JPH06136536A - 連続蒸着めっき装置 - Google Patents
連続蒸着めっき装置Info
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- JPH06136536A JPH06136536A JP4284589A JP28458992A JPH06136536A JP H06136536 A JPH06136536 A JP H06136536A JP 4284589 A JP4284589 A JP 4284589A JP 28458992 A JP28458992 A JP 28458992A JP H06136536 A JPH06136536 A JP H06136536A
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 蒸着室１内に被処理帯２を順次導入導出し、
該被処理帯２に蒸着めっきを施す連続蒸着めっき装置に
おいて、蒸着室内の被処理帯２と蒸着室１の天井との間
に、該天井から被処理帯２への異物落下防止用のプレー
トＰを脱着可能に設けたことを特徴とする連続蒸着めっ
き装置。 【効果】 蒸着室１の天井等に付着した凝縮付着物（異
物）５の被処理帯２上への落下を防止し得るようにな
り、従って、従来装置が有していた被処理帯への異物落
下に起因する異物の付着及び押し傷の発生等の問題点を
解消し得、かかる問題点を生じることなく、連続蒸着め
っきを安定して行い得るようになる。
該被処理帯２に蒸着めっきを施す連続蒸着めっき装置に
おいて、蒸着室内の被処理帯２と蒸着室１の天井との間
に、該天井から被処理帯２への異物落下防止用のプレー
トＰを脱着可能に設けたことを特徴とする連続蒸着めっ
き装置。 【効果】 蒸着室１の天井等に付着した凝縮付着物（異
物）５の被処理帯２上への落下を防止し得るようにな
り、従って、従来装置が有していた被処理帯への異物落
下に起因する異物の付着及び押し傷の発生等の問題点を
解消し得、かかる問題点を生じることなく、連続蒸着め
っきを安定して行い得るようになる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、連続蒸着めっき装置に
関し、詳細には、鋼帯等の被処理帯を走行させ、蒸着室
内に順次導入し、該被処理帯にAl, Ti, Zn, それらの合
金，セラミック, それらの混合物等を真空蒸着めっき法
等により蒸着めっきする連続蒸着めっき装置に関する。
関し、詳細には、鋼帯等の被処理帯を走行させ、蒸着室
内に順次導入し、該被処理帯にAl, Ti, Zn, それらの合
金，セラミック, それらの混合物等を真空蒸着めっき法
等により蒸着めっきする連続蒸着めっき装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、連続蒸着めっき装置としては、基
本的には、内部に蒸着めっき原料及びその蒸発手段を有
すると共に内部雰囲気調整手段を備えた蒸着室を有する
ものが使用される。そして、連続蒸着めっきは、この蒸
着室内の雰囲気を調整し、蒸着めっき原料を蒸発させる
と共に、被処理帯を走行させて蒸着室内に順次導入導出
し、連続的に蒸着めっきを施す方法により行われる。
本的には、内部に蒸着めっき原料及びその蒸発手段を有
すると共に内部雰囲気調整手段を備えた蒸着室を有する
ものが使用される。そして、連続蒸着めっきは、この蒸
着室内の雰囲気を調整し、蒸着めっき原料を蒸発させる
と共に、被処理帯を走行させて蒸着室内に順次導入導出
し、連続的に蒸着めっきを施す方法により行われる。
【０００３】例えば、図３に例示する如き連続蒸着めっ
き装置が使用される。この装置は、蒸着室として第１蒸
着室11及び第２蒸着室17の２室を有する点に最大の特徴
がある。この装置によれば、入側真空シール装置12によ
り真空中に導かれた被処理帯２は、第１蒸着室11におい
て片面（被処理帯２の下面）に蒸着めっきが施され、次
いでデフレクターロール15を介して第２蒸着室17に導か
れ、そこでもう一方の片面（当初の被処理帯２の上面）
に蒸着めっきが施される。尚、図３において、13はシー
ルロール、14は電子銃、３は蒸着めっき原料るつぼ、18
