JPH061188B2 - 物体の捩れ検査方式 - Google Patents
物体の捩れ検査方式Info
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- JPH061188B2 JPH061188B2 JP60291385A JP29138585A JPH061188B2 JP H061188 B2 JPH061188 B2 JP H061188B2 JP 60291385 A JP60291385 A JP 60291385A JP 29138585 A JP29138585 A JP 29138585A JP H061188 B2 JPH061188 B2 JP H061188B2
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- Japan
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Description
この発明は、例えば高速増殖炉用の燃料集合体を被検査
対象物とする角柱長尺物体の捩れ検査方式に関する。
対象物とする角柱長尺物体の捩れ検査方式に関する。
周知のように頭記の燃料集合体は、エントランスノズル
部と燃料要素を収納したラッパ管とを溶接接合して一体
に構成されたステンレス製の六角柱体として成るもので
あり、該燃料集合体は組立製作後に原子炉施設に納品す
る以前の段階で変形等の有無検査が通常行われている。
この検査は燃料集合体の外形寸法検査,表面の傷の有
無,曲り等の検査項目とともに、捩れ検査が重要な検査
項目となっている。すなわち前記のように燃料集合体は
エントランスノズル部とラッパ管との溶接接合体として
成り、このために溶接工程での溶接歪,製作誤差に起因
してとかく燃料集合体にはその長手方向に沿って捩れが
生じ易い。一方、燃料集合体は原子炉への装荷性を考慮
してその寸法精度が厳しく規定されている。 かかる点従来における検査は目視による実測ないし接触
式のセンサを使用して各種検査を行っているが、目視に
よる実測検査方法では高い検査精度が得られず、また接
触式センサを使用する方法では、検査過程でセンサの接
触部摩耗等が原因となって高い検査精度が得られないの
みならず、燃料集合体の表面に傷を付けたり、あるいは
汚したりする恐れがある。さらに加えて燃料集合体を被
検査物として検査する際の検査工程が遠隔操作方式でな
い場合には検査員の放射能被曝の恐れもある。
部と燃料要素を収納したラッパ管とを溶接接合して一体
に構成されたステンレス製の六角柱体として成るもので
あり、該燃料集合体は組立製作後に原子炉施設に納品す
る以前の段階で変形等の有無検査が通常行われている。
この検査は燃料集合体の外形寸法検査,表面の傷の有
無,曲り等の検査項目とともに、捩れ検査が重要な検査
項目となっている。すなわち前記のように燃料集合体は
エントランスノズル部とラッパ管との溶接接合体として
成り、このために溶接工程での溶接歪,製作誤差に起因
してとかく燃料集合体にはその長手方向に沿って捩れが
生じ易い。一方、燃料集合体は原子炉への装荷性を考慮
してその寸法精度が厳しく規定されている。 かかる点従来における検査は目視による実測ないし接触
式のセンサを使用して各種検査を行っているが、目視に
よる実測検査方法では高い検査精度が得られず、また接
触式センサを使用する方法では、検査過程でセンサの接
触部摩耗等が原因となって高い検査精度が得られないの
みならず、燃料集合体の表面に傷を付けたり、あるいは
汚したりする恐れがある。さらに加えて燃料集合体を被
検査物として検査する際の検査工程が遠隔操作方式でな
い場合には検査員の放射能被曝の恐れもある。
この発明は上記の点にかんがみなされたものであり、前
記した従来の検査方式の問題点を解消して被検査物体の
長手方向に沿った捩れを非接触式、かつ精度よく検査で
きるようにした物体の捩れ検査方式を提供することを目
的とする。
記した従来の検査方式の問題点を解消して被検査物体の
