JPH08313500A

JPH08313500A - 超音波検査装置

Info

Publication number: JPH08313500A
Application number: JP7118651A
Authority: JP
Inventors: Yoshihiko Takishita; 芳彦瀧下
Original assignee: Hitachi Construction Machinery Co Ltd
Current assignee: Hitachi Construction Machinery Co Ltd
Priority date: 1995-05-17
Filing date: 1995-05-17
Publication date: 1996-11-29

Abstract

(57)【要約】【目的】検査時間の大幅な遅れを抑え、装置の大型化
やコスト高を招くことなく、分解能が高くかつ見易い画
像を得ることができる超音波検査装置の提供。【構成】超音波ビームＢ₁ 〜Ｂ₄₀はアレイ探触子５０
の各圧電素子を同数（４つ）、順次１つずつ切り換える
ことにより順次発生し、これら超音波ビームＢ₁〜Ｂ₄₀
の移動により被検体の電子走査が行われる。最初の電子
走査のサンプリング位置（１，１）のサンプリングデー
タが画像メモリの所定の記憶領域へ格納され、隣接する
記憶領域にも同一データが格納される。このようなデー
タ格納処理が電子走査方向の各サンプリング位置のサン
プリングデータ格納について行われる。これにより、ｐ
／２ピッチのデータ格納がなされる。機械走査方向の走
査はｐ／２でなされ、その１ピッチ毎に（電子走査毎
に）上記のデータ格納が行われる。図示の場合、４８０
０（［４０×２］×６０）点のデータが得られ、これに
対応する表示がなされる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、多数の圧電素子を一列
に配列して構成されたアレイ探触子を用いて被検体を超
音波ビームで走査する超音波検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】超音波検査による非破壊検査は多くの分
野で使用されている。特に、圧電素子を振動子として用
い、これら圧電素子を多数一列に配列して構成されるア
レイ探触子による超音波検査は、当該アレイ探触子の配
列方向の超音波走査を電子的に行なうことができるの
で、迅速な検査が可能である。このようなアレイ探触子
を用いた超音波検査装置を図５〜図８により説明する。

【０００３】図５は超音波検査装置のスキャナ部分の斜
視図である。この図で、Ｘ、Ｙは座標軸を示す。１はス
キャナ台、２はスキャナ台１上に載置された水槽、３は
水槽２に注入された水、４は水槽２の底部に載置された
被検体である。５は圧電素子を多数一列に配列して構成
されるアレイ探触子で、被検体４と対向配置される。６
はアレイ探触子５を支持するホルダ、７はホルダ６を支
持しそのＸ軸方向の移動を案内するアーム、８はアーム
７を支持しそのＹ軸方向の移動を案内するフレームであ
る。これらでスキャナ９が構成されている。なお、アレ
イ探触子５は超音波ビームの焦点を所望の位置に合わせ
るため、図示されていない適宜の機構でＺ軸（Ｘ、Ｙ軸
に直交する軸）方向に移動せしめられる。

【０００４】図６は図５に示すアレイ探触子５の側面図
である。この図で、５０は一列に配列された多数の圧電
素子を示す。Ｂ₁ 、Ｂ₂ 、…………Ｂ_N は超音波ビー
ム、ｐは各超音波ビームＢ₁ 、Ｂ₂ 、…………Ｂ_N 間の
ピッチ、Ｘは超音波ビームによる走査方向（例えば、図
５でＸ軸方向）、Ｌは走査範囲を示す。

【０００５】このアレイ探触子５の動作の概要を図６を
参照して説明する。最初に左端から複数の（例えば１番
目から７番目までの７個の）圧電素子が選択され、両端
の素子から中央の素子の方へ順に所定の遅延時間でパル
ス電圧を与えて各圧電素子を励振し、超音波を発生させ
る。これら圧電素子からの超音波は一点Ｆ（焦点）に集
束する超音波ビームＢ₁ となる。次に、圧電素子の選択
を１つずらせて次の複数の（２番目から８番目までの７
個の）圧電素子が選択され、これらを同様な遅延時間で
励振すると、次の超音波ビームＢ₂ が発生する。このよ
うに、圧電素子の選択を１つずつ順にずらしてゆくこと
により、ピッチｐで超音波ビームＢ₁ 、Ｂ₂ 、…………
Ｂ_N の走査が行なわれることになる。上記圧電素子の選
択は電子的スイッチング手段により行なわれるので、高
速な走査（電子走査）が可能である。なお、各圧電素子
から被検体４に放射された超音波ビームは、超音波エコ
ーとなって対応する圧電素子に戻り、これに比例した電
気信号に変換され、これら各信号は上記遅延と同じ時間
の遅延を与えられた後に加算されてエコー信号とされ
る。