は出側真空シール装置を示すものである。
き装置が使用される。この装置は、蒸着室として第１蒸
着室11及び第２蒸着室17の２室を有する点に最大の特徴
がある。この装置によれば、入側真空シール装置12によ
り真空中に導かれた被処理帯２は、第１蒸着室11におい
て片面（被処理帯２の下面）に蒸着めっきが施され、次
いでデフレクターロール15を介して第２蒸着室17に導か
れ、そこでもう一方の片面（当初の被処理帯２の上面）
に蒸着めっきが施される。尚、図３において、13はシー
ルロール、14は電子銃、３は蒸着めっき原料るつぼ、18
は出側真空シール装置を示すものである。
【０００４】かかる従来装置において一般的に使用され
る蒸着室を図４に例示する。このような蒸着室において
は、蒸着室１内の蒸着めっき原料るつぼ３より蒸発した
金属蒸気等の蒸気は被処理帯２の表面に凝縮、付着して
蒸着めっき層を形成し、これにより蒸着めっきの目的を
達成することになる。しかし、被処理帯２に付着しなか
った蒸気は蒸着室１の内壁に付着、堆積する。特に蒸発
速度が大きい場合には被処理帯２の上方に位置する蒸着
室１の天井の部分にも蒸気が凝縮、付着して、蒸着めっ
き原料蒸気の凝縮付着物５が堆積する。
る蒸着室を図４に例示する。このような蒸着室において
は、蒸着室１内の蒸着めっき原料るつぼ３より蒸発した
金属蒸気等の蒸気は被処理帯２の表面に凝縮、付着して
蒸着めっき層を形成し、これにより蒸着めっきの目的を
達成することになる。しかし、被処理帯２に付着しなか
った蒸気は蒸着室１の内壁に付着、堆積する。特に蒸発
速度が大きい場合には被処理帯２の上方に位置する蒸着
室１の天井の部分にも蒸気が凝縮、付着して、蒸着めっ
き原料蒸気の凝縮付着物５が堆積する。
【０００５】このように蒸着室の天井に凝縮付着物５が
堆積すると、その一部が自重や振動等により剥離して脱
落し、被処理帯２の上に乗っかり、パスライン後方に存
するデフレクターロール15，16等で挟まれ、その結果、
被処理帯２に押し傷が発生したり、被処理帯２に凝縮付
着物（以降、異物という）が付着するという問題点が起
こる。一方、このような異物はロールにも付着し、これ
を放置しておくと、この異物によっても被処理帯２に押
し傷が発生する。
堆積すると、その一部が自重や振動等により剥離して脱
落し、被処理帯２の上に乗っかり、パスライン後方に存
するデフレクターロール15，16等で挟まれ、その結果、
被処理帯２に押し傷が発生したり、被処理帯２に凝縮付
着物（以降、異物という）が付着するという問題点が起
こる。一方、このような異物はロールにも付着し、これ
を放置しておくと、この異物によっても被処理帯２に押
し傷が発生する。
【０００６】このロールに付着した異物は除去すること
が望ましいが、そのためには随時装置の運転を中止し、
蒸着室１及び真空シール装置12，18の真空を大気開放す
る必要があり、従って、装置を長時間停止する必要があ
り、又、頻繁に異物の除去作業をする必要があり、その
作業量が膨大なものとなる。しかも、このような異物除
去作業を頻繁に行っても、蒸着めっき中に蒸着室の天井
や側壁に付着した凝縮付着物が被処理帯上に落下し、こ
れを完全に防止することは困難であるのが現状である。
が望ましいが、そのためには随時装置の運転を中止し、
蒸着室１及び真空シール装置12，18の真空を大気開放す
る必要があり、従って、装置を長時間停止する必要があ
り、又、頻繁に異物の除去作業をする必要があり、その
作業量が膨大なものとなる。しかも、このような異物除
去作業を頻繁に行っても、蒸着めっき中に蒸着室の天井
や側壁に付着した凝縮付着物が被処理帯上に落下し、こ
れを完全に防止することは困難であるのが現状である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】前記従来の連続蒸着め
っき装置においては、前述の如く、被処理帯上への異物
の落下が生じるという問題点があり、これは被処理帯の
押し傷発生等の種々の問題点を引き起こすので、極めて
深刻な問題点であり、その早期解決が強く望まれてい
る。
っき装置においては、前述の如く、被処理帯上への異物
の落下が生じるという問題点があり、これは被処理帯の
押し傷発生等の種々の問題点を引き起こすので、極めて
深刻な問題点であり、その早期解決が強く望まれてい
る。
【０００８】本発明はこの様な事情に着目してなされた
ものであって、その目的は、前記従来技術の有する問題
点を解消し、被処理帯上への異物の落下を防止し得る連
続蒸着めっき装置を提供しようとするものである。
ものであって、その目的は、前記従来技術の有する問題
点を解消し、被処理帯上への異物の落下を防止し得る連
続蒸着めっき装置を提供しようとするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、次のような構成の連続蒸着めっき装置と
している。即ち、本発明に係る連続蒸着めっき装置は、
蒸着室内に被処理帯を順次導入導出し、該被処理帯に蒸
着めっきを施す連続蒸着めっき装置において、蒸着室内
の被処理帯と蒸着室の天井との間に、該天井から被処理
帯への異物落下防止用のプレートを脱着可能に設けたこ
とを特徴とする連続蒸着めっき装置である。
に、本発明は、次のような構成の連続蒸着めっき装置と
している。即ち、本発明に係る連続蒸着めっき装置は、
蒸着室内に被処理帯を順次導入導出し、該被処理帯に蒸
着めっきを施す連続蒸着めっき装置において、蒸着室内
の被処理帯と蒸着室の天井との間に、該天井から被処理
帯への異物落下防止用のプレートを脱着可能に設けたこ
とを特徴とする連続蒸着めっき装置である。
【００１０】
【作用】本発明に係る連続蒸着めっき装置は、前記の如
く、蒸着室内の被処理帯と蒸着室の天井との間に、該天
井から被処理帯への異物落下防止用のプレートを脱着可
能に設けているので、蒸着室の天井に付着した凝縮付着
物（異物）が脱落したとき、該異物は前記プレートの上
に乗っかり、該プレートによりそれ以上の異物の落下は
遮られ、従って、被処理帯上への異物の落下を防止し得
る。
く、蒸着室内の被処理帯と蒸着室の天井との間に、該天
井から被処理帯への異物落下防止用のプレートを脱着可
能に設けているので、蒸着室の天井に付着した凝縮付着
物（異物）が脱落したとき、該異物は前記プレートの上
に乗っかり、該プレートによりそれ以上の異物の落下は
遮られ、従って、被処理帯上への異物の落下を防止し得
る。
【００１１】又、前記プレートは脱着可能であるので、
その下面に付着した凝縮付着物（異物）が被処理帯へ落
下する恐れがある場合や、プレート上面に凝縮付着物が
ある程度付着して支障がある場合は、それまで使用して
いたプレートを蒸着室から取り外し、更新用のプレート
を蒸着室に装着することができる。従って、装置の運転
を殆ど中止することなく、プレートを交換し得、被処理
帯上への異物の落下防止状態を継続、保持し得る。尚、
上記の取り外したプレートは、付着異物を除去すれば、
次の交換用プレートとして使用できる。
その下面に付着した凝縮付着物（異物）が被処理帯へ落
下する恐れがある場合や、プレート上面に凝縮付着物が
ある程度付着して支障がある場合は、それまで使用して
いたプレートを蒸着室から取り外し、更新用のプレート
を蒸着室に装着することができる。従って、装置の運転
を殆ど中止することなく、プレートを交換し得、被処理
帯上への異物の落下防止状態を継続、保持し得る。尚、
上記の取り外したプレートは、付着異物を除去すれば、
次の交換用プレートとして使用できる。
【００１２】前記プレートに関し、これを被処理帯の幅
に応じてプレート幅又は面積が可変な複数枚の板材から
構成するようにすると、被処理帯の幅が変化しても、そ
れに応じてプレート幅又は面積を変化させることがで
き、従って、被処理帯上への異物の落下を確実に防止し
得る。
に応じてプレート幅又は面積が可変な複数枚の板材から
構成するようにすると、被処理帯の幅が変化しても、そ
れに応じてプレート幅又は面積を変化させることがで
き、従って、被処理帯上への異物の落下を確実に防止し
得る。
【００１３】前記プレートを被処理帯の蛇行に伴って位
置調整可能に構成すると、被処理帯が蛇行しても、それ
に応じてプレート位置を変えられ、従って、被処理帯上
への異物の落下を確実に防止し得る。
置調整可能に構成すると、被処理帯が蛇行しても、それ
に応じてプレート位置を変えられ、従って、被処理帯上