長手方向に沿った捩れを非接触式、かつ精度よく検査で
きるようにした物体の捩れ検査方式を提供することを目
的とする。
上記目的を達成するために、この発明は、2個のセンサ
を1組とする平行配置した2組の変位センサを、偶数面
を有する正多角形の角柱長尺体である被検査物体に沿っ
て昇降移動可能に前記被検査物体を挟んでその両側に対
向配備し、前記被検査物体の各対向面毎に、前記被検査
物体の軸上に設定した基準測定位置における変位センサ
の出力データより求めた前記被検査物体の縦割り仮想中
心面と、前記基準測定位置から変位した対象測定位置に
おける変位センサの出力データより求めた前記対象測定
位置での捩れ中心面とを対比して、前記基準測定位置と
前記対象測定位置との間の相対的な中心面の傾きを求
め、かつ前記により得た各対向面ごとの仮想中心面と捩
れ中心面との間の相対的な捩れ角度の平均値を以て、前
記被検査物体の捩れ量を検出するようにしたものであ
る。
を1組とする平行配置した2組の変位センサを、偶数面
を有する正多角形の角柱長尺体である被検査物体に沿っ
て昇降移動可能に前記被検査物体を挟んでその両側に対
向配備し、前記被検査物体の各対向面毎に、前記被検査
物体の軸上に設定した基準測定位置における変位センサ
の出力データより求めた前記被検査物体の縦割り仮想中
心面と、前記基準測定位置から変位した対象測定位置に
おける変位センサの出力データより求めた前記対象測定
位置での捩れ中心面とを対比して、前記基準測定位置と
前記対象測定位置との間の相対的な中心面の傾きを求
め、かつ前記により得た各対向面ごとの仮想中心面と捩
れ中心面との間の相対的な捩れ角度の平均値を以て、前
記被検査物体の捩れ量を検出するようにしたものであ
る。
第1図は原子炉の燃料集合体を被検査物体とするこの発
明の実施例による検査装置の構成図、第2図はその検査
システム系統図、第3図はその計測手法の原理説明図、
第4図は燃料集合体の捩れ状態を示した外観側面および
断面図、第5図は捩れ量を求める説明図を示すものであ
る。各図において1は燃料集合体であり、11は燃料集合
体1のエントランスノズル部,12は燃料要素を収納した
ラッパ管部,13は頂部のハンドリングヘッド13である。
なお14はエントランスノズル部11とラッパ管部12との間
の溶接部を示している。一方、検査装置は第2図に示す
ようにエントランスノズル部11を受容して燃料集合体1
を垂直姿勢に起立保持する被検査物体保持機構2と、燃
料集合体1と離間してその側面に対向位置する非接触式
の変位センサ3と、該変位センサ3を燃料集合体1の長
手方向に沿って昇降移動操作する遠隔操作式の移動機構
4と、および第3図に示す演算制御部5,検査モニタ部
6等で構成されている。 ここで前記した被検査物体保持機構2は燃料集合体1の
エントランスノズル部11を下方より受容して起立姿勢に
保持する保持筒21と、該保持筒21をその軸中心の回りで
旋回操作する旋回駆動部22と、および保持筒21の旋回位
置を検出するエンコーダ23とで構成されている。一方、
変位センサ3は分解能が35μm程度である高精度の静電
容量型センサが採用されており、燃料集合体1を挟んで
その両側にはそれぞれ2個のセンサを1組とする2組の
センサ31〜34が平行して対向配置されている。また移動
機構4は、前記変位センサ3を搭載した昇降テーブル41
と、該テーブル41を燃料集合体1に沿って上下方向に昇
降操作する送りねじ機構42と、該送りねじ機構42の駆動
部43と、およびテーブル上に搭載したセンサ3の昇降位
置検出用エンコーダ44とで構成されている。なお前記被
検査物体保持機構2および移動機構4はいずれも外部か
らのオペレータの指令で動作する遠隔操作式のものであ
る。また第2図に示した演算制御部5は前記した各変位
センサ31〜34および各エンコーダ23,44の出力信号を取
り込んでデータ処理する演算機能を備えたものであり、
さらに検査モニタ部6は検査結果を数値データとして帳