【０００６】図７は図５および図６に示すアレイ探触子
５を用いた超音波検査装置のブロック図である。この図
で、１０はスキャナ９を駆動する駆動装置である。駆動
装置１０は、図５に示すホルダ６をＸ軸方向に駆動する
モータ１０ＭＸ、このモータ１０ＭＸの駆動を制御し又
は所定回転角毎にパルスを出力するエンコーダ１０Ｅ
Ｘ、図５に示すアーム７をＹ軸方向に駆動するモータ１
０ＭＹ、このモータ１０ＭＹの駆動を制御し又は所定回
転角毎にパルスを出力するエンコーダ１０ＥＹで構成さ
れている。

【０００７】１１はアレイ探触子５の各圧電素子５０に
パルスを与えてこれらを励振させるパルサであり、各圧
電素子５０と対応してこれらと同数備えられている。１
２は１つの超音波ビームを放射するのに選択された各圧
電素子で変換された各超音波エコーに比例する各電気信
号を受信し、これらを増幅する増幅器であり、上記パル
サ１１と同じく各圧電素子５０と対応してこれらと同数
備えられている。１３は上記各電気信号を加算する波形
加算回路である。１４は遅延時間制御回路であり、選択
されている各圧電素子５０に対応する各パルサに前述の
所定の遅延を与えるとともに、波形加算回路１３にも同
様の遅延を与えて、選択されている各圧電素子に対応す
る各増幅器の出力信号を適正なタイミングで加算される
ようにする。１５はピーク検出器であり、波形加算回路
１３で加算された信号のピーク値を検出する。

【０００８】１６は演算処理部であり、ピーク検出器１
５で検出されたピーク値をディジタル値に変換するＡ／
Ｄ変換器１６１、インターフェース１６２、ピーク検出
器１５で得られた値を画像データとして蓄積する画像メ
モリ１６３、画像メモリ１６３に蓄積されたデータを画
像として表示するモニタ装置１６４、指令等のデータを
入力するキーボード１６５、上記遅延時間制御回路１４
の動作の制御、各圧電素子の選択および切り換え、スキ
ャナ９の動作の制御、モニタ装置１６４への画像表示の
制御等を行なうマイクロプロセッサ１６６で構成されて
いる。

【０００９】次に、上記アレイ探触子５を備えた超音波
検査装置の走査方法を説明する。図８は超音波検査装置
の走査方法を説明する図である。この図で、Ｘ、Ｙは図
５に示す座標軸と同じ座標軸である。５０は図６に示す
ものと同じ圧電素子（この図では４３個の圧電素子が示
されている）、Ｂ₁ 〜Ｂ₄₀は超音波ビームを示す。図示
の場合、各超音波ビームＢ₁ 〜Ｂ₄₀はそれぞれ４つの圧
電素子の選択により得られる。図中の黒丸は各超音波ビ
ームＢ₁ 〜Ｂ₄₀により走査される被検体における各サン
プリング位置を示し、各サンプリング位置にはそれぞれ
符号（１，１）〜（４０，３０）が付されている。

【００１０】各圧電素子を順次１つずつ切り換えること
によりＸ軸方向（圧電素子の配列方向）の電子走査が行
われ、これら各圧電素子より成るアレイ探触子をＹ軸方
向に移動させることにより機械走査が行われる。ｐは各
サンプリング位置間のピッチを示し、図示の場合、電子
走査方向のピッチと機械走査方向のピッチは同じであ
る。走査は、電子走査が終了した後Ｙ軸方向に１ピッチ
移動させる機械走査を行ってもよいし、電子走査と機械
走査を同時に行うようにしてもよい。各サンプリング位
置から得られるサンプリングデータは、画像メモリ１６
３に格納される。

