JPH0614033B2 - 超音波検査方法 - Google Patents
超音波検査方法Info
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- JPH0614033B2 JPH0614033B2 JP62008160A JP816087A JPH0614033B2 JP H0614033 B2 JPH0614033 B2 JP H0614033B2 JP 62008160 A JP62008160 A JP 62008160A JP 816087 A JP816087 A JP 816087A JP H0614033 B2 JPH0614033 B2 JP H0614033B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/06—Visualisation of the interior, e.g. acoustic microscopy
- G01N29/0609—Display arrangements, e.g. colour displays
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、浸漬させた被検体アレイ形探触子を使ってそ
のＣスコープ像をモニタリングして自動検査する超音波
検査方法に係わり、特に、被検体の測定点をより細かに
得るに好適なものである。
のＣスコープ像をモニタリングして自動検査する超音波
検査方法に係わり、特に、被検体の測定点をより細かに
得るに好適なものである。
従来の液に浸漬させた被検体をアレイ形探触子を使って
検査する一般的な超音波検査方法およびその装置は、特
開昭５１−９０１８７号公報や特開昭５３−１６４８１
号公報に示されているように、超音波トランスジューサ
（圧電形の振動子）を複数配列した探触子（アレイ形探
触子）を使って、その配列方向走査は所定のトランスジ
ューサ（振動子）を励振して超音波ビームを発生させ、
順次励振させる振動子をずらしていって、配列方向（Ｘ
方向とする）に１ライン走査（電子走査）し、その後配
列方向に直交する方向（Ｙ方向とする）にには所定のピ
ッチで機械的に走査して前記と同様に電子走査をし、Ｙ
方向の所定の位置まで繰り返して走査を完了する、走査
中に得られた測定データは記録され、適宜画像化され被
検体が検査される。
検査する一般的な超音波検査方法およびその装置は、特
開昭５１−９０１８７号公報や特開昭５３−１６４８１
号公報に示されているように、超音波トランスジューサ
（圧電形の振動子）を複数配列した探触子（アレイ形探
触子）を使って、その配列方向走査は所定のトランスジ
ューサ（振動子）を励振して超音波ビームを発生させ、
順次励振させる振動子をずらしていって、配列方向（Ｘ
方向とする）に１ライン走査（電子走査）し、その後配
列方向に直交する方向（Ｙ方向とする）にには所定のピ
ッチで機械的に走査して前記と同様に電子走査をし、Ｙ
方向の所定の位置まで繰り返して走査を完了する、走査
中に得られた測定データは記録され、適宜画像化され被
検体が検査される。
ところで、一般的に行われる電子走査について、第２図
ないし第６図を用いてもう少し詳しく説明する。第２図
は電子走査方法の説明図で、第２図（ａ）はその平面
図、第２図（ｂ）は第２図（ａ）の側面図である。第３
図は被検体のサンプリングピッチの説明図、第４図はス
キャナーの一例を示す斜視図、第５図は装置のブロック
図、第６図は電子走査方法の作用説明図である。
ないし第６図を用いてもう少し詳しく説明する。第２図
は電子走査方法の説明図で、第２図（ａ）はその平面
図、第２図（ｂ）は第２図（ａ）の側面図である。第３
図は被検体のサンプリングピッチの説明図、第４図はス
キャナーの一例を示す斜視図、第５図は装置のブロック
図、第６図は電子走査方法の作用説明図である。
図において、１０はアレイ形の探触子で、複数の圧電形
