JPH06129995A - 光学式表面欠陥検査装置 - Google Patents
光学式表面欠陥検査装置Info
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- JPH06129995A JPH06129995A JP27888492A JP27888492A JPH06129995A JP H06129995 A JPH06129995 A JP H06129995A JP 27888492 A JP27888492 A JP 27888492A JP 27888492 A JP27888492 A JP 27888492A JP H06129995 A JPH06129995 A JP H06129995A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 スラブ表面の欠陥を表面の凹凸や色むら等の
影響を受けずに高精度で検出する。 【構成】 照明装置，拡散板，画像撮影装置および画像
表示装置からなる。照明装置と画像撮影装置は検査対象
材に立てた垂線を軸として光学対称に配置する。拡散板
は微小レンズを２次元的に多数配置したアレイ板を用い
る。 【効果】 スラブ表面の欠陥を高精度で検出する事が可
能となった。
影響を受けずに高精度で検出する。 【構成】 照明装置，拡散板，画像撮影装置および画像
表示装置からなる。照明装置と画像撮影装置は検査対象
材に立てた垂線を軸として光学対称に配置する。拡散板
は微小レンズを２次元的に多数配置したアレイ板を用い
る。 【効果】 スラブ表面の欠陥を高精度で検出する事が可
能となった。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばスラブ表面の欠
陥を検出するための、光学式表面欠陥検査装置に関す
る。
陥を検出するための、光学式表面欠陥検査装置に関す
る。
【０００２】
【従来技術】例えばスラブの割れやピンホールは、圧延
された後も製品の表面欠陥として残存するため、スラブ
段階で検出され除去されることが望ましい。このため過
去この分野では、多くの自動欠陥検査技術が開発されて
きた。
された後も製品の表面欠陥として残存するため、スラブ
段階で検出され除去されることが望ましい。このため過
去この分野では、多くの自動欠陥検査技術が開発されて
きた。
【０００３】例えば、特開昭５９−５２７３５号公報に
は、熱間スラブに可視光を照射し、スラブからの自発光
と照明の反射光の像からスラブ表面の欠陥を検出する方
法が開示されている。また、特開昭５９−１５４３１２
号公報には、熱間連続鋳造スラブの表面を照明する、ハ
ロゲンランプ，楕円面の反射鏡および冷却装置により構
成される熱間スラブ表面疵検出用照明装置が開示されて
いる。また、特開昭６３−１８２５５号公報や特開平２
−１６３６４５号公報には、スカーフィング時のスラブ
表面の画像から表面疵を検出する検出方法が開示されて
いる。
は、熱間スラブに可視光を照射し、スラブからの自発光
と照明の反射光の像からスラブ表面の欠陥を検出する方
法が開示されている。また、特開昭５９−１５４３１２
号公報には、熱間連続鋳造スラブの表面を照明する、ハ
ロゲンランプ，楕円面の反射鏡および冷却装置により構
成される熱間スラブ表面疵検出用照明装置が開示されて
いる。また、特開昭６３−１８２５５号公報や特開平２
−１６３６４５号公報には、スカーフィング時のスラブ
表面の画像から表面疵を検出する検出方法が開示されて
いる。
【０００４】以上のように従来から様々なスラブ表面欠
陥方法および検出装置が考案されているにも関わらず、
いまだ微小欠陥の検出技術は確立していない為、もっぱ
らスラブ全面スカーフ後の目視検査にたよっているのが
現状である。
陥方法および検出装置が考案されているにも関わらず、
いまだ微小欠陥の検出技術は確立していない為、もっぱ
らスラブ全面スカーフ後の目視検査にたよっているのが
現状である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】発明者らは、スラブ表