【００１１】図９は画像メモリの内容説明図である。こ
の画像メモリ１６３は、Ｘ軸方向（電子走査方向に対応
する方向）におけるアドレスＸ₁ 〜Ｘ₄₀とＹ軸方向（機
械走査方向に対応する方向）におけるアドレスＹ₁ 〜Ｙ
₄₀とで特定される記憶領域で構成されている。アドレス
Ｘ₁ とアドレスＹ₁ とで特定される記憶領域（Ｘ₁ ，Ｙ
₁ ）には、図示のようにサンプリング位置（１，１）の
サンプリングデータ（ディジタルデータ）が格納され、
アドレスＸ₂ とアドレスＹ₁ とで特定される記憶領域
（Ｘ₂ ，Ｙ₁ ）には、サンプリング位置（２，１）のサ
ンプリングデータが格納され、同様にしてアドレスＸ₄₀
とアドレスＹ₃₀とで特定される記憶領域（Ｘ₄₀，Ｙ₃₀）
には、サンプリング位置（４０，３０）のサンプリング
データが格納される。これら画像メモリ１６３に格納さ
れた各サンプリングデータは、モニタ装置１６４を構成
する各画素と対応せしめられ、画素１２００点（４０×
３０）のＣスコープ像としてモニタ装置１６４に表示さ
れる。

【００１２】ここで、同じ被検体の画像をさらに精細な
画像として表示するには、アレイ探触子の各圧電素子の
ピッチｐよりも細かいサンプリングピッチで電子走査を
行えばよい。このようにピッチｐを１／２ピッチや１／
４ピッチに細かくする電子走査方法は、例えば特開昭５
２−６８７７５号公報や特開昭５３−３２９８７号公報
等に開示され、知られている。上記特開昭５２−６８７
７５号公報の走査方法を図１０により説明する。

【００１３】図１０は１／２ピッチ走査方法の説明図で
ある。図８に示す走査方法が４つの圧電素子を順次１つ
ずつ切り換えて電子走査を行うのに対して、図１０に示
す走査方法では３つの圧電素子と４つの圧電素子を交互
に切り換えながら電子走査を行う。これにより、電子走
査のピッチは圧電素子配列ピッチｐの１／２となる。さ
らに、機械走査方向のピッチもアレイ探触子５の移動量
又は移動速度を制御することによりｐ／２ピッチとす
る。即ち、図８に示す電子走査方向におけるビーム数が
４０（Ｂ₁ 〜Ｂ₄₀）であるのに対して図１０に示すビー
数は８０（Ｂ₁ 〜Ｂ₈₀）となり、又、図８に示すサンプ
リング点数が１２００点（４０×３０）であるのに対し
て、図１０に示すサンプリング点数は４８００点（８０
×６０）となる。したがって、モニタ装置１６４上に表
示される画像は図８に示される走査方法で得られる画像
の４倍の大きさ（面積）となり、高い分解能の画像を得
ることができる。

【００１４】図１１は図１０に示す手段を用いたときの
画像メモリの内容説明図である。この画像メモリは、Ｘ
軸方向におけるアドレスＸ₁ 〜Ｘ₈₀とＹ軸方向における
アドレスＹ₁ 〜Ｙ₆₀で指定される記憶領域で構成されて
いる。図９に示す画像メモリと同様、アドレスＸ₁ とア
ドレスＹ₁ とで特定される記憶領域（Ｘ₁ ，Ｙ₁ ）に
は、図示のようにサンプリング位置（１，１）のサンプ
リングデータ（ディジタルデータ）が格納され、アドレ
スＸ₂ とアドレスＹ₁ とで特定される記憶領域（Ｘ₂ ，
Ｙ₁ ）には、サンプリング位置（２，１）のサンプリン
グデータが格納され、同様にしてアドレスＸ₈₀とアドレ
スＹ₆₀とで特定される記憶領域（Ｘ₈₀，Ｙ₆₀）には、サ
ンプリング位置（８０，６０）のサンプリングデータが
格納される。この画像メモリに格納された各サンプリン
グデータは、モニタ装置１６４を構成する各画素と対応
せしめられ、画素４８００点（８０×６０）のＣスコー
プ像としてモニタ装置１６４に表示される。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記ｐ
／２ピッチを得る走査方法では、超音波ビームの送受信
回数がピッチｐの走査方法の場合の４倍となり、映像化
の時間も４倍を要し、結局、検査結果を得るまでの時間
が４倍となって検査時間が極めて遅くなる。又、電子走
査のピッチを細かくするためには、図１０に示すよう
に、切り換える圧電素子の数が異なるので、走査の制御
が複雑となり、図７に示す遅延時間制御回路１４が大型
となり、かつ、そのコストが大幅に高くなる。

