JPH0614399Y2 - 静電偏向器 - Google Patents
静電偏向器Info
- Publication number
- JPH0614399Y2 JPH0614399Y2 JP1988134239U JP13423988U JPH0614399Y2 JP H0614399 Y2 JPH0614399 Y2 JP H0614399Y2 JP 1988134239 U JP1988134239 U JP 1988134239U JP 13423988 U JP13423988 U JP 13423988U JP H0614399 Y2 JPH0614399 Y2 JP H0614399Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulator
- outer cylinder
- deflector
- electrostatic deflector
- electrostatic
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、電子ビーム装置やイオンビーム装置に用いら
れる静電偏向器に関する。
れる静電偏向器に関する。
［従来の技術］ 電子ビーム描画装置やイオンビーム描画装置では、静電
偏向器によって電子ビームやイオンビームを偏向してい
る。該静電偏向器は、導電性の偏向板を絶縁物を介して
偏向器の外筒に固定して組立てられているが、絶縁物に
電子やイオンが帯電し、ビームの偏向に望ましくない電
界が生じ、ビームの偏向精度を低下させ、結果として、
描画の精度が悪くなる。
偏向器によって電子ビームやイオンビームを偏向してい
る。該静電偏向器は、導電性の偏向板を絶縁物を介して
偏向器の外筒に固定して組立てられているが、絶縁物に
電子やイオンが帯電し、ビームの偏向に望ましくない電
界が生じ、ビームの偏向精度を低下させ、結果として、
描画の精度が悪くなる。
第３図は、このような点を考慮した静電偏向器を示して
おり、１は導電性の外筒、２は該外筒に固定された絶縁
物、３ａ〜３ｄは、該絶縁物２に固定された２対の静電
偏向板である。該各静電偏向板３ａ〜３ｄは、絶縁物２
が電子ビームの通路に直接露出しないようにその各端部
が重ね合っており、絶縁物の帯電を防止している。
おり、１は導電性の外筒、２は該外筒に固定された絶縁
物、３ａ〜３ｄは、該絶縁物２に固定された２対の静電
偏向板である。該各静電偏向板３ａ〜３ｄは、絶縁物２
が電子ビームの通路に直接露出しないようにその各端部
が重ね合っており、絶縁物の帯電を防止している。
［考案が解決しようとする課題］ 第３図の構成の静電偏向器では、絶縁物表面への帯電は
防止できるものの、偏向板３ａ〜３ｄの表面に汚れが付
着し、その汚れ部分に電子が帯電し、ビームの望ましく
ない偏向が生じることになる。このため、偏向器自体を
一定時間使用した後には、この偏向器を洗浄しなければ
ならない。しかしながら、第３図の構造では、各偏向板
３ａ〜３ｄの形状が複雑であり、特に板が重なり合った
部分では汚れが残り、結局、その残った汚れ部分に電子
が帯電することになる。
防止できるものの、偏向板３ａ〜３ｄの表面に汚れが付
着し、その汚れ部分に電子が帯電し、ビームの望ましく
ない偏向が生じることになる。このため、偏向器自体を
一定時間使用した後には、この偏向器を洗浄しなければ
ならない。しかしながら、第３図の構造では、各偏向板
３ａ〜３ｄの形状が複雑であり、特に板が重なり合った
部分では汚れが残り、結局、その残った汚れ部分に電子
が帯電することになる。
本考案は、このような点に鑑みてなされたもので、帯電
を防止するようにした静電偏向器を提供することを目的
としている。
を防止するようにした静電偏向器を提供することを目的
としている。
［課題を解決するための手段］ 本考案に基づく静電偏向器は、円筒状の導電性外筒と、
複数に分割されて前記外筒に固定された絶縁物と、該各
々の絶縁物に固定された複数対の静電偏向板と、前記各
絶縁物の中間部が形成する空間部と前記各偏向板の中間
部が形成する空間部に跨がって位置し、且つ露出した前
記各絶縁物表面を覆うように着脱可能に取り付けられた
導電性部材とを備え、該導電性部材は、前記静電偏向板