面を通常の照明でＴＶカメラにより撮影し、撮像信号の
処理（画像処理）による自動検出を試みたが、通常の照
明では、自動検出できるレベルの欠陥画像が得られなか
った。この原因を検討した結果、スカーフ後のスラブ表
面は、溶削ガスの流れによって、滑らかな凹凸のある表
面となっており、かつ酸化膜が表面をおおって、黒い光
沢表面となっている為に、通常の拡散照明では、カメラ
の撮影方向に散乱する光量が少ないため、撮影画像上で
欠陥像のコントラストが全く得られず、一方従来の正反
射配置では、部分的には欠陥弁別可能なコントラストが
得られるものの、表面の凹凸のため正反射が部分的にし
か得られない事が判明した。
面を通常の照明でＴＶカメラにより撮影し、撮像信号の
処理（画像処理）による自動検出を試みたが、通常の照
明では、自動検出できるレベルの欠陥画像が得られなか
った。この原因を検討した結果、スカーフ後のスラブ表
面は、溶削ガスの流れによって、滑らかな凹凸のある表
面となっており、かつ酸化膜が表面をおおって、黒い光
沢表面となっている為に、通常の拡散照明では、カメラ
の撮影方向に散乱する光量が少ないため、撮影画像上で
欠陥像のコントラストが全く得られず、一方従来の正反
射配置では、部分的には欠陥弁別可能なコントラストが
得られるものの、表面の凹凸のため正反射が部分的にし
か得られない事が判明した。
【０００６】特開昭５９−５２７３５号公報にみられる
ように、熱間スラブに可視光を照射しスラブからの自発
光と照明の反射光の像からスラブ表面の欠陥を検出する
方法では、照明光の均一性や自発光と反射光の強度の割
合が最適でないと、明瞭な欠陥画像が得られず、最適な
撮影を行ったとしても欠陥を検出するのは難しい。
ように、熱間スラブに可視光を照射しスラブからの自発
光と照明の反射光の像からスラブ表面の欠陥を検出する
方法では、照明光の均一性や自発光と反射光の強度の割
合が最適でないと、明瞭な欠陥画像が得られず、最適な
撮影を行ったとしても欠陥を検出するのは難しい。
【０００７】また、前述したスカーフィング後のスラブ
表面は、溶削ガスの流れによって、滑らかな凹凸のある
表面となっており、その色は酸化層の色むらにより銀白
色や黒色のむらが存在する。このため斜めからの照明光
の場合、滑らかな凸部の陰や酸化層の色むらが、反射光
の輝度むらをつくる要因となり欠陥検出には大きな障害
となっている。
表面は、溶削ガスの流れによって、滑らかな凹凸のある
表面となっており、その色は酸化層の色むらにより銀白
色や黒色のむらが存在する。このため斜めからの照明光
の場合、滑らかな凸部の陰や酸化層の色むらが、反射光
の輝度むらをつくる要因となり欠陥検出には大きな障害
となっている。
【０００８】また、特開昭５９−１５４３１２号公報の
熱間スラブ表面欠陥検出用照明装置では、反射板で照明
を反射して平行光を照明するようになってはいるが、ス
ラブ表面では反射光と直接光が照射されるためにシェー
ディングがおこる。また前記した特開昭５９−５２７３
５号公報の場合と同様に、斜め方向からの照明では、ス
カーフィング後のスラブ表面の滑らかな凹凸や酸化層の
色むらが、照明光の陰や反射光の輝度むらをつくる要因
となっており欠陥検出には大きな障害となっている。
熱間スラブ表面欠陥検出用照明装置では、反射板で照明
を反射して平行光を照明するようになってはいるが、ス
ラブ表面では反射光と直接光が照射されるためにシェー
ディングがおこる。また前記した特開昭５９−５２７３
５号公報の場合と同様に、斜め方向からの照明では、ス
カーフィング後のスラブ表面の滑らかな凹凸や酸化層の
色むらが、照明光の陰や反射光の輝度むらをつくる要因
となっており欠陥検出には大きな障害となっている。
【０００９】一方、特開昭６３−１８２５５号公報や特
開平２−１６３６４５号公報には、スカーフィング時の
スラブ表面の画像から表面欠陥を検出する検出方法が記
載されているが、スカーフィング時の画像では、はっき
りした欠陥画像は得られず、さらにスカーフィング時の
高温ガスや粉塵等から撮影装置を保護することはコスト
的にもメンテナンス的にも問題があった。
