JPH06139945A - Rf増幅管とその製造方法 - Google Patents

Rf増幅管とその製造方法

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JPH06139945A
JPH06139945A JP5111459A JP11145993A JPH06139945A JP H06139945 A JPH06139945 A JP H06139945A JP 5111459 A JP5111459 A JP 5111459A JP 11145993 A JP11145993 A JP 11145993A JP H06139945 A JPH06139945 A JP H06139945A
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ジェイ セイス アラン
Douglas B Lyon
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 RF増幅管の熱除去を効率的にすること。 【構成】 複数の磁気プレート16および導電性非磁気
プレート18を有し、これらプレートを、交互にかつ一
体的にした、ミリ波RF信号を増幅するための一体的極
片形RF増幅管であって、この増幅管は、ヒートシンク
34を取り付けできる実質的に平面状の表面を有する。
磁気プレート16は、共振キャビティとなるスロット2
4を有し、磁気プレート16の一部は、これらキャビテ
ィ26を結合するノッチ22を有する。管10内に誘導
された磁界は、キャビティ26を貫通するビームトンネ
ル14を通る電子ビーム66を合焦する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、進行波管またはクライ
ストロンのようなマイクロ増幅管に関し、より詳細には
ミリ波レンジ内のマイクロウェーブ信号を増幅するため
の一体的極片形RF増幅管と、その製造方法に関する。
【0002】
【従来技術】進行波管(TWT)またはクライストロン
のようなマイクロウェーブ増幅管は、当技術分野では周
知となっている。これらマイクロウェーブ管は、マイク
ロウェーブ周波数レンジ内のRF(無線周波数)信号を
増幅するよう、すなわち利得を上げるようになってい
る。結合キャビティ形TWTは、一般に、一連の同調キ
ャビティを有し、これらキャビティは、キャビティ間に
形成されたアイリスにより、リンクすなわち結合されて
いる。管内に導入されたマイクロウェーブRF信号は、
結合キャビティの各々を通過しながら、管内を伝わる。
代表的結合キャビティ形TWTは、このように結合され
た30個ものキャビティを有することがある。RF信号
が管内で伝わる際、RF信号のたどる通路は、ジグザグ
状に曲がるので、進行波信号の有効速度が低下し、信号
に影響が現れる。このタイプの結合キャビティ形管によ
り形成される低速波は、「スローウェーブ」として知ら
れている。
【0003】各キャビティは、管の長さを長くするビー
ムトンネルにより、更にリンクされる。増幅されたRF
出力信号を発生するには、ビームトンネルを通過するよ
うに、電子ビームを放出しなければならない。この電子
ビームは、トンネル領域に形成された磁界により案内さ
れ、RF信号と相互作用し、所望の増幅を行う。この結
果生じるRF出力信号の周波数のバンド幅は、キャビテ
ィの大きさを変えることにより変更でき、更にRF出力
信号の強度は、電子ビームの電圧および電流を変えるこ
とにより変更できる。
【0004】RF増幅管は、「一体的極片」または「ス
リップオン極片」のいずれかを利用できる。この極片
は、ビームトンネルに対し磁束を通す磁気材料から形成
される。一体的極片は、ビーム領域に向かって内側へ延
びる真空容器の一部を形成するが、スリップオン極片
は、管の真空容器の完全に外部に位置する。
【0005】トンネル領域内で誘導される磁界は、管領
域の外部に位置するマグネットから、極片を通って放射
状に延びる磁束線により得られる。このタイプの電子ビ
ームの合焦法は、周期的永久マグネット(PPM)合焦
法として知られている。極片が、キャビティ壁だけでな
く、トンネルの一部を形成していると、ビーム領域内に
磁束が生じる。そのため、ビームのスティフネスの値、
すなわちλp/Lは大きくなり、ビームの合焦に好まし
い条件が得られる。この理由から、一体的極片形RF増
幅管は、スリップオン極片管よりも好ましい。
【0006】クライストロンは、電子ビームが通過する
多数のキャビティを含むことがある点で、結合キャビテ
ィ形TWTに類似している。クライストロンは、電子ビ
ームへの変調を増幅し、RF電流を含む、高度に集群化
されたビームを発生する。クライストロンは、キャビテ
ィが一般に結合されない点で、結合キャビティ形TWT
と異なっている。しかし、クライストロンのキャビティ
の一部は、2つ以上のキャビティが電子ビームと相互作
用できるように結合されることがある。この特定タイプ
のクライストロンは、拡張形相互作用出力回路として知
られている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】RF増幅管の大きな課
題は、熱の効率的な除去にある。電子ビームが、管のキ
ャビティを通ってドリフトする際、トンネル壁で停止し
た浮遊電子から生じた熱エネルギーは、磁性材料のリラ
クタンス変化、キャビティ表面の熱変形、またはトンネ
ル壁の溶融を防止するよう、管から除かなければならな
い。この熱除去のため、通常、ヒートシンクへ熱を伝え
る磁気材料から成る部分に、銅板が接合される。この銅
は、ヒートパスの熱抵抗を下げ、トンネルの強度が危険
なレベルより低くなるようにする。代表的な円筒形キャ
ビティにおける最小ヒートパスの長さは、キャビティの
半径である。
【0008】RF増幅管の別の問題は、マイクロウェー
ブスペクトルのミリ波長レンジ内のRF信号、すなわち
ミリ波を増幅するように、これら管を製造することが、
より困難となることである。これらの極短波長の信号
は、キャビティおよび結合アイリスを形成する際の公差
を正確にすることを求める。周期的マイクロウェーブ構
造体では、(RF電磁界から見て)内側の寸法の周期ご
とのバラツキが大きくなる結果、管内でのRFの反射回
数が増える。次にこのため、管とRF入力導波管とのイ
ンピーダンスマッチングが劣化し、周期性を表す値は、
マッチング劣化しなかった場合よりも低下する。これら
の要因の結果、管で得られる利得値が低下する。従っ
て、周波数が高くなるにつれて、部品の公称寸法が低下
すると、周期ごとの寸法のバラツキを小さくしなければ
ならない。
【0009】従来の一体的極片RF増幅管では、磁気お
よび非磁気部品は、通常は別々に機械加工して、重ねら
れ、次にろう付けされている。ミリ波長で作動するよう
設計された管では、周期ごとの寸法のバラツキは、ここ
の部品に要求される公差だけでなく、部品間のろう付け
領域の不均一性によっても決まることが多い。通常より
多くの周期、および従ってより多くの部品が必要となる
高い周波数では、特に極片に銅プレートを加えて、キャ
ビティ壁に沿う熱伝導度を改善しなければならない場
合、積層体に沿う公差の累積をなくすことは、より困難
となり、コスト高となる。
【0010】従って、一体的な極片形RF増幅管は、作
動周波数が高くなるにつれて、また部品数が多くなるに
つれて、有効性が低下する。寸法のバラツキの問題を解
消するための放電加工技術を用いて、銅の単一ブロック
から管を機械加工することが多い。軽量のPPM合焦を
望む場合、その後、管に別の磁気回路をスリップオン
し、ろう付けする。しかし、一体的極片を除き、その結
果、トンネル壁に磁束を導入すると、一体的極片形RF
増幅管の望ましい合焦性能が失われる。λp/Lの比は
大幅に小さくなり、より高いビーム電圧しか合焦できな
い。
【0011】従って、望ましいビーム合焦をするため、
トンネル壁まで完全にまたは少なくとも部分的に延びた
極片を有し、かつミリ波RF信号を増幅する一体的極片
形RF増幅管を提供することが望ましい。更に、トンネ
ル壁からの熱の除去を改善するため、銅板がキャビティ
壁に沿って極片に接触している一体的極片形RF増幅管
を提供することも望ましい。更に、上記特徴を有し、公
差の累積という悪影響を除いた一体的極片形RF増幅管
を製造する比較的安価な方法を提供することが好まし
い。
【0012】
【課題を解決するための手段】従って、本発明の主たる
目的は、ミリ波RF信号を増幅し、改善されたビーム合
焦をするよう、トンネル壁まで延びた極片を有する一体
的極片形RF増幅管とその製造方法を提供することにあ
る。
【0013】本発明の別の目的は、ミリ波RF信号を増
幅し、キャビティ壁に沿って極片と接触する銅プレート
を有し、熱に対する耐久性を改善し、高温作動から生じ
得るキャビティ表面の熱変形、磁気材料のリラクタンス
変化、およびトンネル壁の溶融を最小とする一体的極片
形RF増幅管を提供することにある。
【0014】本発明の更に別の目的は、公差の累積とい
う悪影響を除いた、一体的極片形RF増幅管を製造する
ための低コストの方法を提供することにある。
【0015】上記およびそれ以外の目的を達成するた
め、交互に、かつ一体的とした複数の磁気および非磁気
プレートを有する積層構造体を有するRF増幅管が提供
される。この構造体は、実質的に平面状の外側表面、お
よび内側ビームトンネルを有する。磁束が、まず磁気プ
レートを通り、次に、トンネル内に進入する磁界を形成
する複数のマグネットが設けられる。この構造体のエッ
ジには、平面状の表面が設けられ、回路に平面状の境界
ヒートシンクを取り付けできるようになっている。非磁
気プレートの各々は、ヒートシンクを取り付けた後、共
振キャビティとなる一つ以上のスロットを有する。ビー
ムトンネルは、各磁気プレートを貫通し、各キャビティ
を通って、電子ビームを通過できるようにしてある。平
面状の構造にすることにより、低コストの構造が得られ
るとともに、RF増幅の必要なバンド幅が得られる。非
磁気プレートは、この構造体からの熱の除去に寄与して
いる。
【0016】本発明の第1実施例では、磁気プレートの
一部にノッチが設けられ、これらノッチは、キャビティ
を結合している。これらノッチの位置は、第1平面状表
面と一致する第1エッジと、この第1平面状表面と逆の
第2平面状表面と一致する第2エッジとの間で交互に位
置する。これとは異なり、ノッチの位置を、すべて、一
つの平面状表面に一致していてもよいし、ノッチの第1
部分が第1平面状表面と一致し、ノッチの第2部分が第
2平面状表面と一致するように、前者と後者の配置例を
組み合わせてもよい。本発明の種々の実施例では、RF
増幅管は、結合キャビティ形進行波管を形成する。
【0017】本発明の第2実施例では、ノッチは設けら
れず、キャビティも結合されないままである。この実施
例では、RF増幅管はクライストロンを構成することに
なる。
【0018】本発明に係わるRF増幅管を製造するため
の方法は、一体的に形成された積層構造体となるよう、
複数の磁気プレートと非磁気プレートとを交互に組み合
わせる工程を含む。隣接する非磁気プレートに一部進入
するノッチを、磁気プレートの所定のものにカットでき
る。こうして選択されたエッジは、構造体の第1側面
と、この第1側面と逆の第2側面との間で、交互に位置
していてもよいし、すべて一方の側面に沿っていてもよ
い。次に一つ以上のスロットを、非磁気プレートのうち
の所定プレートを通るようカットする。この構造体の側
面に、平面状のヒートシンクを設けると、スロットは、
同調キャビティとなり、ノッチは、これらキャビティ結
合する。
【0019】下記の好ましい実施例の詳細な説明を当業
者が検討すれば、本発明の上記以外の利点および目的
と、本発明のミリ波周波数用一体的極片形RF増幅管の
構成について、より完全に理解できると思う。次に、添
付図面を参照して説明する。
【0020】
【実施例】まず図1及び図4を参照する。これらの図に
は、本発明のRF増幅回路が示されている。管10は、
積層構造体から形成され、この積層構造体は、複数の非
磁気プレート18と、磁気プレート16から成り、これ
らのプレートは、交互に組み立てられ、一体的に形成さ
れている。組み立てられた管10は、細長く、全体が長
方形となっており、両端に配置されたエンドプレート1
2と、第1側面23と、この第1側面23と反対側の第
2側面25と、第3側面27と、第3側面27と反対側
の第4側面29とを有している。後述するように、管1
0の一端部で生じた電子ビームは、TWT内に形成され
た複数のキャビティを通過し、TWTの逆の端部から出
る。
【0021】磁気プレート16と非磁気プレート18
は、全体として長方形となっている。磁気プレート16
として好ましい材料は、鉄である。極片としても知られ
ている磁気プレート16は、エッジに配置されたノッチ
22を有する。図に示したノッチ22は、全体が長方形
をしており、極片の幅方向に半分より短い長さだけ延び
ている。しかし、別のノッチ形状、例えば円形も有利に
使用できることは、知られていることである。
【0022】各磁気プレート16のノッチの位置は、第
1側面23側のエッジと第2側面25側のエッジとの間
に、交互に設けられている。図4に最も良く示すよう
に、第1の磁気プレート161のノッチ22の位置は、
第1側面23にあり、次の磁気プレート162のノッチ
22は、第2側面25に設けられている。第3の磁気プ
レート163のノッチ22は、第1の磁気プレート161
と同じように第1側面23にある。上記とは異なり、ノ
ッチの位置は、TWT10の一方の側面にすべてがあっ
てもよいし、ノッチ22の一部が第1側面23にあり、
一部が第2側面25にあるように2つの配置例を組み合
わせてもよい。更に別の実施例として、単一の磁気プレ
ート16が、2つ以上のノッチ22、例えば極片の両端
に設けられたノッチを有していてもよい。後述するよう
に、これらノッチは、隣接キャビティに対する結合パス
となる。
【0023】非磁気プレート18は、磁気プレート極片
16に対して隣接して設けられており、極片と交互に設
けられている。非磁気プレート18として好ましい材料
は、銅である。非磁気プレート18は、1つ以上のスロ
ット24を有する。スロット24は、全体が平行六面体
の形状をしており、第1側面23から第2側面25ま
で、非磁気プレート18を完全に貫通している。スロッ
ト24の形状は、断面が楕円形となるようになっていて
もよい。上記とは異なり、スロット24は、第3側面2
7と第4側面29との間で延びていてもよい。スロット
の方向は、第1側面23と第2側面25との間に延びる
第1方向と、側面27と29との間に延びる第2方向に
交互になっていてもよい。これらスロット24は、同調
キャビティ26を構成する。
【0024】磁気プレート16と非磁気プレート18が
一体的になるよう、交互に配置されているので、管10
の中には、連続パスが形成され、このパスは、各キャビ
ティを貫通し、各ノッチの上を横断し、隣接キャビティ
まで延びている。このパスは、図5の断面図にも示され
ている。
【0025】管10の長手方向には、電子ビームトンネ
ル14が完全に貫通している。このトンネル14の全体
の形状は円形であり、各キャビティ26を通過し、これ
らキャビティをリンクしている。このビームトンネル
は、完成した結合キャビティ形管10を電子ビームが通
過するためのパスを構成している。キャビティ26は、
上記のように、ノッチ22により結合されており、管1
0は、結合キャビティ形進行波管増幅器として働く。作
動中、電子ビームは、結合キャビティを通過するRF信
号と相互に作用する。ビームからのエネルギーは、RF
信号に伝えられ、RF信号のパワーを増加する。
【0026】磁気プレート16および非磁気プレート1
8は、第1側面23と第2側面25と同一面となるエッ
ジを有している。後述するように、第1側面23と第2
側面25は、ヒートシンク34を取り付けるための平ら
な表面32、32’となっている。第3側面27と第4
側面29は、各非磁気プレート18および磁気プレート
16のいくつかの他方のエッジと同一面になっている。
しかし、個々の磁気プレート16は、第3側面27およ
び第4側面29から外側に延び、耳部36を形成してい
る。側面と耳部36の組み合わせにより、マグネット4
2を設置するための取り付け位置が決められる。図2に
示すマグネット42は、実質的に長方形であるが、他の
形状、例えば円筒形でもよい。
【0027】図2に示すように、マグネット42は、T
WT10に対する取り付け位置に取り付けられ、磁束線
44が磁気プレート16を通る磁界を形成している。磁
束線は、磁気プレート16を貫通し、非磁気プレート1
8を飛び越し、隣接する磁気プレート16に進入してい
る。磁束線44は、ビームトンネル14も横断し、電子
ビームの合焦を行う。次に磁束線44は、ノッチ22に
より形成された空間を飛び越し、再度隣接するキャビテ
ィ26を通過し、第1磁気プレート16に戻る。ここ
で、スロット24およびノッチ22の形状を変えること
により、ヒートシンクの表面32をビームトンネル14
に接近させ、管10の熱処理能力を更に改善することも
できる。
【0028】次に図6を参照する。この図には、管10
がクライストロン作動を行うことができる別の実施例が
示されている。磁気プレート16の一部には、ノッチが
設けられていない。電子ビームが管10を通過する際、
キャビティ26内に電磁界が形成され、これにより、R
F信号が発生される。当技術分野では知られているよう
に、キャビティ26の一部は、ノッチ22により結合さ
れ、バンド幅の改善された拡張型相互作用出力回路とし
て作動できる。
【0029】本発明のRF増幅管10を組み立てるに
は、全体が長方形をした磁気および非磁気プレートの積
層構造体を形成しなければならない。磁気および非磁気
プレートは、中心整列孔を有する。各整列孔には、薄肉
のモリブデン管が挿入され、交互に配置したプレートを
整列できるようになっている。一旦プレートを組み立て
た後、ろう付けまたは他の接合技術により積層構造体と
なるよう、一体的に形成する。各非磁気プレートは、パ
イロット孔52を有し、この孔は、第1側面23に関連
したエッジから第2側面25に関連したエッジまで延び
ている。図3に、組み立て前の非磁気プレート18のパ
イロット孔52の一例を示す。磁気プレートおよび非磁
気プレートの構造体を、一体的ユニットになるよう、互
いにろう付けすると、パイロット孔52は、この構造体
の幅方向に貫通し、後述するように、キャビティを切り
抜くための機構となっている。
【0030】次の工程は、長方形の管10の露出エッジ
を、適当な形状まで小さくすることである。側面を直角
にした後、側面23および25に、所望のノッチ22を
切削する。これらノッチは、磁気プレート16の厚み方
向を完全に横断するよう延び、各隣接する非磁気プレー
ト18内まで、部分的に延びている。当技術分野で知ら
れているように、好ましい切削技術は、所望する公差条
件によって決まる。
【0031】ノッチ22を形成した後、キャビティ26
を切り抜く。これらキャビティ26を切削する好ましい
方法は、ワイヤ電子放電機械加工(EDM)法である。
この技術を使用する場合、パイロット孔52を通過する
よう、1本のワイヤを供給し、不要の銅材料を切削して
除くことにより、キャビティ壁を切削することなく、ス
ロット24を残す。この工程を繰り返し、管10内に、
キャビティ26を形成する。キャビティ26を形成した
後、キャビティ26を接合しているノッチ22から、連
続したパスが生じる。
【0032】次に、ワイヤEDM方法を使用して、第1
側面23および第2側面25を直角にし、ヒートシンク
表面32、32’を設ける。このワイヤEDM法を用い
て、磁気プレート16および非磁気プレート18の側部
部分を除去し、露出した耳部36のみを残すこともでき
る。所望により、この最後の工程は、図1に示すように
3つの極片おきに、または図2に示すように2つの極片
おきに、耳部を残すように実施できる。モリブデン管
は、このワイヤEDM法によっても除去され、工作機械
を使用して、電子ビームトンネル14を形成する。
【0033】管10を形成する際の最終工程は、エンド
プレート12に、入口および出口ポートを設けることで
ある。これらポートは、RF信号が管10に入力され、
かつ管から出力できるようにするためのものである。こ
れらポートは、従来のフライス加工またはEDM法によ
っても形成できる。仕上げられたTWT10は、ヒート
シンク面32に固定されたヒートシンク34を有しても
よい。
【0034】一体的極片形RF増幅管10を使用するに
は、管と他の同じような回路を、完全な増幅アセンブリ
に組み立てなければならない。仕上げられた結合キャビ
ティ形管10に、マッチング回路を追加し、RF入力ポ
ートと管自体との間のRFインピーダンスをマッチング
できる。このマッチング回路は。結合キャビティ形管1
0の一部となるよう、通常機械加工されている。次に、
管10には、図7に示すような他の管部分を組み合わせ
て、電子銃62および電子ビームコレクタ64とするこ
とができる。電子銃62は、加熱されて電子を放出する
カソード63を有する。これら電子は、管10のビーム
トンネル14内に設けられた磁界によって電子ビーム6
6となるよう合焦される。コレクタ64は、電子が管1
0を出た後、これら電子を受けて放散させる。
【0035】当業者であれば、ラミネート構造体、およ
び全体が平らな表面を有するRF増幅管を使用すれば、
製造が比較的低コストとなることが明らかであろう。ス
ロットを形成する銅プレートは、ビームトンネルからヒ
ートシンクに熱を伝えることにより、熱に対する頑丈さ
を更に大きくしている。また誤差の累積を起こすことな
く、所望のミリ波周波数バンドが正確に得られる。以
上、ミリ波周波数用の結合キャビティ形進行波管の好ま
しい実施例を説明したので、当業者には、本発明の上記
目的および利点が得られることは明らかであろう。また
当業者であれば、本発明の精神および範囲内で種々の変
更、適応および別の実施例が可能であることは明らかで
あろう。例えば、ワイヤEDM法の代わりに、他の精密
な切削法、例えばフライス加工または孔あけ加工が使用
できる。当技術分野で知られているように、増幅すべき
RF信号の周波数レンジによって、構成部品の大きさが
決まる。これらの大きさは、別のRF周波数信号および
RFレベルを考慮すると、大幅に変わり得る。更に、所
望の管特性を得たい場合、非磁気プレート18と同じよ
うに、極片16にもスロット24を設けることができる
こと、および極片と同じように非磁気プレートにノッチ
22を設けることができることも、明らかである。また
非磁気プレート18または磁気プレート16にも、多数
のスロット24を設けることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による一体的極片形RF増幅管の斜視図
である。
【図2】磁束線および熱束線を示す一体的極片形RF増
幅管の部分斜視図である。
【図3】露出されたパイロット孔を有する組み立てられ
ていない非磁気プレートの斜視図である。
【図4】図1の一体的極片形RF増幅管の分解図であ
る。
【図5】図2の5−5線に沿った一体的極片形RF増幅
管の内部の断面図である。
【図6】クライストロン動作のための一体的極片形RF
増幅管の部分斜視図である。
【図7】電子銃およびコレクタに組み立てられたRF増
幅管の側断面図である。
【符号の説明】
10 管 14 ビームトンネ
ル 16 磁気プレート 18 非磁気プレー
ト 22 ノッチ 24 スロット 23,25,27,29 側面 26 キャビティ 32,32’ 表面 34 ヒートシンク 36 耳部 42 マグネット 44 磁束線 52 パイロット孔 62 電子銃 63 カソード 64 コレクタ 66 電子ビーム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ダグラス ビー ライオン アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94070 サンカルロス ノーザムアヴェニ ュー 48

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の磁気プレートおよび導電性非磁気
    プレートを有し、これらプレートが、交互にかつ一体的
    にされた積層構造体と、 前記磁気プレートを通過する磁束を有する磁界を、前記
    積層構造体内に誘導するための手段と、 前記積層構造体の少なくとも一側面に設けられ、ヒート
    シンクを取り付けることができる平面状の表面とを備え
    るマイクロウェーブ信号を増幅するためのRF増幅管。
  2. 【請求項2】 少なくとも1対の結合キャビティを有す
    るミリ波電子管であって、 磁気極片のエッジに位置する前記結合キャビティを結合
    するためのアイリスと、 前記アイリスの壁を形成する平面状ヒートシンクとを備
    えるミリ波電子管。
  3. 【請求項3】 ミリ波RF信号を増幅するための一体的
    極片結合キャビティ形進行波管を製造する方法であっ
    て、 複数の磁気プレートおよび非磁気プレートを交互に組み
    立て、 積層構造体となるよう前記プレートを一体形成し、 前記積層構造体の少なくとも一側面に、実質的に平面状
    の表面を形成する工程を有する一体的極片結合キャビテ
    ィ形進行波の管製造方法。
  4. 【請求項4】 前記磁気プレートのうちの所定のプレー
    トの所定エッジに、ノッチを切削して、前記磁気プレー
    トに隣接する前記非磁気プレート内に部分的に突入さ
    せ、かつ前記非磁気プレートの各々に、スロットを切削
    する工程を有し、 前記各スロットは、キャビティを形成し、前記ノッチ
    は、前記キャビティを結合している、請求項3に記載の
    一体的極片結合キャビティ形進行波管。
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