JPH0515978B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0515978B2
JPH0515978B2 JP57102699A JP10269982A JPH0515978B2 JP H0515978 B2 JPH0515978 B2 JP H0515978B2 JP 57102699 A JP57102699 A JP 57102699A JP 10269982 A JP10269982 A JP 10269982A JP H0515978 B2 JPH0515978 B2 JP H0515978B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
convex
projection screen
light
convex surface
image
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP57102699A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS58219441A (ja
Inventor
Hajime Yoshida
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hajime Industries Ltd
Original Assignee
Hajime Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hajime Industries Ltd filed Critical Hajime Industries Ltd
Priority to JP57102699A priority Critical patent/JPS58219441A/ja
Priority to US06/501,165 priority patent/US4555635A/en
Priority to CA000429982A priority patent/CA1206226A/en
Priority to GB08315789A priority patent/GB2126712B/en
Priority to DE3320939A priority patent/DE3320939C2/de
Priority to FR8309725A priority patent/FR2528571B1/fr
Publication of JPS58219441A publication Critical patent/JPS58219441A/ja
Publication of JPH0515978B2 publication Critical patent/JPH0515978B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/952—Inspecting the exterior surface of cylindrical bodies or wires
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Image Processing (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、凸面体の表面欠陥検査用光学装置に
関し、特に反射度の強い（反射率の高い）凸面体
の表面の欠陥の有無を、簡単な光学系構成によ
り、高精度に、自動的に検査し得る検査用光学装
置に関するものである。
反射率の高い凸面体の表面、例えば金属で鏡面
仕上された凸表面や鍍金凸表面の状態例えば欠陥
の有無等を目視で調べることは、極めて困難であ
る。そこで、近年、テレビカメラ等のイメージセ
ンサを用いて、上述した如き高反射率の凸表面
（被検査表面）を撮像し、これよりの映像信号を
電気的に処理して、被検査表面の傷、汚れ等の欠
陥の有無を自動的に検査し得る光学装置が、種々
提案されている。
然し乍ら、現在提案されている凸表面の自動検
査用光学装置では、上述した如く、反射率の高い
凸表面の欠陥の検査は、目視の場合と同様に、依
然として、非常に困難であるのが、実状である。
次に、第１及び第２図を用いて、上述した如き
従来の自動検査用光学装置の一例を説明しよう。
第１図は、被検査物体、例えば球状の凸面体１
の被検査表面である凸表面２に入射する入射光
ILと反射光RLとの関係を示す図である。周知の
如く凸表面２の例えば点Ｐに入射す入射光IL及
びその反射光RLは、点Ｐに於ける凸表面２の法
線Ｎに関して対称である。即ち、入射角θIと反射
角θRは同じ値である。
第２図は、この様な凸面体１の凸表面２の検査
を行なう従来の検査用光学装置の一例の概略図で
ある。同図に於いて、３は光源で、この光源３よ
り凸面体１の凸表面２への入射光IL1は凸面体１
表面２の各点A1、A2、A3……で反射して、反射
光RL1、RL2、RL3……となる。第２図の例では、
光源３及びテレビカメラ４の配置により反射光の
うち、RL1のみがテレビカメラ４で捉えられ、他
の反射光は、テレビカメラ４の視野外である。即
ち、凸面体１の被測定表面である凸表面２のう
ち、点A1のみの傷等の有無しか測定し得ない。
この場合、カメラ４に入る反射光RL1は、光源３
の光そのものと云つて良いので、反射光RL1は非
常に強く、点A1での傷が小さいと、その測定は
非常に困難である。更に、被検査表面である凸表
面２を全体に亘り検査するためには、凸面体１
を、カメラ４対して、徐々に一回転させる必要が
ある。又、この場合、A1点以外の凸表面２での
反射光も、テレビカメラ４に入るので、厳密に言
えば、第２図の従来例は、A1点以外の表面の検
査も行い得るが、被検査物体１の凸表面２が凸面
体である限り、テレビカメラ４と、凸表面２と、
光源３との配置を、どのように変えようとも、
A1点の如く光源３よりの光自身が、カメラ４に
像として入り、眩光して検査を困難にする場合が
生ずる。
第３図は、上述した欠点を回避せんとし提案さ
れている他の従来装置の例である。この例では、
複数個、図示の例では、２個の光源３1，３2で、
光拡散板５1，５2を介して、凸面体１の凸表面２
を照射し、２個の光拡散板５1，５2間に配したテ
レビカメラ４に、光源３1，３2の光自体が凸表面
２で反射した光が入射しないようにして、上述し
た従来例の欠点を除去せんとしている。即ち、第
３図に示す従来例では、光源３1，３2よりの光
を、光拡散板５1，５2で拡散して、凸表面２のあ
る領域を照射し、そこでの反射光をテレビカメラ
４で捉え、凸表面２のある領域の検査を行うもの
である。
然し乍ら、第３図に示す如く、この例では、凸
表面２の点Ｂに関しては、テレビカメラ４のレン
ズ部４1の像が、テレビカメラ４で捕捉されてし
まう欠点がある。即ち、この従来例によつては、
凸表面２の点Ｂに於ける法線と、テレビカメラ４
の光軸とが一致するのでテレビカメラのレンズ４
１を撮像してしまい、凸表面２のこの点Ｂの検査
は、不可能と云う欠点がある。尚、第２及び第３
図に於て、符号６は、テレビカメラ４の出力映像
信号を処理して、被検査物体である凸面体１の凸
表面２の傷等の欠陥の有無を検査する検査装置で
ある。
従つて、本発明の主目的は、叙上の如き従来の
検査用光学装置の欠点を一掃した、凸面体の表面
欠陥検査用光学装置を提供するにある。
本発明の要旨は、光を被検査物体１の凸表面２
に照射し、凸表面２よりの反射光RLを投映スク
リーン７に投影し、この投影スクリーン７上の投
影像をイメージセンサ４により受け、このイメー
ジセンサ４よりの出力信号を検査装置６により処
理して、被検査物体の凸表面の欠陥の有無を検査
する凸面体１の表面欠陥検査用光学装置に於い
て、光を略平行光束となし、被検査物体の凸表面
２の平行光束で照射される被照射領域よりの反射
光RLをつや消し面の如き像形成面７Ａを有する
投映スクリーン７に直接投映して、被照射領域の
像を投映スクリーン７の像形成面上に形成すると
共に被照射領域の所定の領域よりの反射光RLが
像形成面７Ａに到る距離が各点において略等しく
なるように投映スクリーン７を形成したことを特
徴とする凸面体の表面欠陥検査用光学装置にあ
る。
以下、上述した特徴を有する本発明の一例を、
第４図を参照して説明しよう。尚、第４図に於
て、第１乃至第３図との対応部分は同一符号を付
して示す。
扨て、第４図に示す本発明の例では、光源３
は、１個で、よりの入射光IL略々平行な光束IL
でこの入射光（以下平行光軸と記す）を被検査物
体、即ち凸面体１の凸表面２に照射するもので、
これを、例えば図示の如く、一端が閉じ、他端が
開いている筒体３Ａと、その開口端に嵌入した例
えば凸レンズ３Ｂと、筒体３Ａ内に於て、凸レン
ズ３Ｂの略々一方の焦点に配置した例えばランプ
の如き発光体３Ｃとより構成する。尚、３Ｄは、
ランプ３Ｃの電源である。凸面体１の凸表面２と
イメージセンサであるテレビカメラ４との間に、
例えば透明なプラスチツク材等より成る略々均一
な厚さの透過形投映スクリーン７を配設する。こ
の透過形投映スクリーン７の凸面体の凸表面２と
対向する面には、そこに当たる光が一部乱反射
し、像が形成される像形成面であるつやけし面７
Ａが形成されている。従つて、この投映スクリー
ン７のつやけし面７Ａには、光源３よりの平行光
束ILが凸面体１の凸表面２の所定領域（被照射
表面）で反射した反射光束RLが当たり、凸面体
１の凸表面２の平行光束ILで照射された領域
（被照射領域）の像が投映される。それ故、この
透過形投映スクリーン７、即ちそのつやけし面７
Ａの形状は、凸面体１の凸表面２の被照射領域で
反射され、そこよりの反射光束RLがつやけし面
７Ａに到る距離が、各点に於て略々等しくなる様
に形成される。このような形状となせば、凸面体
１の凸表面２の被照射領域で反射して透過形投映
スクリーン７のつやけし面７Ａ上に投影される像
は、略々均一となり、凸面体１の凸表面２の欠陥
の検査が、良好に行い得る光学装置が提供可能と
成る。
第４図に示す本発明の例に於ては、テレビカメ
ラ等のイメージセンサ４を、透過型投映スクリー
ン７に対して、被検査物体である凸面体１とは反
対側に配設し、つやけし面７Ａ上の凸表面２の被
照射領域の像を、透過型投映スクリーン７を介し
て撮像して、その出力を従来例と同様に検査装置
６で処理して、凸面体１の凸表面２の欠陥を有無
を検査するものであるから、テレビカメラ４が、
上述した従来例の如く、光源３自体の像を撮映す
ることもないし、テレビカメラ４のレンズ部４1
の像を撮像することもなく、仮に、球体、円筒体
等の凸面体の凸表面で、且つその反射率が高くと
も、その欠陥検査を、自動的、確実且つ容易に行
うことができるものである。この際、本発明に於
ては、光源３は単一で、しかも、そこよりの光
ILは、拡散するものではなく、光束であるから、
不要な光が投映スクリーン７及びテレビカメラ４
に直接入ることはない。
尚、凸面体１の凸表面２への光源３よりの平行
光束ILにより照射される被照射領域が、凸面体
１の凸表面２の一部である場合は、図示せずも適
当な駆動装置により、凸面体１を、回転又は移動
して、凸表面２の全ての面を、順次平行光束IL
で照射し、それ等の像を順次つやけし面７Ａ上に
形成し、上述した検査を繰り返せば良いことは、
勿論である。
又、光源３よりの被検査体である凸面体１の凸
表面２へ入射する平行光束ILの入射角は、凸面
体１の凸表面２の大小及び曲率に応じて凸表面２
の像が略々均一に投影される様に適宜変更すれば
良い。この際、必要に応じて、透過形投映スクリ
ーン７の形状を変更してもよい。尚、この場合、
光源３よりの平行光束ILが透過形投映スクリー
ン７のつやけし面７Ａ及びイメージセンサ４に直
接入射しないようにすることは、勿論である。
又、凸面体１の凸表面２の形状によつては、テ
レビカメラ４を、投映スクリーン７に関して、凸
面体１と同じ側に配置、つやけし面７Ａ上の像を
直接撮影するようになしても、同様の効果が得ら
れることは本発明の光源３の特性から見て明らか
であろう。尚この場合、投映スクリーン７として
は透過形の外に反射形のものを使用してもよい。
【図面の簡単な説明】
第１図は凸表面に入射する光とそこでの反射光
との関係を説明するに使用する略線図、第２図及
び第３図は夫々従来の検査装置を示す略線図、第
４図は本発明の一例を示す一部を断面とする略線
図である。 図に於て、１は被検査物体である凸面体、２は
凸表面、３は光源、４はイメージセンサ、７は投
映スクリーン、７Ａはつやけし面である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 光を被検査物体の凸表面に照射し、該凸表面
    よりの反射光を投映スクリーンに投影し、該投映
    スクリーン上の投影像をイメージセンサにより受
    け、該イメージセンサよりの出力信号を検査装置
    により処理して、上記被検査物体の凸表面の欠陥
    の有無を検査する凸面体の表面欠陥検査用光学装
    置において、 上記光を略々平行光束となし、上記被検査物体
    の凸表面の該平行光束で照射される被照射領域よ
    りの反射光を、つや消し面の如き像形成面を有す
    る投映スクリーンに直接投映し、 上記被照射領域の像を上記投映スクリーンの像
    形成面上に形成すると共に、上記被照射領域の所
    定の領域よりの反射光が上記像形成面に到る距離
    が、各点において略々等しくなるように上記投映
    スクリーンを形成したことを特徴とする凸面体の
    表面欠陥検査用光学装置。
JP57102699A 1982-06-15 1982-06-15 凸面体の表面欠陥検査装置 Granted JPS58219441A (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57102699A JPS58219441A (ja) 1982-06-15 1982-06-15 凸面体の表面欠陥検査装置
US06/501,165 US4555635A (en) 1982-06-15 1983-06-06 Surface flaw inspection apparatus for a convex body
CA000429982A CA1206226A (en) 1982-06-15 1983-06-08 Surface flaw inspection apparatus for convex body
GB08315789A GB2126712B (en) 1982-06-15 1983-06-08 Surface flaw inspection apparatus for a convex body
DE3320939A DE3320939C2 (de) 1982-06-15 1983-06-09 Vorrichtung zur Fehlerprüfung der Oberfläche eines konvex gekrümmten Körpers
FR8309725A FR2528571B1 (fr) 1982-06-15 1983-06-13 Appareil de controle de defauts de surface

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57102699A JPS58219441A (ja) 1982-06-15 1982-06-15 凸面体の表面欠陥検査装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS58219441A JPS58219441A (ja) 1983-12-20
JPH0515978B2 true JPH0515978B2 (ja) 1993-03-03

Family

ID=14334502

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP57102699A Granted JPS58219441A (ja) 1982-06-15 1982-06-15 凸面体の表面欠陥検査装置

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4555635A (ja)
JP (1) JPS58219441A (ja)
CA (1) CA1206226A (ja)
DE (1) DE3320939C2 (ja)
FR (1) FR2528571B1 (ja)
GB (1) GB2126712B (ja)

Families Citing this family (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59151008A (ja) * 1983-02-18 1984-08-29 Koyo Seiko Co Ltd 円形物の外観検査方法
US4585343A (en) * 1983-11-04 1986-04-29 Libbey-Owens-Ford Company Apparatus and method for inspecting glass
GB2159271B (en) * 1984-04-27 1988-05-18 Nissan Motor Surface flaw detecting method and apparatus
DE3446355C2 (de) * 1984-12-19 1986-11-06 Erwin Sick Gmbh Optik-Elektronik, 7808 Waldkirch Optisches Fehlersuchgerät
US4710642A (en) * 1985-08-20 1987-12-01 Mcneil John R Optical scatterometer having improved sensitivity and bandwidth
US4754148A (en) * 1986-12-10 1988-06-28 Allegheny Ludlum Corporation Adjustably positioned apparatus maintaining a fixed perpendicular distance for evaluating a curved surface
JPS6463845A (en) * 1987-09-02 1989-03-09 Asahi Optical Co Ltd Method for inspecting surface to be inspected having linear defect
US5118194A (en) * 1989-04-11 1992-06-02 Southwest Research Institute Optical inspection of lacquer and carbon deposits
CA2064250C (en) * 1989-08-15 2002-04-30 Don W. Cochran Engineered video inspection lighting array
US5012116A (en) * 1989-10-12 1991-04-30 Russell John P System for inspecting bearing balls for defects
DE4003983C1 (en) * 1990-02-09 1991-08-29 Abos Automation, Bildverarbeitung, Optische Systeme Gmbh, 8057 Eching, De Automated monitoring of space=shape data for mfg. semiconductors - compares image signals for defined illumination angle range with master signals, to determine defects
JPH04122839A (ja) * 1990-09-14 1992-04-23 Sumitomo Metal Ind Ltd 表面検査方法
US5241369A (en) * 1990-10-01 1993-08-31 Mcneil John R Two-dimensional optical scatterometer apparatus and process
US5457326A (en) * 1993-05-18 1995-10-10 Daio Steel Ball Mfg. Co., Ltd. Surface inspection apparatus of spherical matter
US5761540A (en) * 1994-10-31 1998-06-02 Northeast Robotics, Inc. Illumination device with microlouver for illuminating an object with continuous diffuse light
US5539485A (en) * 1994-10-31 1996-07-23 White; Timothy P. Illumination device for providing continuous diffuse light on and off an observing axis
US5842060A (en) * 1994-10-31 1998-11-24 Northeast Robotics Llc Illumination device with curved beam splitter for illumination an object with continuous diffuse light
US5764874A (en) * 1994-10-31 1998-06-09 Northeast Robotics, Inc. Imaging system utilizing both diffuse and specular reflection characteristics
US5604550A (en) * 1994-10-31 1997-02-18 Northeast Robotics, Inc. Illumination device for indirectly illuminating an object with continuous diffuse light
US5713661A (en) * 1995-10-23 1998-02-03 Northeast Robotics, Inc. Hockey puck shaped continuous diffuse illumination apparatus and method
JPH10187939A (ja) * 1996-12-25 1998-07-21 Fujitsu Ltd 光学的検出装置及び光学的検出処理における照明方法
US5912741A (en) * 1997-10-10 1999-06-15 Northrop Grumman Corporation Imaging scatterometer
DE19809790B4 (de) 1998-03-09 2005-12-22 Daimlerchrysler Ag Verfahren zur Ermittlung einer Drallstruktur in der Oberfläche eines feinbearbeiteten zylindrischen Werkstücks
US20040114035A1 (en) * 1998-03-24 2004-06-17 Timothy White Focusing panel illumination method and apparatus
US6184528B1 (en) 1998-08-27 2001-02-06 Vought Aircraft Industries, Inc. Method of spectral nondestructive evaluation
US6273338B1 (en) 1998-09-22 2001-08-14 Timothy White Low cost color-programmable focusing ring light
US6498643B1 (en) * 2000-11-13 2002-12-24 Ball Semiconductor, Inc. Spherical surface inspection system
BE1014299A3 (fr) * 2001-07-17 2003-08-05 Centre Rech Metallurgique Procede pour l'inspection de la surface d'un cylindre de laminoir et dispositif pour sa mise en oeuvre.
FR2846096B1 (fr) * 2002-10-16 2005-02-11 Dispositif pour la detection, l'analyse et la localisation de defauts presents sur une surface transparente et/ou reflechissante
US7170592B2 (en) * 2004-03-10 2007-01-30 Acushnet Company Method of inspecting a sphere without orienting the sphere
EP1800112B1 (en) * 2004-10-08 2008-11-12 Koninklijke Philips Electronics N.V. Optical inspection of test surfaces
JP2006234771A (ja) * 2005-02-28 2006-09-07 Fuji Photo Film Co Ltd 金属ロールの表面欠陥検査方法およびその装置
FR2899966B1 (fr) * 2006-04-18 2010-02-26 Holo 3 Procede et dispositif de controle optique d'une surface optiquement reflechissante
FR3061300B1 (fr) * 2016-12-26 2020-06-12 Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives Procede d'observation d'un objet
FR3061301B1 (fr) * 2016-12-26 2020-09-04 Commissariat Energie Atomique Procede d'observation d'un objet
CN118401827A (zh) * 2021-12-14 2024-07-26 日立建机株式会社 表面检查方法以及表面检查装置
JP2023160096A (ja) * 2022-04-21 2023-11-02 株式会社リコー 表面欠陥検出装置および表面欠陥検出方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3746784A (en) * 1971-08-16 1973-07-17 Ball Corp Electronic defect detecting apparatus
GB1439129A (en) * 1972-09-21 1976-06-09 Ferranti Ltd Detection of blemishes in surfaces
AR207635A1 (es) * 1973-06-27 1976-10-22 Connor B O Aparato para senalar la presencia de materia extrana y/o grietas en envases translucidos
JPS5061088U (ja) * 1973-10-02 1975-06-05
JPS5210036A (en) * 1975-07-15 1977-01-26 Tokyo Genshi Kogyo Kk Connection device between electronic computer and magnetic disk unit
JPS5342093A (en) * 1976-09-28 1978-04-17 Mitsubishi Electric Corp Tester for glass bottle
JPS5424042A (en) * 1977-07-25 1979-02-23 Fuji Electric Co Ltd Optical identifying device
JPS6036013B2 (ja) * 1977-09-30 1985-08-17 動力炉・核燃料開発事業団 金属表面の欠陥検査方法
JPS5953483B2 (ja) * 1978-01-27 1984-12-25 超エル・エス・アイ技術研究組合 鏡面の変形分布測定装置
JPS54171390U (ja) * 1978-05-23 1979-12-04
JPS56117154A (en) * 1980-02-21 1981-09-14 Hajime Sangyo Kk Inspecting apparatus of flaw
IT1143380B (it) * 1981-02-10 1986-10-22 Fiat Ricerche Procedimento e dispositivo per il rilevamento di difetti superficiali di pezzi meccanici in particolare di pezzi a superficie curva
JPS58115313A (ja) * 1981-12-29 1983-07-09 Matsushita Electric Works Ltd 欠陥検出装置

Also Published As

Publication number Publication date
CA1206226A (en) 1986-06-17
JPS58219441A (ja) 1983-12-20
FR2528571B1 (fr) 1987-11-20
GB2126712A (en) 1984-03-28
GB2126712B (en) 1986-01-29
GB8315789D0 (en) 1983-07-13
US4555635A (en) 1985-11-26
DE3320939C2 (de) 1985-04-18
DE3320939A1 (de) 1983-12-15
FR2528571A1 (fr) 1983-12-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0515978B2 (ja)
JP5144401B2 (ja) ウエハ用検査装置
JP3692685B2 (ja) 欠陥検査装置
JPH01314955A (ja) 透光性容器の検査方法
US20010028452A1 (en) Unit for inspecting a surface
JP2015040835A (ja) 透明板状体の欠点検査装置及び欠点検査方法
TW202113339A (zh) 環形產品的外觀檢查裝置
US6618136B1 (en) Method and apparatus for visually inspecting transparent body and translucent body
JP2007171149A (ja) 表面欠陥検査装置
JPH04122839A (ja) 表面検査方法
US9194810B2 (en) Method and device for the detection of surface defects of a component
JP2006017685A (ja) 表面欠陥検査装置
JPH02216134A (ja) 撮影装置
JP2005195332A (ja) 円環状物品の外観検査装置
CN117288721A (zh) 一种反光物体表面检测装置
JPH10274515A (ja) 曲面検査方法及び検査用カメラユニット
JP2643550B2 (ja) 外観検査装置
JPH0868767A (ja) 壜胴部の欠陥検査装置
JP2002014058A (ja) 検査方法及び装置
JPS5927859B2 (ja) ガラスビン胴部の欠陥検査装置
JPH1123414A (ja) 光透過球面形状体の外観検査装置
JP2000295639A (ja) 固体撮像素子検査用照明装置及びそれに用いる調整工具
JP3360795B2 (ja) 光学部材検査装置
JPH10185828A (ja) 透明平面体表面の欠陥検査方法及びその装置
JP2001208695A (ja) 容器欠陥検出方法およびその装置