開平２−１６３６４５号公報には、スカーフィング時の
スラブ表面の画像から表面欠陥を検出する検出方法が記
載されているが、スカーフィング時の画像では、はっき
りした欠陥画像は得られず、さらにスカーフィング時の
高温ガスや粉塵等から撮影装置を保護することはコスト
的にもメンテナンス的にも問題があった。
【００１０】従って本発明は、従来からの問題であっ
た、照明光の不均一で起こる欠陥画像の劣化，例えばス
カーフィング後のスラブ表面にある滑らかな凹凸，黒い
光沢を帯びている表面酸化膜等による、撮影画像上での
欠陥部と健全部のコントラストの劣化を低減する、高感
度でありかつ安価でメンテナンス性の良い光学式表面欠
陥検査装置を提供することを目的とする。
た、照明光の不均一で起こる欠陥画像の劣化，例えばス
カーフィング後のスラブ表面にある滑らかな凹凸，黒い
光沢を帯びている表面酸化膜等による、撮影画像上での
欠陥部と健全部のコントラストの劣化を低減する、高感
度でありかつ安価でメンテナンス性の良い光学式表面欠
陥検査装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の光学式表面欠陥
検査装置は、検査対象材を照明する照明装置；該照明装
置の照明光を拡散する拡散装置；検査対象材の照明され
た部分を撮影する撮影装置；および、撮影画像または処
理画像を表示する画像表示装置；を具備する事を特徴と
する。
検査装置は、検査対象材を照明する照明装置；該照明装
置の照明光を拡散する拡散装置；検査対象材の照明され
た部分を撮影する撮影装置；および、撮影画像または処
理画像を表示する画像表示装置；を具備する事を特徴と
する。
【００１２】
【作用】拡散装置が照明装置の照明光を拡散するので、
検査対象材には比較的に均質な照明が行なわれ、撮影装
置の撮影画像上で欠陥像が明瞭になる。
検査対象材には比較的に均質な照明が行なわれ、撮影装
置の撮影画像上で欠陥像が明瞭になる。
【００１３】通常拡散板は、すりガラスや粗く研磨した
ガラスあるいはフィルム等が用いられる。原理的には表
面凹凸または不透明物質の乱反射により拡散光を得る。
しかしながらこのような拡散板でも、ある程度の均質な
照明を得る事はできるが、光源からの照射光に照度むら
があると、当然のことながら拡散光に照度むらができ
る。さらにもっと均質な拡散光源を得るために、拡散板
を数枚重ねたりすることが考えられる。しかしながらこ
の方法では、全体の光透過率が急激に減少することにな
り欠陥検査の照明としては好ましくない。
ガラスあるいはフィルム等が用いられる。原理的には表
面凹凸または不透明物質の乱反射により拡散光を得る。
しかしながらこのような拡散板でも、ある程度の均質な
照明を得る事はできるが、光源からの照射光に照度むら
があると、当然のことながら拡散光に照度むらができ
る。さらにもっと均質な拡散光源を得るために、拡散板
を数枚重ねたりすることが考えられる。しかしながらこ
の方法では、全体の光透過率が急激に減少することにな
り欠陥検査の照明としては好ましくない。
【００１４】したがって本発明の好ましい実施例では、
微小径レンズを多数、光軸を同一方向にむけかつ平行に
そろえて主平面が同一平面上にあるようにして、２次元
アレイ状に並べた微小レンズアレイでなる拡散板を用い
る。この拡散板は、照明光源と検査対象材の検査面の光
路中に照明方向と拡散板面が垂直になるように挿入し、
拡散板を透過した拡散光が擦像装置の視野を全て照明で
きるように配置する。光源と拡散板との距離は光源から
の熱輻射による拡散板の破損がない距離、または拡散板
の冷却装置を具備した場合には冷却が正常に行われる距
離に保ち、かつ撮影装置の撮影視野に拡散板自体が掛か
らない場所に挿入する。また、拡散板と検査対象材との
距離は拡散板を構成する微小径レンズの焦点距離以上に
離し、照明光は撮影装置の視野全体を照明するようにす
る。
微小径レンズを多数、光軸を同一方向にむけかつ平行に
そろえて主平面が同一平面上にあるようにして、２次元
アレイ状に並べた微小レンズアレイでなる拡散板を用い
る。この拡散板は、照明光源と検査対象材の検査面の光