標出力するプリンタおよび画像として出力するディスプ
レー等を装備している。なお51はセンサの信号変換器で
ある。 上記の構成で、燃料集合体1を被検査物体保持機構2で
起立姿勢に保持し、かつ燃料集合体1の側面に変位セン
サ31〜34を非接触式に対向位置させ、この状態でまず第
3図のように各センサ31〜34とこれに対向する燃料集合
体1の側面との間の対向距離d1〜d4をセンサ出力から計
測する。ここで先記したセンサ移動系の原点Xと各セン
サの先端までの既知の距離L1,L2を取り込んで演算処理
することにより、前記センサ31と33,および32と34のセ
ンタを結ぶ線上で計測した燃料集合体1の中央点m,n
を求め、次いで前記中央点m,nを結ぶ中心線Pを求め
る。なお既知の距離L3を基にセンサ31と32,33と34との
中心を結んだ線との交点よりその計測点での中心点Oが
求められる。また図示の燃料集合体位置で前記により求
めた中心点Oを通る断面方向の中心線Pは断面が正六角
形の燃料集合体1の対角線に一致する。さらに第1図に
示した保持機構2により正六角形の燃料集合体1をその
軸の回りで60度ずつ旋回してその都度燃料集合体1の
各対向面に付いて前記と同様な計測を行うことにより、
各対角線に対応する3本の中心線を設定することができ
る。 次に先記した検査装置により、燃料集合体1を被検査対
象物とするその長手方向の捩れ検査の手順に付いて説明
する。すなわち燃料集合体1の捩れの最も大きな要因は
頭記したようにエントランスノズル部11とラッパ管部12
との間の溶接接合に起因する製作誤差にあり、燃料集合
体1に捩れが生じているとするとその様子は第4図のよ
うになる。なおこの図において実線で示す正六角形はエ
ントランスノズル部11の断面,点線はラッパ管部12での
断面形状を表している。ここでまず第4図に示すように
燃料集合体1の溶接接合部14を境にその下側のエントラ
ンスノズル部11を基準測定範囲,上側のラッパ管部12を
対象測定範囲として、まずエントランスノズル部11に基
準測定位置Aを設定し、かつこの基準測定位置Aで第1
図に示した保持機構2により燃料集合体1を60度ずつ旋
回移動しながら燃料集合体の各対向面毎に計測を行い、
変位センサ3の出力データを演算処理することにより第
3図で述べた手法で燃料集合体1の軸中心を通る断面方
向の中心線を求めるとともに、この中心線そのまま燃料
集合体1の軸方向に延長して得られる測定基準の縦割り
仮想中心面P1を設定する。この仮想中心面P1は燃料集合
体1に捩れがないと仮定した場合の軸方向に沿った定方
向の縦割り中心面であり、正六角形の燃料集合体1では
各対角稜線の間を結んだ縦割りの対角面に対応する。 次に第1図における移動機構4を操作してテーブル41を
上昇移動し、変位センサ3を燃料集合体1のラッパ管部
12における任意の対象測定位置B(第4図)に対向位置
させる。次いで前回と同様に変位センサ3の出力データ
からその対象測定位置Bにおける各対向面に付いて前記
した仮想中心面P1に対応する捩れ中心面P2,つまり対象
測定位置Bにおける各方向の縦割り対角面を求める。こ
こで前記した基準測定位置Aおよび対象測定位置Bにお
ける燃料集合体1の各対向面に付いて計測した縦割れの
仮想中心面P1および捩れ中心面P2を図に表すと第5図の
ようになる。この図において実線および点線で示した各
中心面P1とP2との成す相対的な傾き角度θ1〜θ3がそ
れぞれ燃料集合体1の各対向面における基準測定位置A
と対象測定位置Bとの間の捩れ角を表す。ここで前記し
た捩れ角度θ1〜θ3の代数平均値を求めることにより
燃料集合体1における基準測定位置Aと対象測定位置B
との間の捩れ量θを検出することができる。 なお実際の燃料集合体の検査に当たっては、前記した対
象測定位置Bをラッパ管部12に沿って数点設定して各
位置での捩れ量を求め、この計測結果を第2図に示した
検査モニタ部5で作図表示するとともにその数値データ
を帳標出力することにより、燃料集合体の捩れに対する