への異物の落下を確実に防止し得る。
【００１４】前記プレートと蒸着室内の被処理帯との間
の距離が０mm超、200 mm以下になるようにすると、プレ
ート下面及び上面での凝縮付着物量の増大速度が遅く、
該プレートからの凝縮付着物の落下を長期間に渡って防
止し得る。又、そのために前記プレートの交換までの期
間が長く、装置の連続運転を長期に渡って行い得る。こ
こで上記距離Ｌの範囲は実験により求められたものであ
る。即ち、被処理帯とプレートとの距離Ｌと、被処理帯
に押し傷を生じることなく連続運転できる時間との関係
を実験により求めたところ、図２に示す如く、距離Ｌが
大きくなるに伴い、プレート面での凝縮付着物量の増大
速度が大きくなるため、該プレートからの凝縮付着物の
落下が短期間で生じるようになり、従って、被処理帯に
押し傷を生じることなく連続運転できる時間が短かくな
り、特にこの距離Ｌが200 mmを超えると連続運転できる
時間は急激に短かく、３日以下となることが判った。そ
こで、被処理帯とプレートとの距離Ｌについては、０mm
超、200 mm以下を最適値としたのである。
の距離が０mm超、200 mm以下になるようにすると、プレ
ート下面及び上面での凝縮付着物量の増大速度が遅く、
該プレートからの凝縮付着物の落下を長期間に渡って防
止し得る。又、そのために前記プレートの交換までの期
間が長く、装置の連続運転を長期に渡って行い得る。こ
こで上記距離Ｌの範囲は実験により求められたものであ
る。即ち、被処理帯とプレートとの距離Ｌと、被処理帯
に押し傷を生じることなく連続運転できる時間との関係
を実験により求めたところ、図２に示す如く、距離Ｌが
大きくなるに伴い、プレート面での凝縮付着物量の増大
速度が大きくなるため、該プレートからの凝縮付着物の
落下が短期間で生じるようになり、従って、被処理帯に
押し傷を生じることなく連続運転できる時間が短かくな
り、特にこの距離Ｌが200 mmを超えると連続運転できる
時間は急激に短かく、３日以下となることが判った。そ
こで、被処理帯とプレートとの距離Ｌについては、０mm
超、200 mm以下を最適値としたのである。
【００１５】前記プレートの下面に蒸着めっき原料蒸気
の凝縮付着物との密着性強化のための粗面化処理を施し
ておくと、該プレートと凝縮付着物との密着性が向上
し、従って、該プレートから凝縮付着物が脱落し難くな
り、被処理帯への落下に至る時間が長くなる。この粗面
化処理の方法は特には限定されないが、プレートの下面
にサンドペーパ仕上げ、スコッチブライト仕上げ、やす
り仕上げ等を施すことが効果的である。
の凝縮付着物との密着性強化のための粗面化処理を施し
ておくと、該プレートと凝縮付着物との密着性が向上
し、従って、該プレートから凝縮付着物が脱落し難くな
り、被処理帯への落下に至る時間が長くなる。この粗面
化処理の方法は特には限定されないが、プレートの下面
にサンドペーパ仕上げ、スコッチブライト仕上げ、やす
り仕上げ等を施すことが効果的である。
【００１６】
【実施例】本発明の実施例に係る連続蒸着めっき装置
は、蒸着室を除き、図３に例示した従来装置と同様の構
成を有するものである。本実施例の装置に適用した蒸着
室を図１に示す。この蒸着室は、蒸着室内の被処理帯２
と蒸着室１の天井との間に、該天井から被処理帯への異
物落下防止用のプレートＰ及びそのプレート幅拡縮機構
等の付帯機器が設けられており、かかる点を除き、図４
に例示した従来の蒸着室と同様の構造を有するものであ
る。
は、蒸着室を除き、図３に例示した従来装置と同様の構
成を有するものである。本実施例の装置に適用した蒸着
室を図１に示す。この蒸着室は、蒸着室内の被処理帯２
と蒸着室１の天井との間に、該天井から被処理帯への異
物落下防止用のプレートＰ及びそのプレート幅拡縮機構
等の付帯機器が設けられており、かかる点を除き、図４
に例示した従来の蒸着室と同様の構造を有するものであ
る。
【００１７】上記プレートＰは、被処理帯の幅に応じて
プレート幅又は面積を可変とするための３枚の板材から
なり、プレート幅拡縮機構が連結されている。即ち、プ
レートＰは中央部プレート７と端部プレート6a及び6bと
からなり、この端部プレート6a及び6bにはプレート幅拡