路中に照明方向と拡散板面が垂直になるように挿入し、
拡散板を透過した拡散光が擦像装置の視野を全て照明で
きるように配置する。光源と拡散板との距離は光源から
の熱輻射による拡散板の破損がない距離、または拡散板
の冷却装置を具備した場合には冷却が正常に行われる距
離に保ち、かつ撮影装置の撮影視野に拡散板自体が掛か
らない場所に挿入する。また、拡散板と検査対象材との
距離は拡散板を構成する微小径レンズの焦点距離以上に
離し、照明光は撮影装置の視野全体を照明するようにす
る。
【００１５】さらに照明光源および撮影装置は、検査対
象材に立てた法線を基準として光学対称に配置し、その
傾斜角は、検査対象材に立てた法線に対して60°以下の
範囲内に設定する。
象材に立てた法線を基準として光学対称に配置し、その
傾斜角は、検査対象材に立てた法線に対して60°以下の
範囲内に設定する。
【００１６】
【実施例】以下、図１を参照して本発明装置の一実施例
を説明する。図１において、１は検査対象材であるスラ
ブ、２はスラブ表面の欠陥、３は照明装置、４は拡散
板、５はカメラ、６は画像処理装置および画像表示装置
である。照明装置３の光源は、発光面積の大きい白色光
源、例えば棒状ハロゲンランプを使用している。
を説明する。図１において、１は検査対象材であるスラ
ブ、２はスラブ表面の欠陥、３は照明装置、４は拡散
板、５はカメラ、６は画像処理装置および画像表示装置
である。照明装置３の光源は、発光面積の大きい白色光
源、例えば棒状ハロゲンランプを使用している。
【００１７】光源から射出した白色光は、拡散板４に入
射する。拡散板４上に入射する入射光の入射角は拡散板
上の各点で違っている。例えば、棒状光源長手方向中心
から放射された照明光が、拡散板中心に入射する場合、
入射角は垂直である。棒状光源長手中心から放射された
照明光が拡散板端部に入射する場合は、入射角は射出
点，入射点および拡散板面のなす角度で決まる。また、
拡散板４に入射する照明光は、射出点で放射状に広がる
ため、射出点と拡散板上の入射点の距離の違いによりそ
の強度は違ってくる。さらに、光源が棒状光源であるた
め、照明の射出点は光源の管体の発光面全体にわたり、
前記した入射光の入射角および強度はさらに多様とな
り、拡散板４の透過光（拡散光）は均一で一様な方向性
を持ったものとなる。この様に拡散板４に照明光を入射
させて均一な照明を得ようとする場合、拡散板４への入
射光は様々な入射角度および照度を有している方がよ
く、照明装置３の光源は棒状が良い事がわかる。
射する。拡散板４上に入射する入射光の入射角は拡散板
上の各点で違っている。例えば、棒状光源長手方向中心
から放射された照明光が、拡散板中心に入射する場合、
入射角は垂直である。棒状光源長手中心から放射された
照明光が拡散板端部に入射する場合は、入射角は射出
点，入射点および拡散板面のなす角度で決まる。また、
拡散板４に入射する照明光は、射出点で放射状に広がる
ため、射出点と拡散板上の入射点の距離の違いによりそ
の強度は違ってくる。さらに、光源が棒状光源であるた
め、照明の射出点は光源の管体の発光面全体にわたり、
前記した入射光の入射角および強度はさらに多様とな
り、拡散板４の透過光（拡散光）は均一で一様な方向性
を持ったものとなる。この様に拡散板４に照明光を入射
させて均一な照明を得ようとする場合、拡散板４への入
射光は様々な入射角度および照度を有している方がよ
く、照明装置３の光源は棒状が良い事がわかる。
【００１８】拡散板４は、スリガラス等の表面凹凸によ
る乱反射拡散ではなく、多数の微小レンズの２次元アレ
イ板を透過する際の光の発散により拡散を行う拡散板で
ある。拡散板４に入射する照明光は、前述記したように
様々な方向および強度をもち、各微小レンズに入射す
る。微小レンズでは屈折により光は集光され、焦点を過
ぎ直進し発散される。このことより焦点距離以上離れる
と各光学レンズ自体がレンズ径と同じ大きさを持った点
拡散光源となる。この点拡散光源がアレイ状に集まって
点光源の集合した面光源となり良好な拡散能力を有す
る。また、拡散板４の材質は透明体を使用しているため