合否の判定が成される。 上記の説明で明らかなように、例えば燃料集合体である
角柱長尺の被検査物体の捩れの検査は、変位センサを被
検査物体に沿って移動しながら非接触式に計測操作を行
うようにしている。したがって従来の検査方式と比べ
て、変位センサは非接触状態で被検査物体の計測を行う
ので変位センサの機械的摩耗、および被検査物体の表面
に傷付き,汚染を与える恐れがなく、かつ変位センサを
燃料集合体を挟んでその両側に対向配備しているので、
センサの昇降駆動経路の途中で偏心誤差があってもその
誤差分を相殺補償することができて常に正しい計測が行
える。さらに一連の検査操作を全て遠隔操作で行うこと
が可能であり、燃料集合体を対象とした場合にも放射能
被曝の危険もなく安全に検査を遂行できる等の利点が得
られる。 また図示実施例は正六角柱の燃料集合体を対象とした被
検査物体の捩れ検査に付いて述べたが、被検査物体は燃
料集合体に限定されるものではなく、各種形状の角柱長
尺体に付いても同様に実施適用できることは勿論であ
る。なおこの場合に、第1図における変位センサを昇降
テーブルに対して前後移動可能に設置し、かつその移動
量をエンコーダで検出するように構成することにより、
各種サイズの被検査物体に対しても容易に対応できる。
また基準測定位置に付いても、図示実施例では燃料集合
体の下部エントランスノズル部を基準測定位置とした
が、一般の被検査物体に付いてはこれに限定されるもの
ではなく、長尺体の軸上任意箇所に基準測定位置を設定
してこの位置と変位した対象測定位置との間で相対的な
捩れ量を検出することができる。さらに被検査物体は図
示実施例のように起立させずに横に寝かした状態でも検
査を行うことが可能である。
明の実施例による検査装置の構成図、第2図はその検査
システム系統図、第3図はその計測手法の原理説明図、
第4図は燃料集合体の捩れ状態を示した外観側面および
断面図、第5図は捩れ量を求める説明図を示すものであ
る。各図において1は燃料集合体であり、11は燃料集合
体1のエントランスノズル部,12は燃料要素を収納した
ラッパ管部,13は頂部のハンドリングヘッド13である。
なお14はエントランスノズル部11とラッパ管部12との間
の溶接部を示している。一方、検査装置は第2図に示す
ようにエントランスノズル部11を受容して燃料集合体1
を垂直姿勢に起立保持する被検査物体保持機構2と、燃
料集合体1と離間してその側面に対向位置する非接触式
の変位センサ3と、該変位センサ3を燃料集合体1の長
手方向に沿って昇降移動操作する遠隔操作式の移動機構
4と、および第3図に示す演算制御部5,検査モニタ部
6等で構成されている。 ここで前記した被検査物体保持機構2は燃料集合体1の
エントランスノズル部11を下方より受容して起立姿勢に
保持する保持筒21と、該保持筒21をその軸中心の回りで
旋回操作する旋回駆動部22と、および保持筒21の旋回位
置を検出するエンコーダ23とで構成されている。一方、
変位センサ3は分解能が35μm程度である高精度の静電
容量型センサが採用されており、燃料集合体1を挟んで
その両側にはそれぞれ2個のセンサを1組とする2組の
センサ31〜34が平行して対向配置されている。また移動
機構4は、前記変位センサ3を搭載した昇降テーブル41
と、該テーブル41を燃料集合体1に沿って上下方向に昇
降操作する送りねじ機構42と、該送りねじ機構42の駆動
部43と、およびテーブル上に搭載したセンサ3の昇降位
置検出用エンコーダ44とで構成されている。なお前記被
検査物体保持機構2および移動機構4はいずれも外部か
らのオペレータの指令で動作する遠隔操作式のものであ
る。また第2図に示した演算制御部5は前記した各変位
センサ31〜34および各エンコーダ23,44の出力信号を取
り込んでデータ処理する演算機能を備えたものであり、
さらに検査モニタ部6は検査結果を数値データとして帳
標出力するプリンタおよび画像として出力するディスプ
レー等を装備している。なお51はセンサの信号変換器で
ある。 上記の構成で、燃料集合体1を被検査物体保持機構2で
起立姿勢に保持し、かつ燃料集合体1の側面に変位セン
サ31〜34を非接触式に対向位置させ、この状態でまず第
3図のように各センサ31〜34とこれに対向する燃料集合
体1の側面との間の対向距離d1〜d4をセンサ出力から計
測する。ここで先記したセンサ移動系の原点Xと各セン
サの先端までの既知の距離L1,L2を取り込んで演算処理
することにより、前記センサ31と33,および32と34のセ
ンタを結ぶ線上で計測した燃料集合体1の中央点m,n
を求め、次いで前記中央点m,nを結ぶ中心線Pを求め
る。なお既知の距離L3を基にセンサ31と32,33と34との
中心を結んだ線との交点よりその計測点での中心点Oが
求められる。また図示の燃料集合体位置で前記により求
めた中心点Oを通る断面方向の中心線Pは断面が正六角
形の燃料集合体1の対角線に一致する。さらに第1図に
示した保持機構2により正六角形の燃料集合体1をその
軸の回りで60度ずつ旋回してその都度燃料集合体1の
各対向面に付いて前記と同様な計測を行うことにより、
各対角線に対応する3本の中心線を設定することができ
る。 次に先記した検査装置により、燃料集合体1を被検査対
象物とするその長手方向の捩れ検査の手順に付いて説明
する。すなわち燃料集合体1の捩れの最も大きな要因は
頭記したようにエントランスノズル部11とラッパ管部12
との間の溶接接合に起因する製作誤差にあり、燃料集合
体1に捩れが生じているとするとその様子は第4図のよ
うになる。なおこの図において実線で示す正六角形はエ
ントランスノズル部11の断面,点線はラッパ管部12での
断面形状を表している。ここでまず第4図に示すように
燃料集合体1の溶接接合部14を境にその下側のエントラ
ンスノズル部11を基準測定範囲,上側のラッパ管部12を
対象測定範囲として、まずエントランスノズル部11に基
準測定位置Aを設定し、かつこの基準測定位置Aで第1
図に示した保持機構2により燃料集合体1を60度ずつ旋
回移動しながら燃料集合体の各対向面毎に計測を行い、
変位センサ3の出力データを演算処理することにより第
3図で述べた手法で燃料集合体1の軸中心を通る断面方
向の中心線を求めるとともに、この中心線そのまま燃料
集合体1の軸方向に延長して得られる測定基準の縦割り
仮想中心面P1を設定する。この仮想中心面P1は燃料集合
体1に捩れがないと仮定した場合の軸方向に沿った定方
向の縦割り中心面であり、正六角形の燃料集合体1では
各対角稜線の間を結んだ縦割りの対角面に対応する。 次に第1図における移動機構4を操作してテーブル41を
上昇移動し、変位センサ3を燃料集合体1のラッパ管部
12における任意の対象測定位置B(第4図)に対向位置
させる。次いで前回と同様に変位センサ3の出力データ
からその対象測定位置Bにおける各対向面に付いて前記
した仮想中心面P1に対応する捩れ中心面P2,つまり対象
測定位置Bにおける各方向の縦割り対角面を求める。こ
こで前記した基準測定位置Aおよび対象測定位置Bにお
ける燃料集合体1の各対向面に付いて計測した縦割れの
仮想中心面P1および捩れ中心面P2を図に表すと第5図の
ようになる。この図において実線および点線で示した各
中心面P1とP2との成す相対的な傾き角度θ1〜θ3がそ
れぞれ燃料集合体1の各対向面における基準測定位置A
と対象測定位置Bとの間の捩れ角を表す。ここで前記し
た捩れ角度θ1〜θ3の代数平均値を求めることにより
燃料集合体1における基準測定位置Aと対象測定位置B
との間の捩れ量θを検出することができる。 なお実際の燃料集合体の検査に当たっては、前記した対
象測定位置Bをラッパ管部12に沿って数点設定して各
位置での捩れ量を求め、この計測結果を第2図に示した
検査モニタ部5で作図表示するとともにその数値データ
を帳標出力することにより、燃料集合体の捩れに対する
合否の判定が成される。 上記の説明で明らかなように、例えば燃料集合体である
角柱長尺の被検査物体の捩れの検査は、変位センサを被
検査物体に沿って移動しながら非接触式に計測操作を行
うようにしている。したがって従来の検査方式と比べ
て、変位センサは非接触状態で被検査物体の計測を行う
ので変位センサの機械的摩耗、および被検査物体の表面
に傷付き,汚染を与える恐れがなく、かつ変位センサを
燃料集合体を挟んでその両側に対向配備しているので、
センサの昇降駆動経路の途中で偏心誤差があってもその
誤差分を相殺補償することができて常に正しい計測が行
える。さらに一連の検査操作を全て遠隔操作で行うこと
が可能であり、燃料集合体を対象とした場合にも放射能
被曝の危険もなく安全に検査を遂行できる等の利点が得
られる。 また図示実施例は正六角柱の燃料集合体を対象とした被
検査物体の捩れ検査に付いて述べたが、被検査物体は燃
料集合体に限定されるものではなく、各種形状の角柱長
尺体に付いても同様に実施適用できることは勿論であ
る。なおこの場合に、第1図における変位センサを昇降
テーブルに対して前後移動可能に設置し、かつその移動
量をエンコーダで検出するように構成することにより、
各種サイズの被検査物体に対しても容易に対応できる。
また基準測定位置に付いても、図示実施例では燃料集合
体の下部エントランスノズル部を基準測定位置とした
が、一般の被検査物体に付いてはこれに限定されるもの
ではなく、長尺体の軸上任意箇所に基準測定位置を設定
してこの位置と変位した対象測定位置との間で相対的な
捩れ量を検出することができる。さらに被検査物体は図
示実施例のように起立させずに横に寝かした状態でも検
査を行うことが可能である。
以上述べたようにこの発明によれば、偶数面を有する正
多角形の角柱長尺体である被検査物体に対向して2個の
センサを1組とする平行配置した2組の変位センサを被
検査物体に沿って移動可能に前記被検査物体を挟んでそ
の両側に対向配備し、前記被検査物体の各対向面ごとに
前記被検査物体の軸上に設定した基準測定位置における
変位センサの出力データより求めた被検査物体の測定基
準となる定方向の縦割り仮想中心面と、前記基準測定位
置から変位した対象測定位置における変位センサの出力
データより求めた該対象測定位置での前記仮想中心面に
対応する捩れ中心面とを対比して基準測定位置と対象測
定位置との間の相対的な中心面の傾きを求め、その対比
演算結果から被検査物体の長手方向に沿った捩れの度合
を検出するようにしたことにより、被検査物体の捩れの
度合を非接触式にしかも高い検査精度で検出することが
可能である実用的価値の高い捩れ検査方式を提供するこ
とができる。
多角形の角柱長尺体である被検査物体に対向して2個の
センサを1組とする平行配置した2組の変位センサを被
検査物体に沿って移動可能に前記被検査物体を挟んでそ
の両側に対向配備し、前記被検査物体の各対向面ごとに
前記被検査物体の軸上に設定した基準測定位置における
変位センサの出力データより求めた被検査物体の測定基
準となる定方向の縦割り仮想中心面と、前記基準測定位
置から変位した対象測定位置における変位センサの出力
データより求めた該対象測定位置での前記仮想中心面に
対応する捩れ中心面とを対比して基準測定位置と対象測
定位置との間の相対的な中心面の傾きを求め、その対比
演算結果から被検査物体の長手方向に沿った捩れの度合
を検出するようにしたことにより、被検査物体の捩れの
度合を非接触式にしかも高い検査精度で検出することが
可能である実用的価値の高い捩れ検査方式を提供するこ
とができる。
第1図はこの発明の実施例による検査装置の構成配置
図、第2図は第1図の検査装置の検査システムの系統
図、第3図はその計測手法の原理説明図、第4図は被検
査物体の捩れ状態を表した側面および断面図、第5図は
捩れ量を求める説明図である。各図において、 1:被検査物体としての燃料集合体、2:被検査物体保
持機構、3,31〜34:変位センサ、4:移動機構、A:
基準測定位置、B:対象測定位置、P1:仮想中心面、
P2:捩れ中心面、θ:捩れ量、θ1〜θ3:各方向での
捩れ角度。
図、第2図は第1図の検査装置の検査システムの系統
図、第3図はその計測手法の原理説明図、第4図は被検
査物体の捩れ状態を表した側面および断面図、第5図は
捩れ量を求める説明図である。各図において、 1:被検査物体としての燃料集合体、2:被検査物体保
持機構、3,31〜34:変位センサ、4:移動機構、A:
基準測定位置、B:対象測定位置、P1:仮想中心面、
P2:捩れ中心面、θ:捩れ量、θ1〜θ3:各方向での
捩れ角度。
Claims (2)
- 【請求項1】偶数面を有する正多角形の角柱長尺体であ
る被検査物体の長手方向に沿った捩れの度合いを検査す
る方式であって、2個のセンサを1組とする平行配置し
た2組の変位センサを前記被検査物体に沿って昇降移動
可能に前記被検査物体を挟んでその両側に対向配備し、
前記被検査物体の各対向面毎に、前記被検査物体の軸上
に設定した基準測定位置における変位センサの出力デー
タより求めた前記被検査物体の縦割り仮想中心面と、前
記基準測定位置から変位した対象測定位置における変位
センサの出力データより求めた前記基準測定位置と前記
対象位置との間の相対的な中心面の傾きを求め、かつ前
記により得た各対象面ごとの仮想中心面と捩れ中心面と
の間の相対的な捩れ角度の平均値を以て、前記被検査物
体の捩れ量を検出するようにしたことを特徴とする物体
の捩れ検査方式。 - 【請求項2】特許請求の範囲第1項記載の検査方式にお
いて、変位センサが静電容量型の変位センサであること
を特徴とする物体の捩れ検査方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60291385A JPH061188B2 (ja) | 1985-12-24 | 1985-12-24 | 物体の捩れ検査方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60291385A JPH061188B2 (ja) | 1985-12-24 | 1985-12-24 | 物体の捩れ検査方式 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62148806A JPS62148806A (ja) | 1987-07-02 |
| JPH061188B2 true JPH061188B2 (ja) | 1994-01-05 |
Family
ID=17768230
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60291385A Expired - Lifetime JPH061188B2 (ja) | 1985-12-24 | 1985-12-24 | 物体の捩れ検査方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH061188B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5203303B2 (ja) * | 2009-06-26 | 2013-06-05 | サンコール株式会社 | ねじれ角検出方法及びねじれ角検出装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS556202A (en) * | 1978-06-28 | 1980-01-17 | Toshiba Corp | Strain gauge |
| JPS59127112U (ja) * | 1983-02-16 | 1984-08-27 | 三菱電機株式会社 | 検出装置 |
-
1985
- 1985-12-24 JP JP60291385A patent/JPH061188B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62148806A (ja) | 1987-07-02 |
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