JPH06118055A

JPH06118055A - Ｓｆ６分解ガス検出用センサー

Info

Publication number: JPH06118055A
Application number: JP4270029A
Authority: JP
Inventors: Shunichiro Nishizaki; 俊一郎西崎; Mikio Shinoda; 幹雄篠田; Tadayoshi Murakami; 忠禧村上; Yoshihiro Makino; 芳弘牧野; Hideo Shinohara; 秀雄篠原
Original assignee: Ryoden Kasei Co Ltd; Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Ryoden Kasei Co Ltd; Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1992-10-08
Filing date: 1992-10-08
Publication date: 1994-04-28

Abstract

(57)【要約】【目的】ＳＦ₆ガス絶縁電気機器の内部異常を簡易な
方法で、早期に検出できるＳＦ₆分解ガス検出用センサ
ーを得る。【構成】セラミック板１がＳＦ₄、ＨＦなどの活性な
ＳＦ₆分解ガスを吸着すると異種金属の電極２，３間に
自発電流が流れ、しかもこの値はセラミック材料によっ
て大きく影響を受けるので、気孔率５〜４０％と気孔径
５〜５０μｍを限定するか、その組成を限定した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明はＳＦ₆（六ふっ化硫
黄）ガスの劣化を検出することにより、ＳＦ₆ガス絶縁
電気機器等の内部異常検出が可能なセンサーの改良に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】ＳＦ₆ガスが封入されたＳＦ₆ガス絶縁
電気機器では、機器本体内で異常が発生すると異常時の
エネルギーで、ＳＦ₆ガスが熱分解してＳＦ₄、ＨＦな
どのガスが生成するので、これらのＳＦ₆分解ガスを検
知すればＳＦ₆ガス絶縁電気機器の異常を確認すること
ができる。

【０００３】ＳＦ₆ガスの分解を検知する方法として、
一般的にはＳＦ₆ガス絶縁電気機器内部のＳＦ₆ガスを
捕集し、ガスクロマトグラフィー、イオンクロマトグラ
フィーなどで分析し、異常を確認する方法が広く実用化
されている。

【０００４】機器にオンラインまたはそれに近い方法で
異常を検出する方法もいくつか提案されている。例えば
特公昭６０−１４１５２号公報や特公昭６３−４０８７
５号公報では、機器内のガスと連通する位置に吸着材を
配置する方法が開示されている。また、例えば特公昭６
０−１４１５２号公報では、ＳＦ₆分解ガスが吸着され
た場合の吸着材の誘電特性から、特公昭６３−４０８７
５号公報では色の変化から、ガス絶縁電気機器の異常を
検出する方法が開示されている。

【０００５】また、例えば特公平１−１００４４４号公
報あるいは特公昭６４−１２８０７号公報では、絶縁膜
上に配設された金属薄膜の導電性が低下することにより
ＳＦ₆ガス絶縁電気機器の異常を検出する方法が開示さ
れている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】一般的に行われている
ガス分析による方法では、ガスの採取から分析結果のア
ウトプットまで多くの人手と時間を要するという問題点
があった。さらに、ＳＦ₆分解ガスは活性で化学的に反
応し易いので、ガスの採取から分析までの時間が長い場
合には、そのガスの一部が化学的に反応してしまうので
正確な分析ができないなどの問題点があった。

【０００７】また、前述の特許公報に開示されている方
法には次に述べるような問題点がある。特公昭６０−１
４１５２号公報に開示された方法では、吸着材に配設し
た電極に一定電圧を印加するための手段が必要になり、
装置が複雑になる。また、特公昭６３−４０８７５号公
報に開示された方法では、オンラインで監視するには吸
着材の変色度合いを検出することが必要であるが、これ
にはよい方法が見あたらない。

【０００８】特公平１−１００４４４号公報あるいは特
公昭６４−１２８０７号公報に開示された方法では、基
板上に絶縁膜及び金属薄膜を積層する必要があり、この
素子の製作が難しく、また、特公昭６０−１４１５２号
公報に開示された方法では定電圧装置が必要である。

【０００９】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、ＳＦ₆ガス絶縁電気機器等の内
部異常を簡易な方法で、早期に検出することのできるＳ
Ｆ₆分解ガス検出用センサーを得ることを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明によるＳ
Ｆ₆分解ガス検出用センサーは、セラミックの気孔率が
５〜４０％、気孔径が５〜５０μｍに限定したものであ
る。

【００１１】請求項２の発明によるＳＦ₆分解ガス検出
用センサーは、セラミックの組成を酸化亜鉛１５〜４０
重量％、シリカ１０〜２０重量％、ホウ酸８〜２５重量
％、コージライト１２〜１５重量％、合成マイカ２０〜
５０重量％で構成したものである。

【００１２】請求項３の発明によるＳＦ₆分解ガス検出
用センサーは、ＳＦ₆分解ガスを吸着するセラミック板
の面上の２種類の金属膜電極の形状が櫛型状に対面させ
たものである。

【００１３】請求項４の発明によるＳＦ₆分解ガス検出
用センサーは、厚さ方向の小径の貫通孔を多数個有し且
つＳＦ₆分解ガスを吸着するセラミック板の平面の上下
に２種類の異種金属を電極として固着したものである。

【００１４】請求項５の発明によるＳＦ₆分解ガス検出
用センサーは、セラミック棒に２条のスパイラル溝を平
行に設け、その溝に異種金属電極線を相対して巻き付け
たものである。

【００１５】

【作用】請求項１の発明によれば、セラミック材料がＳ
Ｆ₄、ＨＦなどの活性なＳＦ₆分解ガスを吸着するとこ
の面上の異種金属の電極間に自発電流が流れ、しかもこ
の自発電流の値は、セラミックの材料によって大きく影
響を受け、気孔率５〜４０％で、気孔径５〜５０μｍの
場合についてのみ吸着面積の増大で大きくなる。

【００１６】請求項２の発明によれば、自発電流の値
は、上記と同じくセラミックの材料によって大きく影響
を受け、ＳＦ₆分解ガスの吸着効率の良い上記組成範囲
が有用で、その範囲を超えると緻密な焼結品が得られな
かったり、機械加工性に劣る。また、セラミックを構成
する酸化亜鉛とホウ酸の化合物及び酸化亜鉛とシリカの
化合物等も活性なＳＦ₆分解ガスを吸着すると一部反応
して電気抵抗が低下するため電極間に生じる自発電流値
が増大する。

【００１７】請求項３乃至５の発明によれば、セラミッ
ク材料がＳＦ₄、ＨＦなどの活性なＳＦ₆分解ガスを吸
着すると異種金属の電極間に自発電流が流れ、しかもこ
の自発電流の値はセラミック面上に形成された電極の形
状によって大きく影響を受け、電極間のギャップを一定
とすると、対面する電極部分の電極長に比例して大きく
なることから電極長を大きくとって感度を向上させる。

【００１８】

【実施例】以下、この発明の実施例を図について説明す
る。図１はこの発明の実施例１〜実施例８に係るＳＦ₆
分解ガス検出用センサーの基本的構成とその試験装置の
構成を示す図である。図１において、１は電気絶縁性の
セラミック板、２は例えば金の電極、３は例えばアルミ
ニウムの電極であり、電極２，３はセラミック板１の板
面上にある間隔（電極ギャップ）を有するように配設さ
れた金属膜である。４は電極２，３にそれぞれ接続され
たリード線、５は符号１〜３で構成されるＳＦ₆分解ガ
ス検出用センサーが収納されている容器、６は容器５に
ＳＦ₆ガスを封入するためのガスポンプ、７はガスポン
プ６より容器５内に接続する接続管、８はリード線４に
接続された電圧計である。

【００１９】上記構成のＳＦ₆分解ガス検出用センサー
の動作について述べる。ガスポンプ６により接続管７を
通ってＳＦ₆ガスが容器５内に封入される。このＳＦ₆
ガス中に分解ガス成分が存在すると、その分解ガス成分
がセラミック板１に吸着されて電極２，３間に生じる電
位差によって電流が自発的に発生し、リード線４を流
れ、電圧計８によって電圧が計測される。ＳＦ₆ガス中
に分解ガスが存在しなければ、電極２，３間に発生する
電圧はほとんど零であり、電圧計８によって計測される
電圧はほとんど零である。

【００２０】実施例１．セラミック板１として気孔率が
１０％、気孔径が２０〜３０μｍのムライトを使用し
た。

【００２１】実施例２．セラミック板１として気孔率が
３０％、気孔径が５〜２０μｍのアルミナ焼結品を使用
した。

【００２２】実施例３．セラミック板１として気孔率が
３０％、気孔径が２０〜５０μｍのコージライト焼結品
を使用した。

【００２３】比較例１−１として気孔率が５０％、気孔
径が２０〜５０μｍのムライト焼結品、比較例１−２と
して気孔率が２０％、気孔径が５０〜１００μｍのアル
ミナ焼結品、比較例１−３として気孔率が１０％、気孔
径が３μｍのアルミナ焼結品、比較例１−４として気孔
率が３％、気孔径が１０〜２０μｍのアルミナ焼結品を
図１に示すと同様な装置でＳＦ₆分解ガス検出用センサ
ーのセラミック板としてそれぞれ用いた。

【００２４】電極作製時の電極ギャップ間距離を三次元
測定機で測定した。ギャップ間距離としては実施例１〜
３や比較例１−１〜１−４では、０．５mmとなるように
作製した。また、電極ギャップ間精度の良好（±０．１
mm）なものについて、新ＳＦ₆ガス中、及びＳＦ₆分解
ガス３０分曝露後、また、分解ガス曝露後容器５内を真
空引きし、分解ガスを除去した後についての各自発電流
を図１に示す装置で求めた。なお、自発電流は電圧計８
で得られた電圧を電圧計８のインピーダンス（１×１０
⁶Ω）で除算して求めた。下記表１に電極ギャップ間距
離及び自発電流の測定値を示す。

【００２５】

【表１】

【００２６】自発電流は、ＳＦ₆分解ガスがセラミック
板１に接触した場合にのみ発生し、比較例１−１は、電
極ギャップ間精度が低下し、金属電極同士の短絡が生じ
ている。比較例１−２も電極ギャップ間精度が低下し、
比較例１−１と同様の問題が生じる可能性が十分にあ
る。また、比較例１−３、１−４は電極ギャップ間精度
は向上するが、自発電流の発生量が実施例１〜３（１０
^-7Ａ台）に比較して非常に小さい。

【００２７】表１の結果から、ＳＦ₆分解ガス検出用セ
ンサーに用いられているセラミック板１がＳＦ₄、ＨＦ
などの活性なＳＦ₆分解ガスを吸着すると異種金属の電
極２，３間に自発電流が流れ、しかもこの自発電流の値
はセラミック板１の材料によって大きく影響を受けるこ
とが分かった。

【００２８】すなわち、セラミック板１の材料が気孔率
５〜４０％で、気孔径５〜３０μｍの場合についてのみ
自発電流が比較的に大きく認められることが分かった。
セラミック板１は電気絶縁性セラミックで、アルミナ、
コージライト、ムライト、ホルステライトなど常態での
絶縁抵抗が１０¹⁰Ω以上のものであればよい。

【００２９】また、セラミック材の気孔径５μｍ以下の
場合には、自発電流の値が小さくてＳＦ₆分解ガスを検
出することはできない。気孔径が５０μｍ以上の場合、
金属電極との密着性や電極の寸法精度が低下し、センサ
ーの小型化において好ましくない。セラミック材の気孔
率が５％以下であると、吸着されるＳＦ₆分解ガス量が
少なく自発電流の値が小さくてＳＦ₆分解ガスを検出す
ることができない。また、気孔率が４０％以上の場合
も、電極との密着性や電極の寸法精度が低下し、センサ
ーの小型化において好ましくない。

【００３０】すなわち、図１に示すセラミック板１の気
孔率が５〜４０％、気孔径が５〜５０μｍを有すること
を特徴とする電気絶縁性セラミック材料がＳＦ₆分解ガ
スを自発電流で検出するセンサー材料として有用である
ことを見いだした。

【００３１】自発電流の発生機構については明らかにす
ることができていないが、セラミック上の電極部分で金
属のイオン化が起こり、金属のイオン化傾向の差によっ
て電位差を生じ、電極間に自発電流が流れ、この自発電
流の値はセラミック板へのＳＦ₆分解ガスの吸着量と正
の相関関係があるものと推定される。

【００３２】実施例４．図１に示すセラミック板１とし
て酸化亜鉛３６．６重量％、シリカ８．４重量％、ホウ
酸１１．３重量％、コージライト５．７重量％、合成マ
イカ３８．０重量％の配合比で混合後、焼成したセラミ
ック板を使用した。

【００３３】実施例５．同じくセラミック板１として、
酸化亜鉛４０．０重量％、シリカ１０．０重量％、ホウ
酸１６．０重量％、コージライト１４．０重量％、合成
マイカ２０．０重量％の配合比で混合後、焼成したセラ
ミック板を使用した。

【００３４】実施例６．同じくセラミック板１として、
酸化亜鉛２０．０重量％、シリカ１０．０重量％、ホウ
酸１４．０重量％、コージライト６．０重量％、合成マ
イカ５０．０重量％の配合比で混合後、焼成したセラミ
ック板を使用した。

【００３５】実施例７．同じくセラミック板１として、
酸化亜鉛１５．０重量％、シリカ１０．０重量％、ホウ
酸２５．０重量％、コージライト１０．０重量％、合成
マイカ４０．０重量％の配合比で混合後、焼成したセラ
ミック板を使用した。

【００３６】実施例８．同じくセラミック板１として、
酸化亜鉛３０．０重量％、シリカ２０．０重量％、ホウ
酸１０．０重量％、コージライト１０．０重量％、合成
マイカ３０．０重量％の配合比で混合後、焼成したセラ
ミック板を使用した。

【００３７】比較例２−１として酸化亜鉛１０．０重量
％、シリカ２０．０重量％、ホウ酸２０．０重量％、コ
ージライト１０．０重量％、合成マイカ４０．０重量％
で混合後、焼成したセラミック板を使用した。比較例２
−２として酸化亜鉛５０．０重量％、シリカ１０．０重
量％、ホウ酸１０．０重量％、コージライト５．０重量
％、合成マイカ２５．０重量％で混合後、焼成したセラ
ミック板を使用した。比較例２−３として酸化亜鉛３
０．０重量％、シリカ３０．０重量％、ホウ酸１０．０
重量％、コージライト５．０重量％、合成マイカ２５．
０重量％で混合後、焼成したセラミック板を使用した。

【００３８】比較例２−４として酸化亜鉛４０．０重量
％、シリカ５．０重量％、ホウ酸１５．０重量％、コー
ジライト１０．０重量％、合成マイカ３０．０重量％で
混合後、焼成したセラミック板を使用した。比較例２−
５として酸化亜鉛３５．０重量％、シリカ１５．０重量
％、ホウ酸５．０重量％、コージライト５．０重量％、
合成マイカ４０．０重量％で混合後、焼成したセラミッ
ク板を使用した。比較例２−６として酸化亜鉛２５．０
重量％、シリカ１０．０重量％、ホウ酸３０．０重量
％、コージライト５．０重量％、合成マイカ３０．０重
量％で混合後、焼成したセラミック板を使用した。

【００３９】比較例２−７として酸化亜鉛２５．０重量
％、シリカ１０．０重量％、ホウ酸１５．０重量％、コ
ージライト２０．０重量％、合成マイカ３０．０重量％
で混合後、焼成したセラミック板を使用した。比較例２
−８として酸化亜鉛３５．０重量％、シリカ１５．０重
量％、ホウ酸１５．０重量％、コージライト０．０重量
％、合成マイカ３５．０重量％で混合後、焼成したセラ
ミック板を使用した。比較例２−９として酸化亜鉛２
０．０重量％、シリカ１０．０重量％、ホウ酸８．０重
量％、コージライト２．０重量％、合成マイカ６０．０
重量％で混合後、焼成したセラミック板を使用した。

【００４０】比較例２−１０として、酸化亜鉛４０．０
重量％、シリカ２０．０重量％、ホウ酸２０．０重量
％、コージライト１０．０重量％、合成マイカ１０．０
重量％で混合後、焼成したセラミック板を使用した。比
較例２−１１として、一般に市販されているアルミナ
（９６％）のセラミック板を使用した。

【００４１】上記のセラミック板１上の電極２，３間の
電極ギャップ間距離を０．５mmで配設した時の電極ギャ
ップ間精度を表２に示すように三次元測定機で測定を行
った。比較例２−１〜２−９では、電極のギャップ精度
が低く、電極間の短絡が生じている場合もある。

【００４２】

【表２】

【００４３】また、上記電極ギャップ間精度の良好（±
０．１mm）なものについて新ＳＦ₆ガス中、及びＳＦ₆
分解ガス３０分曝露後、また、分解ガス曝露後容器５内
を真空引きし、ＳＦ₆分解ガスを除去した後についての
自発電流をそれぞれ求めた。なお、自発電流は電圧計で
得られた電圧を電圧計のインピーダンス（１×１０Ω）
で除いて求めた。表３に測定値を示したが、本発明のセ
ラミックセンサーは分解ガスがセラミック板と接触した
場合のみ発生し、また、比較例２−１１から理解される
ように本発明の定めた範囲の材料のみ自発電流が大きく
発生する。

【００４４】

【表３】

【００４５】表２及び表３の結果から理解できるよう
に、セラミック板材料が酸化亜鉛、シリカ、ホウ酸、コ
ージライト、合成マイカを構成材料とし、前記材料を混
合後焼成して得られる組成のセラミックの場合について
ＳＦ₆分解ガス検出用センサーの自発電流の値が著しく
大きくみとめられることが分かった。このセラミック板
は電気絶縁性セラミックであり、常態での絶縁抵抗が１
０¹⁰以上のものである。

【００４６】酸化亜鉛の組成比率は１５〜４０重量％で
あることが好ましい。これ以上でも、以下でも緻密な焼
結品が得られず、電極の密着性や電極の寸法精度が低下
してセンサーの小型化において好ましくない。ホウ酸の
組成比率も８〜２５重量％であることが好ましく、シリ
カの組成比率も１０〜２０重量％であることが好まし
い。シリカ、ホウ酸とも上記の組成比率より大きくて
も、小さくても酸化亜鉛と同様に緻密な焼結品が得られ
ず好ましくない。

【００４７】また、コージライトは２〜１５重量％であ
ることが好ましい。これ以下でも、以上であると緻密な
焼結品が得られず好ましくない。合成マイカは２０〜５
０重量％であることが好ましい。これ以上であると緻密
な焼結品が得られず、またこれ以下では機械加工性に劣
り、所定の形状化が困難になり好ましくない。

【００４８】すなわち、酸化亜鉛１５〜４０重量％、シ
リカ１０〜２０重量％、ホウ酸８〜２５重量％、コージ
ライト２〜１５重量％、合成マイカ２０〜５０重量％で
構成された組成を有する電気絶縁性セラミック材料がＳ
Ｆ₆分解ガスを自発電流で検出するセンサー素子材料と
して有用であることを見い出した。

【００４９】ＳＦ₄、ＨＦなど活性なＳＦ₆分解ガス吸
着による異種金属電極間の自発電流の発生機構について
明らかにすることができていないが、上記組成のセラミ
ック板はＳＦ₄、ＨＦなど加水分解性のＳＦ₆分解ガス
を吸着すると固体電解質媒体として作用する。このため
電極部分で金属のイオン化が起こり、金属のイオン化傾
向の差によって電位差を生じ電極間に自発電流が流れる
ものと推定される。

【００５０】また、本発明のセラミックを構成する酸化
亜鉛とホウ酸の化合物及び酸化亜鉛とシリカの化合物等
も活性なＳＦ₆分解ガスを吸着すると一部反応して電気
抵抗が低下するため電極間に生じる自発電流値が増大す
ることも推定される。また、合成マイカ、コージライト
もＳＦ₆分解ガスと反応して電気抵抗が低下していると
考えられるが、これらの反応形態の詳細な現状では不明
である。

【００５１】実施例９．図２は本実施例によるＳＦ₆分
解ガス検出用センサーの平面図（図２（ａ））と側面図
（図２（ｂ））であり、図２において、１Ａは縦横が例
えば各４０mmの平板状のセラミック板であり、このセラ
ミック板１Ａの上面上に異種金属膜から成る電極２Ａ，
３Ａの形状が櫛型状に対面させ、両電極２Ａ，３Ａ間の
距離（電極ギャップ間距離）を０．５mmにして設けたも
のである。

【００５２】実施例１０．図３は本実施例によるＳＦ₆
分解ガス検出用センサーの平面図（図３（ａ））と側面
図（図３（ｂ））であり、図３において、１Ｂは縦横が
例えば４０mmの平板で、径が０．１〜１．０mmの、厚さ
方向の貫通孔９をマトリックス状に多数個有しているセ
ラミック板、２Ｂはセラミック板１Ｂの上面全面に固着
された例えば金の金属膜の電極、３Ｂはセラミック板１
Ｂの下面全面に固着された例えばアルミニウムの金属膜
の電極である。

【００５３】実施例１１．図４は本実施例によるＳＦ₆
分解ガス検出用センサーの正面図（図４（ａ））と部分
拡大図（図４（ｂ））であり、図４において、１Ｃは丸
棒状のセラミック棒、１Ｃ₁，１Ｃ₂はセラミック棒１
Ｃ表面に平行に２条にしてスパイラル状に設けられたス
パイラル溝、２Ｃ，３Ｃはスパイラル溝１Ｃ₁，１Ｃ₂
に相対して巻付けられた例えば金とアルミニウムの異種
金属電極線である。

【００５４】上記実施例９〜１１において挙げたセラミ
ック板１Ａ，１Ｂやセラミック棒１Ｃの材料は、実施例
１〜３と同様な気孔率が５〜４０％、気孔径が５〜５０
μｍの第１の条件、実施例４〜８と同様な酸化亜鉛１５
〜４０重量％、シリカ１０〜２０重量％、ホウ酸８〜２
５重量％、コージライト２〜１５重量％、合成マイカ２
０〜５０重量％で構成された組成の第２の条件の少なく
とも一方を満たしていることがより好ましく、実施例９
〜１１では第１の条件を満たしている。

【００５５】図５は実施例９〜１１に対する比較例３−
１のＳＦ₆分解ガス検出用センサーの正面図（図５
（ａ））と側面図（図５（ｂ））であり、１Ｄは縦横が
各４０mmの平板状のセラミック板、２Ｄ，３Ｄはセラミ
ック板１Ｄの上面にギャップ間隔０．５mmをもたせて相
対向した例えば金とアルミニウムの異種金属膜から成る
電極である。なお、セラミック板１Ｄの材料としては実
施例９〜１１で用いたセラミックと同部材のものを用い
た。

【００５６】実施例９〜１１に示すＳＦ₆分解ガス検出
用センサーや比較例３−１に示すＳＦ₆分解ガス検出用
センサーを図１と同様に構成して、新ＳＦ₆ガス中、及
び放電分解させたＳＦ₆分解ガス３０分曝露後の各自発
電流を測定した。なお、自発電流は電圧計で得られた電
圧を電圧計のインピーダンス（１×１０⁶Ω）で除算し
て求めた。

【００５７】

【表４】

【００５８】上記表４にその測定値を示したが、このＳ
Ｆ₆分解ガス検出用センサーはＳＦ₆分解ガスがセラミ
ックと接触した場合のみ自発電流を発生する。図２、図
３に示すＳＦ₆分解ガス検出用センサーの形状では図５
に示すセンサーの比較例と比べると同寸法、同材質のセ
ラミック材料から得られる自発電流値が約１桁程度増加
し、また、図４に示すＳＦ₆分解ガス検出用センサーの
形状も大型化せずに比較例３−１のセンサーに比べて大
きな自発電流が得られる。

【００５９】この自発電流の値は、電極間ギャップを一
定とすると、対面する電極部分の電極長に比例して大き
くなることから、電極長を大きくとるとセンサーの感度
を向上させることができる。

【００６０】上記各実施例では電極材料に金及びアルミ
ニウムを用いたが、異種金属であれば他の金属の組み合
わせも同様の効果を奏することは勿論言うまでもない。

【００６１】

【発明の効果】以上のように、この発明によればセラミ
ックの気孔率が５〜４０％、気孔径が５〜５０μｍとな
るように構成するか、もしくはセラミックの組成を酸化
亜鉛１５〜４０重量％、シリカ１０〜２０重量％、ホウ
酸８〜２５重量％、コージライト１２〜１５重量％、合
成マイカ２０〜５０重量％となるように構成するか、も
しくはセラミック面上の対面する電極部分の電極長を大
きくなるようにＳＦ₆分解ガス検出用センサーを構成し
たので、ＳＦ₆分解ガス発生時に測定される自発電流量
を大きくして感度を向上させることができ、ＳＦ₆ガス
絶縁電気機器の異常を検出する装置に使用することによ
り、ＳＦ₆ガス絶縁電気機器の異常を容易で且つ正確に
検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例１〜８によるＳＦ₆分解ガス
検出用センサーとその試験装置との構成を示す図であ
る。

【図２】この発明の実施例９によるＳＦ₆分解ガス検出
用センサーの構成を示す図である。

【図３】この発明の実施例１０によるＳＦ₆分解ガス検
出用センサーの構成を示す図である。

【図４】この発明の実施例１１によるＳＦ₆分解ガス検
出用センサーの構成を示す図である。

【図５】比較例のＳＦ₆分解ガス検出用センサーの構成
を示す図である。

【符号の説明】

１，１Ａ，１Ｂセラミック板２，３，２Ａ，３Ａ，２Ｂ，３Ｂ電極９貫通孔１Ｃセラミック棒１Ｃ₁，１Ｃ₂ スパイラル溝２Ｃ，３Ｃ異種金属電極線

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者村上忠禧兵庫県尼崎市塚口本町８丁目１番１号三菱電機株式会社生産技術研究所内 (72)発明者牧野芳弘兵庫県赤穂市天和651番地三菱電機株式会社赤穂製作所内 (72)発明者篠原秀雄兵庫県赤穂市天和651番地三菱電機株式会社赤穂製作所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ＳＦ₆分解ガスを吸着し且つ気孔率が５
〜４０％、気孔径が５〜５０μｍのセラミックの面上
に、２種類の金属電極をある間隔を有するように配設し
た構造を有し、ＳＦ₆ガスの劣化を自発電流で検出する
ことを特徴とするＳＦ₆分解ガス検出用センサー。
【請求項２】酸化亜鉛１５〜４０重量％、シリカ１０
〜２０重量％、ホウ酸８〜２５重量％、コージライト１
２〜１５重量％、合成マイカ２０〜５０重量％で構成さ
れた組成を有するセラミックの面上に２種類の金属電極
をある間隔を有するように配設した構造を有し、ＳＦ₆
ガスの劣化を自発電流で検出することを特徴とするＳＦ
₆分解ガス検出用センサー。
【請求項３】ＳＦ₆分解ガスを吸着するセラミック板
の面上に２種類の金属膜電極をある間隔を有するように
配設した構造を有し、その電極形状が櫛型状に対面さ
せ、ＳＦ₆ガスの劣化を自発電流で検出することを特徴
とするＳＦ₆分解ガス検出用センサー。
【請求項４】厚さ方向の小径の貫通孔を多数個有し且
つＳＦ₆分解ガスを吸着するセラミック板の平面の上下
に２種類の異種金属を固着して電極となし、ＳＦ₆ガス
の劣化を自発電流で検出することを特徴とするＳＦ₆分
解ガス検出用センサー。
【請求項５】ＳＦ₆分解ガスを吸着するセラミック棒
に２条のスパイラル溝を平行に設け、その溝に異種金属
電極線を相対して巻き付け、ＳＦ₆ガスの劣化を自発電
流で検出することを特徴とするＳＦ₆分解ガス検出用セ
ンサー。