拡散板４の透過率は高く、照度の低下も最小に抑えられ
る。光源は棒状光源を使用しているため、前述したよう
に様々な入射角および強度の照明が微小レンズアレイに
入射し、微小レンズアレイを用いた拡散板４の拡散能力
はさらに高められることとなる。
る乱反射拡散ではなく、多数の微小レンズの２次元アレ
イ板を透過する際の光の発散により拡散を行う拡散板で
ある。拡散板４に入射する照明光は、前述記したように
様々な方向および強度をもち、各微小レンズに入射す
る。微小レンズでは屈折により光は集光され、焦点を過
ぎ直進し発散される。このことより焦点距離以上離れる
と各光学レンズ自体がレンズ径と同じ大きさを持った点
拡散光源となる。この点拡散光源がアレイ状に集まって
点光源の集合した面光源となり良好な拡散能力を有す
る。また、拡散板４の材質は透明体を使用しているため
拡散板４の透過率は高く、照度の低下も最小に抑えられ
る。光源は棒状光源を使用しているため、前述したよう
に様々な入射角および強度の照明が微小レンズアレイに
入射し、微小レンズアレイを用いた拡散板４の拡散能力
はさらに高められることとなる。
【００１９】拡散板４を通過した照明光は検査対象材１
に照射される。従来行われているスラブの照明では、カ
メラに入射するスラブ表面反射光は、スラブ表面の滑ら
かな凹凸が原因で正反射光が得られる部分と得られない
部分が生じ、結果的に強いシェーディングが生じるた
め、欠陥の目視確認及び自動検出が困難であった。しか
し、本実施例では、図１で示すように、カメラ５の視線
を延長し、正反射させた方向に必ず点光源が存在する事
になって、一様な明るい画像がえられる。
に照射される。従来行われているスラブの照明では、カ
メラに入射するスラブ表面反射光は、スラブ表面の滑ら
かな凹凸が原因で正反射光が得られる部分と得られない
部分が生じ、結果的に強いシェーディングが生じるた
め、欠陥の目視確認及び自動検出が困難であった。しか
し、本実施例では、図１で示すように、カメラ５の視線
を延長し、正反射させた方向に必ず点光源が存在する事
になって、一様な明るい画像がえられる。
【００２０】一方、割れやピンホール等の欠陥部では、
凹部の影が出来るため、欠陥部は黒い画像となる。この
ため簡単な２値化処理のみで欠陥の抽出が出来るように
なった。また表面が錆びたり、汚れたりしている場合で
も、受光量は減少するものの、欠陥部よりは明るく、レ
ベルのみで弁別できるようになる。
凹部の影が出来るため、欠陥部は黒い画像となる。この
ため簡単な２値化処理のみで欠陥の抽出が出来るように
なった。また表面が錆びたり、汚れたりしている場合で
も、受光量は減少するものの、欠陥部よりは明るく、レ
ベルのみで弁別できるようになる。
【００２１】棒状ハロゲン灯が光源である照明装置３は
検査対象材１に立てた法線に対して60°以下の範囲に設
定し、被検査材１の斜め上方より照明し、撮像装置であ
るカメラ５はその正反射光を受光するように配置する。
微小レンズの２次元アレイからなる拡散板４は、ハロゲ
ン灯と被検査材の間に挿入し、拡散板４を通過した照明
が最大面積を照明できるように光路中心が拡散板４の中
心を透過しかつ光路方向と拡散板面が垂直になるように
挿入する。
検査対象材１に立てた法線に対して60°以下の範囲に設
定し、被検査材１の斜め上方より照明し、撮像装置であ
るカメラ５はその正反射光を受光するように配置する。
微小レンズの２次元アレイからなる拡散板４は、ハロゲ
ン灯と被検査材の間に挿入し、拡散板４を通過した照明
が最大面積を照明できるように光路中心が拡散板４の中
心を透過しかつ光路方向と拡散板面が垂直になるように
挿入する。
【００２２】ここで照明装置３が、検査対象材１に立て
た法線に対して60°以上の場合、被検査材１の斜め上方
より照明したスラブ表面像をカメラ５で正反射条件で撮
影すると、前記した拡散板４を用いたとしてもスラブ表
面の滑らかな凹凸の凸部分の陰ができる事となり欠陥検
出には好ましくない。
た法線に対して60°以上の場合、被検査材１の斜め上方
より照明したスラブ表面像をカメラ５で正反射条件で撮
影すると、前記した拡散板４を用いたとしてもスラブ表
面の滑らかな凹凸の凸部分の陰ができる事となり欠陥検
出には好ましくない。
【００２３】拡散板４とスラブ表面の距離を拡散板４を
構成する微小レンズの焦点距離以上に近づけると、レン
ズの集光効果がおこり照明された面は集光される部分と
集光されない部分ができ均一な照明ができなくなり欠陥
検出には好ましくない。
構成する微小レンズの焦点距離以上に近づけると、レン
ズの集光効果がおこり照明された面は集光される部分と
集光されない部分ができ均一な照明ができなくなり欠陥
検出には好ましくない。
【００２４】また、照明装置３と撮影装置５が光学的に
対称な位置から外れると、しだいにスラブ表面からの正
反射光が減少し欠陥２と健全部のコントラストが鮮明で
無くなってくる。このため最適な条件で欠陥を検出する
ためには照明装置３と撮影装置５は検査対象材１に立て
た法線を軸として光学対称に配置することが望ましい。
撮影装置５は前記した照明装置３と拡散板４により照
明されたスラブ表面を撮影し、画像処理装置および表示
装置６で、画像処理を行なってＣＲＴディスプレイ等に
表示する。撮影装置５で撮影した画像は、図には記載し
ていないが、装置６での画像処理により欠陥像の鮮鋭化
等の処理を行い欠陥部の抽出を行う事も可能である。
対称な位置から外れると、しだいにスラブ表面からの正
反射光が減少し欠陥２と健全部のコントラストが鮮明で
無くなってくる。このため最適な条件で欠陥を検出する
ためには照明装置３と撮影装置５は検査対象材１に立て
た法線を軸として光学対称に配置することが望ましい。
撮影装置５は前記した照明装置３と拡散板４により照
明されたスラブ表面を撮影し、画像処理装置および表示
装置６で、画像処理を行なってＣＲＴディスプレイ等に
表示する。撮影装置５で撮影した画像は、図には記載し
ていないが、装置６での画像処理により欠陥像の鮮鋭化
等の処理を行い欠陥部の抽出を行う事も可能である。
【００２５】次に、具体的に説明する。照明装置３の光
源は、棒状のハロゲンランプ1000Wを使用しており、ラ
ンプ管体の長さは250mmである。拡散板４は、シート寸
法が203×254mm、構成しているレンズの直径は2.2mm、
焦点距離は3mm、であり、１平方インチあたりレンズ数
は134個である。光源とスラブ表面までの距離は1000m
m、光源と拡散板４までの距離は600mmである。
源は、棒状のハロゲンランプ1000Wを使用しており、ラ
ンプ管体の長さは250mmである。拡散板４は、シート寸
法が203×254mm、構成しているレンズの直径は2.2mm、
焦点距離は3mm、であり、１平方インチあたりレンズ数
は134個である。光源とスラブ表面までの距離は1000m
m、光源と拡散板４までの距離は600mmである。
【００２６】撮影装置５として２次元のＣＣＤカメラを
用い、その視野はスラブ表面の照明のあたっている部分
に調整している。取り付け位置はスラブ表面に立てた垂
線を軸として照明光源と光学対称に設置し、スラブ表面
とＣＣＤカメラ５までの距離は700mにしている。照明角
度と撮影角度はスラブ表面に立てた垂線に対して30°の
角度をなし光学対称に配置されている。
用い、その視野はスラブ表面の照明のあたっている部分
に調整している。取り付け位置はスラブ表面に立てた垂
線を軸として照明光源と光学対称に設置し、スラブ表面
とＣＣＤカメラ５までの距離は700mにしている。照明角
度と撮影角度はスラブ表面に立てた垂線に対して30°の
角度をなし光学対称に配置されている。
【００２７】本実施例でスラブ表面欠陥の画像を撮影し
た結果、他の撮影装置で撮影したスラブ表面欠陥の画像
にくらべて欠陥部のみが黒く映し出され、なおかつスラ
ブ表面にある滑らかな凹凸による濃淡の存在や、表面酸
化層の色の濃淡の影響もほとんどない良好な画像が得ら
れた。
た結果、他の撮影装置で撮影したスラブ表面欠陥の画像
にくらべて欠陥部のみが黒く映し出され、なおかつスラ
ブ表面にある滑らかな凹凸による濃淡の存在や、表面酸
化層の色の濃淡の影響もほとんどない良好な画像が得ら
れた。
【００２８】
【効果】例えば冷間鋳片の検査手入れ作業は高温多湿の