【００１６】本発明の目的は、上記従来技術における課
題を解決し、検査時間の大幅な遅れを抑え、装置の大型
化やコスト高を招くことなく、分解能が高くかつ見易い
画像を得ることができる超音波検査装置を提供すること
にある。

【００１７】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明における請求項１記載の発明は、多数の圧電
素子を第１の方向に一列に配列して構成されたアレイ探
触子と、このアレイ探触子を前記第１の方向と直交する
第２の方向に所定ピッチを得るように機械的に駆動する
駆動手段とを備えた超音波検査装置において、前記第１
の方向におけるサンプリングデータ数の記憶領域の複数
倍の記憶領域および前記第２の方向におけるサンプリン
グデータ数に等しい記憶領域を有する画像メモリと、前
記第１の方向の走査において得られた１つのサンプリン
グ位置におけるサンプリングデータを、当該サンプリン
グ位置の前記画像メモリにおける対応する記憶領域を含
む連続する前記複数倍の数と同数の前記第１の方向に対
応する記憶領域に格納するデータ格納手段とを設けたこ
とを特徴とする。

【００１８】又、請求項２記載の発明は、多数の圧電素
子を第１の方向に一列に配列して構成されたアレイ探触
子と、このアレイ探触子を前記第１の方向と直交する第
２の方向に所定ピッチを得るように機械的に駆動する駆
動手段とを備えた超音波検査装置において、前記第１の
方向におけるサンプリングデータ数の記憶領域の複数倍
の記憶領域および前記第２の方向におけるサンプリング
データ数に等しい記憶領域を有する画像メモリと、前記
第１の方向の走査において得られた１つのサンプリング
位置におけるサンプリングデータと当該サンプリング位
置に隣接するサンプリング位置のサンプリングデータと
を、前記画像メモリの前記第１の方向に対応する記憶領
域に前記倍数から１を差し引いた数の中間記憶領域だけ
間隔を置いて格納するデータ格納手段と、前記中間記憶
領域に、その両端の記憶領域に格納されているサンプリ
ングデータに基づいて演算されたデータを格納する他の
データ格納手段とを設けたことを特徴とする。

【００１９】

【作用】請求項１記載の発明では、画像メモリにおける
電子走査方向に対応する記憶領域を、当該電子走査方向
のサンプリングデータのＮ倍の記憶領域で構成する。そ
して、あるサンプリング位置でのサンプリングデータを
格納したとき、これと同一のデータを、当該サンプリン
グデータを格納した記憶領域に連続する（Ｎ−１）個の
記憶領域に格納する。機械走査方向の走査ピッチは上記
Ｎ倍に対応して定められる。これにより、電子走査方向
のサンプリング点数は見かけ上Ｎ倍になり、機械走査方
向のサンプリング点数は実際にＮ倍になり、この結果、
画像が大きくなって見易くなり、かつ、分解能も向上さ
せることができる。

【００２０】請求項２記載の発明では、画像メモリの記
憶領域を上記と同様に構成し、あるサンプリング位置の
サンプリングデータを格納する記憶領域と、電子走査方
向において当該サンプリング位置に隣接する位置のサン
プリングデータを格納する記憶領域との間の記憶領域
に、上記発明のように同一データを格納する代わりに、
隣接するサンプリング位置の各サンプリングデータに基
づいて演算されたデータを格納する。これにより、上記
発明と同様の効果を得る。

【００２１】

【実施例】以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明
する。図１は本発明の実施例に係る超音波検査装置の走
査方法を説明する図である。この図で、５０はアレイ探
触子の各圧電素子、Ｂ₁ 〜Ｂ₄₀は超音波ビーム、（１，
１）〜（４０，６０）は被検体のサンプリング位置、ｐ
は電子走査方向のサンプリングピッチを示す。本実施例
では、各超音波ビームＢ₁ 〜Ｂ₄₀は図８に示すものと同
じく、４つの圧電素子を順次選択切り換えることにより
発生させ、図１０に示すような圧電素子の選択数の異な
る切り換えは行わない。したがって、電子走査方向の走
査は図８に示すものと同様に行われ、そのサンプリング
位置の数も同じく４０である。一方、機械走査方向の走
査は、図８に示すサンプリングピッチｐに対して、その
１／２のピッチ（ｐ／２）で行われる。したがって、機
械走査方向のサンプリング位置の数は図８に示すものの
２倍の６０となる。

【００２２】図２は図１に示す走査方法を用いる場合の
画像メモリの内容説明図である。この画像メモリは、Ｘ
軸方向（電子走査方向）におけるアドレスＸ₁ 〜Ｘ₈₀と
Ｙ軸方向（機械走査方向）におけるアドレスＹ₁ 〜Ｙ₆₀
の両方で指定される各記憶領域で構成されている。アド
レスＸ₁ と、アドレスＹ₁ とで特定される記憶領域（Ｘ
₁ ，Ｙ₁ ）には、図示のようにサンプリング位置（１，
１）のサンプリングデータ（ディジタルデータ）が格納
されるが、本実施例では、記憶領域（Ｘ₁ ，Ｙ₁ ）に隣
接する記憶領域（Ｘ₂ ，Ｙ₁ ）にも、図示のようにサン
プリング位置（１，１）のサンプリングデータが格納さ
れる。

【００２３】同様に、アドレスＸ₃ とアドレスＹ₁ とで
特定される記憶領域（Ｘ₃ ，Ｙ₁ ）には、次のサンプリ
ング位置（２，１）のサンプリングデータが格納される
が、この記憶領域（Ｘ₃ ，Ｙ₁ ）に隣接する記憶領域
（Ｘ₄ ，Ｙ₁ ）にも、図示のようにサンプリング位置
（２，１）のサンプリングデータが格納される。以下、
同様にして、記憶領域（Ｘ₇₇，Ｙ₁ ）、（Ｘ₇₈，Ｙ₁ ）
にはそれぞれサンプリング位置（３９，１）のサンプリ
ングデータが格納され、記憶領域（Ｘ₇₉，Ｙ₁ ）、（Ｘ
₈₀，Ｙ₁ ）にはそれぞれサンプリング位置（４０，１）
のサンプリングデータが格納される。即ち、電子走査方
向の各記憶領域には、１つのサンプリング位置のサンプ
リングデータが２つずつ並んで格納される。このように
して図示の画像メモリに格納された各サンプリングデー
タは、モニタ装置１６４を構成する各画素と対応せしめ
られ、図１０に示す走査方法を採用した場合と全く同様
に、画素４８００点（８０×６０）のＣスコープ像とし
てモニタ装置１６４に表示されることになる。なお、記
憶領域へ同一データを格納するのは、サンプリングデー
タの格納と同時であってもよいし、電子走査が終了した
時点であってもよいし、又、全部の走査が終了した時点
であってもよい。

【００２４】本実施例の効果を、図８および図９に示す
方法（従来走査）、および図１０と図１１に示す方法
（１／２ピッチ走査）と比較して説明する。（１）見易さを表す画像の大きさ本実施例の走査の画像の大きさは、１／２ピッチ走査の
画像の大きさと同じであるが、従来走査の画像の大きさ
に比較して４倍の大きさ（面積）となる。（２）画像の分解能本実施例の分解能は、１／２ピッチ走査の分解能に対し
て電子走査方向の分解能において劣る（機械走査方向の
分解能は同じ）が、従来走査の分解能に比較して機械走
査方向の分解能は高くなる。（３）検査速度本実施例の検査速度は、従来走査の検査速度に比較して
機械走査方向の走査速度において劣るが、１／２ピッチ
走査の検査速度に比較して電子走査方向の速度は早い。
即ち、従来の走査に要する全体の検査時間をＴとする
と、１／２ピッチ走査による所要時間は４Ｔであり、本
実施例による所要時間は２Ｔとなる。（４）回路規模本実施例の回路規模は、従来走査の回路規模と変わらな
いが、１／２ピッチ走査の回路規模に比較すると小さ
く、コストも低い。これらを総合すると、本実施例は、装置（回路規模）の
大型化やコストの増大なしに、画像を見易くかつ分解能
を向上させることができ、大幅な検査速度の低下も避け
ることができるという効果を奏する。又、本実施例の使
用の方法として、例えば、通常は従来走査で走査を行
い、この走査において不良部の存在の可能性が生じたと
き本実施例による走査を行うようにすれば、検査速度が
早く、しかも、詳細な検査が必要な部分に対して分解能
が高くかつ見易い画像で検査を行うことができることと
なる。

【００２５】図３は本発明の他の実施例に係る画像メモ
リの一部の内容説明図である。図２と同じく、この図
で、Ｘ₁ 、……Ｘ₅ 、……はＸ軸方向におけるアドレ
ス、Ｙ₁、……はＹ軸方向におけるアドレスである。さ
きの実施例では、電子走査方向の記憶領域において、１
つのサンプリング位置のサンプリングデータを格納する
記憶領域に隣接する記憶領域には当該サンプリングデー
タと同一のデータを格納したが、本実施例では、両側の
サンプリングデータの平均値を格納する。

【００２６】即ち、図３で、記憶領域（Ｘ₁ ，Ｙ₁ ）に
格納されるサンプリングデータが「Ａ」、記憶領域（Ｘ
₃ ，Ｙ₁ ）に格納されるサンプリングデータが「Ｂ」で
あるとすると、それらの中間の記憶領域（Ｘ₂ ，Ｙ₁ ）
に格納されるデータは値「Ａ」と値「Ｂ」の平均値
〔（Ａ＋Ｂ）／２〕である。同じく、記憶領域（Ｘ₅ ，
Ｙ₁ ）に格納されるサンプリングデータが「Ｃ」である
とすると、中間の記憶領域（Ｘ₄ ，Ｙ₁ ）に格納される
データは値「Ｂ」と値「Ｃ」の平均値〔（Ｂ＋Ｃ）／
２〕である。これらの平均値の演算は、両側のデータが
格納された時点で行ってもよいし、１つの電子走査が終
了した時点で行ってもよいし、全部の走査が終了した時
点で行ってもよい。

【００２７】本実施例では、中間の記憶領域に格納する
データを、その両側のデータの平均値としたので、さき
の実施例と同じ効果を有するとともに、データの大きさ
の変化がゆるやかになるので、画像がより一層見易くな
るという効果も奏する。

【００２８】図４は本発明の他の実施例に係るデータ処
理手段を説明する図である。図４で、横軸には記憶領
域、縦軸には各記憶領域に格納されるデータがとってあ
る。図３に示す実施例では、サンプリングデータが格納
される２つの記憶領域の中間の記憶領域には、両側のサ
ンプリングデータの平均値を演算して格納する。これが
図４に直線Ｓで示されている。しかし、本実施例では、
平均値ではなく、２つのサンプリングデータ「Ａ」、
「Ｂ」を通るある定められた関数に従ってデータが演算
される。この関数が図４に曲線Ｗで示され、演算された
データがＷ_ABで示されている。即ち、中間記憶領域に格
納されるデータは、両端のデータを参照してある重みを
つける。本実施例における演算時期は、さきの実施例と
同じである。これにより、本実施例では、データの変化
のゆるやかさを任意に調整することができる。

【００２９】なお、上記各実施例の説明では、アレイ探
触子の各圧電素子の配列ピッチｐに対して、ｐ／２ピッ
チとする例について説明したが、これに限ることはな
く、ｐ／３、ｐ／４、……、ｐ／Ｎとすることもでき
る。又、図１０に示す走査を行う装置に対しても、その
ままの装置構成で本発明を適用することができる。

【００３０】又、上記各実施例の説明では、電子走査方
向と機械走査方向とが直交している例について説明した
が、両者は必ずしも直交するとは限らない。例えば、特
開平１−１９７６４９号公報で提案されているように、
電子走査と機械走査を同時に行う場合、アレイ探触子を
Ｘ軸に対してある角度θだけ傾斜させておく手法が採用
されるが、この場合でも本発明を適用することができ
る。

【００３１】

【発明の効果】以上述べたように、本発明では、画像メ
モリを、電子走査方向におけるサンプリングデータ数の
記憶領域のＮ倍の記憶領域および機械走査方向における
サンプリングデータ数に等しい記憶領域で構成し、電子
走査において得られた１つのサンプリング位置のサンプ
リングデータを、これに対応する記憶領域を含む連続す
るＮ個の記憶領域に格納するようにし、又は、電子走査
において得られた１つのサンプリング位置のサンプリン
グデータと次のサンプリング位置のサンプリングデータ
とに基づいてそれらを格納する記憶領域の中間の記憶領
域に格納するデータを演算するようにしたので、装置
（回路規模）の大型化やコストの増大なしに、画像を見
易くかつその分解能を向上させることができ、大幅な検
査速度の低下も避けることができるという効果を奏す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に係る超音波検査装置の走査方
法を説明する図である。

【図２】図１に示す方法を用いる場合の画像メモリの内
容説明図である。

【図３】本発明の他の実施例に係る超音波検査装置の走
査方法を用いる場合の画像メモリの内容説明図である。

【図４】本発明のさらに他の実施例に係る超音波検査装
置の走査方法を用いる場合の中間領域のデータを説明す
る図である。

【図５】超音波検査装置のスキャナ部分の斜視図であ
る。

【図６】図５に示すアレイ探触子の側面図である。

【図７】超音波検査装置のブロック図である。

【図８】超音波検査装置の従来の走査方法を説明する図
である。

【図９】図８に示す方法を用いる場合の画像メモリの内
容説明図である。

【図１０】超音波検査装置の従来の走査方法を説明する
図である。

【図１１】図１０に示す方法を用いる場合の画像メモリ
の内容説明図である。

【符号の説明】

５０アレイ探触子（１，１）〜（４０，６０）サンプリング位置Ｂ₁ 〜Ｂ₄₀ 超音波ビームｐピッチ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】多数の圧電素子を第１の方向に一列に配
列して構成されたアレイ探触子と、このアレイ探触子を
前記第１の方向と異なる第２の方向に所定ピッチを得る
ように機械的に駆動する駆動手段とを備えた超音波検査
装置において、前記第１の方向におけるサンプリングデ
ータ数の記憶領域の複数倍の記憶領域および前記第２の
方向におけるサンプリングデータ数に等しい記憶領域を
有する画像メモリと、前記第１の方向の走査において得
られた１つのサンプリング位置におけるサンプリングデ
ータを、当該サンプリング位置の前記画像メモリにおけ
る対応する記憶領域を含む連続する前記複数倍の数と同
数の前記第１の方向に対応する記憶領域に格納するデー
タ格納手段とを設けたことを特徴とする超音波検査装
置。
【請求項２】多数の圧電素子を第１の方向に一列に配
列して構成されたアレイ探触子と、このアレイ探触子を
前記第１の方向と異なる第２の方向に所定ピッチを得る
ように機械的に駆動する駆動手段とを備えた超音波検査
装置において、前記第１の方向におけるサンプリングデ
ータ数の記憶領域の複数倍の記憶領域および前記第２の
方向におけるサンプリングデータ数に等しい記憶領域を
有する画像メモリと、前記第１の方向の走査において得
られた１つのサンプリング位置におけるサンプリングデ
ータと当該サンプリング位置に隣接するサンプリング位
置のサンプリングデータとを、前記画像メモリの前記第
１の方向に対応する記憶領域に前記倍数から１を差し引
いた数の中間記憶領域だけ間隔を置いて格納するデータ
格納手段と、前記中間記憶領域に、その両端の記憶領域
に格納されているサンプリングデータに基づいて演算さ
れたデータを格納する他のデータ格納手段とを設けたこ
とを特徴とする超音波検査装置。