の振動子１０ａが断面がほぼ矩形状の細長いケース１０
ｂ内に隣接させて並設されている。隣接する振動子１０
ａ間のピッチＡｐは、実用に供されているものでほぼ
０．２mm〜１．５mmで、その範囲内において、通常、探
触子１０の長手方向が沿わせられる被検体３のＸ方向の
サンプリングピッチＸｐに等しくされる。被検体３のＹ
方向のサンプリングピッチＹｐは通常Ｙｐ≦Ｘｐで、Ｙ
ｐ＜Ｘｐの場合にはＹｐ＝Ｘｐ／ｎ（ｎは整数）になっ
ている。
の振動子１０ａが断面がほぼ矩形状の細長いケース１０
ｂ内に隣接させて並設されている。隣接する振動子１０
ａ間のピッチＡｐは、実用に供されているものでほぼ
０．２mm〜１．５mmで、その範囲内において、通常、探
触子１０の長手方向が沿わせられる被検体３のＸ方向の
サンプリングピッチＸｐに等しくされる。被検体３のＹ
方向のサンプリングピッチＹｐは通常Ｙｐ≦Ｘｐで、Ｙ
ｐ＜Ｘｐの場合にはＹｐ＝Ｘｐ／ｎ（ｎは整数）になっ
ている。
第３図において、被検体３はＸ方向をＸ１からＸｍま
で、また、Ｙ方向をＹ１からＹｎまでに区画され、ｍ×
ｎ個のサンプル数を有している。図中、・印はサンプリ
ングポイントである。
で、また、Ｙ方向をＹ１からＹｎまでに区画され、ｍ×
ｎ個のサンプル数を有している。図中、・印はサンプリ
ングポイントである。
第４図において、１１はスキャナーで、探触子１０を水
槽１の底に置かれた被検体３に対向させて保持したホル
ダー１１ａ、ホルダー１１ａを被検体３のＸ方向（探触
子１０の長手方向）に移動可能に支持したビーム１１
ｂ、ビーム１１ｂをホルダー１１ａとともに被検体３の
Ｙ方向に移動可能にその両端部を支持したフレーム１１
ｃを有している。１２はスキャナー台である。
槽１の底に置かれた被検体３に対向させて保持したホル
ダー１１ａ、ホルダー１１ａを被検体３のＸ方向（探触
子１０の長手方向）に移動可能に支持したビーム１１
ｂ、ビーム１１ｂをホルダー１１ａとともに被検体３の
Ｙ方向に移動可能にその両端部を支持したフレーム１１
ｃを有している。１２はスキャナー台である。
第５図において、１３は探触子１０に超音波パルスを発
信させるパルーサで、探触子１０における振動子１０ａ
の数に対応して複数設けられている。１４は増幅器で、
パルサー１３と同様に振動子１０ａの数に対応して複数
設けられており、被検体３からの反射波信号を増幅して
波形加算回路１６に送る。１５は遅延時間制御回路で、
パルサー１３からの超音波パルス発信時および波形加算
回路１６における波形加算時に、超音波パルスを電子集
束させる遅延時間を制御する。波形加算回路１６で波形
加算されて１つになった波形信号は、ピーク検出器７に
送られ、その出力値は演算処理部８で処理されてＣコー
プ表示される。
信させるパルーサで、探触子１０における振動子１０ａ
の数に対応して複数設けられている。１４は増幅器で、
パルサー１３と同様に振動子１０ａの数に対応して複数
設けられており、被検体３からの反射波信号を増幅して
波形加算回路１６に送る。１５は遅延時間制御回路で、
パルサー１３からの超音波パルス発信時および波形加算
回路１６における波形加算時に、超音波パルスを電子集
束させる遅延時間を制御する。波形加算回路１６で波形
加算されて１つになった波形信号は、ピーク検出器７に
送られ、その出力値は演算処理部８で処理されてＣコー
プ表示される。
演算処理部８には、ピーク検出器７の出力値をディジタ
ル量に変換するＡＤ変換器８ａ，ＡＤ変換器８ａの出力
値がインターフェイス８ｂを介して入力される画像メモ
リ８ｃ、画像メモリ８ｃの内容をＣスコープ表示してモ
ニタリングするモニタ装置８ｄ、走査範囲の設定や走査
の開始，停止等の各種操作指令を入力するキー・ボード
８ｅ、および超音波検査装置全体の制御および監視を行
うマイクロ・プロセッサ８ｆを含んでいる。また、９は
保持した探触子１０を被検体３上を移動させるスキャナ
ー上に配置された駆動装置で、Ｘ方向の移動がモータ９
aXとエンコーダ９bXで、Ｙ方向の移動がモータ９aYとエ