縮のためのシリンダー８が連結されている。尚、図１に
おいて、３は蒸着めっき原料るつぼ、４は蒸着めっき原
料、９は真空パッキン、５は下記蒸着めっきの際に付着
する凝縮付着物を示すものである。
プレート幅又は面積を可変とするための３枚の板材から
なり、プレート幅拡縮機構が連結されている。即ち、プ
レートＰは中央部プレート７と端部プレート6a及び6bと
からなり、この端部プレート6a及び6bにはプレート幅拡
縮のためのシリンダー８が連結されている。尚、図１に
おいて、３は蒸着めっき原料るつぼ、４は蒸着めっき原
料、９は真空パッキン、５は下記蒸着めっきの際に付着
する凝縮付着物を示すものである。
【００１８】上記実施例に係る連続蒸着めっき装置を用
いて、真空蒸着めっき法により鋼帯等の被処理帯へのA
l, Ti, Zn等の蒸着めっきを行った。即ち、蒸着室１内
を真空雰囲気に調整し、電子銃等の加熱手段によって原
料るつぼ３内の蒸着めっき原料４を加熱して蒸発させる
と共に、被処理帯２を走行させて蒸着室１内に順次導入
することにより、該被処理帯２への連続蒸着めっきを行
った。尚、被処理帯２の幅に応じて、シリンダー８によ
り端部プレート6a及び6bを動かし、プレートＰの幅又は
面積を変化させた。即ち、常にプレートＰの幅（左側の
端部プレート6aの左端から右側の端部プレート6bの右端
までの幅）が被処理帯２の幅より大きくなるように、端
部プレート6a及び6bを動かした。
いて、真空蒸着めっき法により鋼帯等の被処理帯へのA
l, Ti, Zn等の蒸着めっきを行った。即ち、蒸着室１内
を真空雰囲気に調整し、電子銃等の加熱手段によって原
料るつぼ３内の蒸着めっき原料４を加熱して蒸発させる
と共に、被処理帯２を走行させて蒸着室１内に順次導入
することにより、該被処理帯２への連続蒸着めっきを行
った。尚、被処理帯２の幅に応じて、シリンダー８によ
り端部プレート6a及び6bを動かし、プレートＰの幅又は
面積を変化させた。即ち、常にプレートＰの幅（左側の
端部プレート6aの左端から右側の端部プレート6bの右端
までの幅）が被処理帯２の幅より大きくなるように、端
部プレート6a及び6bを動かした。
【００１９】この連続蒸着めっきにおいて、蒸着めっき
原料４から蒸発した蒸気は、被処理帯２の表面に凝縮、
付着して蒸着めっき層を形成する一方、蒸着室１の天井
の部分等にも凝縮、付着して凝縮付着物５を形成し、そ
れが堆積してくる。この凝縮付着物（異物）５の量は時
間の経過とともに増大し、やがてその一部が自重や振動
等により剥離して脱落するが、その異物は前記プレート
Ｐの上に落ち、それ以上には落下せず、従って、被処理
帯２上への異物の落下は生じない。
原料４から蒸発した蒸気は、被処理帯２の表面に凝縮、
付着して蒸着めっき層を形成する一方、蒸着室１の天井
の部分等にも凝縮、付着して凝縮付着物５を形成し、そ
れが堆積してくる。この凝縮付着物（異物）５の量は時
間の経過とともに増大し、やがてその一部が自重や振動
等により剥離して脱落するが、その異物は前記プレート
Ｐの上に落ち、それ以上には落下せず、従って、被処理
帯２上への異物の落下は生じない。
【００２０】更に蒸着めっきを続けると、プレートＰに
付着した凝縮付着物の量も増大し、やがて該凝縮付着物
（異物）の一部が脱落して被処理帯２上に落下するが、
この状態に至るまでにプレートＰを更新することによ
り、被処理帯２上への異物の落下を未然に防ぐ。その結
果、被処理帯２上への異物の落下を生じることなく、蒸
着めっきを継続して行うことができる。尚、上記プレー
トＰの交換は容易にでき、その所要時間は極めて短い。
又、プレートＰの交換を必要とする時点に到る迄の期間
（プレートＰからの異物脱落が生じる迄の期間）は相当
長く、この交換の頻度は比較的少ないので、連続蒸着め
っきにさほど支障を来すものではない。
付着した凝縮付着物の量も増大し、やがて該凝縮付着物
（異物）の一部が脱落して被処理帯２上に落下するが、
この状態に至るまでにプレートＰを更新することによ
り、被処理帯２上への異物の落下を未然に防ぐ。その結
果、被処理帯２上への異物の落下を生じることなく、蒸
着めっきを継続して行うことができる。尚、上記プレー
トＰの交換は容易にでき、その所要時間は極めて短い。
