JPH04248104A - 磁気ヘッド - Google Patents
磁気ヘッドInfo
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- JPH04248104A JPH04248104A JP792191A JP792191A JPH04248104A JP H04248104 A JPH04248104 A JP H04248104A JP 792191 A JP792191 A JP 792191A JP 792191 A JP792191 A JP 792191A JP H04248104 A JPH04248104 A JP H04248104A
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- sliding surface
- point glass
- melting point
- low melting
- magnetic
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ビデオテープレコーダ
等の磁気記録再生装置において、情報の記録再生等に用
いられる磁気ヘッドに関するものである。
等の磁気記録再生装置において、情報の記録再生等に用
いられる磁気ヘッドに関するものである。
【0002】
【従来の技術】磁気記録技術の高密度化に伴って、例え
ばメタルテープ等の高保磁力の磁気記録媒体が主流にな
ってきた現在、磁気ヘッドに使用されるコア材料は高い
飽和磁束密度を有するものが要求されている。
ばメタルテープ等の高保磁力の磁気記録媒体が主流にな
ってきた現在、磁気ヘッドに使用されるコア材料は高い
飽和磁束密度を有するものが要求されている。
【0003】このような状況の下、図8に示すようなヘ
ッドチップ25を使用した磁気ヘッドが試作されている
。
ッドチップ25を使用した磁気ヘッドが試作されている
。
【0004】このヘッドチップ25は一対のコア片24
・24をギャップ面23にて接合した構成になっている
。各コア片24は高い飽和磁束密度を有する軟磁性金属
からなる軟磁性薄膜22と、この軟磁性薄膜22を挟持
する基板21・21とからなっており、軟磁性薄膜22
はギャップ面23に対して直交するように形成されてい
る。
・24をギャップ面23にて接合した構成になっている
。各コア片24は高い飽和磁束密度を有する軟磁性金属
からなる軟磁性薄膜22と、この軟磁性薄膜22を挟持
する基板21・21とからなっており、軟磁性薄膜22
はギャップ面23に対して直交するように形成されてい
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記の構成
では、コア片24を製造するために、基板21及び軟磁
性薄膜22の平坦度、平行度、厚み公差等に厳しい条件
が必要であり、このために、ヘッドチップ25の製造歩
留りが低下し、磁気ヘッドの量産性を阻害しているとい
う問題点を有している。
では、コア片24を製造するために、基板21及び軟磁
性薄膜22の平坦度、平行度、厚み公差等に厳しい条件
が必要であり、このために、ヘッドチップ25の製造歩
留りが低下し、磁気ヘッドの量産性を阻害しているとい
う問題点を有している。
【0006】そこで、この問題を解決するために、図9
に示すようなヘッドチップ35を使用した磁気ヘッドが
考えられている。
に示すようなヘッドチップ35を使用した磁気ヘッドが
考えられている。
【0007】このヘッドチップ35は、上記と同様に、
一対のコア片34・34をギャップ面36にて接合した
構成になっているが、軟磁性薄膜32をギャップ面36
に対して斜めに形成することにより、軟磁性薄膜32を
基板31と低融点ガラス33とで挟持するようにしたコ
ア片34を用いている。
一対のコア片34・34をギャップ面36にて接合した
構成になっているが、軟磁性薄膜32をギャップ面36
に対して斜めに形成することにより、軟磁性薄膜32を
基板31と低融点ガラス33とで挟持するようにしたコ
ア片34を用いている。
【0008】このため、各コア片34は、基板31上に
ほぼトラック幅に相当する膜厚の軟磁性薄膜32を形成
した後、その上から基板31及び軟磁性薄膜32を低融
点ガラス33でモールドすることによって、容易に製造
される。
ほぼトラック幅に相当する膜厚の軟磁性薄膜32を形成
した後、その上から基板31及び軟磁性薄膜32を低融
点ガラス33でモールドすることによって、容易に製造
される。
【0009】ところが、この磁気ヘッドにおいても、基
板31及び軟磁性薄膜32を低融点ガラス33でモール
ドする際、基準面としての底面38に低融点ガラス33
がはみ出してしまうため、底面38の基準出しを再度行
わない限り、底面38を基準面とした磁気テープの摺動
面37の研磨を行うことができないという問題点を有し
ており、磁気ヘッドの量産性を向上させるための根本的
な問題の解決にならない。
板31及び軟磁性薄膜32を低融点ガラス33でモール
ドする際、基準面としての底面38に低融点ガラス33
がはみ出してしまうため、底面38の基準出しを再度行
わない限り、底面38を基準面とした磁気テープの摺動
面37の研磨を行うことができないという問題点を有し
ており、磁気ヘッドの量産性を向上させるための根本的
な問題の解決にならない。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッドは、
上記の課題を解決するために、基板上に成膜された軟磁
性薄膜を低融点ガラスで被った一対のコア片を前記軟磁
性薄膜の断面が対向するように接合して、磁気記録媒体
との摺動面上に磁気ギャップを形成した磁気ヘッドにお
いて、上記低融点ガラスが上記摺動面とは反対側の底面
にはみ出さないように形成されていることを特徴として
いる。
上記の課題を解決するために、基板上に成膜された軟磁
性薄膜を低融点ガラスで被った一対のコア片を前記軟磁
性薄膜の断面が対向するように接合して、磁気記録媒体
との摺動面上に磁気ギャップを形成した磁気ヘッドにお
いて、上記低融点ガラスが上記摺動面とは反対側の底面
にはみ出さないように形成されていることを特徴として
いる。
【0011】
【作用】上記の構成によれば、基板上に成膜された軟磁
性薄膜を低融点ガラスで被った一対のコア片を前記軟磁
性薄膜の断面が対向するように接合して、磁気記録媒体
との摺動面上に磁気ギャップを形成した磁気ヘッドにお
いて、上記低融点ガラスが上記摺動面とは反対側の底面
にはみ出さないように形成したので、摺動面とは反対側
の底面を基準面として摺動面の研磨を行うことができる
。これにより、摺動面とは反対側の底面を基準面として
使うときの再基準出しを行う工程が不要になると共に、
再基準出しによる精度低下が起こらなくなり、磁気ヘッ
ドの量産性が向上する。
性薄膜を低融点ガラスで被った一対のコア片を前記軟磁
性薄膜の断面が対向するように接合して、磁気記録媒体
との摺動面上に磁気ギャップを形成した磁気ヘッドにお
いて、上記低融点ガラスが上記摺動面とは反対側の底面
にはみ出さないように形成したので、摺動面とは反対側
の底面を基準面として摺動面の研磨を行うことができる
。これにより、摺動面とは反対側の底面を基準面として
使うときの再基準出しを行う工程が不要になると共に、
再基準出しによる精度低下が起こらなくなり、磁気ヘッ
ドの量産性が向上する。
【0012】
【実施例】本発明の一実施例について、図1ないし図7
に基づいて説明すれば、以下の通りである。
に基づいて説明すれば、以下の通りである。
【0013】本実施例の磁気ヘッドに用いられるヘッド
チップ12は、図1の斜視図に示すように、基板1と、
基板1に形成された高飽和磁束密度を有する軟磁性薄膜
2と、軟磁性薄膜2を被うように形成された低融点ガラ
ス3とを有する一対のコア片16・16からなっており
、前記基板1・1上の軟磁性薄膜2・2が磁気ギャップ
17を有するヘッドコアを形成するように、軟磁性薄膜
2・2の断面を対向させて、一対のコア片16・16が
ギャップ面8にて接合された構成になっている。そして
、磁気ギャップ17と磁気テープ等の磁気記録媒体とが
滑らかに接するように、摺動面15は所定の面粗度にな
るように研磨仕上げが行われている。
チップ12は、図1の斜視図に示すように、基板1と、
基板1に形成された高飽和磁束密度を有する軟磁性薄膜
2と、軟磁性薄膜2を被うように形成された低融点ガラ
ス3とを有する一対のコア片16・16からなっており
、前記基板1・1上の軟磁性薄膜2・2が磁気ギャップ
17を有するヘッドコアを形成するように、軟磁性薄膜
2・2の断面を対向させて、一対のコア片16・16が
ギャップ面8にて接合された構成になっている。そして
、磁気ギャップ17と磁気テープ等の磁気記録媒体とが
滑らかに接するように、摺動面15は所定の面粗度にな
るように研磨仕上げが行われている。
【0014】上記コア片16において、軟磁性薄膜2は
、ギャップ面8に対して斜めに形成されており、軟磁性
薄膜2が基板1と低融点ガラス3とにより狭持された構
成になっている。また、低融点ガラス3は、上記摺動面
15とは反対側の底面14にはみ出さないように形成さ
れている。
、ギャップ面8に対して斜めに形成されており、軟磁性
薄膜2が基板1と低融点ガラス3とにより狭持された構
成になっている。また、低融点ガラス3は、上記摺動面
15とは反対側の底面14にはみ出さないように形成さ
れている。
【0015】また、ヘッドチップ12には、上記軟磁性
薄膜2・2からなるヘッドコアにヘッドコイル(図示さ
れていない)を巻回するために、図のように、内部巻線
溝4・4からなる内部巻線穴9と、外部巻線溝6・6と
が形成されている。
薄膜2・2からなるヘッドコアにヘッドコイル(図示さ
れていない)を巻回するために、図のように、内部巻線
溝4・4からなる内部巻線穴9と、外部巻線溝6・6と
が形成されている。
【0016】上記軟磁性薄膜2には、例えばFe−Al
−Si系合金等の高飽和磁束密度を有する軟磁性材料が
使用される。また、基板1には、感光性結晶化ガラス、
結晶化ガラス、あるいはセラミックス等の非磁性材料あ
るいは軟磁性フェライト等の酸化物磁性材料が使用され
る。
−Si系合金等の高飽和磁束密度を有する軟磁性材料が
使用される。また、基板1には、感光性結晶化ガラス、
結晶化ガラス、あるいはセラミックス等の非磁性材料あ
るいは軟磁性フェライト等の酸化物磁性材料が使用され
る。
【0017】上記の構成において、基板1上に成膜され
た軟磁性薄膜2を低融点ガラス3で被った一対のコア片
16・16を軟磁性薄膜2・2の断面が対向するように
ギャップ面8にて接合して、軟磁性薄膜2・2の断面間
に磁気ギャップ17を形成している。そして、上記軟磁
性薄膜2をギャップ面8に対して斜めに形成したので、
軟磁性薄膜2を基板1と低融点ガラス3とにより挟持し
たコア片16を容易に製造できる。しかも、低融点ガラ
ス3を上記摺動面15とは反対側の底面14にはみ出さ
ないように形成したので、摺動面15とは反対側の底面
14を基準面として摺動面15の研磨を行うことができ
る。これにより、底面14を基準面として使うときの再
基準出しを行う工程が不要になると共に、再基準出しに
よる精度低下が起こらなくなり、磁気ヘッドの量産性が
向上する。
た軟磁性薄膜2を低融点ガラス3で被った一対のコア片
16・16を軟磁性薄膜2・2の断面が対向するように
ギャップ面8にて接合して、軟磁性薄膜2・2の断面間
に磁気ギャップ17を形成している。そして、上記軟磁
性薄膜2をギャップ面8に対して斜めに形成したので、
軟磁性薄膜2を基板1と低融点ガラス3とにより挟持し
たコア片16を容易に製造できる。しかも、低融点ガラ
ス3を上記摺動面15とは反対側の底面14にはみ出さ
ないように形成したので、摺動面15とは反対側の底面
14を基準面として摺動面15の研磨を行うことができ
る。これにより、底面14を基準面として使うときの再
基準出しを行う工程が不要になると共に、再基準出しに
よる精度低下が起こらなくなり、磁気ヘッドの量産性が
向上する。
【0018】上記磁気ヘッドの一製造方法を、図2ない
し図7に基づいて説明すれば、以下のとおりである。
し図7に基づいて説明すれば、以下のとおりである。
【0019】まず、図2に示すように、基板1の片面に
断面がV字状の溝5を所定のピッチ寸法Aにて連続して
形成する。このとき、摺動面15(図1)に対応する面
15aから、摺動面15とは反対側の底面14に対応す
る面14aにかけて、溝5の深さが浅くなるように形成
し、かつ、溝5が面14aにかからないように形成する
。また、このとき、溝5の縁の線18が面14aに対し
て垂直になるように溝5を形成する方が、後述するコア
ブロック11を形成する際に好都合である。
断面がV字状の溝5を所定のピッチ寸法Aにて連続して
形成する。このとき、摺動面15(図1)に対応する面
15aから、摺動面15とは反対側の底面14に対応す
る面14aにかけて、溝5の深さが浅くなるように形成
し、かつ、溝5が面14aにかからないように形成する
。また、このとき、溝5の縁の線18が面14aに対し
て垂直になるように溝5を形成する方が、後述するコア
ブロック11を形成する際に好都合である。
【0020】続いて、図3に示すように、各溝5の一方
の壁面上に、所定の膜厚(トラック幅に相当する寸法)
の軟磁性薄膜2、例えばFe−Al−Si系合金を真空
蒸着法あるいはスパッタ法等により形成する。
の壁面上に、所定の膜厚(トラック幅に相当する寸法)
の軟磁性薄膜2、例えばFe−Al−Si系合金を真空
蒸着法あるいはスパッタ法等により形成する。
【0021】次に、図4に示すように、溝5に低融点ガ
ラス3を充填する。そして、充填した低融点ガラス3を
、図5に示すように、低融点ガラス3の表面と基板1の
上面とが一致するように低融点ガラス3を平面状に研磨
して、ギャップ面8を形成する。また、摺動面15(図
1)とは反対側の底面14に対応する面14aを基準面
として、摺動面15に対応する面15aを平面研磨し、
面15a上にはみ出した低融点ガラス3を取り除く。
ラス3を充填する。そして、充填した低融点ガラス3を
、図5に示すように、低融点ガラス3の表面と基板1の
上面とが一致するように低融点ガラス3を平面状に研磨
して、ギャップ面8を形成する。また、摺動面15(図
1)とは反対側の底面14に対応する面14aを基準面
として、摺動面15に対応する面15aを平面研磨し、
面15a上にはみ出した低融点ガラス3を取り除く。
【0022】次いで、図6に示すように、基板1の両側
面に内部巻線溝4と外部巻線溝6とを形成し、さらに、
所定の磁気ギャップ17(図1)長が得られるように、
ギャップ面8上にSiO2 等の非磁性ギャップ材料か
らなるギャップ充填層(図示されていない)を真空蒸着
法あるいはスパッタ法等により形成して、基板ブロック
10を得る。
面に内部巻線溝4と外部巻線溝6とを形成し、さらに、
所定の磁気ギャップ17(図1)長が得られるように、
ギャップ面8上にSiO2 等の非磁性ギャップ材料か
らなるギャップ充填層(図示されていない)を真空蒸着
法あるいはスパッタ法等により形成して、基板ブロック
10を得る。
【0023】この後、図7に示すように、上記の一対の
基板ブロック10・10のギャップ面8・8を対向させ
て位置を合わせ、加圧固定を行って接合する、いわゆる
ギャップ溶着を行って、コアブロック11を形成する。
基板ブロック10・10のギャップ面8・8を対向させ
て位置を合わせ、加圧固定を行って接合する、いわゆる
ギャップ溶着を行って、コアブロック11を形成する。
【0024】次いで、上記のコアブロック11を同図に
示されている二点鎖線に沿って、所定のピッチ寸法Bで
切断して、図1のヘッドチップ12を得る。
示されている二点鎖線に沿って、所定のピッチ寸法Bで
切断して、図1のヘッドチップ12を得る。
【0025】そして、このヘッドチップ12をベース板
(図示されていない)に接着固定した後、内部巻線溝4
と外部巻線溝6とを利用して巻線を行ってヘッドコイル
を形成し、磁気テープ等の磁気記録媒体との摺動面15
をテープ研磨することにより、本実施例の磁気ヘッドが
製造される。
(図示されていない)に接着固定した後、内部巻線溝4
と外部巻線溝6とを利用して巻線を行ってヘッドコイル
を形成し、磁気テープ等の磁気記録媒体との摺動面15
をテープ研磨することにより、本実施例の磁気ヘッドが
製造される。
【0026】以上の磁気ヘッドの製造方法では、摺動面
15(図1)に対応する面15a(図2)から、摺動面
15とは反対側の底面14に対応する面14aにかけて
、溝5の深さが浅くなるように形成し、かつ、溝5が面
14aにかからないように形成したので、溝5に低融点
ガラス3(図4)を充填する際、面14aには低融点ガ
ラス3がはみ出さなくなる。このため、摺動面15とは
反対側の底面14に対応する面14aを基準面として、
摺動面15に対応する面15aを平面研磨することがで
きる。これにより、面14aを基準面として使うときの
再基準出しを行う工程が不要になると共に、再基準出し
による精度低下が起こらなくなり、磁気ヘッドの量産性
が向上する。
15(図1)に対応する面15a(図2)から、摺動面
15とは反対側の底面14に対応する面14aにかけて
、溝5の深さが浅くなるように形成し、かつ、溝5が面
14aにかからないように形成したので、溝5に低融点
ガラス3(図4)を充填する際、面14aには低融点ガ
ラス3がはみ出さなくなる。このため、摺動面15とは
反対側の底面14に対応する面14aを基準面として、
摺動面15に対応する面15aを平面研磨することがで
きる。これにより、面14aを基準面として使うときの
再基準出しを行う工程が不要になると共に、再基準出し
による精度低下が起こらなくなり、磁気ヘッドの量産性
が向上する。
【0027】
【発明の効果】本発明の磁気ヘッドは、以上のように、
低融点ガラスが上記摺動面とは反対側の底面にはみ出さ
ないように形成されているので、摺動面とは反対側の底
面を基準面として摺動面の研磨を行うことができる。こ
れにより、摺動面とは反対側の底面を基準面として使う
ときの再基準出しを行う工程が不要になると共に、再基
準出しによる精度低下が起こらなくなり、磁気ヘッドの
量産性が向上するという効果を奏する。
低融点ガラスが上記摺動面とは反対側の底面にはみ出さ
ないように形成されているので、摺動面とは反対側の底
面を基準面として摺動面の研磨を行うことができる。こ
れにより、摺動面とは反対側の底面を基準面として使う
ときの再基準出しを行う工程が不要になると共に、再基
準出しによる精度低下が起こらなくなり、磁気ヘッドの
量産性が向上するという効果を奏する。
【図1】本発明の磁気ヘッドに用いられるヘッドチップ
の構成を示す斜視図である。
の構成を示す斜視図である。
【図2】図1の磁気ヘッドの製造工程を示すものであり
、断面がほぼV字状になっている溝が形成されている基
板の平面図である。
、断面がほぼV字状になっている溝が形成されている基
板の平面図である。
【図3】図2の溝の一方の壁面上に軟磁性薄膜を形成す
る工程を示す平面図である。
る工程を示す平面図である。
【図4】図3の軟磁性薄膜上に低融点ガラスを充填する
工程を示す平面図である。
工程を示す平面図である。
【図5】図4の低融点ガラスを平面状に研磨して、ギャ
ップ面を形成する工程を示す平面図である。
ップ面を形成する工程を示す平面図である。
【図6】図5の基板の両側面に内部巻線溝と外部巻線溝
とを形成して基板ブロックを作製する工程を示す斜視図
である。
とを形成して基板ブロックを作製する工程を示す斜視図
である。
【図7】図6の基板ブロックを一対合わせてコアブロッ
クを形成する工程を示す斜視図である。
クを形成する工程を示す斜視図である。
【図8】従来の磁気ヘッドに用いられるヘッドチップの
構成を示す斜視図である。
構成を示す斜視図である。
【図9】磁気ヘッドに用いられるヘッドチップの考えう
る構成を示す斜視図である。
る構成を示す斜視図である。
1 基板
2 軟磁性薄膜
3 低融点ガラス
14 底面
15 摺動面
16 コア片
17 磁気ギャップ
Claims (1)
- 【請求項1】基板上に成膜された軟磁性薄膜を低融点ガ
ラスで被った一対のコア片を前記軟磁性薄膜の断面が対
向するように接合して、磁気記録媒体との摺動面上に磁
気ギャップを形成した磁気ヘッドにおいて、上記低融点
ガラスが上記摺動面とは反対側の底面にはみ出さないよ
うに形成されていることを特徴とする磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP792191A JPH04248104A (ja) | 1991-01-25 | 1991-01-25 | 磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP792191A JPH04248104A (ja) | 1991-01-25 | 1991-01-25 | 磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04248104A true JPH04248104A (ja) | 1992-09-03 |
Family
ID=11678994
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP792191A Pending JPH04248104A (ja) | 1991-01-25 | 1991-01-25 | 磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04248104A (ja) |
-
1991
- 1991-01-25 JP JP792191A patent/JPH04248104A/ja active Pending
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