ンコーダ９bYで行われる。
ル量に変換するＡＤ変換器８ａ，ＡＤ変換器８ａの出力
値がインターフェイス８ｂを介して入力される画像メモ
リ８ｃ、画像メモリ８ｃの内容をＣスコープ表示してモ
ニタリングするモニタ装置８ｄ、走査範囲の設定や走査
の開始，停止等の各種操作指令を入力するキー・ボード
８ｅ、および超音波検査装置全体の制御および監視を行
うマイクロ・プロセッサ８ｆを含んでいる。また、９は
保持した探触子１０を被検体３上を移動させるスキャナ
ー上に配置された駆動装置で、Ｘ方向の移動がモータ９
aXとエンコーダ９bXで、Ｙ方向の移動がモータ９aYとエ
ンコーダ９bYで行われる。
被検体３に対する走査は、まずスキャナー１１を操作し
て探触子１０を水槽１の底に置かれた被検体３平面のＸ
方向に沿わせる。ついで、パルサー１３より、遅延時間
制御回路１５により制御された遅延時間により電子集束
させ、電子スイッチングにより、順次励振させる。第６
図はその方法の作用説明図で、ピッチＡｐでＮｏ．１か
ら順に並設された振動子１０ａのうち、まず、Ｎｏ．１
からＮｏ．ｍまでのｍ個の振動子１０ａに遅延時間を与
えて、超音波パルスが見掛け上集束するようにし、つづ
いてＮｏ．２からＮｏ．ｍ＋１までのｍ個の振動子１０
ａに遅延時間を与えて同様に集束するようにし、順次最
後の振動子１０ａまでシフトしていく。図に示すＸｐ
は、集束位置間の距離、すなわち、Ｘ方向のサンプリン
グピッチであり、この場合、振動子１０ａ間のピッチＡ
ｐに等しい。
て探触子１０を水槽１の底に置かれた被検体３平面のＸ
方向に沿わせる。ついで、パルサー１３より、遅延時間
制御回路１５により制御された遅延時間により電子集束
させ、電子スイッチングにより、順次励振させる。第６
図はその方法の作用説明図で、ピッチＡｐでＮｏ．１か
ら順に並設された振動子１０ａのうち、まず、Ｎｏ．１
からＮｏ．ｍまでのｍ個の振動子１０ａに遅延時間を与
えて、超音波パルスが見掛け上集束するようにし、つづ
いてＮｏ．２からＮｏ．ｍ＋１までのｍ個の振動子１０
ａに遅延時間を与えて同様に集束するようにし、順次最
後の振動子１０ａまでシフトしていく。図に示すＸｐ
は、集束位置間の距離、すなわち、Ｘ方向のサンプリン
グピッチであり、この場合、振動子１０ａ間のピッチＡ
ｐに等しい。
上記ピッチＸｐは、送信と受信の開口を変えるなどして
ピッチＡｐの１／２，１／４に小さくされる場合もある
が、現在実用化されているピッチＡｐは、ほぼ前記０．
２mm〜１．５mmで、サンプリングピッチＸｐもこの範囲
で決められる。
ピッチＡｐの１／２，１／４に小さくされる場合もある
が、現在実用化されているピッチＡｐは、ほぼ前記０．
２mm〜１．５mmで、サンプリングピッチＸｐもこの範囲
で決められる。
被検体３からの反射波は、探触子１０を介して増幅器１
４に受信され、増幅されて波形加算回路１６に送られる
が、この場合にも前記の如く遅延時間制御回路１５によ
り遅延制御される。波形加算回路１６の出力信号は、ピ
ーク検出器７に送られ、設定されたゲート内の正・負の
最大値に比例したＤＣ電圧として出力され、ＡＤ変換器
８ａでディジタル化されたのち、インターフェイス８ｂ
を介して画像メモリ８ｃに送られる。
４に受信され、増幅されて波形加算回路１６に送られる
が、この場合にも前記の如く遅延時間制御回路１５によ
り遅延制御される。波形加算回路１６の出力信号は、ピ
ーク検出器７に送られ、設定されたゲート内の正・負の
最大値に比例したＤＣ電圧として出力され、ＡＤ変換器
８ａでディジタル化されたのち、インターフェイス８ｂ
を介して画像メモリ８ｃに送られる。
上記の電子走査によるＸ方向の１ラインのサンプリング
データが画像メモリ８ｃに入力されるまでの時間は、水
距離，被検体３の材質および寸法，振動子１０ａの数等
により異なるもののｍ ｓｅｃ単位で行われ、モニタ装
置８ｄに高速でＣスコープ表示される。
データが画像メモリ８ｃに入力されるまでの時間は、水