又、プレートＰの交換を必要とする時点に到る迄の期間
（プレートＰからの異物脱落が生じる迄の期間）は相当
長く、この交換の頻度は比較的少ないので、連続蒸着め
っきにさほど支障を来すものではない。
【００２１】このとき、前記プレートＰと被処理帯２と
の間の距離Ｌを０mm超、200 mm以下にしておくと、プレ
ートでの凝縮付着物量の増大速度が遅いので、上記プレ
ートＰの交換を必要とする時点に到るまでの期間はより
長く、連続蒸着めっきを長期に渡って連続して行い得
る。尚、この期間は上記距離Ｌが小さいほど延びる。
又、前記プレートＰの表面を粗面化しておくと、凝縮付
着物との密着性が向上し、該凝縮付着物が脱落し難くな
るので、上記プレートＰの交換を必要とする時点に到る
までの期間は更に長くなる。
の間の距離Ｌを０mm超、200 mm以下にしておくと、プレ
ートでの凝縮付着物量の増大速度が遅いので、上記プレ
ートＰの交換を必要とする時点に到るまでの期間はより
長く、連続蒸着めっきを長期に渡って連続して行い得
る。尚、この期間は上記距離Ｌが小さいほど延びる。
又、前記プレートＰの表面を粗面化しておくと、凝縮付
着物との密着性が向上し、該凝縮付着物が脱落し難くな
るので、上記プレートＰの交換を必要とする時点に到る
までの期間は更に長くなる。
【００２２】尚、場合によっては、被処理帯２は常に定
位置を走行するとは限らず、所謂蛇行することもある。
このような場合には、この被処理帯の蛇行に追従してプ
レートＰの位置、即ち、左側の端部プレート6aの左端及
び右側の端部プレート6bの右端の位置を、調整すればよ
く、その制御を行うことも可能である。
位置を走行するとは限らず、所謂蛇行することもある。
このような場合には、この被処理帯の蛇行に追従してプ
レートＰの位置、即ち、左側の端部プレート6aの左端及
び右側の端部プレート6bの右端の位置を、調整すればよ
く、その制御を行うことも可能である。
【００２３】
【発明の効果】本発明に係る連続蒸着めっき装置によれ
ば、蒸着室の天井等に付着した凝縮付着物（異物）の被
処理帯上への落下を防止し得るようになる。従って、従
来装置が有していた被処理帯への異物落下に起因する異
物の付着及び押し傷の発生等の問題点を解消し得、かか
る問題点を生じることなく、連続蒸着めっきを安定して
行うことができるようになる。
ば、蒸着室の天井等に付着した凝縮付着物（異物）の被
処理帯上への落下を防止し得るようになる。従って、従
来装置が有していた被処理帯への異物落下に起因する異
物の付着及び押し傷の発生等の問題点を解消し得、かか
る問題点を生じることなく、連続蒸着めっきを安定して
行うことができるようになる。
【図１】本発明の実施例に係る連続蒸着めっき装置に適
用した蒸着室の概要を示す側断面図である。
用した蒸着室の概要を示す側断面図である。
【図２】連続蒸着めっきに際しての被処理帯とプレート
との距離Ｌと、連続生産可能時間（被処理帯に押し傷を
生じることなく連続運転できる時間）との関係を示す図
である。
との距離Ｌと、連続生産可能時間（被処理帯に押し傷を
生じることなく連続運転できる時間）との関係を示す図
である。
【図３】連続蒸着めっき装置の一例を示す側断面図であ
る。
る。
【図４】従来の連続蒸着めっき装置に使用される蒸着室
の一例の概要を示す側断面図である。
の一例の概要を示す側断面図である。
１--蒸着室、 ２--被処理帯、 ３--蒸着めっき原料る
つぼ、 ４--蒸着めっき原料、 ５--凝縮付着物、
6a, 6b--端部プレート、 ７--中央部プレート、 ８
--シリンダー、 ９--真空パッキン、 11--第１蒸着
室、 12--入側真空シール装置、 13--シールロール、
14--電子銃、 15，16--デフレクターロール、 17--
第２蒸着室、 18--出側真空シール装置、 Ｐ--被処理
帯への異物落下防止用のプレート。
つぼ、 ４--蒸着めっき原料、 ５--凝縮付着物、
6a, 6b--端部プレート、 ７--中央部プレート、 ８
--シリンダー、 ９--真空パッキン、 11--第１蒸着
室、 12--入側真空シール装置、 13--シールロール、
14--電子銃、 15，16--デフレクターロール、 17--
第２蒸着室、 18--出側真空シール装置、 Ｐ--被処理
帯への異物落下防止用のプレート。
フロントページの続き (72)発明者 三宅 昭二 兵庫県加古川市金沢町１番地 株式会社神 戸製鋼所加古川製鉄所内 (72)発明者 川福 純司 兵庫県加古川市金沢町１番地 株式会社神 戸製鋼所加古川製鉄所内 (72)発明者 岩井 正敏 兵庫県加古川市金沢町１番地 株式会社神 戸製鋼所加古川製鉄所内
Claims (1)
- 【請求項１】 蒸着室内に被処理帯を順次導入導出し、
該被処理帯に蒸着めっきを施す連続蒸着めっき装置にお
いて、蒸着室内の被処理帯と蒸着室の天井との間に、該
天井から被処理帯への異物落下防止用のプレートを脱着
可能に設けたことを特徴とする連続蒸着めっき装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4284589A JPH06136536A (ja) | 1992-10-22 | 1992-10-22 | 連続蒸着めっき装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4284589A JPH06136536A (ja) | 1992-10-22 | 1992-10-22 | 連続蒸着めっき装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06136536A true JPH06136536A (ja) | 1994-05-17 |
Family
ID=17680418
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4284589A Withdrawn JPH06136536A (ja) | 1992-10-22 | 1992-10-22 | 連続蒸着めっき装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06136536A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19643843A1 (de) * | 1996-10-30 | 1998-05-07 | Leybold Systems Gmbh | Vorrichtung zum Verdampfen von Metallen |
| CN114574833A (zh) * | 2020-11-30 | 2022-06-03 | 佳能特机株式会社 | 搬送装置及成膜装置 |
-
1992
- 1992-10-22 JP JP4284589A patent/JPH06136536A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19643843A1 (de) * | 1996-10-30 | 1998-05-07 | Leybold Systems Gmbh | Vorrichtung zum Verdampfen von Metallen |
| DE19643843B4 (de) * | 1996-10-30 | 2008-11-27 | Applied Materials Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung zum Verdampfen von Metallen |
| CN114574833A (zh) * | 2020-11-30 | 2022-06-03 | 佳能特机株式会社 | 搬送装置及成膜装置 |
| KR20220076323A (ko) * | 2020-11-30 | 2022-06-08 | 캐논 톡키 가부시키가이샤 | 반송 장치, 및 성막 장치 |
| JP2022086585A (ja) * | 2020-11-30 | 2022-06-09 | キヤノントッキ株式会社 | 搬送装置、および成膜装置 |
| CN114574833B (zh) * | 2020-11-30 | 2023-09-12 | 佳能特机株式会社 | 搬送装置及成膜装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000104 |