JPH06124407A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH06124407A JPH06124407A JP29921892A JP29921892A JPH06124407A JP H06124407 A JPH06124407 A JP H06124407A JP 29921892 A JP29921892 A JP 29921892A JP 29921892 A JP29921892 A JP 29921892A JP H06124407 A JPH06124407 A JP H06124407A
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- Japan
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- substrate
- magnetic head
- magnetic
- jig
- manufacturing
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 アジマス角度がズレる要因を減少させ、記録
再生時の損失を低減させる。 【構成】 基板ブロック１７ａ，１７ｂはギャップ対向
面１２を基準として貼り合わせる。基板ブロック１７ａ
の基準面１３に向い合う治具２０に凹部を設け、該凹部
に基板ブロック１７ａを埋め込み、基板ブロック１７ｂ
のギャップ対向面１２側は治具２０の傾斜表面とその端
部で接している。このようにして、アジマス角度θのズ
レを減少させることができる。
再生時の損失を低減させる。 【構成】 基板ブロック１７ａ，１７ｂはギャップ対向
面１２を基準として貼り合わせる。基板ブロック１７ａ
の基準面１３に向い合う治具２０に凹部を設け、該凹部
に基板ブロック１７ａを埋め込み、基板ブロック１７ｂ
のギャップ対向面１２側は治具２０の傾斜表面とその端
部で接している。このようにして、アジマス角度θのズ
レを減少させることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ヘッドの製造方法
に関し、より詳細には、ビデオテープレコーダ（ＶＴ
Ｒ）等の磁気記録再生装置において、磁気回路を構成す
る軟磁性薄膜と、該軟磁性薄膜を支持する基板とからな
る磁気ヘッドの製造方法に関する。
に関し、より詳細には、ビデオテープレコーダ（ＶＴ
Ｒ）等の磁気記録再生装置において、磁気回路を構成す
る軟磁性薄膜と、該軟磁性薄膜を支持する基板とからな
る磁気ヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気記録技術の高密度化にともなって、
例えば、メタルテープ等の高保持力媒体が主流になって
きた現在、磁気ヘッドに使用されるコア材料は高い飽和
磁束密度を有するものが要求されている。このような状
況の下で、図８に示すような、高い飽和磁束密度を有す
る軟磁性薄膜をコア材料とし、該軟磁性薄膜をほぼトラ
ックに相当する膜厚で基板１０に形成し、該基板１０上
から低融点ガラス１８で基板１０、及び軟磁性薄膜１１
をモールドすることによって軟磁性薄膜１１を基板１０
と低融点ガラス層１８とで挟持するようにしたヘッドチ
ップを使用した磁気ヘッドがある。該磁気ヘッドはヘッ
ドチップとする際、図９に示すようにコアブロック２１
を傾き（アジマス角度）をつけてスライスするが、その
貼り付け時に、治具２４の基準とコアブロック２１の基
準面２３を合わせ貼り付けてスライスし、ヘッドチップ
を製造していた。
例えば、メタルテープ等の高保持力媒体が主流になって
きた現在、磁気ヘッドに使用されるコア材料は高い飽和
磁束密度を有するものが要求されている。このような状
況の下で、図８に示すような、高い飽和磁束密度を有す
る軟磁性薄膜をコア材料とし、該軟磁性薄膜をほぼトラ
ックに相当する膜厚で基板１０に形成し、該基板１０上
から低融点ガラス１８で基板１０、及び軟磁性薄膜１１
をモールドすることによって軟磁性薄膜１１を基板１０
と低融点ガラス層１８とで挟持するようにしたヘッドチ
ップを使用した磁気ヘッドがある。該磁気ヘッドはヘッ
ドチップとする際、図９に示すようにコアブロック２１
を傾き（アジマス角度）をつけてスライスするが、その
貼り付け時に、治具２４の基準とコアブロック２１の基
準面２３を合わせ貼り付けてスライスし、ヘッドチップ
を製造していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前述のように、従来の
磁気ヘッドにおいて、例えば、アジマス角度のずれによ
る損失を見ると、図１０のようになり、損失を１ｄＢ以
内にするためには、アジマスのズレ量をＳ−ＶＨＳのト
ラック幅１９μｍで３８′、５８μｍで１３′、Ｈｉ−
８のトラック幅２０.５μｍで２３′以下にしないとい
けないことが分かる。又、一つのチップ単体が＋方向に
ずれているとし、それで記録したものを別のヘッドで再
生する場合、一方向にずれたヘッドでは、更に損失が大
きくなってしまうという問題点があった。また、基準面
とギャップ面とが、平行であれば問題はないが、基準面
を加工する際、反りや研削不良等がある場合にギャップ
面と非平行になり、結果としてアジマスがずれるという
ことになり、短記録波長になるのにともない少しのズレ
においても満足な特性が得られない場合がでてきた。
磁気ヘッドにおいて、例えば、アジマス角度のずれによ
る損失を見ると、図１０のようになり、損失を１ｄＢ以
内にするためには、アジマスのズレ量をＳ−ＶＨＳのト
ラック幅１９μｍで３８′、５８μｍで１３′、Ｈｉ−
８のトラック幅２０.５μｍで２３′以下にしないとい
けないことが分かる。又、一つのチップ単体が＋方向に
ずれているとし、それで記録したものを別のヘッドで再
生する場合、一方向にずれたヘッドでは、更に損失が大
きくなってしまうという問題点があった。また、基準面
とギャップ面とが、平行であれば問題はないが、基準面
を加工する際、反りや研削不良等がある場合にギャップ
面と非平行になり、結果としてアジマスがずれるという
ことになり、短記録波長になるのにともない少しのズレ
においても満足な特性が得られない場合がでてきた。
【０００４】本発明は、このような実情に鑑みてなされ
たもので、アジマス角度の決定となるギャップ対抗面を
直接基準治具に向かい合わせることにより、アジマス角
度がズレる要因を減少させ、記録再生時の損失を低減さ
せるようにした磁気ヘッドの製造方法を提供することを
目的としている。
たもので、アジマス角度の決定となるギャップ対抗面を
直接基準治具に向かい合わせることにより、アジマス角
度がズレる要因を減少させ、記録再生時の損失を低減さ
せるようにした磁気ヘッドの製造方法を提供することを
目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、磁気回路を構成する軟磁性薄膜と、該軟
磁性薄膜を支持する基板とからなる磁気ヘッドにおい
て、連続してトラックが形成されているコアブロックよ
りスライスしてチップにする工程の際、アジマス角度の
決定の基準面を、コアブロックを構成する基板ブロック
のギャップ対向面とすることを特徴としたものである。
成するために、磁気回路を構成する軟磁性薄膜と、該軟
磁性薄膜を支持する基板とからなる磁気ヘッドにおい
て、連続してトラックが形成されているコアブロックよ
りスライスしてチップにする工程の際、アジマス角度の
決定の基準面を、コアブロックを構成する基板ブロック
のギャップ対向面とすることを特徴としたものである。
【０００６】
【作用】コアブロックを２つの基板ブロックのギャップ
対向面を貼り合わせて構成する。一方の基板ブロックの
基準面に向かい向う治具に凹部を設け、該凹部に前記一
方の基板ブロックを埋め込み、ギャップ対向面の端部が
治具の傾斜表面に接するようにしてアジマス角度の決定
の基準面とすることにより、アジマスがズレる要因を減
少させることができ、その結果、記録再生時の損失を低
減でき、短記録波長にも対応していくことができる。
対向面を貼り合わせて構成する。一方の基板ブロックの
基準面に向かい向う治具に凹部を設け、該凹部に前記一
方の基板ブロックを埋め込み、ギャップ対向面の端部が
治具の傾斜表面に接するようにしてアジマス角度の決定
の基準面とすることにより、アジマスがズレる要因を減
少させることができ、その結果、記録再生時の損失を低
減でき、短記録波長にも対応していくことができる。
【０００７】
【実施例】実施例について、図面を参照して以下に説明
する。図１〜図８は、本発明による磁気ヘッド製造方法
の一実施例を説明するための構成図で、図中、１０は基
板、１１は軟磁性薄膜、１２はギャップ対向面、１３は
基準面、１４はＶ字状溝、１５は内部巻き線溝、１６は
外部巻き線溝、１７ａ，１７ｂは基板ブロック、１８は
低融点ガラス、１９はコアブロック、２０は治具であ
る。
する。図１〜図８は、本発明による磁気ヘッド製造方法
の一実施例を説明するための構成図で、図中、１０は基
板、１１は軟磁性薄膜、１２はギャップ対向面、１３は
基準面、１４はＶ字状溝、１５は内部巻き線溝、１６は
外部巻き線溝、１７ａ，１７ｂは基板ブロック、１８は
低融点ガラス、１９はコアブロック、２０は治具であ
る。
【０００８】本発明による磁気ヘッドは、前述した図８
に示すように、高飽和磁束密度を有するヘッドチップが
用いられている。このヘッドチップは、例えば、感光性
結晶化ガラス、結晶化ガラス、あるいはセラミックス等
の非磁性材料や、軟磁性フェライト等の酸化物磁性材料
により形成された一対の基板１０を有している。まず、
図１に示すように、上述の非磁性材料または酸化物磁性
材料からなる基板上の表面に所定のピッチ寸法Ａで略Ｖ
字状の溝１４を形成する。その後、図２に示すように、
該Ｖ字状溝１４の溝壁面に真空蒸着あるいはスパッタリ
ング法により所定の膜厚でＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金から
なる軟磁性薄膜１１を形成する。次に、図３に示すよう
に、前記Ｖ字状溝１４に低融点ガラス１８を充填した
後、図４に示すように、Ｖ字状溝１４と低融点ガラス１
８の頂点が一致するように、なおかつヘッド摺動面には
み出した低融点ガラス１８を取り除くように低融点ガラ
スを平面状に研磨する。次いで、図５に示すように、基
板１０の両側面に内部巻き線溝１５と外部巻き線溝１６
とを形成し、更に、ガラス充填用溝が形成された側の面
であるギャップ対向面１２に所定のギャップとなるよう
ＳｉＯ2等（図示せず）の非磁性ギャップ材を真空蒸着
あるいはスパッタリング法により形成して基板ブロック
１７ａとする。
に示すように、高飽和磁束密度を有するヘッドチップが
用いられている。このヘッドチップは、例えば、感光性
結晶化ガラス、結晶化ガラス、あるいはセラミックス等
の非磁性材料や、軟磁性フェライト等の酸化物磁性材料
により形成された一対の基板１０を有している。まず、
図１に示すように、上述の非磁性材料または酸化物磁性
材料からなる基板上の表面に所定のピッチ寸法Ａで略Ｖ
字状の溝１４を形成する。その後、図２に示すように、
該Ｖ字状溝１４の溝壁面に真空蒸着あるいはスパッタリ
ング法により所定の膜厚でＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金から
なる軟磁性薄膜１１を形成する。次に、図３に示すよう
に、前記Ｖ字状溝１４に低融点ガラス１８を充填した
後、図４に示すように、Ｖ字状溝１４と低融点ガラス１
８の頂点が一致するように、なおかつヘッド摺動面には
み出した低融点ガラス１８を取り除くように低融点ガラ
スを平面状に研磨する。次いで、図５に示すように、基
板１０の両側面に内部巻き線溝１５と外部巻き線溝１６
とを形成し、更に、ガラス充填用溝が形成された側の面
であるギャップ対向面１２に所定のギャップとなるよう
ＳｉＯ2等（図示せず）の非磁性ギャップ材を真空蒸着
あるいはスパッタリング法により形成して基板ブロック
１７ａとする。
【０００９】その後、図６に示すように、上記の一対の
基板ブロック１７ａ，１７ｂのギャップ対向面１２同士
を互いに対向するように位置を合わせて加圧固定を行っ
て接合し、コアブロック１９を形成する。次いで、図７
のような方法でアジマス角度をつけるために凹部を設け
た治具２０によりギャップ対向面１２を基準として貼り
つけし、図６に示すように、上記コアブロック１９を破
線に沿って所定のピッチ寸法Ｂで切断して図８に示すヘ
ッドチップを得る。そして、該ヘッドチップを図示しな
いベース板に接着固定した後、コイル巻き線をし、次い
で、テーブル研磨を施して磁気ヘッドを形成する。な
お、図７において、基板ブロック１７ａ，１７ｂはギャ
ップ対向面１２を基準として貼り合わせる。基板ブロッ
ク１７ａの基準面１３に向い合う治具２０に凹部を設
け、該凹部に基板ブロック１７ａを埋め込み、基板ブロ
ック１７ｂのギャップ対向面１２側は治具２０の傾斜表
面とその端部で接している。このようにして、アジマス
角度θのズレを減少させることができる。
基板ブロック１７ａ，１７ｂのギャップ対向面１２同士
を互いに対向するように位置を合わせて加圧固定を行っ
て接合し、コアブロック１９を形成する。次いで、図７
のような方法でアジマス角度をつけるために凹部を設け
た治具２０によりギャップ対向面１２を基準として貼り
つけし、図６に示すように、上記コアブロック１９を破
線に沿って所定のピッチ寸法Ｂで切断して図８に示すヘ
ッドチップを得る。そして、該ヘッドチップを図示しな
いベース板に接着固定した後、コイル巻き線をし、次い
で、テーブル研磨を施して磁気ヘッドを形成する。な
お、図７において、基板ブロック１７ａ，１７ｂはギャ
ップ対向面１２を基準として貼り合わせる。基板ブロッ
ク１７ａの基準面１３に向い合う治具２０に凹部を設
け、該凹部に基板ブロック１７ａを埋め込み、基板ブロ
ック１７ｂのギャップ対向面１２側は治具２０の傾斜表
面とその端部で接している。このようにして、アジマス
角度θのズレを減少させることができる。
【００１０】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によると、以下のような効果がある。すなわち、アジマ
ス角度の決定となるギャップ対抗面を直接基準治具に向
かい合わせることにより、アジマスがズレる要因を減少
させることができ、その結果、記録再生時の損失を低減
でき、短記録波長にも対応していくことができる。
によると、以下のような効果がある。すなわち、アジマ
ス角度の決定となるギャップ対抗面を直接基準治具に向
かい合わせることにより、アジマスがズレる要因を減少
させることができ、その結果、記録再生時の損失を低減
でき、短記録波長にも対応していくことができる。
【図１】本発明による磁気ヘッドの製造方法の一実施例
を説明するための工程図（その１）である。
を説明するための工程図（その１）である。
【図２】本発明による磁気ヘッドの製造方法の一実施例
を説明するための工程図（その２）である。
を説明するための工程図（その２）である。
【図３】本発明による磁気ヘッドの製造方法の一実施例
を説明するための工程図（その３）である。
を説明するための工程図（その３）である。
【図４】本発明による磁気ヘッドの製造方法の一実施例
を説明するための工程図（その４）である。
を説明するための工程図（その４）である。
【図５】本発明による磁気ヘッドの製造方法の一実施例
を説明するための工程図（その５）である。
を説明するための工程図（その５）である。
【図６】本発明による磁気ヘッドの製造方法の一実施例
を説明するための工程図（その６）である。
を説明するための工程図（その６）である。
【図７】本発明による磁気ヘッドの製造方法の一実施例
を説明するための工程図（その７）である。
を説明するための工程図（その７）である。
【図８】本発明による磁気ヘッドの製造方法の一実施例
を説明するための工程図（その８）である。
を説明するための工程図（その８）である。
【図９】従来の磁気ヘッドの製造方法におけるコアブロ
ックと治具との取付の様子を示す図である。
ックと治具との取付の様子を示す図である。
【図１０】従来の各種アジマス損失特性を示す図であ
る。
る。
１０…基板、１１…軟磁性薄膜、１２…ギャップ対向
面、１３…基準面、１４…Ｖ字状溝、１５…内部巻き線
溝、１６…外部巻き線溝、１７ａ，１７ｂ…基板ブロッ
ク、１８…低融点ガラス、１９…コアブロック、２０…
治具。
面、１３…基準面、１４…Ｖ字状溝、１５…内部巻き線
溝、１６…外部巻き線溝、１７ａ，１７ｂ…基板ブロッ
ク、１８…低融点ガラス、１９…コアブロック、２０…
治具。
Claims (1)
- 【請求項１】 磁気回路を構成する軟磁性薄膜と、該軟
磁性薄膜を支持する基板とからなる磁気ヘッドにおい
て、連続してトラックが形成されているコアブロックよ
りスライスしてチップにする工程の際、アジマス角度の
決定の基準面を、コアブロックを構成する基板ブロック
のギャップ対向面とすることを特徴とする磁気ヘッドの
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29921892A JPH06124407A (ja) | 1992-10-12 | 1992-10-12 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29921892A JPH06124407A (ja) | 1992-10-12 | 1992-10-12 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06124407A true JPH06124407A (ja) | 1994-05-06 |
Family
ID=17869686
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29921892A Pending JPH06124407A (ja) | 1992-10-12 | 1992-10-12 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06124407A (ja) |
-
1992
- 1992-10-12 JP JP29921892A patent/JPH06124407A/ja active Pending
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