距離，被検体３の材質および寸法，振動子１０ａの数等
により異なるもののｍ ｓｅｃ単位で行われ、モニタ装
置８ｄに高速でＣスコープ表示される。
ところが、上述したように、アレイ形探触子の電子走査
ピッチは、製作されたアレイ形探触子の振動子の配列ピ
ッチによって制約を受けることから、被検体を詳細に検
査することができず、高い分解能が得られない問題点を
有していた。
ピッチは、製作されたアレイ形探触子の振動子の配列ピ
ッチによって制約を受けることから、被検体を詳細に検
査することができず、高い分解能が得られない問題点を
有していた。
本発明は、上記問題点に鑑み、従来と同じアレイ形探触
子を使用しても、被検体をより詳細に検査することを可
能にして、分解能を向上させることができる超音波検査
方法を提供することを目的とする。
子を使用しても、被検体をより詳細に検査することを可
能にして、分解能を向上させることができる超音波検査
方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明は、液に浸漬させた被
検体を、該被検体平面に対向させてスキャナーに保持さ
れたケース内に複数の圧電形の振動子を隣接させて並設
したアレイ形の探触子により、Ｘ方向およびそれに直交
するＹ方向に各々所定のサンンプリングピッチで自動走
査してデータサンプリングし、ピーク検出器に送られた
波形信号を演算処理したＣスコープ表示により検査する
超音波検査方法であって、探触子のアレイ配列方向を前
記Ｘ方向に沿わせ、被検体のＸ方向の走査を、前記アレ
イ形の探触子を探触子を電子スイッチングにより順次励
振して被検体に超音波を送受信する電子走査により行
い、被検体のＹ方向の走査を、機械走査により行う超音
波検査方法において、前記探触子をＹ方向の機械走査に
よりｎ／２往復させ、その往復の折り返しの都度、Ｘ方
向のサンプリングピッチの１／ｎ（整数）だけＸ方向に
機械走査で移動させて往復供サンプリングしながら行う
構成にしたものである。
検体を、該被検体平面に対向させてスキャナーに保持さ
れたケース内に複数の圧電形の振動子を隣接させて並設
したアレイ形の探触子により、Ｘ方向およびそれに直交
するＹ方向に各々所定のサンンプリングピッチで自動走
査してデータサンプリングし、ピーク検出器に送られた
波形信号を演算処理したＣスコープ表示により検査する
超音波検査方法であって、探触子のアレイ配列方向を前
記Ｘ方向に沿わせ、被検体のＸ方向の走査を、前記アレ
イ形の探触子を探触子を電子スイッチングにより順次励
振して被検体に超音波を送受信する電子走査により行
い、被検体のＹ方向の走査を、機械走査により行う超音
波検査方法において、前記探触子をＹ方向の機械走査に
よりｎ／２往復させ、その往復の折り返しの都度、Ｘ方
向のサンプリングピッチの１／ｎ（整数）だけＸ方向に
機械走査で移動させて往復供サンプリングしながら行う
構成にしたものである。
上記構成としたことにより、Ｙｐ＜Ｘｐの場合には、Ｙ
ｐ＝Ｘｐ／ｎ（ｎは整数）とし、Ｙ方向のスキャナーに
よる機械走査をｎ回、つまりｎ／２往復させ、往復の折
り返しの都度、スキャナーによりＸｐ／ｎだけＸ方向に
移動させるようにする。そして、この場合のＹ方向の機
械走査速度を、前記Ｙｐ＝Ｘｐの場合と同一にしてノン
ストップ走査することにより，Ｘ，Ｙ両方向ともＸｐ／
ｎのサンプリングピッチで全点がサンプリングされるこ
とになる。。
ｐ＝Ｘｐ／ｎ（ｎは整数）とし、Ｙ方向のスキャナーに
よる機械走査をｎ回、つまりｎ／２往復させ、往復の折
り返しの都度、スキャナーによりＸｐ／ｎだけＸ方向に
移動させるようにする。そして、この場合のＹ方向の機
械走査速度を、前記Ｙｐ＝Ｘｐの場合と同一にしてノン
ストップ走査することにより，Ｘ，Ｙ両方向ともＸｐ／
ｎのサンプリングピッチで全点がサンプリングされるこ
とになる。。
本発明の一実施例を、第１図を参照して説明する。第１
図はＸ方向とＹ方向のサンプリングピッチが異なる場合
