのできない場合
があり、輝度変化のみに頼った画像処理では検出するこ
とが困難である。
【０００７】
【目的】本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされた
もので、基体の変形による欠陥を検出するために、被検
査体の表面に一定のパターンを投影し、基体の変形した
部分でのパターンの歪みを検出する表面検査装置を提供
することを目的としてなされたものである。
もので、基体の変形による欠陥を検出するために、被検
査体の表面に一定のパターンを投影し、基体の変形した
部分でのパターンの歪みを検出する表面検査装置を提供
することを目的としてなされたものである。
【０００８】
【構成】本発明は、上記目的を達成するために、（１）
被検査体であるベルト状物体を支持する支持手段と、該
支持手段を回転駆動する駆動手段と、該駆動手段により
駆動される被検査体の表面を照明する照明手段と、前記
被検査体の表面の撮像領域に一定のパターンを投影する
投影手段と、前記照明手段により照明された前記被検査
体の表面の撮像領域と、該撮像領域に投影されたパター
ンとを撮像する撮像手段と、該撮像手段により得られた
撮像画像を処理して前記被検査体の表面の欠陥を検出す
る画像処理手段とから成ること、更には、（２）前記投
影手段により投影されるパターンが格子パターンである
こと、更には、（３）前記投影手段により投影されるパ
ターンが赤外線による投影であること、或いは、（４）
被検査体であるベルト状物体を支持する支持手段と、該
支持手段を回転駆動する駆動手段と、該駆動手段により
駆動される被検査体の表面を照明する照明手段と、前記
被検査体の表面の撮像領域に一定のパターンを投影する
投影手段と、前記照明手段により照明された前記被検査
体の表面の撮像領域と、該撮像領域に投影されたパター
ンとを撮像する撮像手段と、該撮像手段により得られた
撮像画像を処理して前記被検査体の表面の欠陥を検出す
る画像処理手段とから成り、前記撮像手段が、可視光の
みを撮像する撮像手段と、赤外線のみを撮像する撮像手
段とを備えたことを特徴としたものである。以下、本発
明の実施例に基づいて説明する。
被検査体であるベルト状物体を支持する支持手段と、該
支持手段を回転駆動する駆動手段と、該駆動手段により
駆動される被検査体の表面を照明する照明手段と、前記
被検査体の表面の撮像領域に一定のパターンを投影する
投影手段と、前記照明手段により照明された前記被検査
体の表面の撮像領域と、該撮像領域に投影されたパター
ンとを撮像する撮像手段と、該撮像手段により得られた
撮像画像を処理して前記被検査体の表面の欠陥を検出す
る画像処理手段とから成ること、更には、（２）前記投
影手段により投影されるパターンが格子パターンである
こと、更には、（３）前記投影手段により投影されるパ
ターンが赤外線による投影であること、或いは、（４）
被検査体であるベルト状物体を支持する支持手段と、該
支持手段を回転駆動する駆動手段と、該駆動手段により
駆動される被検査体の表面を照明する照明手段と、前記
被検査体の表面の撮像領域に一定のパターンを投影する
投影手段と、前記照明手段により照明された前記被検査
体の表面の撮像領域と、該撮像領域に投影されたパター
ンとを撮像する撮像手段と、該撮像手段により得られた
撮像画像を処理して前記被検査体の表面の欠陥を検出す
る画像処理手段とから成り、前記撮像手段が、可視光の
みを撮像する撮像手段と、赤外線のみを撮像する撮像手
段とを備えたことを特徴としたものである。以下、本発
明の実施例に基づいて説明する。
【０００９】図１は、本発明による表面検査装置の一実
施例（請求項１）を説明するための構成図で、図中、１
は感光体シームレスベルト（被検査体）、２,３は円筒
体、４は駆動装置、５は伝動ベルト、６は光源、７は投
光レンズ、８は拡散板、９は照明装置、１０は撮像レン
ズ、１１は撮像デバイス、１２は光源、１３はスライ
ド、１４はプロジェクタレンズ、１５は投影装置であ
る。
施例（請求項１）を説明するための構成図で、図中、１
は感光体シームレスベルト（被検査体）、２,３は円筒
体、４は駆動装置、５は伝動ベルト、６は光源、７は投
光レンズ、８は拡散板、９は照明装置、１０は撮像レン
ズ、１１は撮像デバイス、１２は光源、１３はスライ
ド、１４はプロジェクタレンズ、１５は投影装置であ
る。
【００１０】感光体シームレスベルトなどの被検査体１
は円筒体２,３により支持され、かつ円筒体３は駆動装
置４および動力を伝えるベルト５により回転駆動し、被
検査体１を駆動する。被検査体の表面の撮像領域は、光
源６，投光レンズ７，拡散板８よりなる照明装置９で均
一照明され、撮像レンズ１０およびＣＣＤ（電荷結合素
子）などの撮像デバイス１１により撮像される。撮像し
た画像データは画像処理装置などで欠陥検出処理を行
う。また、被検査体１の表面の撮像領域に一定のパター
ンを投影するために、光源１２とパターンを記録したス
ライド１３およびプロジェクタレンズ１４から構成され