と電気的に絶縁されて設置されていることを特徴として
いる。
複数に分割されて前記外筒に固定された絶縁物と、該各
々の絶縁物に固定された複数対の静電偏向板と、前記各
絶縁物の中間部が形成する空間部と前記各偏向板の中間
部が形成する空間部に跨がって位置し、且つ露出した前
記各絶縁物表面を覆うように着脱可能に取り付けられた
導電性部材とを備え、該導電性部材は、前記静電偏向板
と電気的に絶縁されて設置されていることを特徴として
いる。
［実施例］ 第１図は本考案に基づく電子ビーム装置の静電偏向器の
一実施例を示す断面図であり、第２図は、第１図の装置
のＡ−Ａ断面図である。図中５は導電性の外筒、６ａ〜
６ｄは、該外筒５に固定され、４分割された絶縁物、７
ａ〜７ｄは、該絶縁物に夫々固定された２対の静電偏向
板である。８ａは、該外筒５の上部にねじ止めされた上
部リング部材、８ｂは、該外筒５の下部にねじ止めされ
た下部リング部材であり、該上部リング部材８ａと下部
リング部材８ｂとの間には、接地電位の４本の導電性バ
ー９ａ〜９ｄが挿入されている。該バー９ａ〜９ｄは、
夫々４分割された各絶縁物６ａ〜６ｄの中間部が形成す
る空間部と各偏向板７ａ〜７ｄの中間部が形成する空間
部に跨がって位置し、且つ、露出した絶縁物表面を覆う
ように配置されている。該各バーは、止めねじ１０ａ〜
１０ｄ（１０ａのみ図示）によって固定されている。
一実施例を示す断面図であり、第２図は、第１図の装置
のＡ−Ａ断面図である。図中５は導電性の外筒、６ａ〜
６ｄは、該外筒５に固定され、４分割された絶縁物、７
ａ〜７ｄは、該絶縁物に夫々固定された２対の静電偏向
板である。８ａは、該外筒５の上部にねじ止めされた上
部リング部材、８ｂは、該外筒５の下部にねじ止めされ
た下部リング部材であり、該上部リング部材８ａと下部
リング部材８ｂとの間には、接地電位の４本の導電性バ
ー９ａ〜９ｄが挿入されている。該バー９ａ〜９ｄは、
夫々４分割された各絶縁物６ａ〜６ｄの中間部が形成す
る空間部と各偏向板７ａ〜７ｄの中間部が形成する空間
部に跨がって位置し、且つ、露出した絶縁物表面を覆う
ように配置されている。該各バーは、止めねじ１０ａ〜
１０ｄ（１０ａのみ図示）によって固定されている。
上述した如き構成において、絶縁物６ａ〜６ｄの露出し
た表面は、導電性バー９ａ〜９ｄによって覆われている
ことから、該絶縁物表面が帯電することは防止される。
又、静電偏向器を長時間使用し、内部に汚れが付着した
場合には、上部と下部のリング部材８ａと８ｂとを外筒
５から外し、併せて各バーも外した状態で各構成要素を
洗浄すれば、汚れを完全に除去でき、その後、各構成要
素を組立てて偏向器を構成すれば、帯電が生じることな
く、精度良くビームの偏向を行うことができる。
た表面は、導電性バー９ａ〜９ｄによって覆われている
ことから、該絶縁物表面が帯電することは防止される。
又、静電偏向器を長時間使用し、内部に汚れが付着した
場合には、上部と下部のリング部材８ａと８ｂとを外筒
５から外し、併せて各バーも外した状態で各構成要素を
洗浄すれば、汚れを完全に除去でき、その後、各構成要
素を組立てて偏向器を構成すれば、帯電が生じることな
く、精度良くビームの偏向を行うことができる。
以上本考案の一実施例を詳述したが、本考案はこの実施
例に限定されることない。例えば、前記実施例では、２
対、即ち、４極の静電偏向板と該極数に応じて４つに分
割した絶縁物を有する静電偏向器に本考案を適用する例
に上げた、当然の事ながら、８極や１６極などの他の複
数極の静電偏向板と該極数に応じて複数に分割した絶縁
物を有する静電偏向器にも適用できる。又、本考案は、
イオンビーム装置用の静電偏向器にも適用できる。
例に限定されることない。例えば、前記実施例では、２
対、即ち、４極の静電偏向板と該極数に応じて４つに分
割した絶縁物を有する静電偏向器に本考案を適用する例
に上げた、当然の事ながら、８極や１６極などの他の複
数極の静電偏向板と該極数に応じて複数に分割した絶縁
物を有する静電偏向器にも適用できる。又、本考案は、
イオンビーム装置用の静電偏向器にも適用できる。
［効果］ 以上詳述した如く、本考案においては絶縁物表面を覆う
導電性部材を取外し可能に配置するようにしたので、絶
縁物表面の帯電を防止できると共に、偏向器の洗浄も完
全に行うことができる。
導電性部材を取外し可能に配置するようにしたので、絶
縁物表面の帯電を防止できると共に、偏向器の洗浄も完
全に行うことができる。
又、本考案では、前記導電性部材は、各絶縁物の中間部
が形成する空間部と前記各偏向板の中間部が形成する空
間部に跨がって位置する様に取り付けられるので、各静
電偏向板も各絶縁物も共に薄くする事が可能となり、偏
向器全体のコンパクト化が促進される。
が形成する空間部と前記各偏向板の中間部が形成する空
間部に跨がって位置する様に取り付けられるので、各静
電偏向板も各絶縁物も共に薄くする事が可能となり、偏
向器全体のコンパクト化が促進される。
第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２図は第１
図のＡ−Ａ断面図、第３図は従来の偏向器を示す断面図
である。 ５：外筒、６：絶縁物 ７：静電偏向板、８：リング部材 ９：導電性バー、１０：止めねじ
図のＡ−Ａ断面図、第３図は従来の偏向器を示す断面図
である。 ５：外筒、６：絶縁物 ７：静電偏向板、８：リング部材 ９：導電性バー、１０：止めねじ
Claims (1)
- 【請求項１】円筒状の導電性外筒と、複数に分割されて
前記外筒に固定された絶縁物と、該各々の絶縁物に固定
された複数対の静電偏向板と、前記各絶縁物の中間部が
形成する空間部と前記各偏向板の中間部が形成する空間
部に跨がって位置し、且つ露出した前記各絶縁物表面を
覆うように着脱可能に取り付けられた導電性部材とを備
え、該導電性部材は、前記静電偏向板と電気的に絶縁さ
れて設置されていることを特徴とする静電偏向板器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988134239U JPH0614399Y2 (ja) | 1988-10-14 | 1988-10-14 | 静電偏向器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988134239U JPH0614399Y2 (ja) | 1988-10-14 | 1988-10-14 | 静電偏向器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0254153U JPH0254153U (ja) | 1990-04-19 |
| JPH0614399Y2 true JPH0614399Y2 (ja) | 1994-04-13 |
Family
ID=31392814
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988134239U Expired - Lifetime JPH0614399Y2 (ja) | 1988-10-14 | 1988-10-14 | 静電偏向器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0614399Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6953938B2 (en) * | 2002-10-03 | 2005-10-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Deflector, method of manufacturing deflector, and charged particle beam exposure apparatus |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2816849B2 (ja) * | 1988-10-06 | 1998-10-27 | 株式会社トプコン | 静電偏向器 |
-
1988
- 1988-10-14 JP JP1988134239U patent/JPH0614399Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0254153U (ja) | 1990-04-19 |
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