JPH02256148A - イオン注入装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、多重極偏向電極部で偏向されたイオンビー
ムを基板上に走査させ、その基板にイオンを注入するイ
オン注入装置に関するものである。

（従来の技術） 従来のイオン注入装置は、第７図に示されるように、１
個の物体よりなる棒状のアルミニュウム製電極１ａを等
間隔で８本配設した第１の８電極偏向電極部１の後方に
、同じく１個の物体よりなる棒状のアルミニュウム製電
極２ａを等間隔で８本配設した第２の８電極偏向電極部
２を配設し、そして、その第２の８電極偏向電極部２の
後方に基板３を配設して、第１の８電極偏向電極部１で
Ｘ方向（水平方向）及びＹ方向（垂直方向）に偏向され
たイオンビーム４を第２の８電極偏向電極部２で更にＸ
方向（水平方向）及びＹ方向（垂直方向）に偏向して、
第１の８電極偏向電極部１に入るイオンビーム４の流れ
方向と、第２の８電極偏向電極部２より出るイオンビー
ム４とが平行になるようにしていた。

上記のような第１の８電極偏向電極部１おいて、アルミ
ニュウム製電極１ａの支持の仕方は第８図に示されるよ
うに、アルミニュウム製電極１ａが所定の間隔をあけて
筒状真空容器５に取付けられた２本の絶縁支持棒６によ
って支持されている。

筒状真空容器５には絶縁体７が取付けられ、その絶縁体
７には電極導入端子８が固定され、そして、その電極導
入端子８の一端とアルミニュウム製電極１ａとはリード
線９を介して電気的に接続されている。

なお、第２の８電極偏向電極部２の構造は、第１の８電
極偏向電極部１の構造と同様につき、その説明を省略す
る。

（発明が解決しようとする課題） 従来のイオン注入装置において、第１及び第２の８電極
偏向電極部１．２のガス放出のため、これらを室温より
約１００°Ｃ程加熱して、ベーキング処理を行うときに
は、室温で８００　ｍｍのアルミニュウム製電極１ａ、
２ａはアルミニュウムの線膨張係数が３．３Ｘ　１０−
５／℃であるので、熱膨張によりそれぞれ２．６ｍｍだ
け伸びようとする。

しかしながら、従来のイオン注入装置は上記のように第
１及び第２の８電極偏向電極部１．２の各アルミニュウ
ム製電極１ａ、２ａがそれぞれ筒状真空容器５に所定の
間隔をおいて取付けられた２本の絶縁支持棒６によって
支持されているので、アルミニュウム製電極１ａ、２ａ
の熱膨張による伸びが制約される。

そのため、従来のイオン注入装置は、アルミニュウム製
電極１ａ、２ａが熱応力等により塑性変形して、アルミ
ニュウム製電極］、ａ、２ａが８電極偏向電極部１．２
における電場の分布状況が変化し、イオンビーム４の偏
向が悪くなる等の問題が起きた。

この発明の目的は、従来の問題を解決して、電極が熱膨
張によって伸びたとしても、その伸びを吸収して、電極
に塑性変形を起こさせないイオン注入装置を提供するこ
とにある。

（課題を達成するための手段） 上記目的を達成するために、この発明は、筒状真空容器
内に複数の棒状の電極を所定の間隔で配設した多重極偏
向電極部で偏向したイオンビームを基板上に走査させ、
基板にイオンを注入するイオン注入装置において、上記
複数の電極の各々が、少なくとも複数の電極片を、その
端部に形成された切欠き部で長尺方向に隙間をもって重
ねることにより形成されていることを特徴とするもので
ある。

（作用） この発明においては、多重極偏向電極部のガス放出のた
め、多重極偏向電極部を室温より加熱して、ベーキング
処理を行う場合、多重極偏向電極部の各電極のそれぞれ
の電極片の端部に形成された切欠き部が長尺方向に隙間
をもって重ねられているので１、電極片に熱膨張による
伸びがあったときには、その伸びの長尺方向の隙間で吸
収されるようになる。

（実施例） 以下、この発明の実施例について図面を参照しながら説
明する。

第１の８電極偏向電極部１、第２の８電極偏向電極部２
ａ及び基板３の配置は、従来の装置を示す第７図と同様
につきその説明を省略する。

第１図はこの発明の第１実施例を示しており、同図にお
いて、第１の８電極偏向電極部１の筒状真空容器５の外
周壁に所定の長さの２つの電極取付用ポート部１０ａ、
１０ｂが所定の間隔をおいて筒状真空容器５の外側に延
びるように溶着され、そして、各電極取付ボート部１０
ａ、１０ｂには絶縁体７ａ、７ｂを介して電圧導入棒Ｌ
ｌａ、１１ｂが筒状真空容器５内に延びるように取付け
られている。各電圧導入棒１１ａ、ｌｌｂの先端にはア
ルミニュウム製の電極片１２ａ、１２ｂが取付けられて
いる。電極片１２ａの電極片１２ｂ側の端部には切欠き
部１２ａ１が形成され、また電極片１２ｂの電極片１２
ａ側の端部にも切欠き部１２　ｂ　ｌが形成され、各切
欠き部１２　ａ　＋　　　１２ｂ、が長尺方向に隙間を
もって重なり、電極片１２ａと電極片１２ｂとでアルミ
ニュウム製の電極１ａが形成されている。電圧導入棒１
１ａ、１１ｂ間は導線１３で接続されており、これによ
って電極片１２ａと電極片１２ｂとが同電位になる。

したがって、この第１の８電極偏向電極部１のガス放出
のため、第１の８電極偏向電極部１を室温より加熱して
、ベーキング処理を行う場合、第１の８電極偏向電極部
１の各電極１ａのそれぞれの電極片１２ａ、１２ｂの端
部の各切欠き部１２ａｌ　　１２ｂｌが長尺方向に隙間
をもって重なっているので、各電極片１２ａ、１２ｂの
熱膨張による伸びは長尺方向に隙間で吸収される。その
ため、各電極片１２ａ、１２ｂは熱応力による塑性変形
を起こさなくなる。

次に、第２図は第２実施例を示している。この第２実施
例は、第１の８電極偏向電極部ｌの筒状真空容器５内に
配設された第３図に示される電極支持体１４の内周に等
間隔で軸線方向に形成された８本の凸状断面の溝１４．
　ａに、第４図に示される端部に各切欠き部１５ａをも
った凸状断面の２つの電極片１５を電極支持体１４の前
後より挿入して嵌合させ、各切欠き部１５ａを長尺方向
に隙間をもって重なりるようにしたものである。なお、
１６は気抜き穴、１７は真空引き口である。

次に、第５図は第３実施例を示している。この第３実施
例は、第１の８電極偏向電極部１の電極支持体１４の内
周面に、端部に切欠き部１８ａをもった３個の電極片１
８のうち前方と後方のものをボルト１９で固定する一方
、中間の電極片１８を前方と後方の電極片１８で保持し
て電極１ａを形成し、そして、各電極片１８間に導線を
兼ねたバネ２０を設けたものである。

次に、第６図は第４実施例を示している。この第４実施
例は、第１の８電極偏向電極部１の電極支持体１４の内
周面に、端部に切欠き部２１ａをもった３個の電極片２
１をボルト１９で固定してして電極１ａを形成し、そし
て、各ボルト１９を導線１３で接続して、各電極片２１
の電位を等しくしたものである。

なお、上記第１実施例から第４実施例までは第１の８電
極偏向電極部１について説明しているが、第２の８電極
偏向電極部もこれらと同様である。

また、第１実施例から第４実施例までは８本の電極１ａ
が使用さているが、電極１ａの数はいかなる数であって
もよい。更に、電極片の数は２個以上であればいかなる
数であってもよい。

（発明の効果） この発明によれば、多重極偏向電極部のガス放出のため
、多重極偏向電極部を室温より加熱して、ベーキング処
理を行う場合、多電極偏向電極部の各電極のそれぞれの
電極片の端部に形成された切欠き部が長尺方向に隙間を
もって重ねられているので、電極片に熱膨張による伸び
があったときには、その伸びの長尺方向の隙間で吸収さ
れるようになり、電極に塑性変形が起こらなくなる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の第１実施例の断面図、第２図は第２
実施例の斜視図、第３図は第２実施例に用いられる電極
支持体の斜視図、第４図は第２実施例に用いられる電極
片の斜視図、第５図は第３実施例の断面図、第６図は第
４実施例の断面図である。第７図は従来の装置を示す斜
視図、第７図は従来の装置の電極の支持の仕方を示す断
面図である。 図中、 １・・・・・第１の８電極偏向電極部 １ａ・・・・・電極 ２・・・・・第２の８電極偏向電極部 ３・・・・・基板 ４　・　・　・　・　・ ５　・　・　・　・　・ １２ａ　　・　・　・　・ １２ｂ　　・　・　・ １２ａ　　・　・　・　・ １２ｂ２・　・　・　・ １５・　・　・　・　・ １５ａ　　・　・　・　・ １８・・・・・ １８ａ　　・　・　・　・ １３・　・　・　・　・ ２１・　・　・　・　・ ２１ａ　　・　・　・　・ イオンビーム 筒状真空容器 電極片 電極片 切欠き部 切欠き部 電極片 切欠き部 電極片 切欠き部 導線 電極片 切欠き部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、筒状真空容器内に複数の棒状の電極を所定の間隔で
   配設した多重極偏向電極部で偏向したイオンビームを基
   板上に走査させ、基板にイオンを注入するイオン注入装
   置において、上記複数の電極の各々が、少なくとも複数
   の電極片を、その端部に形成された切欠き部で長尺方向
   に隙間をもって重ねることにより形成されていることを
   特徴とするイオン注入装置。