の走査方法の説明図である。
図はＸ方向とＹ方向のサンプリングピッチが異なる場合
の走査方法の説明図である。
前述の如くサンプリングピッチがＹｐ＝Ｘｐの場合は、
Ｘ，Ｙ両方向の画像処理の速度および段階が同じで映像
化しやすく、１回のみのＹ方向走査で足り検査時間が短
縮されるが、さらに分解能を向上させてモニタリングす
る場合には、Ｙ方向のサンプリングピッチＹｐをＸ方向
のサンプリングピッチＸｐに比べて小さくしたＹｐ＜Ｘ
ｐとしてＹ方向走査が行われる。
Ｘ，Ｙ両方向の画像処理の速度および段階が同じで映像
化しやすく、１回のみのＹ方向走査で足り検査時間が短
縮されるが、さらに分解能を向上させてモニタリングす
る場合には、Ｙ方向のサンプリングピッチＹｐをＸ方向
のサンプリングピッチＸｐに比べて小さくしたＹｐ＜Ｘ
ｐとしてＹ方向走査が行われる。
サンプリングピッチＹｐを小さくすることは、前記モー
タ９aYによる移動精度が通常μｍ単位であり、さらに駆
動構造によってはサブμｍ単位まで実用化されているこ
とから、容易に小さくすることが可能であるが、Ｘ方向
のサンプリングピッチＸｐは、前記の如く最小でもほぼ
０．２mmしか得られず、Ｙｐ＝Ｘｐで走査すると、Ｘ方
向のサンプリングピッチＸｐに基づく分解能しか得られ
ない。また、Ｙｐ＜Ｘｐのまま走査すると、サンプリン
グピッチ差によりＸ，Ｙ両方向の映像処理が異なり、分
解能も違うことからサンプリングピッチＹｐを小さくし
た効果が得られない。
タ９aYによる移動精度が通常μｍ単位であり、さらに駆
動構造によってはサブμｍ単位まで実用化されているこ
とから、容易に小さくすることが可能であるが、Ｘ方向
のサンプリングピッチＸｐは、前記の如く最小でもほぼ
０．２mmしか得られず、Ｙｐ＝Ｘｐで走査すると、Ｘ方
向のサンプリングピッチＸｐに基づく分解能しか得られ
ない。また、Ｙｐ＜Ｘｐのまま走査すると、サンプリン
グピッチ差によりＸ，Ｙ両方向の映像処理が異なり、分
解能も違うことからサンプリングピッチＹｐを小さくし
た効果が得られない。
この対策として、Ｙｐ＜Ｘｐの場合には、Ｙｐ＝Ｘｐ／
ｎ（ｎは整数）とし、Ｙ方向のスキャナー１１による機
械走査をｎ回、つまりｎ／２往復させ、往復の折り返し
の都度、スキャナー１１によりＸｐ／ｎだけＸ方向に移
動させるようにする。そして、この場合のＹ方向の機械
走査速度を、前記Ｙｐ＝Ｘｐの場合と同一にしてノンス
トップ走査し、Ｘ，Ｙ両方向ともＸｐ／ｎのサンプリン
グピッチ全点をサンプリングする。
ｎ（ｎは整数）とし、Ｙ方向のスキャナー１１による機
械走査をｎ回、つまりｎ／２往復させ、往復の折り返し
の都度、スキャナー１１によりＸｐ／ｎだけＸ方向に移
動させるようにする。そして、この場合のＹ方向の機械
走査速度を、前記Ｙｐ＝Ｘｐの場合と同一にしてノンス
トップ走査し、Ｘ，Ｙ両方向ともＸｐ／ｎのサンプリン
グピッチ全点をサンプリングする。
第１図は、Ｙｐ＝Ｘｐ／２（ｎ＝２）の場合を示した例
で、Ｙ方向のサンプリングポイントは、第１図（ａ）に
示すようにＮｏ．１から順にＮｏ．１１までの１１点で
あるのに対し、Ｘ方向はＹ方向の奇数番号のみ相当する
Ｎｏ．１からＮｏ．１１までの６点になる。このＸ方向
の６点の走査を前記した電子走査により行い、該電子走
査が終わると、前記Ｙ方向の機械走査速度でＹ方向にサ
ンプリングピッチＹｐずつＮｏ．１１まで順に走査す
る。
で、Ｙ方向のサンプリングポイントは、第１図（ａ）に
示すようにＮｏ．１から順にＮｏ．１１までの１１点で
あるのに対し、Ｘ方向はＹ方向の奇数番号のみ相当する
Ｎｏ．１からＮｏ．１１までの６点になる。このＸ方向
の６点の走査を前記した電子走査により行い、該電子走
査が終わると、前記Ｙ方向の機械走査速度でＹ方向にサ
ンプリングピッチＹｐずつＮｏ．１１まで順に走査す
る。
Ｙ方向のＮｏ．１１における電子走査が終わると、第１
図（ｂ）に示すように、Ｙｐ、つまりＸｐ／２だけＸ方
向にスキャナー１１により探触子１０を移動させ、
