JPH0437034B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0437034B2 JPH0437034B2 JP59182559A JP18255984A JPH0437034B2 JP H0437034 B2 JPH0437034 B2 JP H0437034B2 JP 59182559 A JP59182559 A JP 59182559A JP 18255984 A JP18255984 A JP 18255984A JP H0437034 B2 JPH0437034 B2 JP H0437034B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic substrate
- positioning holder
- housing fitting
- mounting
- mounting housing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 30
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 25
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 6
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 7
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N dibutyl phthalate Chemical compound CCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCC DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 230000001012 protector Effects 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethanol Chemical compound CCCCOCCOCCO OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- -1 butoxyethoxy Chemical group 0.000 description 1
- 235000019402 calcium peroxide Nutrition 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 239000000454 talc Substances 0.000 description 1
- 229910052623 talc Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Description
(産業上の利用分野)
セラミツク基板をデバイスに装着して使用する
とき、直接相手デバイスに取付けることは一般に
困難であり、通常取付け用ハウジング金具に保持
した方が使い易くもあるので、この方式がとられ
る。 たとえば温度センサやガスセンサなどをセラミ
ツク基板上に設けてこれを燃焼環境や排ガスダク
トなどにセツトする場合がこれにあてはまり、こ
の他、湿度センサなどでも、さらには、セラミツ
ク端子の如きにおいても同様な応用は種々広汎に
わたる。 (従来の技術) 取付け用ハウジング金具の内部にて、位置定め
保持具と接する段差を有し、この位置定め保持具
から環境空間中へ延伸する自由端と反対の基端側
を、取付け用ハウジング金具に対し充てん剤を介
し固定すると、この取付け用ハウジング金具をデ
バイスに装着するのに至便となるが、その取扱い
中、不慮な取落しや、運転中に作用する機械的衝
撃により、しばしばセラミツク基板の折損が生じ
た。 (発明が解決しようとする問題点) セラミツク基板の主として耐落下衝撃性を改善
して実用上のかなり粗暴にもわたるような取扱い
による損傷回避を、とくに簡易な構成により実現
することがこの発明の目的である。 (問題点を解決するための手段) この発明は、取付け用ハウジング金具の内部に
て位置定め保持具と接する段差を有し、この位置
定め保持具から環境空間へ延伸する自由端と反対
の基端側を、取付け用ハウジング金具に対し充て
ん剤を介し固定するセラミツク基板において、 上記段差を、位置定め保持具と部分的に接する
配置に設けたことを特徴とする、耐落下衝撃性の
高い、セラミツク基板である。 ここに位置定め保持具と部分的に接する段差の
配置というのは、段差がセラミツク基板の長手方
向を横切つて真一文字状に直線状をなして幅方向
にわたる配置を除外することを意味し、従つてセ
ラミツク基板の幅をたとえば三分した両側部又は
中央部でのみ、位置定め保持具と接する段差を形
成するのである。 以下この発明に従うセラミツク基板を酸素セン
サに用いた具体例にて説明を加える。 第1図、第2図には酸素センサの部分破断で内
部構成をあらわした、セラミツク基板の正面と側
面を示す。 図中1はセラミツク基板、1aはその検出部、
2は取付け用ハウジング金具、3はプロテクタ、
そして4は内筒、5はセラミツク基板1の位置定
め保持具である。 取付け用ハウジング金具2は、そのねじ脚2a
をたとえば内燃機関の排気系統(図示せず)の所
定位置にねじ込み、ガスケツト2bによる封止下
にプロテクタ3を介し検出部1aを測定環境中に
位置させる。 ここにセラミツク基板1はこの例でその幅方向
の両側に限局した段差1bにより部分的な位置定
め保持具5との接触下に、取付け用ハウジング金
具2とその延長に与る内筒4の内部に詰め込んだ
充てん剤6、さらに必要なとき、ガラスシール7
を用いてセラミツク基板1から引出したリード線
8,9および10も一緒に、取付け用ハウジング
金具2および内筒4と一体化し、各リード線はさ
らにシリコーンゴム11による絶縁下に外筒12
をかぶせて保護する。 ここに充てん剤6は、滑石およびガラスの好ま
しくは等量配合の混合粉を、またガラスシール7
は低融点ガラスをそれぞれ用いることができる。 なお図中13は、各リード線と内部配線との接
続部である。 セラミツク基板1は、この例で次の手順により
予め用意したものである。 すなわち第3図a〜cがそれであり、例えば平
均粒径1.5μmのAl2O392重量%、SiO24重量%、
CaO2重量%及びMgO2重量%からなる混合粉末
100重量部に対して、ブチラール樹脂12重量部と
ジブチルフタレート(DBP)6重量部とを添加
し、有機溶剤中で混合してスラリーとし、ドクタ
ーブレードを用いて形成されたグリーンシート
を、厚み1mmと、0.2mmの2種類を同形につくり、
厚い方のグリーンシート14の片面に、第8図a
のように検出素子1aの電極を構成するパターン
15,16、また該素子1aの加熱のための発熱
抵抗パターン17、そしてこれらに電源を印加
し、また検出信号をとり出す端子および導電パタ
ーン18,19,20を、たとえばPtを主体と
し、7%程度のAl2O3を添加した、いわゆる白金
ペーストの厚膜印刷を行い、ついで同図bのよう
に外径0.2mmの白金リード線21,22,23を
つなぎ、しかるのち薄い方のグリーンシート24
を、その検出素子1aと対応する位置に窓孔25
を打抜き形成した上で、積層する。 ついで別途に準備するもう一種類のグリーンシ
ート26(第3図c参照)も上掲したと同質の配
合よりなるを可とするが、これは、すでに第1
図、第2図で述べた段差1bを有利に形成する厚
みとし、とくにこの発明に従つて、図示例では中
央部分を長さlにわたる切欠き27を有するもの
として、さらに積層する。 この積層体はたとえば1550℃大気雰囲気下に2
時間保持することにより焼成を行う。 なおその後、電極パターン15,16上に、常
法に従い検出素子1aを設ける。この例では、平
均粒径1.2μmのTiO2粉100モルに対し5モルの白
金ブラツクを配合し、全粉末に対し3重量%に当
るエチルセルロースを添加し、ブチルカルビトー
ル(2−(2)−ブトキシエトキシ:エタノールの商
品名)中で混合し、300ポアズに粘度調整を行つ
たTiO2ペーストを窓孔25内に厚膜印刷し1200
℃大気雰囲気下に保持して焼付けを行つた。 以上のようにして得られたセラミツク基板1
は、その中央を除いて両側のみ、また逆に両側を
除いて中央のみの段差1bを位置定め保持具5と
部分的に接触させるようにして保持した上で充て
ん剤6を取付け用ハウジング金具2および内筒4
の内部に詰め込みさらに低融点ガラスフリツトを
装入した上で530℃15分間の加熱を施してガラス
シール7による封止を行うのである。 (作用) セラミツク基板の取付け用ハウジング金具内に
おける位置定め保持具と接する段差が、幅方向に
一直線状にわたらせない部分的な接触によつて
も、確実な位置定めが可能なのはもとより、この
段差における落下衝撃に基く折損が有効に回避さ
れ得る。 (実施例) セラミツク基板を、幅5mm、長さ48mm、先側厚
み1.5mm、元側(固定側)厚み2.0mmのサイズでつ
くるとき、第4図a,bおよびcに示すように、
第3図cに示したグリーンシート26の段差1b
側の端部中央を長さlを4mm、幅wは2mmにわた
つて切欠いたタイプA、逆に段差1b側の端部中