悪環境作業の一つであったが、厳格材の検査が多く、微
小な欠陥を検出する必要があるため、もっぱら鋳片その
ものの人間の目視によりなされていたが、本発明装置の
適用により、遠隔でディスプレイ上での目視あるいは画
像処理による検出が可能となり自動化遠隔化が可能にな
った。
悪環境作業の一つであったが、厳格材の検査が多く、微
小な欠陥を検出する必要があるため、もっぱら鋳片その
ものの人間の目視によりなされていたが、本発明装置の
適用により、遠隔でディスプレイ上での目視あるいは画
像処理による検出が可能となり自動化遠隔化が可能にな
った。
【００２９】本発明は薄板の検査にも適用できる可能性
があり、従来の光学式表面欠陥検出器で検出出来ない欠
陥でも、表面粗度の妨害を押さえて、高精度に検出出来
る可能性を有する。
があり、従来の光学式表面欠陥検出器で検出出来ない欠
陥でも、表面粗度の妨害を押さえて、高精度に検出出来
る可能性を有する。
【図１】 本発明の一実施例の構成概要を示す側面図で
ある。
ある。
1：スラブ（検査対象材） 2：欠陥 3：照明装置 4：拡散板（拡散装置） 5：カメラ（撮像装置） 6：画像処理および表示装
置（画像表示装置）
置（画像表示装置）
フロントページの続き (72)発明者 中 村 覚 北九州市戸畑区飛幡町１番１号 新日本製 鐵株式会社八幡製鐵所内 (72)発明者 高 木 徹 北九州市戸畑区飛幡町１番１号 新日本製 鐵株式会社八幡製鐵所内
Claims (4)
- 【請求項１】検査対象材を照明する照明装置；該照明装
置の照明光を拡散する拡散装置；検査対象材の照明され
た部分を撮影する撮影装置；および、 撮影画像または処理画像を表示する画像表示装置；を具
備する事を特徴とする光学式表面欠陥検査装置。 - 【請求項２】拡散装置は、多数の微小径レンズを、光軸
を同一方向にむけかつ平行にそろえて主平面が同一平面
上にあるようにして２次元アレイ状に配置した拡散板で
ある請求項１に記載の光学式表面欠陥検査装置。 - 【請求項３】拡散板は、照明方向と拡散板面を垂直にし
て、光源と拡散板との距離は光源かの熱輻射による拡散
板の破損がない距離または拡散板冷却装置を具備した場
合には冷却が正常に行われる距離に、しかも撮影装置の
撮影視野の外に、検査対象材とは拡散板を構成する微小
径レンズの焦点距離以上に離して、その透過光が撮影装
置の視野全体を照明するように、照明光源と検査対象材
の検査面の光路中に挿入された、請求項２に記載の光学
式表面欠陥検査装置。 - 【請求項４】前記照明装置の照明角度は、検査対象材に
立てた法線に対して60°以下の範囲であり、撮影装置の
撮影方向は、検査対象材に立てた法線を軸として照明装
置の照明方向と光学対称である、請求項１，請求項２又
は請求項３に記載の光学式表面欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27888492A JPH06129995A (ja) | 1992-10-16 | 1992-10-16 | 光学式表面欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27888492A JPH06129995A (ja) | 1992-10-16 | 1992-10-16 | 光学式表面欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06129995A true JPH06129995A (ja) | 1994-05-13 |
Family
ID=17603449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27888492A Pending JPH06129995A (ja) | 1992-10-16 | 1992-10-16 | 光学式表面欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06129995A (ja) |
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