（−）Ｙ方向へ前記Ｙ方向への機械走査と同じ速度で走
査する。この場合、Ｘ方向のサンプリングポイントは、
Ｙ方向の偶数番号のみに相当するＮｏ．２からＮｏ．１
０までの５点で、前記奇数番号の６点と合わせて計１１
点となり、Ｙ方向と同ピッチで、かつ同じ点数がサンプ
リングされることになる。
図（ｂ）に示すように、Ｙｐ、つまりＸｐ／２だけＸ方
向にスキャナー１１により探触子１０を移動させ、
（−）Ｙ方向へ前記Ｙ方向への機械走査と同じ速度で走
査する。この場合、Ｘ方向のサンプリングポイントは、
Ｙ方向の偶数番号のみに相当するＮｏ．２からＮｏ．１
０までの５点で、前記奇数番号の６点と合わせて計１１
点となり、Ｙ方向と同ピッチで、かつ同じ点数がサンプ
リングされることになる。
なお、図中の右端のラインは、サンプリングの対象外で
あるため、走査しても画像メモリ８ｃには入力されな
い。
あるため、走査しても画像メモリ８ｃには入力されな
い。
このように、電子走査するＸ方向のサンプリングピッチ
ＸｐがＹｐのｎ倍と大きくても、Ｙ方向の機械走査を前
記速度で往復させることにより、サンプリングピッチＹ
ｐに等しいピッチでＸ方向を電子走査することができ
る。Ｙ方向の機械走査を往復させる方法は、往復させる
分だけ走査時間がかかるものの、ｎが大きく、そして往
復回数が多いほどＣスコープ表示の分解能が向上するこ
とになる。
ＸｐがＹｐのｎ倍と大きくても、Ｙ方向の機械走査を前
記速度で往復させることにより、サンプリングピッチＹ
ｐに等しいピッチでＸ方向を電子走査することができ
る。Ｙ方向の機械走査を往復させる方法は、往復させる
分だけ走査時間がかかるものの、ｎが大きく、そして往
復回数が多いほどＣスコープ表示の分解能が向上するこ
とになる。
以上述べたように本発明の超音波検査方法は、従来と同
じアレイ形探触子を使用しても、被検体をより詳細に検
査することを可能にして、分解能を向上させることがで
きる効果を奏する。
じアレイ形探触子を使用しても、被検体をより詳細に検
査することを可能にして、分解能を向上させることがで
きる効果を奏する。
第１図は本発明の一実施例のＸ方向とＹ方向のサンプリ
ングピッチが異なる場合の走査方法説明図である。 第２図は従来の電子走査方法の説明図で、第２図（ａ）
はその平面図、第２図（ｂ）は第２図（ａ）の側断面
図、第３図は被検体のサンプリングピッチの説明図、第
４図はスキャナーの一例を示す斜視図、第５図は検査装
置の一例を示すブロック図、第６図は電子走査方法の作
用説明図である。 １…水槽、３…被検体、１０…アレイ形の探触子、１０
ａ…振動子、１０ｂ…ケース、１１…スキャナー、Ａｐ
…振動子ピッチ、Ｘｐ…Ｘ方向のサンプリングピッチ、
Ｙｐ…Ｙ方向のサンプリングピッチ。
ングピッチが異なる場合の走査方法説明図である。 第２図は従来の電子走査方法の説明図で、第２図（ａ）
はその平面図、第２図（ｂ）は第２図（ａ）の側断面
図、第３図は被検体のサンプリングピッチの説明図、第
４図はスキャナーの一例を示す斜視図、第５図は検査装
置の一例を示すブロック図、第６図は電子走査方法の作
用説明図である。 １…水槽、３…被検体、１０…アレイ形の探触子、１０
ａ…振動子、１０ｂ…ケース、１１…スキャナー、Ａｐ
…振動子ピッチ、Ｘｐ…Ｘ方向のサンプリングピッチ、
Ｙｐ…Ｙ方向のサンプリングピッチ。
Claims (1)
- 【請求項１】液に浸漬させた被検体を、該被検体平面に
対向させてスキャナーに保持されたケース内に複数の圧
電形の振動子を隣接させて並設したアレイ形の探触子に
より、Ｘ方向およびそれに直交するＹ方向に各々所定の
サンプリングピッチで自動走査してデータサンプリング
し、ピーク検出器に送られた波形信号を演算処理したＣ
スコープ表示により検査する超音波検査方法であって、
探触子のアレイ配列方向を前記Ｘ方向に沿わせ、被検体
のＸ方向の走査を、前記アレイ形の探触子を電子スイッ
チングにより順次励振して被検体に超音波を送受信する