央を幅wが2mmにわたつて残し、両側を、やはり
長さlを4mmとして切欠いたタイプBそして横一
文字状にのびる直線状段差を設けたタイプCの各
供試品を各210こ試作し、これらを用いた組立て
物を試験体として、何れもセラミツク基板1の面
を水平に保つた姿勢から、1mの高さにてコンク
リート床に落下させ、基板の折損有無を、耐落下
衝撃性の評価指準とした。なお折損は、すべて段
差から生じていた。
とき、直接相手デバイスに取付けることは一般に
困難であり、通常取付け用ハウジング金具に保持
した方が使い易くもあるので、この方式がとられ
る。 たとえば温度センサやガスセンサなどをセラミ
ツク基板上に設けてこれを燃焼環境や排ガスダク
トなどにセツトする場合がこれにあてはまり、こ
の他、湿度センサなどでも、さらには、セラミツ
ク端子の如きにおいても同様な応用は種々広汎に
わたる。 (従来の技術) 取付け用ハウジング金具の内部にて、位置定め
保持具と接する段差を有し、この位置定め保持具
から環境空間中へ延伸する自由端と反対の基端側
を、取付け用ハウジング金具に対し充てん剤を介
し固定すると、この取付け用ハウジング金具をデ
バイスに装着するのに至便となるが、その取扱い
中、不慮な取落しや、運転中に作用する機械的衝
撃により、しばしばセラミツク基板の折損が生じ
た。 (発明が解決しようとする問題点) セラミツク基板の主として耐落下衝撃性を改善
して実用上のかなり粗暴にもわたるような取扱い
による損傷回避を、とくに簡易な構成により実現
することがこの発明の目的である。 (問題点を解決するための手段) この発明は、取付け用ハウジング金具の内部に
て位置定め保持具と接する段差を有し、この位置
定め保持具から環境空間へ延伸する自由端と反対
の基端側を、取付け用ハウジング金具に対し充て
ん剤を介し固定するセラミツク基板において、 上記段差を、位置定め保持具と部分的に接する
配置に設けたことを特徴とする、耐落下衝撃性の
高い、セラミツク基板である。 ここに位置定め保持具と部分的に接する段差の
配置というのは、段差がセラミツク基板の長手方
向を横切つて真一文字状に直線状をなして幅方向
にわたる配置を除外することを意味し、従つてセ
ラミツク基板の幅をたとえば三分した両側部又は
中央部でのみ、位置定め保持具と接する段差を形
成するのである。 以下この発明に従うセラミツク基板を酸素セン
サに用いた具体例にて説明を加える。 第1図、第2図には酸素センサの部分破断で内
部構成をあらわした、セラミツク基板の正面と側
面を示す。 図中1はセラミツク基板、1aはその検出部、
2は取付け用ハウジング金具、3はプロテクタ、
そして4は内筒、5はセラミツク基板1の位置定
め保持具である。 取付け用ハウジング金具2は、そのねじ脚2a
をたとえば内燃機関の排気系統(図示せず)の所
定位置にねじ込み、ガスケツト2bによる封止下
にプロテクタ3を介し検出部1aを測定環境中に
位置させる。 ここにセラミツク基板1はこの例でその幅方向
の両側に限局した段差1bにより部分的な位置定
め保持具5との接触下に、取付け用ハウジング金
具2とその延長に与る内筒4の内部に詰め込んだ
充てん剤6、さらに必要なとき、ガラスシール7
を用いてセラミツク基板1から引出したリード線
8,9および10も一緒に、取付け用ハウジング
金具2および内筒4と一体化し、各リード線はさ
らにシリコーンゴム11による絶縁下に外筒12
をかぶせて保護する。 ここに充てん剤6は、滑石およびガラスの好ま
しくは等量配合の混合粉を、またガラスシール7
は低融点ガラスをそれぞれ用いることができる。 なお図中13は、各リード線と内部配線との接
続部である。 セラミツク基板1は、この例で次の手順により
予め用意したものである。 すなわち第3図a〜cがそれであり、例えば平
均粒径1.5μmのAl2O392重量%、SiO24重量%、
CaO2重量%及びMgO2重量%からなる混合粉末
100重量部に対して、ブチラール樹脂12重量部と
ジブチルフタレート(DBP)6重量部とを添加
し、有機溶剤中で混合してスラリーとし、ドクタ
ーブレードを用いて形成されたグリーンシート
を、厚み1mmと、0.2mmの2種類を同形につくり、
厚い方のグリーンシート14の片面に、第8図a
のように検出素子1aの電極を構成するパターン
15,16、また該素子1aの加熱のための発熱
抵抗パターン17、そしてこれらに電源を印加
し、また検出信号をとり出す端子および導電パタ
ーン18,19,20を、たとえばPtを主体と
し、7%程度のAl2O3を添加した、いわゆる白金
ペーストの厚膜印刷を行い、ついで同図bのよう
に外径0.2mmの白金リード線21,22,23を
つなぎ、しかるのち薄い方のグリーンシート24
を、その検出素子1aと対応する位置に窓孔25
を打抜き形成した上で、積層する。 ついで別途に準備するもう一種類のグリーンシ
ート26(第3図c参照)も上掲したと同質の配
合よりなるを可とするが、これは、すでに第1
図、第2図で述べた段差1bを有利に形成する厚
みとし、とくにこの発明に従つて、図示例では中
央部分を長さlにわたる切欠き27を有するもの
として、さらに積層する。 この積層体はたとえば1550℃大気雰囲気下に2
時間保持することにより焼成を行う。 なおその後、電極パターン15,16上に、常
法に従い検出素子1aを設ける。この例では、平
均粒径1.2μmのTiO2粉100モルに対し5モルの白
金ブラツクを配合し、全粉末に対し3重量%に当
るエチルセルロースを添加し、ブチルカルビトー
ル(2−(2)−ブトキシエトキシ:エタノールの商
品名)中で混合し、300ポアズに粘度調整を行つ
たTiO2ペーストを窓孔25内に厚膜印刷し1200
℃大気雰囲気下に保持して焼付けを行つた。 以上のようにして得られたセラミツク基板1
は、その中央を除いて両側のみ、また逆に両側を
除いて中央のみの段差1bを位置定め保持具5と
部分的に接触させるようにして保持した上で充て
ん剤6を取付け用ハウジング金具2および内筒4
の内部に詰め込みさらに低融点ガラスフリツトを
装入した上で530℃15分間の加熱を施してガラス
シール7による封止を行うのである。 (作用) セラミツク基板の取付け用ハウジング金具内に
おける位置定め保持具と接する段差が、幅方向に
一直線状にわたらせない部分的な接触によつて
も、確実な位置定めが可能なのはもとより、この
段差における落下衝撃に基く折損が有効に回避さ
れ得る。 (実施例) セラミツク基板を、幅5mm、長さ48mm、先側厚
み1.5mm、元側(固定側)厚み2.0mmのサイズでつ
くるとき、第4図a,bおよびcに示すように、
第3図cに示したグリーンシート26の段差1b
側の端部中央を長さlを4mm、幅wは2mmにわた
つて切欠いたタイプA、逆に段差1b側の端部中
央を幅wが2mmにわたつて残し、両側を、やはり
長さlを4mmとして切欠いたタイプBそして横一
文字状にのびる直線状段差を設けたタイプCの各
供試品を各210こ試作し、これらを用いた組立て
物を試験体として、何れもセラミツク基板1の面
を水平に保つた姿勢から、1mの高さにてコンク
リート床に落下させ、基板の折損有無を、耐落下
衝撃性の評価指準とした。なお折損は、すべて段
差から生じていた。
【表】
次に上記の切欠きつきの段差を、第4図bに示
したところに準じてセラミツク基板の表裏両面
に、また第4図のa,b双方に準じる段差をやは
りセラミツク基板の表裏両面に形成して試験を行
つた結果、何れも耐落下衝撃性の高いことがわか
つた。 さらに第4図bに示した幅中央部における両側
の切欠き残部のみと対応するような局部突起を形
成してその一端を段差に利用したときも好成績を
得た。 なお以上のべたところにおいてセラミツク基板
1の面から突出する検出部1aの素子表面を保護
するため、その突出高さをこえる厚みのセラミツ
ク層を積層することにより、位置定め保持具の貫
通穴を検出部1aが通過する際の擦過損傷を防ぐ
場合において、このセラミツク層上に重ねて段差
を形成するセラミツク層を積層するとき、この段
差についても上記した構成の適用がのぞましい。 (発明の効果) この発明によれば、取付け用ハウジング金具の
内部で位置定め保持具との段差係合により保持す
るセラミツク基板の、該段差に沿う落下衝撃によ
る折損を、簡易に回避することができる。
したところに準じてセラミツク基板の表裏両面
に、また第4図のa,b双方に準じる段差をやは
りセラミツク基板の表裏両面に形成して試験を行
つた結果、何れも耐落下衝撃性の高いことがわか
つた。 さらに第4図bに示した幅中央部における両側
の切欠き残部のみと対応するような局部突起を形
成してその一端を段差に利用したときも好成績を
得た。 なお以上のべたところにおいてセラミツク基板
1の面から突出する検出部1aの素子表面を保護
するため、その突出高さをこえる厚みのセラミツ
ク層を積層することにより、位置定め保持具の貫
通穴を検出部1aが通過する際の擦過損傷を防ぐ
場合において、このセラミツク層上に重ねて段差
を形成するセラミツク層を積層するとき、この段
差についても上記した構成の適用がのぞましい。 (発明の効果) この発明によれば、取付け用ハウジング金具の
内部で位置定め保持具との段差係合により保持す
るセラミツク基板の、該段差に沿う落下衝撃によ
る折損を、簡易に回避することができる。
第1図、第2図は酸素センサに適用したこの発
明のセラミツク基板の正面図と側面図、第3図は
セラミツク基板の作成手順の説明図であり、第4
図は供試品の段差形状比較図である。 1……セラミツク基板、1a……検出部、1b
……段差、2……取付け用ハウジング金具、5…
…位置定め保持具。
明のセラミツク基板の正面図と側面図、第3図は
セラミツク基板の作成手順の説明図であり、第4
図は供試品の段差形状比較図である。 1……セラミツク基板、1a……検出部、1b
……段差、2……取付け用ハウジング金具、5…
…位置定め保持具。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 取付け用ハウジング金具の内部にて位置定め
保持具と接する段差を有し、この位置定め保持具
から環境空間中へ延伸する自由端と反対の基端側
を、取付け用ハウジング金具に対し充てん剤を介
し固定するセラミツク基板において、 上記段差を、位置定め保持具と部分的に接する
配置に設けたことを特徴とする、耐落下衝撃性の
高い、セラミツク基板。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59182559A JPS6163575A (ja) | 1984-09-03 | 1984-09-03 | 耐落下衝撃性の高い、セラミツク基板 |
| US06/769,715 US4656863A (en) | 1984-09-03 | 1985-08-27 | Gas sensor |
| EP85111085A EP0176787B1 (en) | 1984-09-03 | 1985-09-03 | Gas sensor |
| DE8585111085T DE3582644D1 (de) | 1984-09-03 | 1985-09-03 | Gasfuehler. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59182559A JPS6163575A (ja) | 1984-09-03 | 1984-09-03 | 耐落下衝撃性の高い、セラミツク基板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6163575A JPS6163575A (ja) | 1986-04-01 |
| JPH0437034B2 true JPH0437034B2 (ja) | 1992-06-18 |
Family
ID=16120387
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59182559A Granted JPS6163575A (ja) | 1984-09-03 | 1984-09-03 | 耐落下衝撃性の高い、セラミツク基板 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4656863A (ja) |
| EP (1) | EP0176787B1 (ja) |
| JP (1) | JPS6163575A (ja) |
| DE (1) | DE3582644D1 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3401648B2 (ja) * | 1993-07-23 | 2003-04-28 | 日本特殊陶業株式会社 | 酸素センサ用棒状セラミックヒータ及びその製造方法 |
| GB9408542D0 (en) * | 1994-04-29 | 1994-06-22 | Capteur Sensors & Analysers | Gas sensing resistors |
| US5602325A (en) * | 1994-09-27 | 1997-02-11 | General Motors Corporation | Exhaust sensor having flat plate ceramic sensing element and a sealing package |
| EP0704697A1 (en) * | 1994-09-27 | 1996-04-03 | General Motors Corporation | Exhaust sensor including a ceramic tube in metal tube package |
| US5659127A (en) * | 1996-08-26 | 1997-08-19 | Opto Tech Corporation | Substrate structure of monolithic gas sensor |
| JP4639515B2 (ja) * | 2000-06-30 | 2011-02-23 | 株式会社デンソー | ガスセンサ |
| US7802472B1 (en) * | 2007-08-21 | 2010-09-28 | Fluke Corporation | Ruggedized sensor probe |
| DE102009007279A1 (de) * | 2009-02-03 | 2010-08-19 | Dräger Safety AG & Co. KGaA | Explosionsgeschützter Gassensor ohne druckfeste Kapselung |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4414531A (en) * | 1982-09-30 | 1983-11-08 | Ford Motor Company | Partial pressure of oxygen sensor-I |
-
1984
- 1984-09-03 JP JP59182559A patent/JPS6163575A/ja active Granted
-
1985
- 1985-08-27 US US06/769,715 patent/US4656863A/en not_active Expired - Lifetime
- 1985-09-03 EP EP85111085A patent/EP0176787B1/en not_active Expired
- 1985-09-03 DE DE8585111085T patent/DE3582644D1/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4656863A (en) | 1987-04-14 |
| EP0176787A2 (en) | 1986-04-09 |
| JPS6163575A (ja) | 1986-04-01 |
| DE3582644D1 (de) | 1991-05-29 |
| EP0176787A3 (en) | 1986-12-30 |
| EP0176787B1 (en) | 1991-04-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0182485B1 (en) | Gas sensing element | |
| US4660407A (en) | Gas sensor | |
| JPH07190863A (ja) | 温度センサ | |
| JP4034900B2 (ja) | ヒータ付き酸素センサ及びその製造方法 | |
| JP2002514310A (ja) | 温度測定用センサ装置の製造方法 | |
| EP0058898B1 (en) | Oxygen sensing element formed as laminate of thin layers on substrate provided with heater and lead wires | |
| JPH0437034B2 (ja) | ||
| EP0078058B1 (en) | Dew sensor | |
| US4620437A (en) | Gas sensor | |
| JPH10303066A (ja) | Cr素子 | |
| US4909066A (en) | Thick-film gas sensor of a laminar structure and a method of producing the same | |
| US4652849A (en) | Gas sensor | |
| JP2868272B2 (ja) | センサの組付構造 | |
| JPH052848Y2 (ja) | ||
| JP2001141575A (ja) | 温度センサ素子およびその素子を用いた温度センサ | |
| JP2582135B2 (ja) | 厚膜型ガス感応体素子の製造方法 | |
| JPH055305B2 (ja) | ||
| JPH0221744B2 (ja) | ||
| JPH0536205Y2 (ja) | ||
| JPH0330815B2 (ja) | ||
| JPH0479539B2 (ja) | ||
| JPS63231255A (ja) | 厚膜型ガス感応体素子の製法 | |
| JPH0617885B2 (ja) | 酸素センサ中間組立体 | |
| JP2677243B2 (ja) | 検査用チップ電子部品およびその製造方法 | |
| JPH024993B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |