JPH06122117A - ワイヤ式切断装置 - Google Patents
ワイヤ式切断装置Info
- Publication number
- JPH06122117A JPH06122117A JP4274017A JP27401792A JPH06122117A JP H06122117 A JPH06122117 A JP H06122117A JP 4274017 A JP4274017 A JP 4274017A JP 27401792 A JP27401792 A JP 27401792A JP H06122117 A JPH06122117 A JP H06122117A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- fixed
- cutting device
- roller
- abrasive grains
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体材料、磁性材料、セラミック等の脆性
材料の加工に適したワイヤ式切断装置を提供する。 【構成】 平行併置された２つのローラ１、２の間に、
エンドレス状のワイヤ１３を張る。ローラ１を回転して
ワイヤに駆動を与え、このワイヤに被加工物７を押圧す
る。ワイヤには砥粒が固着されており、また被加工物７
の動きはＸ−Ｙテーブル１２で制御されて、任意の形状
に加工される。
材料の加工に適したワイヤ式切断装置を提供する。 【構成】 平行併置された２つのローラ１、２の間に、
エンドレス状のワイヤ１３を張る。ローラ１を回転して
ワイヤに駆動を与え、このワイヤに被加工物７を押圧す
る。ワイヤには砥粒が固着されており、また被加工物７
の動きはＸ−Ｙテーブル１２で制御されて、任意の形状
に加工される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、難加工材料例えばガラ
ス繊維入り樹脂材料等、高硬度脆性材料例えば半導体材
料、磁性材料、セラミック等をダイヤモンド砥粒または
ボラゾン砥粒を固着させたエンドレスワイヤで切断（切
込み含む）するワイヤ式切断装置に関するものである。
ス繊維入り樹脂材料等、高硬度脆性材料例えば半導体材
料、磁性材料、セラミック等をダイヤモンド砥粒または
ボラゾン砥粒を固着させたエンドレスワイヤで切断（切
込み含む）するワイヤ式切断装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、たとえば半導体材料のインゴット
をウエハー状に切断する手段のとしてワイヤと遊離砥粒
を用いる方法がある。これは被切断部材にワイヤを押し
付け、砥粒を含む研削液を注ぎつつ新しいワイヤを随時
供給し被切断部材と相対運動せしめ、いわゆるラッピン
グ作用にて切断する方法が取られている。
をウエハー状に切断する手段のとしてワイヤと遊離砥粒
を用いる方法がある。これは被切断部材にワイヤを押し
付け、砥粒を含む研削液を注ぎつつ新しいワイヤを随時
供給し被切断部材と相対運動せしめ、いわゆるラッピン
グ作用にて切断する方法が取られている。
【０００３】ダイヤモンドワイヤの製造方法について
は、ボビンに巻き付けられたワイヤを一方で巻取りなが
らその中間位置でダイヤモンド砥粒を電着する製造方法
については、文献で紹介されている。
は、ボビンに巻き付けられたワイヤを一方で巻取りなが
らその中間位置でダイヤモンド砥粒を電着する製造方法
については、文献で紹介されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし遊離砥粒を使用
した加工方法では加工速度が非常に遅いことと遊離砥粒
を用いるために加工台およびその周辺が汚れる。
した加工方法では加工速度が非常に遅いことと遊離砥粒
を用いるために加工台およびその周辺が汚れる。
【０００５】また、ボビンに巻き付けられたワイヤのダ
イヤモンド砥粒またはボラゾン砥粒の電着ではワイヤが
非常に長くなる。
イヤモンド砥粒またはボラゾン砥粒の電着ではワイヤが
非常に長くなる。
【０００６】また、切断装置においても供給リール並び
に巻取りリールと、それらの中間位置に配備され、ワイ
ヤを巻回する複数個の溝ローラを有する溝ローラユニッ
トが必要となる従来のワイヤ式切断装置では、装置の構
成が複雑となり且つ、溝ローラへのワイヤ巻き付けがき
わめて困難で手数を要する欠点がある。
に巻取りリールと、それらの中間位置に配備され、ワイ
ヤを巻回する複数個の溝ローラを有する溝ローラユニッ
トが必要となる従来のワイヤ式切断装置では、装置の構
成が複雑となり且つ、溝ローラへのワイヤ巻き付けがき
わめて困難で手数を要する欠点がある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明は、ダイヤモンド砥粒またはボラゾン砥粒をエ
ンドレスワイヤに固着させ、前記エンドレスワイヤを円
筒面上に間隔を存してワイヤ列を形成する溝を具備した
駆動ローラと支持ローラを適当な距離で配置した単純な
構成の装置の駆動ローラと支持ローラに設置し被切削部
材をダイヤモンド砥粒またはボラゾン砥粒を固着させた
エンドレスワイヤで切断（切込み含む）する。
の本発明は、ダイヤモンド砥粒またはボラゾン砥粒をエ
ンドレスワイヤに固着させ、前記エンドレスワイヤを円
筒面上に間隔を存してワイヤ列を形成する溝を具備した
駆動ローラと支持ローラを適当な距離で配置した単純な
構成の装置の駆動ローラと支持ローラに設置し被切削部
材をダイヤモンド砥粒またはボラゾン砥粒を固着させた
エンドレスワイヤで切断（切込み含む）する。
【０００８】
【作用】本発明は、上記した構成により、難加工材料例
えばガラス繊維入り樹脂材料等・高硬度脆性材料例えば
半導体材料、磁性材料、セラミック等をダイヤモンド砥
粒またはボラゾン砥粒を固着させたエンドレスワイヤに
て切断（切込み含む）できるきわめて単純なワイヤ式切
断装置であり、作業性も容易なことから自動化が容易と
なり量産性向上が図れる。
えばガラス繊維入り樹脂材料等・高硬度脆性材料例えば
半導体材料、磁性材料、セラミック等をダイヤモンド砥
粒またはボラゾン砥粒を固着させたエンドレスワイヤに
て切断（切込み含む）できるきわめて単純なワイヤ式切
断装置であり、作業性も容易なことから自動化が容易と
なり量産性向上が図れる。
【０００９】
【実施例】以下本発明の一実施例の加工方法について
図面を参照しながら説明する。
図面を参照しながら説明する。
【００１０】第一図は、本発明の実施例の切断装置の斜
視図駆動ローラ１と支持ローラ２は適当な距離で配置さ
れ前記駆動ローラ１と支持ローラ２の円筒面上には、間
隔を存してワイヤ列を形成する溝１４を具備し、前記駆
動ローラ１と支持ローラ２の溝１４にダイヤモンド砥粒
を固着させたエンドレスワイヤ１３が設置されている。
視図駆動ローラ１と支持ローラ２は適当な距離で配置さ
れ前記駆動ローラ１と支持ローラ２の円筒面上には、間
隔を存してワイヤ列を形成する溝１４を具備し、前記駆
動ローラ１と支持ローラ２の溝１４にダイヤモンド砥粒
を固着させたエンドレスワイヤ１３が設置されている。
【００１１】駆動ローラ１は、駆動軸４に固定され、駆
動軸４の両端にはベアリング６の内輪が固定されベアリ
ング６の外輪は軸支持台９に固定され駆動軸４の一端は
モータ３の回転軸と接続固定されモータ３はモータ取り
付け板１５に固定されモータ取り付け板１５は軸支持台
９に固定されている。
動軸４の両端にはベアリング６の内輪が固定されベアリ
ング６の外輪は軸支持台９に固定され駆動軸４の一端は
モータ３の回転軸と接続固定されモータ３はモータ取り
付け板１５に固定されモータ取り付け板１５は軸支持台
９に固定されている。
【００１２】支持ローラ２は、支持ローラ２の両端にベ
アリング１６の外輪が固定されベアリング１６の内輪は
支持軸５に固定され支持軸５は軸支持台９に上下に移動
可能な長穴８で支持され支持軸５は移動可能な長穴８に
具備されたバネで下方に適当な力で押され軸支持台９は
固定テーブル１１に固定されている。
アリング１６の外輪が固定されベアリング１６の内輪は
支持軸５に固定され支持軸５は軸支持台９に上下に移動
可能な長穴８で支持され支持軸５は移動可能な長穴８に
具備されたバネで下方に適当な力で押され軸支持台９は
固定テーブル１１に固定されている。
【００１３】駆動ローラ１の駆動軸４に接続固定された
モータ３の回転軸が回転することで駆動ローラ１が回転
し駆動ローラ１と支持ローラ２に設置されたエンドレス
ワイヤ１３に回転力が伝達され支持ローラ２も自転す
る。
モータ３の回転軸が回転することで駆動ローラ１が回転
し駆動ローラ１と支持ローラ２に設置されたエンドレス
ワイヤ１３に回転力が伝達され支持ローラ２も自転す
る。
【００１４】被切削部材７は、被切削部材固定台１０に
固定され被切削部材固定台１０はＸＹ移動テーブル１２
に固定されている。
固定され被切削部材固定台１０はＸＹ移動テーブル１２
に固定されている。
【００１５】エンドレスワイヤ１３を駆動させ被切削部
材７をＸＹ移動テーブル１２で移動させながら被切削部
材７をエンドレスワイヤ１３に押し付け、ダイヤモンド
を固着させたエンドレスワイヤ１３を被切断部材７と相
対運動せしめ研削作用にて任意の形状を切断する。
材７をＸＹ移動テーブル１２で移動させながら被切削部
材７をエンドレスワイヤ１３に押し付け、ダイヤモンド
を固着させたエンドレスワイヤ１３を被切断部材７と相
対運動せしめ研削作用にて任意の形状を切断する。
【００１６】
【発明の効果】エンドレスワイヤにダイヤモンド砥粒が
固定されているため、加工能率が高く、加工液には水あ
るいは軽油等を用いるため装置自体は汚れにくく、ワイ
ヤがリング状であるので取り扱いが容易となる。
固定されているため、加工能率が高く、加工液には水あ
るいは軽油等を用いるため装置自体は汚れにくく、ワイ
ヤがリング状であるので取り扱いが容易となる。
【００１７】またワイヤがリング状に短くできるのでダ
イヤモンドの電着量も少なくコスト低減となる。
イヤモンドの電着量も少なくコスト低減となる。
【００１８】また、エンドレスワイヤを用いた切断装置
は、単純なワイヤ式切断装置であり、作業性も容易なこ
とから自動化が容易となり量産性向上および任意形状の
切断が可能となる。
は、単純なワイヤ式切断装置であり、作業性も容易なこ
とから自動化が容易となり量産性向上および任意形状の
切断が可能となる。
【図１】本発明の実施例の切断装置の斜視図
１ 駆動ローラ ２ 支持ローラ ３ モータ ４ 駆動軸 ５ 支持軸 ６ ベアリング ７ 被切削材 ８ 長穴 ９ 軸支持台 １０ 被切削部材固定台 １１ 固定テーブル １２ ＸＹ移動テーブル １３ エンドレスワイヤ １４ 溝 １５ モータ取り付け板 １６ ベアリング
Claims (2)
- 【請求項１】一定距離を隔てて配置された駆動ローラと
支持ローラと、前記駆動ローラの一端が連結される回転
駆動装置と、複数のエンドレスワイヤを有し、前記エン
ドレスワイヤは、前記駆動ローラと支持ローラの円筒面
上に形成された複数列の溝をに係合するワイヤ式切断装
置。 - 【請求項２】エンドレスワイヤには、ダイヤモンド砥粒
またはボラゾン砥粒が固着された請求項１記載のワイヤ
式切断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4274017A JPH06122117A (ja) | 1992-10-13 | 1992-10-13 | ワイヤ式切断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4274017A JPH06122117A (ja) | 1992-10-13 | 1992-10-13 | ワイヤ式切断装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06122117A true JPH06122117A (ja) | 1994-05-06 |
Family
ID=17535803
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4274017A Pending JPH06122117A (ja) | 1992-10-13 | 1992-10-13 | ワイヤ式切断装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06122117A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08141906A (ja) * | 1994-11-10 | 1996-06-04 | Thermo Electric Deiberotsupumento:Kk | 熱電材料の切断機 |
| CN106113299A (zh) * | 2016-08-25 | 2016-11-16 | 中国有色桂林矿产地质研究院有限公司 | 环形多线切割机 |
| CN107030341A (zh) * | 2017-06-20 | 2017-08-11 | 陈壮壮 | 一种线切割打磨一体机 |
| CN110587841A (zh) * | 2019-10-12 | 2019-12-20 | 青岛高测科技股份有限公司 | 一种适用于硬脆材料多线切割的四驱切片机机构 |
-
1992
- 1992-10-13 JP JP4274017A patent/JPH06122117A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08141906A (ja) * | 1994-11-10 | 1996-06-04 | Thermo Electric Deiberotsupumento:Kk | 熱電材料の切断機 |
| CN106113299A (zh) * | 2016-08-25 | 2016-11-16 | 中国有色桂林矿产地质研究院有限公司 | 环形多线切割机 |
| CN107030341A (zh) * | 2017-06-20 | 2017-08-11 | 陈壮壮 | 一种线切割打磨一体机 |
| CN110587841A (zh) * | 2019-10-12 | 2019-12-20 | 青岛高测科技股份有限公司 | 一种适用于硬脆材料多线切割的四驱切片机机构 |
| CN110587841B (zh) * | 2019-10-12 | 2024-05-31 | 青岛高测科技股份有限公司 | 一种适用于硬脆材料多线切割的四驱切片机机构 |
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