電子走査により行い、被検体のＹ方向の走査を、機械走
査により行う超音波検査方法において、前記探触子をＹ
方向の機械走査によりｎ／２往復させ、その往復の折り
返しの都度、Ｘ方向のサンプリングピッチの１／ｎ（整
数）だけＸ方向に機械走査で移動させて往復共サンプリ
ングしながら行われる超音波検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62008160A JPH0614033B2 (ja) | 1987-01-19 | 1987-01-19 | 超音波検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62008160A JPH0614033B2 (ja) | 1987-01-19 | 1987-01-19 | 超音波検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63177056A JPS63177056A (ja) | 1988-07-21 |
| JPH0614033B2 true JPH0614033B2 (ja) | 1994-02-23 |
Family
ID=11685580
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62008160A Expired - Fee Related JPH0614033B2 (ja) | 1987-01-19 | 1987-01-19 | 超音波検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0614033B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2719152B2 (ja) * | 1988-07-30 | 1998-02-25 | 日立建機株式会社 | 超音波探傷装置 |
| JP2712441B2 (ja) * | 1988-12-20 | 1998-02-10 | 耕司 戸田 | 電子リニア走査超音波撮像装置 |
| JP2007024704A (ja) * | 2005-07-19 | 2007-02-01 | Non-Destructive Inspection Co Ltd | 物品内の検査方法及びこれを用いた物品内の検査装置 |
| JP6973713B2 (ja) * | 2016-09-06 | 2021-12-01 | 国立大学法人東北大学 | 探傷装置 |
| JP7022861B1 (ja) * | 2021-06-25 | 2022-02-18 | 株式会社日立パワーソリューションズ | アレイ型超音波送受信装置 |
| JP6990794B1 (ja) * | 2021-06-25 | 2022-01-12 | 株式会社日立パワーソリューションズ | アレイ型超音波映像装置及びその制御方法 |
Family Cites Families (2)
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|---|---|---|---|---|
| JPS5610057B2 (ja) * | 1975-02-04 | 1981-03-05 | ||
| JPS5316481A (en) * | 1976-07-30 | 1978-02-15 | Tokyo Shibaura Electric Co | Ultrasonic diagnostic device |
-
1987
- 1987-01-19 JP JP62008160A patent/JPH0614033B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63177056A (ja) | 1988-07-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |