JPH06142594A - ディスク用被膜形成装置 - Google Patents
ディスク用被膜形成装置Info
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- JPH06142594A JPH06142594A JP32363992A JP32363992A JPH06142594A JP H06142594 A JPH06142594 A JP H06142594A JP 32363992 A JP32363992 A JP 32363992A JP 32363992 A JP32363992 A JP 32363992A JP H06142594 A JPH06142594 A JP H06142594A
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- pair
- turntable
- film forming
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Classifications
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C65/00—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor
- B29C65/78—Means for handling the parts to be joined, e.g. for making containers or hollow articles, e.g. means for handling sheets, plates, web-like materials, tubular articles, hollow articles or elements to be joined therewith; Means for discharging the joined articles from the joining apparatus
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
- B29C66/40—General aspects of joining substantially flat articles, e.g. plates, sheets or web-like materials; Making flat seams in tubular or hollow articles; Joining single elements to substantially flat surfaces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29L—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASS B29C, RELATING TO PARTICULAR ARTICLES
- B29L2017/00—Carriers for sound or information
- B29L2017/001—Carriers of records containing fine grooves or impressions, e.g. disc records for needle playback, cylinder records
- B29L2017/003—Records or discs
- B29L2017/005—CD''s, DVD''s
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】装置の小型化と簡略化を図り，装置全体の処理
時間を大幅に短縮して高速化をはかること。 【構成】間欠的に回転する第１のターンテーブル，該第
１のターンテーブルに設けられた複数のディスク受け
台，該ディスク受け台にディスクを供給する一対の第
１，第２の旋回移載アーム，前記ディスク受け台上に載
置されたディスクに被膜形成液を供給する１つ以上の被
膜形成液吐出ノズル，前記第１のターンテーブルに隣接
して配置された一対のスピンナ，前記第１のターンテー
ブルの回転に伴い送られてきた一対の前記ディスクを受
け渡し位置でほぼ同時に前記一対のスピンナのそれぞれ
に移載する一対の第３，第４の旋回移載アーム，前記一
対のスピンナに隣接して配置されて間欠的に回転する第
２のターンテーブル，この第２のターンテーブルに備え
られた互いに近接する一対のディスク受け台複数，前記
一対のスピンナで被膜形成のされたそれぞれの一対のデ
ィスクを前記第２のターンテーブルの受取り位置でその
ディスク受け台にそれぞれ移載する一対の第５，第６の
旋回移載アーム備える。
時間を大幅に短縮して高速化をはかること。 【構成】間欠的に回転する第１のターンテーブル，該第
１のターンテーブルに設けられた複数のディスク受け
台，該ディスク受け台にディスクを供給する一対の第
１，第２の旋回移載アーム，前記ディスク受け台上に載
置されたディスクに被膜形成液を供給する１つ以上の被
膜形成液吐出ノズル，前記第１のターンテーブルに隣接
して配置された一対のスピンナ，前記第１のターンテー
ブルの回転に伴い送られてきた一対の前記ディスクを受
け渡し位置でほぼ同時に前記一対のスピンナのそれぞれ
に移載する一対の第３，第４の旋回移載アーム，前記一
対のスピンナに隣接して配置されて間欠的に回転する第
２のターンテーブル，この第２のターンテーブルに備え
られた互いに近接する一対のディスク受け台複数，前記
一対のスピンナで被膜形成のされたそれぞれの一対のデ
ィスクを前記第２のターンテーブルの受取り位置でその
ディスク受け台にそれぞれ移載する一対の第５，第６の
旋回移載アーム備える。
Description
【産業上の利用分野】本発明は，光ディスク，あるいは
それよりも小さな径をもつ種々のディスクなどに保護膜
等の被膜を形成する設備に関する。
それよりも小さな径をもつ種々のディスクなどに保護膜
等の被膜を形成する設備に関する。
【従来技術】先ず，図７により従来のディスク用被膜形
成装置について説明する。この装置はディスク製造設備
のディスク搬送ラインとしてのコンベア２に沿って設置
されている。ディスクの被膜形成装置１が保護膜形成装
置として用いられる場合には，図示矢印の方向に動くコ
ンベア２の上流にはディスク射出成形機および反射膜を
形成するためのスパッタリング装置など（図示せず）が
設置され，またその下流には必要に応じてディスク検査
装置などが設置される。被膜の形成されるディスクは，
ディスク積載手段としてのスタックポール５０に多数枚
積載され，スタックポール５０ごとコンベア２により搬
送される。スタックポール５０が位置１Ａまで搬送され
て来ると，通常のストッパ手段（図示せず）が飛びだし
てスタックポール５０を停止させる。スタックポール５
０が停止すると，ディスク供給手段である旋回移載アー
ム５１が動作して，スタックポール５０に積載されたデ
ィスクの内，一番上に位置するディスクを吸着し保持し
た状態で旋回し，ディスク受け台５２上に載置する。順
次整列されたディスク受け台５２，第１，第２のクリー
ニング用エアブロー５３，５４，およびスピンナ５５に
対応するポジションがディスク受け位置５２Ａ，第１，
第２のクリーニング位置５３Ａ，５４Ａ，および保護膜
形成位置５５Ａであり，これらは，隣接するもの同士の
間隔が全て等しくなるよう設定されている。各位置に対
するディスクの移載は，中間搬送装置５６により同時に
行われる。中間搬送装置５６は等間隔の互いに並行な４
本のアームを持ち，それら先端部のそれぞれに備えられ
た吸着機構によりディスクを吸着し保持して，隣りの位
置と位置との間の距離だけ往復運動することにより，各
位置のディスクは次のポジションにそれぞれ移送され
る。保護膜形成位置５５Ａにおいては，先ず塗料吐出ノ
ズル５５がディスク上に塗料を供給し，しかる後そのデ
ィスクを高速回転させて余分な塗料を振り切り，所定膜
厚の被膜を形成する。このように処理されたディスク
は，前述のようにして中間搬送装置５６により保護膜形
成位置５５Ａからターンテーブル５７におけるディスク
受取り位置５７Ａのディスク受け台５８に移載される。
ターンテーブル５７は図示矢印の方向に回転し，その回
転によってディスク受け台５８に載置されたディスクは
紫外線照射装置５９の紫外線照射位置５９Ａまで運ば
れ，ここで保護膜形成位置５５Ａでディスク面に形成さ
れた塗膜は硬化されて保護膜となる。さらにディスク
は，ターンテーブル５７により受け渡し位置５７Ｂまで
運ばれ，そこでディスク排出手段である旋回排出アーム
６０によりディスク製造設備のディスク搬送ラインとし
てのコンベア２のスタックポール５０に積載される。し
かしながら，このような従来の被膜形成装置にあって
は，処理能力が低いという問題があった。処理能力を向
上させるには，被膜形成装置の各部分の速度を向上させ
れば良いのであるが，最も遅い動作速度に制約されてし
まい，処理能力の向上は難しい。それでは同一構成の被
膜形成装置を複数台，ディスク製造設備のディスク搬送
ラインの沿って設置すれば良いのであるが，しかしその
設置スペースが確保できなかったり，１台の被膜形成装
置の価格の数倍のコストがかかってしまうなど問題があ
る。また，ディスク製造設備のディスク搬送ラインのコ
ンベア２上のスタックポール５０から直接ディスクを取
り出し，かつ保護膜の形成されたディスクをコンベア上
のスタックポール５０に戻して積載しているので，ディ
スク製造設備のディスク搬送ライン１のコンベアが複数
列の場合には，ディスク供給手段およびディスク排出手
段が格段と大型になると共に，大幅に複雑になってしま
うという問題がある。
成装置について説明する。この装置はディスク製造設備
のディスク搬送ラインとしてのコンベア２に沿って設置
されている。ディスクの被膜形成装置１が保護膜形成装
置として用いられる場合には，図示矢印の方向に動くコ
ンベア２の上流にはディスク射出成形機および反射膜を
形成するためのスパッタリング装置など（図示せず）が
設置され，またその下流には必要に応じてディスク検査
装置などが設置される。被膜の形成されるディスクは，
ディスク積載手段としてのスタックポール５０に多数枚
積載され，スタックポール５０ごとコンベア２により搬
送される。スタックポール５０が位置１Ａまで搬送され
て来ると，通常のストッパ手段（図示せず）が飛びだし
てスタックポール５０を停止させる。スタックポール５
０が停止すると，ディスク供給手段である旋回移載アー
ム５１が動作して，スタックポール５０に積載されたデ
ィスクの内，一番上に位置するディスクを吸着し保持し
た状態で旋回し，ディスク受け台５２上に載置する。順
次整列されたディスク受け台５２，第１，第２のクリー
ニング用エアブロー５３，５４，およびスピンナ５５に
対応するポジションがディスク受け位置５２Ａ，第１，
第２のクリーニング位置５３Ａ，５４Ａ，および保護膜
形成位置５５Ａであり，これらは，隣接するもの同士の
間隔が全て等しくなるよう設定されている。各位置に対
するディスクの移載は，中間搬送装置５６により同時に
行われる。中間搬送装置５６は等間隔の互いに並行な４
本のアームを持ち，それら先端部のそれぞれに備えられ
た吸着機構によりディスクを吸着し保持して，隣りの位
置と位置との間の距離だけ往復運動することにより，各
位置のディスクは次のポジションにそれぞれ移送され
る。保護膜形成位置５５Ａにおいては，先ず塗料吐出ノ
ズル５５がディスク上に塗料を供給し，しかる後そのデ
ィスクを高速回転させて余分な塗料を振り切り，所定膜
厚の被膜を形成する。このように処理されたディスク
は，前述のようにして中間搬送装置５６により保護膜形
成位置５５Ａからターンテーブル５７におけるディスク
受取り位置５７Ａのディスク受け台５８に移載される。
ターンテーブル５７は図示矢印の方向に回転し，その回
転によってディスク受け台５８に載置されたディスクは
紫外線照射装置５９の紫外線照射位置５９Ａまで運ば
れ，ここで保護膜形成位置５５Ａでディスク面に形成さ
れた塗膜は硬化されて保護膜となる。さらにディスク
は，ターンテーブル５７により受け渡し位置５７Ｂまで
運ばれ，そこでディスク排出手段である旋回排出アーム
６０によりディスク製造設備のディスク搬送ラインとし
てのコンベア２のスタックポール５０に積載される。し
かしながら，このような従来の被膜形成装置にあって
は，処理能力が低いという問題があった。処理能力を向
上させるには，被膜形成装置の各部分の速度を向上させ
れば良いのであるが，最も遅い動作速度に制約されてし
まい，処理能力の向上は難しい。それでは同一構成の被
膜形成装置を複数台，ディスク製造設備のディスク搬送
ラインの沿って設置すれば良いのであるが，しかしその
設置スペースが確保できなかったり，１台の被膜形成装
置の価格の数倍のコストがかかってしまうなど問題があ
る。また，ディスク製造設備のディスク搬送ラインのコ
ンベア２上のスタックポール５０から直接ディスクを取
り出し，かつ保護膜の形成されたディスクをコンベア上
のスタックポール５０に戻して積載しているので，ディ
スク製造設備のディスク搬送ライン１のコンベアが複数
列の場合には，ディスク供給手段およびディスク排出手
段が格段と大型になると共に，大幅に複雑になってしま
うという問題がある。
【発明が解決しようとする課題】本発明は上述のような
問題点を解決し，ディスク面に対する被膜形成処理能力
の大きなディスクの被膜形成装置を提案することを課題
としている。
問題点を解決し，ディスク面に対する被膜形成処理能力
の大きなディスクの被膜形成装置を提案することを課題
としている。
【問題を解決するための手段】この課題を解決するた
め，間欠的に回転する第１のターンテーブル，該第１の
ターンテーブルに設けられた複数のディスク受け台，該
ディスク受け台にディスクを供給するディスク供給手
段，前記ディスク受け台上に載置されたディスクに被膜
形成液を供給する１つ以上の被膜形成液吐出ノズル，前
記第１のターンテーブルに隣接して配置された一対のス
ピンナ，前記第１のターンテーブルの回転に伴い前記一
対のスピンナに最も近い位置に送られてきた一対の前記
ディスクをほぼ同時に前記一対のスピンナのそれぞれに
移載する一対の第１の旋回移載アーム，前記一対のスピ
ンナに隣接して配置されて間欠的に回転する第２のター
ンテーブル，この第２のターンテーブルに備えられた互
いに近接する一対のディスク受け台複数，前記一対のス
ピンナで被膜形成されたそれぞれの一対のディスクを前
記第２のターンテーブルの一対のディスク受け台にそれ
ぞれ移載する一対の第２の旋回移載アーム，前記一対の
ディスク受け台のそれぞれの前記ディスクに形成された
被膜を硬化させる被膜硬化装置，および前記第２のター
ンテーブルのディスク受け台に載置されたディスクを排
出するディスク排出手段を備える。また，前記課題を解
決するため，ディスク受け台上のディスクに被膜形成液
を供給する被膜形成液吐出ノズル，そのディスクに供給
された被膜形成液を遠心力により引き伸ばして被膜を形
成するスピンナ，前記ディスク受け台上のディスクを前
記スピンナに移送する移送手段，および前記ディスクの
被膜を硬化させる被膜硬化装置とを備えた被膜形成装置
において，複数のディスクを積載してなるディスク積載
手段を搬送するディスク製造設備のディスク搬送ライン
とは別に設けられた単一の，又は一対のコンベアと，前
記ディスク製造設備のディスク搬送ラインから前記ディ
スク積載手段を前記コンベアに移載するディスク取り込
み装置と，前記それぞれのディスク積載手段のディスク
を保持して前記ディスク受け台に移載する旋回移載アー
ムとを備え，前記コンベアは前記旋回移載アームの保持
部の旋回軌道に対応する位置に前記ディスク積載手段を
それぞれ停止させるストッパ手段を有する。
め，間欠的に回転する第１のターンテーブル，該第１の
ターンテーブルに設けられた複数のディスク受け台，該
ディスク受け台にディスクを供給するディスク供給手
段，前記ディスク受け台上に載置されたディスクに被膜
形成液を供給する１つ以上の被膜形成液吐出ノズル，前
記第１のターンテーブルに隣接して配置された一対のス
ピンナ，前記第１のターンテーブルの回転に伴い前記一
対のスピンナに最も近い位置に送られてきた一対の前記
ディスクをほぼ同時に前記一対のスピンナのそれぞれに
移載する一対の第１の旋回移載アーム，前記一対のスピ
ンナに隣接して配置されて間欠的に回転する第２のター
ンテーブル，この第２のターンテーブルに備えられた互
いに近接する一対のディスク受け台複数，前記一対のス
ピンナで被膜形成されたそれぞれの一対のディスクを前
記第２のターンテーブルの一対のディスク受け台にそれ
ぞれ移載する一対の第２の旋回移載アーム，前記一対の
ディスク受け台のそれぞれの前記ディスクに形成された
被膜を硬化させる被膜硬化装置，および前記第２のター
ンテーブルのディスク受け台に載置されたディスクを排
出するディスク排出手段を備える。また，前記課題を解
決するため，ディスク受け台上のディスクに被膜形成液
を供給する被膜形成液吐出ノズル，そのディスクに供給
された被膜形成液を遠心力により引き伸ばして被膜を形
成するスピンナ，前記ディスク受け台上のディスクを前
記スピンナに移送する移送手段，および前記ディスクの
被膜を硬化させる被膜硬化装置とを備えた被膜形成装置
において，複数のディスクを積載してなるディスク積載
手段を搬送するディスク製造設備のディスク搬送ライン
とは別に設けられた単一の，又は一対のコンベアと，前
記ディスク製造設備のディスク搬送ラインから前記ディ
スク積載手段を前記コンベアに移載するディスク取り込
み装置と，前記それぞれのディスク積載手段のディスク
を保持して前記ディスク受け台に移載する旋回移載アー
ムとを備え，前記コンベアは前記旋回移載アームの保持
部の旋回軌道に対応する位置に前記ディスク積載手段を
それぞれ停止させるストッパ手段を有する。
【実施例】図面によって本発明の一実施例を説明する
と，先ず図１において，このディスクの被膜形成装置１
は，ディスク製造設備のディスク搬送ラインのコンベア
２上を順次搬送されて来るディスク積載手段としてのス
タックポール３を装置１内に取り込むディスク取り込み
装置４，ディスク取り込み装置４からスタックポール３
を受け取って装置１内を搬送する第１のコンベア５と第
２のコンベア６，これら第１又は第２のコンベア上のス
タックポール３に積載されたディスクＤを第１のターン
テーブル７に移送する一対の旋回移載アーム８Ａ，８Ｂ
を備えた第１の旋回移載装置，第１のターンテーブル７
に備えられた６組のディスク受台９，１０，ディスク面
の塵埃を除去するため第１，第２のクリーニング位置に
それぞれ配置されたクリーニング用エアブロー手段１
１，１２および１３，１４，ディスク受台９，１０に載
置されたディスクＤのそれぞれに被膜形成液を供給する
被膜形成液吐出ノズル１５，１６を備える被膜形成液供
給装置，第１のターンテーブル７のディスク受け渡し位
置Ｘにおけるディスク受台９，１０に対しそれぞれ等し
い位置に設置された一対のスピンナ１７，１８，ディス
ク受け渡し位置Ｘにおけるディスク受台９，１０にそれ
ぞれ載置されたディスクＤをスピンナ１７，１８に移送
する一対の旋回移載アーム１９，２０を備えた第２，第
３の旋回移載装置，スピンナ１７，１８内のディスクＤ
を第２のターンテーブル２１に備えられた６組のディス
ク受台２２，２３に移載する一対の旋回移載アーム２
４，２５を備えた第４，第５の旋回移載装置，ターンテ
ーブル２１の回転により送られてくるディスク面に形成
された被膜を硬化させる紫外線照射装置のような被膜硬
化装置２６，目的の被膜の形成されたディスクＤを第１
のコンベア５，または第２のコンベア６上のスタックポ
ール３に移載する一対の旋回移載アーム２７Ａ，２７Ｂ
を備えた第６の旋回移載装置，および第１のコンベア
５，または第２のコンベア６上のスタックポール３をデ
ィスク製造設備のディスク搬送ラインのコンベア２に戻
すディスク払い出し装置２８などからなる。ディスク積
載手段としてのスタックポール３は，図２に示すよう
に，ベースブロック３Ａ，ディスク受け板３Ｂ，ディス
クＤの中央穴を挿通するセンターポール３Ｃ，駆動装置
（図示せず）により上下駆動され，ベースブロック３Ａ
に形成された挿通孔を通ってディスク受け板３Ｂを上
昇，下降させる３本の上下動ロッド３Ｄなどからなる。
３本の上下動ロッド３Ｄは１枚のディスクＤの厚みに等
しい高さづつ上昇でき，一番上に位置するディスクＤを
一定のレベルまで上昇させてそこに維持する。ディスク
取り込み装置４は，図３に示すように，ディスク製造設
備のディスク搬送ラインのコンベア２に対して垂直方向
に延びるガイドレール部４Ａ，および切り離し可能なデ
ィスク製造設備のディスク搬送ラインのコンベア２の一
部分２Ａをガイドレール部４Ａに沿って前進，後退させ
得る駆動機構４Ｂからなる。この駆動機構４Ｂはスタッ
クポール３を第１のコンベア５に移送する場合には，コ
ンベア２の一部分２Ａを第１のコンベア５に組み合わせ
る。また，スタックポール３を第２のコンベア６に移送
する場合には，コンベア２の一部分２Ａを第２のコンベ
ア６に組み合わせる。しかる後，駆動機構４Ｂがコンベ
ア２を駆動し，その上のスタックポール３を第１，又は
第２のコンベアに移す。このようにして第１，第２のコ
ンベア５，６に移載されたスタックポール３は，ストッ
パ（図示せず）によって図示（Ａ），（Ｂ）の位置まで
運ばれてそこで停止する。図示（Ａ），（Ｂ）の位置は
第１の旋回移載装置における一対の旋回移載アーム８
Ａ，８Ｂの吸引機構（図示せず）の旋回軌跡上にある。
図４をも用いて第１の旋回移載装置の動作を説明する。
今，旋回移載アーム８Ａが第１のコンベア５に載置され
たスタックポール３の真上に位置するものとすると，最
初に旋回移載アーム８Ａのみが降下し，旋回移載アーム
８Ａの吸着パッドＰのみがスタックポール３の先端部を
跨いでディスクＤの面を吸着保持し，上昇する（，
）。次に旋回移載アーム８Ａ，８Ｂは，旋回移載アー
ム８Ｂが第１のコンベア５に載置されたスタックポール
３の真上に位置するまで旋回運動し，旋回移載アーム８
Ｂのみが降下する（）。旋回移載アーム８Ｂの吸着パ
ッドＰがスタックポール３の先端部を跨いでディスクＤ
の面を吸着保持すると，上昇し（），旋回移載アーム
８Ａ，８Ｂは，図示のようにターンテーブル７のディス
ク受け台９，１０の真上まで旋回運動する（）。次に
旋回移載アーム８Ａ，８Ｂは降下し，それぞれ吸着保持
していたディスクＤをターンテーブル７のディスク受け
台９，１０に載置した後，上昇する（）。しかる後，
再び旋回移載アーム８Ａ，８Ｂは旋回運動を行って
（），旋回移載アーム８Ａが第１のコンベア５に載置
されたスタックポール３の真上に位置する。以後，同様
な動作を繰り返し，第１のコンベア５に載置されたスタ
ックポール３に積載されたディスクを順次ターンテーブ
ル７に運ぶ。そしてコンベア５のスタックポール３のデ
ィスクが全て無くなると，同様な動作を行って，第２の
コンベア６に載置されたスタックポール３に積載された
ディスクを順次ターンテーブル７に運ぶ。ターンテーブ
ル７のディスク受け台９，１０に載置されたディスクＤ
は，ターンテーブル７が矢印方向に回転するのに伴い，
それぞれ第１，第２のクリーニング位置にそれぞれ配置
されたクリーニング用エアブロー手段１１，１２および
１３，１４により表面の塵，汚れなどが電気的に中和さ
れ除去される。次の被膜形成液吐出ポジションで各ディ
スクＤは，被膜形成液吐出ノズル１５，１６により被膜
形成液が供給される。その被膜形成液吐出ポジションで
ディスク受け台９，１０がほぼ１回転するか，あるいは
各被膜形成液吐出ノズル１５，１６がディスクの中央穴
を中心にほぼ１回転することにより，中央穴近傍のディ
スク面に被膜形成液の小円が描かれる。次にディスク受
け渡し位置Ｘにおいて，ディスク受台９，１０上のそれ
ぞれのディスクＤは，第２，第３の旋回移載装置の一対
の旋回移載アーム１９，２０により吸着保持されて，そ
れらの旋回運動の軌跡上に存在するスピンナ１７，１８
に移送される。ターンテーブル７をできる限り小さくす
るために，ディスク受け渡し位置Ｘにおけるディスク受
台９，１０の中心間の距離に比べて，スピンナ１７，１
８のディスク載置位置の中心間の距離は大きくならざる
を得ず，旋回移載アーム１９，２０は非常に簡単な旋回
運動によってそれら距離の違いによる問題を解消してい
る。スピンナ１７，１８は数千回転まで回転速度を上げ
て，その遠心力により被膜形成液吐出ポジションで各デ
ィスクＤに供給された被膜形成液を広げると共に，余分
な被膜形成液を振り切り除去する。次に被膜の形成され
た各ディスクＤは第４，第５の旋回移載装置の一対の旋
回移載アーム２４，２５により，第２のターンテーブル
２１の受け取り位置Ｙでのディスク受台２２，２３に移
載される。ディスク受台２２と２３間の間隔は，被膜硬
化装置２６をできるだけ小型化するために，狭くなって
いる。ここでディスク受け渡し位置Ｘにおけるディスク
受台９と１０，スピンナ１７と１８，受け取り位置Ｙで
のディスク受台２２と２３は，それぞれ第１，第２のタ
ーンテーブル７と２１の中心点を結ぶラインに対して対
称になるよう配置されている。被膜硬化装置２６は，鎖
線で示す矢印の方向に回転するターンテーブル２１によ
り送られてくるディスク面に形成された被膜に，紫外線
のような活性エネルギ線を照射してその被膜を硬化させ
る。このようにして目的の被膜の形成されたディスクＤ
は，第６の旋回移載装置の一対の旋回移載アーム２７
Ａ，２７Ｂにより，第１のコンベア５，または第２のコ
ンベア６上のスタックポール３に移載される。ここで旋
回移載アーム２７Ａ，２７Ｂは，一方のコンベア５，ま
たは６上のスタックポール３に所定数のデイスクを積載
した後，他方のコンベア６，または５上のスタックポー
ル３にデイスクを積載する。そして第１のコンベア５，
または第２のコンベア６上のスタックポール３は，ディ
スク取り込み装置４と同様な構造のディスク払い出し装
置２８により，ディスク製造設備のディスク搬送ライン
のコンベア２に戻される。この実施例におけるディスク
取り込み装置４の構成では，ほぼスタックポールの幅程
度に小型化でき，また図５に示すように，ディスク製造
設備のディスク搬送ラインのコンベアが５列の場合で
も，容易に所定搬送ラインのコンベアのスタックポール
をサブラインのコンベア５または６に導くことができ
る。例えば，ディスク製造設備のディスク搬送ラインの
コンベア２ａ上のスタックポール３をコンベア５に移載
したい場合には，コンベア２ａの切り離し部分２Ａをコ
ンベア５に合致するまで移動させ，またコンベア２ａ上
のスタックポール３をコンベア５に移載したい場合に
は，コンベア２ｃの切り離し部分２Ｃをコンベア５に合
致するまで移動させれば良い。なお，これら実施例では
いずれもサブラインのコンベアとして２つのコンベア
５，６を用いたが，単一のコンベアでも勿論良い。この
場合には，第１，第２の旋回移載アーム８Ａ，８Ｂの旋
回軌道上に１つ，または２つのスタックポール３が存在
するようにコンベアを位置させると共にスタックポール
３の搬送を行えば良い。以上の実施例では，各ディスク
を一旦スタックポールに積載したが，図６に示すように
ディスク製造設備のディスク搬送ラインのコンベア上を
１枚づつ順次搬送されて来る場合にも，本発明は適用で
きる。同図において，図１に示した参照記号と同一のも
のは相当する部材を示すものとする。各ディスクＤはデ
ィスク製造設備のディスク搬送ラインのディスク供給用
コンベア２により１枚づつ順次一定間隔で搬送されてく
る。ディスク取り込み装置４は，ディスク供給用コンベ
ア２の突き当たりにほぼ垂直方向に延びるガイドレール
４Ａと，そのガイドレール４Ａ上を往復運動するディス
ク取り込みヘッド４Ｂと，ディスク取り込みヘッド４Ｂ
から延びる一対の上下動アーム４Ｃ，４Ｄと，ディスク
取り込みヘッド４Ｂを往復運動させる駆動装置（図示せ
ず）などからなる。ディスク取り込みヘッド４Ｂと上下
動アーム４Ｃ，４Ｄは，図４に示した第１，第２の旋回
移載アーム８Ａ，８Ｂの動作の内，旋回運動せず直線運
動する点で異なるが，他は同様な運動を行う。先ずディ
スク取り込みヘッド４Ｂはディスク供給用コンベア２の
突き当たりの第１の設定位置にあり，ディスクＤが所定
位置まで搬送されて来ると，上下動アーム４Ｃのみが降
下し，ディスク供給用コンベア２の上のディスクＤを吸
着したのち上昇する。しかる後，ディスク取り込みヘッ
ド４Ｂは第２の設定位置に動き，次のディスクＤが所定
位置まで搬送されて来ると，上下動アーム４Ｄのみが降
下し，そのディスクＤを吸着したのち上昇する。双方の
上下動アーム４Ｃ，４Ｄが揃うと，ディスク取り込みヘ
ッド４Ｂはガイドレール４Ａ上を移動し，図示位置で停
止する。双方の上下動アーム４Ｃ，４Ｄが降下し，供給
側中間デイスク受け台３０，３１にそれぞれディスクＤ
を置く。そして第１，第２の旋回移載アーム８Ａ，８Ｂ
は，前述のように供給側中間デイスク受け台３０，３１
上のディスクＤを第１のターンテーブル７に移載する。
その後，図１に示した実施例と同様な処置工程を経て所
望被膜の形成されたディスクＤは，第７，第８の旋回移
載アーム２７Ａ，２７Ｂにより排出側中間デイスク受け
台３２，３３に移載され，ディスク取り込み装置４と同
一構成のディスク払い出し装置２８によりディスク供給
用コンベア２’に移載される。なお，この実施例におい
ては一対の上下動アーム４Ｃ，４Ｄ，および上下動アー
ム２８Ｃ，２８Ｄを用いたが，コンベア２，２’の速度
とディスク取り込み装置４，ディスク払い出し装置２８
の速度との関係で，これら上下動アームはそれぞれ一本
でも勿論良い。また，これらディスク取り込み装置４と
ディスク払い出し装置２８は，前述のような旋回移載ア
ームでも勿論良い。
と，先ず図１において，このディスクの被膜形成装置１
は，ディスク製造設備のディスク搬送ラインのコンベア
２上を順次搬送されて来るディスク積載手段としてのス
タックポール３を装置１内に取り込むディスク取り込み
装置４，ディスク取り込み装置４からスタックポール３
を受け取って装置１内を搬送する第１のコンベア５と第
２のコンベア６，これら第１又は第２のコンベア上のス
タックポール３に積載されたディスクＤを第１のターン
テーブル７に移送する一対の旋回移載アーム８Ａ，８Ｂ
を備えた第１の旋回移載装置，第１のターンテーブル７
に備えられた６組のディスク受台９，１０，ディスク面
の塵埃を除去するため第１，第２のクリーニング位置に
それぞれ配置されたクリーニング用エアブロー手段１
１，１２および１３，１４，ディスク受台９，１０に載
置されたディスクＤのそれぞれに被膜形成液を供給する
被膜形成液吐出ノズル１５，１６を備える被膜形成液供
給装置，第１のターンテーブル７のディスク受け渡し位
置Ｘにおけるディスク受台９，１０に対しそれぞれ等し
い位置に設置された一対のスピンナ１７，１８，ディス
ク受け渡し位置Ｘにおけるディスク受台９，１０にそれ
ぞれ載置されたディスクＤをスピンナ１７，１８に移送
する一対の旋回移載アーム１９，２０を備えた第２，第
３の旋回移載装置，スピンナ１７，１８内のディスクＤ
を第２のターンテーブル２１に備えられた６組のディス
ク受台２２，２３に移載する一対の旋回移載アーム２
４，２５を備えた第４，第５の旋回移載装置，ターンテ
ーブル２１の回転により送られてくるディスク面に形成
された被膜を硬化させる紫外線照射装置のような被膜硬
化装置２６，目的の被膜の形成されたディスクＤを第１
のコンベア５，または第２のコンベア６上のスタックポ
ール３に移載する一対の旋回移載アーム２７Ａ，２７Ｂ
を備えた第６の旋回移載装置，および第１のコンベア
５，または第２のコンベア６上のスタックポール３をデ
ィスク製造設備のディスク搬送ラインのコンベア２に戻
すディスク払い出し装置２８などからなる。ディスク積
載手段としてのスタックポール３は，図２に示すよう
に，ベースブロック３Ａ，ディスク受け板３Ｂ，ディス
クＤの中央穴を挿通するセンターポール３Ｃ，駆動装置
（図示せず）により上下駆動され，ベースブロック３Ａ
に形成された挿通孔を通ってディスク受け板３Ｂを上
昇，下降させる３本の上下動ロッド３Ｄなどからなる。
３本の上下動ロッド３Ｄは１枚のディスクＤの厚みに等
しい高さづつ上昇でき，一番上に位置するディスクＤを
一定のレベルまで上昇させてそこに維持する。ディスク
取り込み装置４は，図３に示すように，ディスク製造設
備のディスク搬送ラインのコンベア２に対して垂直方向
に延びるガイドレール部４Ａ，および切り離し可能なデ
ィスク製造設備のディスク搬送ラインのコンベア２の一
部分２Ａをガイドレール部４Ａに沿って前進，後退させ
得る駆動機構４Ｂからなる。この駆動機構４Ｂはスタッ
クポール３を第１のコンベア５に移送する場合には，コ
ンベア２の一部分２Ａを第１のコンベア５に組み合わせ
る。また，スタックポール３を第２のコンベア６に移送
する場合には，コンベア２の一部分２Ａを第２のコンベ
ア６に組み合わせる。しかる後，駆動機構４Ｂがコンベ
ア２を駆動し，その上のスタックポール３を第１，又は
第２のコンベアに移す。このようにして第１，第２のコ
ンベア５，６に移載されたスタックポール３は，ストッ
パ（図示せず）によって図示（Ａ），（Ｂ）の位置まで
運ばれてそこで停止する。図示（Ａ），（Ｂ）の位置は
第１の旋回移載装置における一対の旋回移載アーム８
Ａ，８Ｂの吸引機構（図示せず）の旋回軌跡上にある。
図４をも用いて第１の旋回移載装置の動作を説明する。
今，旋回移載アーム８Ａが第１のコンベア５に載置され
たスタックポール３の真上に位置するものとすると，最
初に旋回移載アーム８Ａのみが降下し，旋回移載アーム
８Ａの吸着パッドＰのみがスタックポール３の先端部を
跨いでディスクＤの面を吸着保持し，上昇する（，
）。次に旋回移載アーム８Ａ，８Ｂは，旋回移載アー
ム８Ｂが第１のコンベア５に載置されたスタックポール
３の真上に位置するまで旋回運動し，旋回移載アーム８
Ｂのみが降下する（）。旋回移載アーム８Ｂの吸着パ
ッドＰがスタックポール３の先端部を跨いでディスクＤ
の面を吸着保持すると，上昇し（），旋回移載アーム
８Ａ，８Ｂは，図示のようにターンテーブル７のディス
ク受け台９，１０の真上まで旋回運動する（）。次に
旋回移載アーム８Ａ，８Ｂは降下し，それぞれ吸着保持
していたディスクＤをターンテーブル７のディスク受け
台９，１０に載置した後，上昇する（）。しかる後，
再び旋回移載アーム８Ａ，８Ｂは旋回運動を行って
（），旋回移載アーム８Ａが第１のコンベア５に載置
されたスタックポール３の真上に位置する。以後，同様
な動作を繰り返し，第１のコンベア５に載置されたスタ
ックポール３に積載されたディスクを順次ターンテーブ
ル７に運ぶ。そしてコンベア５のスタックポール３のデ
ィスクが全て無くなると，同様な動作を行って，第２の
コンベア６に載置されたスタックポール３に積載された
ディスクを順次ターンテーブル７に運ぶ。ターンテーブ
ル７のディスク受け台９，１０に載置されたディスクＤ
は，ターンテーブル７が矢印方向に回転するのに伴い，
それぞれ第１，第２のクリーニング位置にそれぞれ配置
されたクリーニング用エアブロー手段１１，１２および
１３，１４により表面の塵，汚れなどが電気的に中和さ
れ除去される。次の被膜形成液吐出ポジションで各ディ
スクＤは，被膜形成液吐出ノズル１５，１６により被膜
形成液が供給される。その被膜形成液吐出ポジションで
ディスク受け台９，１０がほぼ１回転するか，あるいは
各被膜形成液吐出ノズル１５，１６がディスクの中央穴
を中心にほぼ１回転することにより，中央穴近傍のディ
スク面に被膜形成液の小円が描かれる。次にディスク受
け渡し位置Ｘにおいて，ディスク受台９，１０上のそれ
ぞれのディスクＤは，第２，第３の旋回移載装置の一対
の旋回移載アーム１９，２０により吸着保持されて，そ
れらの旋回運動の軌跡上に存在するスピンナ１７，１８
に移送される。ターンテーブル７をできる限り小さくす
るために，ディスク受け渡し位置Ｘにおけるディスク受
台９，１０の中心間の距離に比べて，スピンナ１７，１
８のディスク載置位置の中心間の距離は大きくならざる
を得ず，旋回移載アーム１９，２０は非常に簡単な旋回
運動によってそれら距離の違いによる問題を解消してい
る。スピンナ１７，１８は数千回転まで回転速度を上げ
て，その遠心力により被膜形成液吐出ポジションで各デ
ィスクＤに供給された被膜形成液を広げると共に，余分
な被膜形成液を振り切り除去する。次に被膜の形成され
た各ディスクＤは第４，第５の旋回移載装置の一対の旋
回移載アーム２４，２５により，第２のターンテーブル
２１の受け取り位置Ｙでのディスク受台２２，２３に移
載される。ディスク受台２２と２３間の間隔は，被膜硬
化装置２６をできるだけ小型化するために，狭くなって
いる。ここでディスク受け渡し位置Ｘにおけるディスク
受台９と１０，スピンナ１７と１８，受け取り位置Ｙで
のディスク受台２２と２３は，それぞれ第１，第２のタ
ーンテーブル７と２１の中心点を結ぶラインに対して対
称になるよう配置されている。被膜硬化装置２６は，鎖
線で示す矢印の方向に回転するターンテーブル２１によ
り送られてくるディスク面に形成された被膜に，紫外線
のような活性エネルギ線を照射してその被膜を硬化させ
る。このようにして目的の被膜の形成されたディスクＤ
は，第６の旋回移載装置の一対の旋回移載アーム２７
Ａ，２７Ｂにより，第１のコンベア５，または第２のコ
ンベア６上のスタックポール３に移載される。ここで旋
回移載アーム２７Ａ，２７Ｂは，一方のコンベア５，ま
たは６上のスタックポール３に所定数のデイスクを積載
した後，他方のコンベア６，または５上のスタックポー
ル３にデイスクを積載する。そして第１のコンベア５，
または第２のコンベア６上のスタックポール３は，ディ
スク取り込み装置４と同様な構造のディスク払い出し装
置２８により，ディスク製造設備のディスク搬送ライン
のコンベア２に戻される。この実施例におけるディスク
取り込み装置４の構成では，ほぼスタックポールの幅程
度に小型化でき，また図５に示すように，ディスク製造
設備のディスク搬送ラインのコンベアが５列の場合で
も，容易に所定搬送ラインのコンベアのスタックポール
をサブラインのコンベア５または６に導くことができ
る。例えば，ディスク製造設備のディスク搬送ラインの
コンベア２ａ上のスタックポール３をコンベア５に移載
したい場合には，コンベア２ａの切り離し部分２Ａをコ
ンベア５に合致するまで移動させ，またコンベア２ａ上
のスタックポール３をコンベア５に移載したい場合に
は，コンベア２ｃの切り離し部分２Ｃをコンベア５に合
致するまで移動させれば良い。なお，これら実施例では
いずれもサブラインのコンベアとして２つのコンベア
５，６を用いたが，単一のコンベアでも勿論良い。この
場合には，第１，第２の旋回移載アーム８Ａ，８Ｂの旋
回軌道上に１つ，または２つのスタックポール３が存在
するようにコンベアを位置させると共にスタックポール
３の搬送を行えば良い。以上の実施例では，各ディスク
を一旦スタックポールに積載したが，図６に示すように
ディスク製造設備のディスク搬送ラインのコンベア上を
１枚づつ順次搬送されて来る場合にも，本発明は適用で
きる。同図において，図１に示した参照記号と同一のも
のは相当する部材を示すものとする。各ディスクＤはデ
ィスク製造設備のディスク搬送ラインのディスク供給用
コンベア２により１枚づつ順次一定間隔で搬送されてく
る。ディスク取り込み装置４は，ディスク供給用コンベ
ア２の突き当たりにほぼ垂直方向に延びるガイドレール
４Ａと，そのガイドレール４Ａ上を往復運動するディス
ク取り込みヘッド４Ｂと，ディスク取り込みヘッド４Ｂ
から延びる一対の上下動アーム４Ｃ，４Ｄと，ディスク
取り込みヘッド４Ｂを往復運動させる駆動装置（図示せ
ず）などからなる。ディスク取り込みヘッド４Ｂと上下
動アーム４Ｃ，４Ｄは，図４に示した第１，第２の旋回
移載アーム８Ａ，８Ｂの動作の内，旋回運動せず直線運
動する点で異なるが，他は同様な運動を行う。先ずディ
スク取り込みヘッド４Ｂはディスク供給用コンベア２の
突き当たりの第１の設定位置にあり，ディスクＤが所定
位置まで搬送されて来ると，上下動アーム４Ｃのみが降
下し，ディスク供給用コンベア２の上のディスクＤを吸
着したのち上昇する。しかる後，ディスク取り込みヘッ
ド４Ｂは第２の設定位置に動き，次のディスクＤが所定
位置まで搬送されて来ると，上下動アーム４Ｄのみが降
下し，そのディスクＤを吸着したのち上昇する。双方の
上下動アーム４Ｃ，４Ｄが揃うと，ディスク取り込みヘ
ッド４Ｂはガイドレール４Ａ上を移動し，図示位置で停
止する。双方の上下動アーム４Ｃ，４Ｄが降下し，供給
側中間デイスク受け台３０，３１にそれぞれディスクＤ
を置く。そして第１，第２の旋回移載アーム８Ａ，８Ｂ
は，前述のように供給側中間デイスク受け台３０，３１
上のディスクＤを第１のターンテーブル７に移載する。
その後，図１に示した実施例と同様な処置工程を経て所
望被膜の形成されたディスクＤは，第７，第８の旋回移
載アーム２７Ａ，２７Ｂにより排出側中間デイスク受け
台３２，３３に移載され，ディスク取り込み装置４と同
一構成のディスク払い出し装置２８によりディスク供給
用コンベア２’に移載される。なお，この実施例におい
ては一対の上下動アーム４Ｃ，４Ｄ，および上下動アー
ム２８Ｃ，２８Ｄを用いたが，コンベア２，２’の速度
とディスク取り込み装置４，ディスク払い出し装置２８
の速度との関係で，これら上下動アームはそれぞれ一本
でも勿論良い。また，これらディスク取り込み装置４と
ディスク払い出し装置２８は，前述のような旋回移載ア
ームでも勿論良い。
【発明の効果】以上述べたように，ディスクを別のポジ
ションに移動させる複数の旋回移載アームと，一対のタ
ーンテーブルと，それらの間に配置された一対のスピン
ナとを適切に組み合わせたので，装置の小型化と簡略化
が図られ，各処理位置の間隔を小さくしたのでディスク
の移送時間を最小にでき，したがって装置全体として大
幅に処理時間を短縮できる。また，ディスク製造設備の
ディスク搬送ラインのコンベアからこのディスク被膜形
成装置内にディスクを短時間で取り込めるので，さらに
一層高速処理が可能となる。
ションに移動させる複数の旋回移載アームと，一対のタ
ーンテーブルと，それらの間に配置された一対のスピン
ナとを適切に組み合わせたので，装置の小型化と簡略化
が図られ，各処理位置の間隔を小さくしたのでディスク
の移送時間を最小にでき，したがって装置全体として大
幅に処理時間を短縮できる。また，ディスク製造設備の
ディスク搬送ラインのコンベアからこのディスク被膜形
成装置内にディスクを短時間で取り込めるので，さらに
一層高速処理が可能となる。
【図１】本発明の一実施例を示す図面である。
【図２】本発明に用いられるディスク積載装置の一例を
示す図面である。
示す図面である。
【図３】本発明に用いられるディスク取り込み装置の一
例を示す図面である。
例を示す図面である。
【図４】本発明の一実施例を説明するための図面であ
る。
る。
【図５】本発明に用いられるディスク取り込み装置の一
例を示す図面である。
例を示す図面である。
【図６】本発明のたの一実施例を説明するための図面で
ある。
ある。
【図７】従来例を説明するための図面である。
１・・・・被膜形成装置 ２・・・・ディスク製造設備のディスク搬送ラインのコ
ンベア ３・・・・ディスク積載装置（スタックポール） ４・・・・ディスク取り込み装置 ５，６・・・・コンベア ７・・・・第１のターンテーブル ８Ａ，８Ｂ・・・・第１，第２の旋回移載アーム ９，１０・・・・第１のターンテーブル上のディスク受
け台 １１〜１４・・・・クリーニング用エアブロー １５，１６・・・・被膜形成液吐出ノズル １７，１８・・・・スピンナ １９，２０・・・・第３，第４の旋回移載アーム ２１・・・・第２のターンテーブル ２２，２３・・・・第２のターンテーブル上のディスク
受け台 ２４，２５・・・・第５，第６の旋回移載アーム ２６・・・・被膜硬化装置 ２７Ａ，２７Ｂ・・・・第７，第８の旋回移載アーム ２８・・・・ディスク払い出し装置
ンベア ３・・・・ディスク積載装置（スタックポール） ４・・・・ディスク取り込み装置 ５，６・・・・コンベア ７・・・・第１のターンテーブル ８Ａ，８Ｂ・・・・第１，第２の旋回移載アーム ９，１０・・・・第１のターンテーブル上のディスク受
け台 １１〜１４・・・・クリーニング用エアブロー １５，１６・・・・被膜形成液吐出ノズル １７，１８・・・・スピンナ １９，２０・・・・第３，第４の旋回移載アーム ２１・・・・第２のターンテーブル ２２，２３・・・・第２のターンテーブル上のディスク
受け台 ２４，２５・・・・第５，第６の旋回移載アーム ２６・・・・被膜硬化装置 ２７Ａ，２７Ｂ・・・・第７，第８の旋回移載アーム ２８・・・・ディスク払い出し装置
Claims (6)
- 【請求項１】 間欠的に回転する第１のターンテーブ
ル，該第１のターンテーブルに設けられた複数のディス
ク受け台，該ディスク受け台にディスクを供給する一対
の第１，第２の旋回移載アーム，前記ディスク受け台上
に載置されたディスクに被膜形成液を供給する１つ以上
の被膜形成液吐出ノズル，前記第１のターンテーブルに
隣接して配置された一対のスピンナ，前記第１のターン
テーブルの回転に伴い送られてきた一対の前記ディスク
を受け渡し位置でほぼ同時に前記一対のスピンナのそれ
ぞれに移載する一対の第３，第４の旋回移載アーム，前
記一対のスピンナに隣接して配置されて間欠的に回転す
る第２のターンテーブル，この第２のターンテーブルに
備えられた互いに近接する一対のディスク受け台複数，
前記一対のスピンナで被膜形成のされたそれぞれの一対
のディスクを前記第２のターンテーブルの受取り位置で
そのディスク受け台にそれぞれ移載する一対の第５，第
６の旋回移載アーム，前記一対のディスク受け台のそれ
ぞれの前記ディスクに形成された被膜を硬化させる被膜
硬化装置，および前記第２のターンテーブルのディスク
受け台に載置されたディスクを排出するディスク排出手
段を備えたことを特徴とするディスク用被膜形成装置。 - 【請求項２】 前記第１のターンテーブルのディスク受
け渡し位置での一対のディスク受け台，前記一対のスピ
ンナ，および前記第２のターンテーブルの受取り位置で
の一対のディスク受け台は，それぞれ前記第１のターン
テーブルと第２のターンテーブルの中心位置間を結ぶラ
インに対して対称に配設されたことを特徴とする請求項
１に記載したディスク用被膜形成装置。 - 【請求項３】 ディスク受け台上のディスクに被膜形成
液を供給する被膜形成液吐出ノズル，そのディスクに供
給された被膜形成液を遠心力により引き伸ばして被膜を
形成するスピンナ，前記ディスク受け台上のディスクを
前記スピンナに移送する移送手段，および前記ディスク
の被膜を硬化させる被膜硬化装置とを備えた被膜形成装
置において，複数のディスクを積載してなるディスク積
載手段を搬送するディスク製造設備のディスク搬送ライ
ンとは別に設けられた一対のコンベアと，前記ディスク
製造設備のディスク搬送ラインから前記ディスク積載手
段を前記一対のコンベアのそれぞれに移載するディスク
取り込み装置と，前記それぞれのディスク積載手段のデ
ィスクを保持して前記ディスク受け台に移載する旋回移
載アームとを備え，前記一対のコンベアは前記旋回移載
アームの保持部の旋回軌道に対応する位置に前記ディス
ク積載手段をそれぞれ停止させるストッパを有すること
を特徴とするディスク用被膜形成装置。 - 【請求項４】 前記一対のコンベアのそれぞれに移載さ
れた前記一方のディスク積載手段のディスクが全て移載
された後，他方のディスク積載手段のディスクを前記デ
ィスク受け台に移載することを特徴とする請求項３に記
載したディスク用被膜形成装置。 - 【請求項５】 ディスク受け台上のディスクに被膜形成
液を供給する被膜形成液吐出ノズル，そのディスクに供
給された被膜形成液を遠心力により引き伸ばして被膜を
形成するスピンナ，前記ディスク受け台上のディスクを
前記スピンナに移送する移送手段，および前記ディスク
の被膜を硬化させる被膜硬化装置とを備えた被膜形成装
置において，複数のディスクを積載してなるディスク積
載手段を搬送するディスク製造設備のディスク搬送ライ
ンとは別に設けられた単一のコンベアと，前記ディスク
製造設備のディスク搬送ラインから前記ディスク積載手
段を前記コンベアに順次移載するディスク取り込み装置
と，そのディスク積載手段のディスクを保持して前記デ
ィスク受け台に移載する旋回移載アームとを備え，前記
コンベアは前記旋回移載アームの保持部の旋回軌道に対
応する位置に前記ディスク積載手段をそれぞれ停止させ
るストッパ手段を有することを特徴とするディスク用被
膜形成装置。 - 【請求項６】 前記ディスク積載手段は，その積載され
たディスクが１枚づつ他へ移送される毎に残りのディス
クがディスク１枚分上昇する機構を備えたことを特徴と
する請求項１乃至請求項６のいずれかに記載されたディ
スク用被膜形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32363992A JPH06142594A (ja) | 1992-11-09 | 1992-11-09 | ディスク用被膜形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32363992A JPH06142594A (ja) | 1992-11-09 | 1992-11-09 | ディスク用被膜形成装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06142594A true JPH06142594A (ja) | 1994-05-24 |
Family
ID=18156973
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32363992A Withdrawn JPH06142594A (ja) | 1992-11-09 | 1992-11-09 | ディスク用被膜形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06142594A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0793224A1 (en) * | 1996-02-27 | 1997-09-03 | Origin Electric Co. Ltd. | Disk bonding system |
| WO1998014303A1 (de) * | 1996-09-30 | 1998-04-09 | Ilmberger Maschinen- Und Zahnradfabrik Gmbh | Verfahren und einrichtung zur bearbeitung von werkstücken sowie werkstückaufnahmestation für eine derartige einrichtung |
| WO2007052732A1 (ja) * | 2005-11-02 | 2007-05-10 | Tokuyama Corporation | コーティング装置 |
| WO2007072940A1 (ja) * | 2005-12-22 | 2007-06-28 | Hoya Corporation | レンズ塗布装置およびレンズ塗布方法 |
| CN106151196A (zh) * | 2016-08-31 | 2016-11-23 | 钟祥三富机电有限公司 | 电磁炉线圈生产用自动贴垫片装置 |
| CN109590151A (zh) * | 2019-01-14 | 2019-04-09 | 王耀村 | 一种双臂点胶机构 |
-
1992
- 1992-11-09 JP JP32363992A patent/JPH06142594A/ja not_active Withdrawn
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US5938891A (en) * | 1996-02-27 | 1999-08-17 | Origin Electric Company, Limited | Disk bonding system |
| WO1998014303A1 (de) * | 1996-09-30 | 1998-04-09 | Ilmberger Maschinen- Und Zahnradfabrik Gmbh | Verfahren und einrichtung zur bearbeitung von werkstücken sowie werkstückaufnahmestation für eine derartige einrichtung |
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