る投影装置１５を備えている。従来通りの検査を行う場
合には、パターンを投影せずに被検査体１の表面を撮像
すればよい。一方、従来の方式では検出の困難な被検査
体の表面の変形を検出する場合は、投影装置１５によ
り、例えば、格子パターンの輝度分布を被検査体１の表
面に投影し、そのパターンの変形から被検査体１の表面
の変形を検出することができる（請求項２）。
は円筒体２,３により支持され、かつ円筒体３は駆動装
置４および動力を伝えるベルト５により回転駆動し、被
検査体１を駆動する。被検査体の表面の撮像領域は、光
源６，投光レンズ７，拡散板８よりなる照明装置９で均
一照明され、撮像レンズ１０およびＣＣＤ（電荷結合素
子）などの撮像デバイス１１により撮像される。撮像し
た画像データは画像処理装置などで欠陥検出処理を行
う。また、被検査体１の表面の撮像領域に一定のパター
ンを投影するために、光源１２とパターンを記録したス
ライド１３およびプロジェクタレンズ１４から構成され
る投影装置１５を備えている。従来通りの検査を行う場
合には、パターンを投影せずに被検査体１の表面を撮像
すればよい。一方、従来の方式では検出の困難な被検査
体の表面の変形を検出する場合は、投影装置１５によ
り、例えば、格子パターンの輝度分布を被検査体１の表
面に投影し、そのパターンの変形から被検査体１の表面
の変形を検出することができる（請求項２）。
【００１１】図２（ａ）,（ｂ）は、格子パターンと撮
像画像を示す図で、図（ａ）は投影する格子パターン
で、図（ｂ）は撮像画像を各々示している。被検査体の
表面に変形がない場合に被検査体の表面を撮像すれば、
図（ａ）と同じパターンが得られるが、被検査体の表面
に変形がある場合には、図（ｂ）に示すように、撮像領
域の点線で示した位置Ａに歪みのあるパターンが見られ
る。このパターンの歪みを検出することで、被検査体の
表面の変形欠陥を容易に検出することができる。
像画像を示す図で、図（ａ）は投影する格子パターン
で、図（ｂ）は撮像画像を各々示している。被検査体の
表面に変形がない場合に被検査体の表面を撮像すれば、
図（ａ）と同じパターンが得られるが、被検査体の表面
に変形がある場合には、図（ｂ）に示すように、撮像領
域の点線で示した位置Ａに歪みのあるパターンが見られ
る。このパターンの歪みを検出することで、被検査体の
表面の変形欠陥を容易に検出することができる。
【００１２】図３は、被検査体の表面の変形欠陥を検出
するための処理を説明するフローチャートである。以
下、各ステップに従って順に説明する。step１ : まず、照明装置により被検査体の表面の撮像領
域を均一照明し、該撮像領域からの画像を撮像デバイス
を介して入力する。step２ : 次に、投影装置により、一定のパターンを撮像
領域に投影し、前記step１で入力された画像とのパター
ンマッチングを行う。step３ : 変形欠陥の有無を調べる。step４ : 前記step３において、変形欠陥があればリジェ
クトして終了する。step５ : 前記step３において、変形欠陥がなければ被検
査体であるベルトを駆動する。step６ : 被検査体であるベルトが一周したかどうかを調
べる。一周したならは終了し、一周していなければ前記
step１に戻る。
するための処理を説明するフローチャートである。以
下、各ステップに従って順に説明する。step１ : まず、照明装置により被検査体の表面の撮像領
域を均一照明し、該撮像領域からの画像を撮像デバイス
を介して入力する。step２ : 次に、投影装置により、一定のパターンを撮像
領域に投影し、前記step１で入力された画像とのパター
ンマッチングを行う。step３ : 変形欠陥の有無を調べる。step４ : 前記step３において、変形欠陥があればリジェ
クトして終了する。step５ : 前記step３において、変形欠陥がなければ被検
査体であるベルトを駆動する。step６ : 被検査体であるベルトが一周したかどうかを調
べる。一周したならは終了し、一周していなければ前記
step１に戻る。
【００１３】被検査体の表面の変形欠陥を検出するパタ
ーンとしては、格子パターンが最も有効であるが、格子
間の距離は、被検査体の表面に発生する欠陥の大きさに
より最適の距離を設定すれば、さらに精度の良い欠陥検
出が可能となる。また、図１における投影装置の光源と
して赤外線を発する光源を使用することにより、赤外線
によるパターン投影を簡単に実現できる（請求項３）。
光源としては、ＬＥＤ（発光ダイオード）やＬＤ（レー
ザーダイオード）などが考えられる。赤外線によるパタ
ーン投影を実行することにより、フィルタなどで簡単に
可視光と分離することができるので、従来の欠陥検査方
式と本発明による被検査体の表面の変形欠陥を検出する
方式とを同時に行うことが可能となる。
ーンとしては、格子パターンが最も有効であるが、格子
間の距離は、被検査体の表面に発生する欠陥の大きさに
より最適の距離を設定すれば、さらに精度の良い欠陥検
出が可能となる。また、図１における投影装置の光源と
して赤外線を発する光源を使用することにより、赤外線
によるパターン投影を簡単に実現できる（請求項３）。
光源としては、ＬＥＤ（発光ダイオード）やＬＤ（レー
ザーダイオード）などが考えられる。赤外線によるパタ
ーン投影を実行することにより、フィルタなどで簡単に
可視光と分離することができるので、従来の欠陥検査方
式と本発明による被検査体の表面の変形欠陥を検出する
方式とを同時に行うことが可能となる。
【００１４】図４は、本発明による表面検査装置の他の
実施例（請求項４）を示す図で、可視光のみを撮像する
撮像手段と、赤外線のみを撮像する撮像手段とを備えて
いる。図中、１６はダイクロイックミラー、１７は撮像
レンズ、１８は撮像デバイスで、その他、図１と同じ作
用をする部分は同一の符号を付してある。なお、図４に
おいては、照明装置と投影装置と駆動装置は省略してあ
るが、それらは図１と同様である。
実施例（請求項４）を示す図で、可視光のみを撮像する
撮像手段と、赤外線のみを撮像する撮像手段とを備えて
いる。図中、１６はダイクロイックミラー、１７は撮像
レンズ、１８は撮像デバイスで、その他、図１と同じ作
用をする部分は同一の符号を付してある。なお、図４に
おいては、照明装置と投影装置と駆動装置は省略してあ
るが、それらは図１と同様である。
【００１５】可視光を撮像する撮像レンズ１０および撮
像デバイス１１よりなる第１の撮像装置と、赤外線によ
る投影パターンを撮像する撮像レンズ１７および撮像デ
バイス１８よりなる第２の撮像装置を備え、被検査体の
表面の反射光は可視光を透過し、赤外線は反射するダイ
クロイックミラー１６により分離される。それぞれの撮
像装置により得られた画像に対して、欠陥検出処理を行
うことにより従来の欠陥検査と本発明による被検査体の
表面の変形欠陥の検査を同時に行うことができる。
像デバイス１１よりなる第１の撮像装置と、赤外線によ
る投影パターンを撮像する撮像レンズ１７および撮像デ
バイス１８よりなる第２の撮像装置を備え、被検査体の
表面の反射光は可視光を透過し、赤外線は反射するダイ
クロイックミラー１６により分離される。それぞれの撮
像装置により得られた画像に対して、欠陥検出処理を行
うことにより従来の欠陥検査と本発明による被検査体の
表面の変形欠陥の検査を同時に行うことができる。
【００１６】
【効果】以上の説明から明らかなように、本発明による
と、以下のような効果がある。 （１）請求項１に対する効果： 撮像部分に一定のパタ
ーンを投影する投影装置を備えているので、投影したパ
ターンの歪みを検出することで、被検査体の表面の変形
を検出することができる。 （２）請求項２に対する効果： 投影パターンが格子パ
ターンであるので、被検査体の表面の変形によるパター
ンの歪みを感度良く検出することができる。 （３）請求項３に対する効果： 投影パターンが赤外線
によるものなので、可視光による被検査体の表面の輝度
変化を検出する従来の検査方法を妨げることなく、被検
査体の表面の変形を検出することができる。また、赤外
線なので、紫外線と異なり、感光体にダメージを与える
こともない。 （４）請求項４に対する効果： 可視光を撮像する撮像
手段と、赤外線を撮像する撮像手段とを備えているの
で、被検査体の表面の輝度変化を検出する検査方法と、
パターンの歪みを検出する検査方法とを同時に行うこと
ができる。
と、以下のような効果がある。 （１）請求項１に対する効果： 撮像部分に一定のパタ
ーンを投影する投影装置を備えているので、投影したパ
ターンの歪みを検出することで、被検査体の表面の変形
を検出することができる。 （２）請求項２に対する効果： 投影パターンが格子パ
ターンであるので、被検査体の表面の変形によるパター
ンの歪みを感度良く検出することができる。 （３）請求項３に対する効果： 投影パターンが赤外線
によるものなので、可視光による被検査体の表面の輝度
変化を検出する従来の検査方法を妨げることなく、被検
査体の表面の変形を検出することができる。また、赤外
線なので、紫外線と異なり、感光体にダメージを与える
こともない。 （４）請求項４に対する効果： 可視光を撮像する撮像
手段と、赤外線を撮像する撮像手段とを備えているの
で、被検査体の表面の輝度変化を検出する検査方法と、
パターンの歪みを検出する検査方法とを同時に行うこと
ができる。
【図１】 本発明による表面検査装置の一実施例を説明
するための構成図である。
するための構成図である。
【図２】 格子パターンと撮像画像を示す図である。
【図３】 変形欠陥を検出するための処理を説明するフ
ローチャートである。
ローチャートである。
【図４】 本発明による表面検査装置の他の実施例を示
す図である。
す図である。
１…感光体シームレスベルト（被検査体）、２,３…円
筒体、４…駆動装置、５…伝動ベルト、６…光源、７…
投光レンズ、８…拡散板、９…照明装置、１０…撮像レ
ンズ、１１…撮像デバイス、１２…光源、１３…スライ
ド、１４…プロジェクタレンズ、１５…投影装置。
筒体、４…駆動装置、５…伝動ベルト、６…光源、７…
投光レンズ、８…拡散板、９…照明装置、１０…撮像レ
ンズ、１１…撮像デバイス、１２…光源、１３…スライ
ド、１４…プロジェクタレンズ、１５…投影装置。
Claims (4)
- 【請求項１】 被検査体であるベルト状物体を支持する
支持手段と、該支持手段を回転駆動する駆動手段と、該
駆動手段により駆動される被検査体の表面を照明する照
明手段と、前記被検査体の表面の撮像領域に一定のパタ
ーンを投影する投影手段と、前記照明手段により照明さ
れた前記被検査体の表面の撮像領域と、該撮像領域に投
影されたパターンとを撮像する撮像手段と、該撮像手段
により得られた撮像画像を処理して前記被検査体の表面
の欠陥を検出する画像処理手段とから成ることを特徴と
する表面検査装置。 - 【請求項２】 前記投影手段により投影されるパターン
が格子パターンであることを特徴とする請求項１記載の
表面検査装置。 - 【請求項３】 前記投影手段により投影されるパターン
が赤外線による投影であることを特徴とする請求項１記
載の表面検査装置。 - 【請求項４】 被検査体であるベルト状物体を支持する
支持手段と、該支持手段を回転駆動する駆動手段と、該
駆動手段により駆動される被検査体の表面を照明する照
明手段と、前記被検査体の表面の撮像領域に一定のパタ
ーンを投影する投影手段と、前記照明手段により照明さ
れた前記被検査体の表面の撮像領域と、該撮像領域に投
影されたパターンとを撮像する撮像手段と、該撮像手段
により得られた撮像画像を処理して前記被検査体の表面
の欠陥を検出する画像処理手段とから成り、前記撮像手
段が、可視光のみを撮像する撮像手段と、赤外線のみを
撮像する撮像手段とを備えたことを特徴とする表面検査
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19837091A JPH0518728A (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | 表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19837091A JPH0518728A (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | 表面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0518728A true JPH0518728A (ja) | 1993-01-26 |
Family
ID=16389984
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19837091A Pending JPH0518728A (ja) | 1991-07-12 | 1991-07-12 | 表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0518728A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000028536A (ja) * | 1998-07-07 | 2000-01-28 | Nidek Co Ltd | 欠陥検査装置 |
| JP2000131244A (ja) * | 1998-10-23 | 2000-05-12 | Dakku Engineering Kk | 品質検査装置 |
| US6222624B1 (en) | 1997-12-26 | 2001-04-24 | Nidek Co., Ltd. | Defect inspecting apparatus and method |
| JP2002148195A (ja) * | 2000-11-06 | 2002-05-22 | Sumitomo Chem Co Ltd | 表面検査装置及び表面検査方法 |
| US7263876B2 (en) | 2001-09-19 | 2007-09-04 | Ricoh Company Limited | Apparatus and method of detecting surface convexity of members, and method of producing the members |
| CN101564795A (zh) * | 2008-04-22 | 2009-10-28 | 奥林巴斯株式会社 | 校正装置、校正方法以及控制装置 |
| WO2010121913A1 (de) * | 2009-04-22 | 2010-10-28 | Manroland Ag | Verfahren zur bestimmung der qualität eines druckprodukts |
| JP2013170861A (ja) * | 2012-02-20 | 2013-09-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 撮像装置、試料保持プレートおよび撮像方法 |
-
1991
- 1991-07-12 JP JP19837091A patent/JPH0518728A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6222624B1 (en) | 1997-12-26 | 2001-04-24 | Nidek Co., Ltd. | Defect inspecting apparatus and method |
| JP2000028536A (ja) * | 1998-07-07 | 2000-01-28 | Nidek Co Ltd | 欠陥検査装置 |
| JP2000131244A (ja) * | 1998-10-23 | 2000-05-12 | Dakku Engineering Kk | 品質検査装置 |
| JP2002148195A (ja) * | 2000-11-06 | 2002-05-22 | Sumitomo Chem Co Ltd | 表面検査装置及び表面検査方法 |
| US7263876B2 (en) | 2001-09-19 | 2007-09-04 | Ricoh Company Limited | Apparatus and method of detecting surface convexity of members, and method of producing the members |
| CN101564795A (zh) * | 2008-04-22 | 2009-10-28 | 奥林巴斯株式会社 | 校正装置、校正方法以及控制装置 |
| WO2010121913A1 (de) * | 2009-04-22 | 2010-10-28 | Manroland Ag | Verfahren zur bestimmung der qualität eines druckprodukts |
| JP2013170861A (ja) * | 2012-02-20 | 2013-09-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 撮像装置、試料保持プレートおよび撮像方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3754003B2 (ja) | 欠陥検査装置及びその方法 | |
| US7663745B2 (en) | Plural light source and camera to detect surface flaws | |
| TWI817991B (zh) | 光學系統，照明模組及自動光學檢測系統 | |
| JP3701477B2 (ja) | 円筒状被検物の表面検査装置 | |
| JPH0518728A (ja) | 表面検査装置 | |
| JP2001201429A (ja) | 検査基体の欠陥検査方法および装置 | |
| US20060256394A1 (en) | Method and apparatus for image quality diagnosis | |
| EP1703274B1 (en) | Defect inspecting method | |
| JPH06118007A (ja) | 円筒体の表面欠陥検査方法およびその装置 | |
| JP2001041719A (ja) | 透明材の検査装置及び検査方法並びに記憶媒体 | |
| JPH07128240A (ja) | 電子写真感光体欠陥検査装置 | |
| JPH11326236A (ja) | 表面層欠陥検出装置 | |
| JP3981895B2 (ja) | 自動マクロ検査装置 | |
| JPH09145339A (ja) | 表面欠陥検査方法 | |
| JP3469714B2 (ja) | 感光体表面検査方法および感光体表面検査装置 | |
| JPH07128241A (ja) | 電子写真感光体欠陥検査装置 | |
| JPH06123707A (ja) | 表面欠陥検査方法およびその装置 | |
| JP2003240729A (ja) | 表面検査方法及び装置 | |
| US20070146692A1 (en) | Fiber optic specular surface flaw detection | |
| JP3054243B2 (ja) | 表面検査装置 | |
| JPH03229109A (ja) | 表面検査装置 | |
| JP3788651B2 (ja) | 欠陥検査方法及びその装置 | |
| JP2004354226A (ja) | 表面欠陥検査方法及び検査装置 | |
| JPH11271008A (ja) | 円筒状被検査物検査装置 | |
| JP2984388B2 (ja) | 表面検査方法 |