JPH06126260A - 超音波洗浄方法及び洗浄液 - Google Patents

超音波洗浄方法及び洗浄液

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JPH06126260A
JPH06126260A JP27605892A JP27605892A JPH06126260A JP H06126260 A JPH06126260 A JP H06126260A JP 27605892 A JP27605892 A JP 27605892A JP 27605892 A JP27605892 A JP 27605892A JP H06126260 A JPH06126260 A JP H06126260A
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JP
Japan
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cleaning
liquid
washing
ultrasonic
tank
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JP27605892A
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English (en)
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Kenichi Kato
賢一 加藤
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 超音波洗浄の洗浄効率を高める。 【構成】 第1洗浄槽1と第3洗浄槽3の洗浄液10,
12には、液体の他に粒体20,24が混入されてい
る。超音波振動子5,7を駆動すると、第1,第3洗浄
槽1,3では、液体の超音波振動に加え、粒体20,2
4が超音波振動して洗浄対象物であるレンズ15の表面
に衝突して汚れを除去する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、超音波洗浄方法及び超
音波洗浄用の洗浄液に関するものである。
【0002】
【従来の技術】レンズやプリズム等の光学部品の表面に
真空蒸着やスパッタリングで光学薄膜を形成する際に
は、光学特性を安定に維持し、あるいは光学薄膜が剥離
したりすることがないように、その表面を清浄にしてお
く必要がある。このような目的で最近では超音波洗浄機
が多用されており、光学部品に限らず、清浄さが要求さ
れる種々の部品や素材の洗浄に効果を上げている。
【0003】超音波洗浄機は、超音波振動子を取り付け
た洗浄槽に洗浄液を満たしておき、洗浄対象物を洗浄液
に浸した状態にして超音波振動子を駆動する。これによ
り洗浄液が超音波振動(通常20kHz〜50kHz程
度)を行い、液中に発生する強大な加速度やキャビテー
ションの発生消滅に伴う衝撃圧が洗浄対象物の表面に作
用して洗浄が行われる。
【0004】生産工程中で使用される超音波洗浄機の多
くは、上述した洗浄槽が複数段並べられ、洗浄対象物や
汚れの種類に応じて種々の洗浄液が用いられている。例
えばカーブジェネレータ等を用いてレンズ面を加工した
光学部品では、その表面に冷却用のオイル等が付着して
いることがあり、これを除去するにはトリクレン,キシ
レン,イソプロピルアルコール等の有機溶剤も洗浄液と
して利用されている。また、最終洗浄工程では、フレオ
ン(商品名)のような揮発性の有機溶剤も用いられてい
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述した有
機溶剤中、イソプロビルアルコールは水溶性で比較的廃
液処理が容易ではあるが、トリクレンやキシレンは水に
溶けないのでその廃液を産業廃棄物として処理しなくて
はならず取り扱いが面倒である。また、フレオンは水溶
性ではあるが、環境汚染を避けるためにはできるだけ用
いないのが好ましい。
【0006】本発明は上記事情を考慮してなされたもの
で、廃液処理が面倒な洗浄液をできるだけ使用せずに、
しかも洗浄能力を低下させることがないようにした超音
波洗浄方法及び洗浄液を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するにあたり、洗浄対象物よりも硬度が小さく、かつ洗
浄液とほぼ同じ比重をもった粒体を洗浄液内に混入して
超音波洗浄を行うようにした。また、洗浄液としての構
成からみれば、本発明の洗浄液は、液体と、この液体と
比重がほぼ等しい多数の粒体との混合液として捉えるこ
とができる。
【0008】
【作用】上記粒体を含む洗浄液に超音波振動を加える
と、液体自体はこれまでと同様のメカニズムで洗浄効果
を上げる他に、粒体が洗浄対象物の表面に大きな加速度
をもって衝突し、汚れを掻き落とすようになり、さらに
洗浄効果を高めることができるようになる。したがっ
て、液体自体の洗浄力が多少落ちたとしても、粒体がこ
れを補うように作用するので、液体として純水やイソプ
ロピルアルコールを用いても高い洗浄力を得ることがで
きる。
【0009】
【実施例】図1はレンズ洗浄用の超音波洗浄機を概略的
に表し、図示したように第1洗浄槽1,第2洗浄槽2,
第3洗浄槽3,第4洗浄槽4の4つの洗浄槽を有する。
各洗浄槽の底部には超音波振動子5〜8が取り付けら
れ、これらを駆動することにより、各洗浄槽に収容され
た洗浄液10〜13には超音波振動が加えられる。
【0010】洗浄対象物であるレンズ15は、洗浄かご
16に互いに接触しないように配列され、所定の洗浄時
間の経過の後、第1洗浄槽1から第4洗浄槽へと順に送
られる。各洗浄槽で洗浄を行うときには各々超音波振動
子が駆動され、洗浄液の超音波振動によって汚れが落と
されてゆく。
【0011】第1洗浄槽1に収容された洗浄液10は、
イソプロピルアルコールを液体としてその中に粒体20
を混入してある。粒体20はポリウレタン樹脂を基材と
し、これに酸化セリウムをバインドしたもので、粒径は
1〜3mm程度である。そして、この粒体20の硬度は
レンズ15の硝材の硬度よりも小さくなっている。ま
た、ポリウレタン樹脂と酸化セリウムの重量混合比は、
イソプロピルアルコールの比重(約0.8)と同程度に
なるように調整されている。また、第2洗浄槽2の洗浄
液11はイソプロピルアルコールとなっている。
【0012】第3洗浄槽3に収容された洗浄液12は、
液体として純水が用いられ、その中に粒体24が混入さ
れている。粒体24には、胡桃の殻を粒径1〜3mm程
度に粉砕したものが用いられ、その比重はほぼ純水と同
程度である。また、第4洗浄槽4の洗浄液13は純水と
なっている。
【0013】第1洗浄槽1で超音波洗浄を行うときには
粒体20も超音波振動する。したがって、液体の超音波
振動に伴うキャビテーションの発生,消滅による衝撃の
他に粒体20の衝突も加わるため、液体だけの超音波洗
浄よりも洗浄効果が高くなる。そして、レンズ16の表
面にオイル等が被膜となって付着している場合でも、こ
れを掻き落とすようにして除去することができる。
【0014】粒体20の硬度はレンズ16よりも小さい
から、これがレンズ表面に衝突しても傷を着けることは
ない。また、粒体20の比重は液体と同程度になってい
るから、液体内に沈澱したり浮いたりすることがなく、
液体内での密度をほぼ一定に保つことができる。なお、
粒体20としては、その他に樹脂基材としてポリエチレ
ンやポリスチレン等、種々のものを利用することがで
き、バインダにしても酸化アルミニウムやベンガラ等を
用いることができる。
【0015】第2洗浄槽2では、さらにイソプロピルア
ルコールで超音波洗浄が行われる。そして第3洗浄槽3
では、純水の超音波振動に加え粒体24の超音波振動も
利用される。したがって、第1洗浄槽1での洗浄と同様
の理由で、純水だけの超音波洗浄よりも洗浄効果を高め
ることができる。そして第4洗浄槽4での純水による洗
浄の後、レンズ15は洗浄かご16とともに取り出さ
れ、遠心乾燥機等により乾燥処理される。こうして得ら
れたレンズ15は、その表面が非常に清浄なものとなっ
ており、次工程の光学薄膜の形成工程にすぐ送ることが
できる。
【0016】上記のように、被洗浄面に対する粒体の衝
突により、これまでのように液体のみを用いた超音波洗
浄と比較して洗浄効果が高められるので、液体自体の洗
浄力が多少落ちたとしても粒体の混入でこれを補うこと
ができる。したがって、従来、有害な有機溶剤を洗浄液
として用いていたのに代えて、廃棄処理が容易な液体に
粒体を混入させたものを用いることも可能となる。な
お、洗浄を繰り返してゆくうちには粒体が減ってくるか
ら、洗浄効果を確認しながら適宜補充すればよい。ま
た、予め粒体を規定量だけ混入した洗浄液を用意してお
き、洗浄効果が低下したときには全量交換してもよい。
また、粒体を液体に過剰に混入させた場合には、超音波
振動の伝播効率が低下して洗浄能力が落ちることが懸念
されるため、液体に対する粒体の重量混合比率として
は、5〜30%程度の範囲にとどめるのがよい。
【0017】以上、図示した例にしたがって説明してき
たが、粒体を混入する液体としてはイソプロピルアルコ
ールや純水だけに限定されるものではなく、洗浄対象物
あるいは汚れの種類,程度に応じ、例えば液体洗剤を混
合したアルコールや純水のように2種の液体を混合した
溶液など、適宜の液体を用いることが可能である。また
粒体にしても、その材料組成,比重,硬度,粒径につい
て適宜のものを用いることができる。さらに超音波洗浄
機にしても、洗浄槽の数や種類は図示の例に限定され
ず、一槽式の超音波洗浄機にも本発明は適用可能であ
る。
【0018】
【発明の効果】上述したように、本発明によれば、粒体
を混入させた洗浄液を用いて超音波洗浄を行うため、粒
体の超音波振動による衝撃を洗浄に利用することがで
き、大幅に洗浄効果を上げることができる。そして、粒
体の硬度は洗浄対象物よりも小さくしてあるから洗浄対
象物に傷が入ることがなく、また比重を液体と同程度に
合わせることにより、粒体が液体に沈澱したり浮いたり
することがなく、洗浄効率を安定に維持することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を用いた超音波洗浄機の概略構成図であ
る。
【符号の説明】
1 第1洗浄槽 2 第2洗浄槽 3 第3洗浄槽 4 第4洗浄槽 10〜13 洗浄液 20,24 粒体

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 洗浄槽内の洗浄液に洗浄対象物を浸し、
    洗浄液に超音波振動を与えて洗浄を行う超音波洗浄方法
    において、 洗浄対象物よりも硬度が小さく、かつ洗浄液とほぼ同じ
    比重をもった粒体を洗浄液内に混入して洗浄を行うこと
    を特徴とする超音波洗浄方法。
  2. 【請求項2】 超音波洗浄に用いられる洗浄液におい
    て、前記洗浄液は、液体と、この液体と比重がほぼ等し
    い多数の粒体との混合液であることを特徴とする洗浄
    液。
JP27605892A 1992-10-14 1992-10-14 超音波洗浄方法及び洗浄液 Pending JPH06126260A (ja)

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