JPH0614412A - 磁気浮上搬送装置 - Google Patents
磁気浮上搬送装置Info
- Publication number
- JPH0614412A JPH0614412A JP4167140A JP16714092A JPH0614412A JP H0614412 A JPH0614412 A JP H0614412A JP 4167140 A JP4167140 A JP 4167140A JP 16714092 A JP16714092 A JP 16714092A JP H0614412 A JPH0614412 A JP H0614412A
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- JP
- Japan
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- gap
- sensor
- mover
- stator
- magnetic levitation
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- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 この発明は固定子レール上にゲートバルブ弁
板のための隙間を設け、この隙間上を可動子が滑らかに
走行できるような磁気浮上搬送装置を提供することを主
要な特徴とする。 【構成】 固定子３０に隙間５０を設けるとともに、走
行方向に沿って通常走行のためのセンサヘッド４１ａ〜
４１ｊを設け、隙間５０の部分には隙間通過用のための
センサヘッド４２ｆ〜４２ｉを設ける。可動子２０には
通常走行用のセンサターゲット２１ａ〜２１ｄを設ける
とともに、隙間通過のためのセンサヘッド２２ａ〜２２
ｄを設ける。隙間５０部分を通過するときには、センサ
ヘッド２１ａから２２ａに切換え、センサターゲット４
２ｆと４２ｇを検出するようにする。
板のための隙間を設け、この隙間上を可動子が滑らかに
走行できるような磁気浮上搬送装置を提供することを主
要な特徴とする。 【構成】 固定子３０に隙間５０を設けるとともに、走
行方向に沿って通常走行のためのセンサヘッド４１ａ〜
４１ｊを設け、隙間５０の部分には隙間通過用のための
センサヘッド４２ｆ〜４２ｉを設ける。可動子２０には
通常走行用のセンサターゲット２１ａ〜２１ｄを設ける
とともに、隙間通過のためのセンサヘッド２２ａ〜２２
ｄを設ける。隙間５０部分を通過するときには、センサ
ヘッド２１ａから２２ａに切換え、センサターゲット４
２ｆと４２ｇを検出するようにする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は磁気浮上搬送装置に関
し、特に、半導体製造工場などに配置されるような磁気
浮上搬送装置に関する。
し、特に、半導体製造工場などに配置されるような磁気
浮上搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年の半導体製造技術の進歩は著しく、
近い将来には１ギガビットのＤＲＡＭが登場することが
予想される。このような大容量のＤＲＡＭのパターンの
線幅はサブミクロンオーダとなり、その製造工程におい
てはダストフリーであることが絶対条件として要求され
る。このため、従来クリーンルーム内で行なわれていた
工程は、より高いクリーン度を求め、真空環境へと移行
しつつある。半導体製造装置のメーカーでは、真空内工
程となる各処理室を１ヵ所にまとめ、各処理室を真空の
トンネルで結合し、ウェハの処理を高速で行なうという
ものがある。このようにすることにより、一連の工程
中、ウェハは完全にダストフリーの環境におくことがで
き、従来の大気開放後には不可欠であった洗浄工程を省
くことができ、コスト面でも非常に有利になる。
近い将来には１ギガビットのＤＲＡＭが登場することが
予想される。このような大容量のＤＲＡＭのパターンの
線幅はサブミクロンオーダとなり、その製造工程におい
てはダストフリーであることが絶対条件として要求され
る。このため、従来クリーンルーム内で行なわれていた
工程は、より高いクリーン度を求め、真空環境へと移行
しつつある。半導体製造装置のメーカーでは、真空内工
程となる各処理室を１ヵ所にまとめ、各処理室を真空の
トンネルで結合し、ウェハの処理を高速で行なうという
ものがある。このようにすることにより、一連の工程
中、ウェハは完全にダストフリーの環境におくことがで
き、従来の大気開放後には不可欠であった洗浄工程を省
くことができ、コスト面でも非常に有利になる。
【０００３】本願発明者は、特願平３−１２７０７８に
おいて、真空トンネル内の搬送に用いられる磁気浮上搬
送装置を提案した。
おいて、真空トンネル内の搬送に用いられる磁気浮上搬
送装置を提案した。
【０００４】図４は上述の提案された磁気浮上搬送装置
の断面図である。図４において、磁気浮上搬送装置は、
可動子１と固定子２を含み、固定子２は上段２ａと中段
２ｂと下段２ｃとから構成されている。可動子１は基材
がＳＵＳ３０４あるいはＳＵＳ３１６からなっており、
その上部の中央部にはヨーク３とリニアモータ界磁用永
久磁石４とが設けられ、これらの両側にはセンサターゲ
ット５が設けられている。可動子１の下部左上側には浮
上制御切換用センサターゲット１４が設けられ、下部右
上側にはリニアモータ位置決め用センサターゲット１３
と両側に浮上用永久磁石１２とが設けられている。可動
子１の下部下側には浮上制御用電磁石継鉄１５が両側に
設けられる。
の断面図である。図４において、磁気浮上搬送装置は、
可動子１と固定子２を含み、固定子２は上段２ａと中段
２ｂと下段２ｃとから構成されている。可動子１は基材
がＳＵＳ３０４あるいはＳＵＳ３１６からなっており、
その上部の中央部にはヨーク３とリニアモータ界磁用永
久磁石４とが設けられ、これらの両側にはセンサターゲ
ット５が設けられている。可動子１の下部左上側には浮
上制御切換用センサターゲット１４が設けられ、下部右
上側にはリニアモータ位置決め用センサターゲット１３
と両側に浮上用永久磁石１２とが設けられている。可動
子１の下部下側には浮上制御用電磁石継鉄１５が両側に
設けられる。
【０００５】一方、固定子２の上段２ａと中断２ｂと下
段２ｃは可動子１と同様にして、ＳＵＳ３０４あるいは
ＳＵＳ３１６で構成されている。固定子２の上段２ａの
上部には可動子１のリニアモータ界磁用永久磁石４に対
向するようにヨーク８と、リニアモータ用空芯コイル７
とが設けられ、その両側には可動子１のセンサターゲッ
ト５に対向するように、浮上用センサヘッド６が設けら
れる。固定子２の上段２ａの下部左側にはレールとなる
浮上用永久磁石継鉄１１とその右側に可動子１の浮上制
御切換用センサターゲット１４に対向するように浮上制
御切換用センサヘッド１０が設けられる。
段２ｃは可動子１と同様にして、ＳＵＳ３０４あるいは
ＳＵＳ３１６で構成されている。固定子２の上段２ａの
上部には可動子１のリニアモータ界磁用永久磁石４に対
向するようにヨーク８と、リニアモータ用空芯コイル７
とが設けられ、その両側には可動子１のセンサターゲッ
ト５に対向するように、浮上用センサヘッド６が設けら
れる。固定子２の上段２ａの下部左側にはレールとなる
浮上用永久磁石継鉄１１とその右側に可動子１の浮上制
御切換用センサターゲット１４に対向するように浮上制
御切換用センサヘッド１０が設けられる。
【０００６】固定子２の上段２ａの下部右側には可動子
１の浮上用永久磁石１２に対向するように、浮上用永久
磁石継鉄１１が設けられ、その左側にはリニアモータ位
置決め用センサヘッド９が設けられる。
１の浮上用永久磁石１２に対向するように、浮上用永久
磁石継鉄１１が設けられ、その左側にはリニアモータ位
置決め用センサヘッド９が設けられる。
【０００７】上述のごとく構成された磁気浮上搬送装置
において、固定子２の上段２ａに進行方向に沿って複数
個配置された浮上制御切換用センサ１０によって可動子
１に取付けられている浮上制御切換用センサターゲット
１４が検出され、可動子１の位置が検知される。可動子
１は浮上用永久磁石１２によって上方向に吸引され、一
方制御用電磁石１６によって下方向への吸引力が働くよ
うになっているので、この電磁石の吸引力を制御するこ
とによって、浮上方向，ピッチング方向，ローリング方
向の制御が行なわれる。案内方向とヨーイング方向は、
浮上用永久磁石１２と浮上用永久磁石継鉄１１と浮上制
御用電磁石１６と浮上制御用電磁石継鉄１５との接線方
向復元力によって受動的に制御される。図４に示した磁
気浮上搬送装置は、固定子２の下段２ｃ上部に浮上制御
用電磁石１６を設け、可動子１の下部に浮上制御用電磁
石継鉄１５を設け、可動子１の上部にセンサターゲット
５を設けることにより、浮上制御用電磁石１６の磁束が
センサターゲット５にまで及ぶことはなく、センサ出力
に干渉の問題を生じることがないという特徴がある。
において、固定子２の上段２ａに進行方向に沿って複数
個配置された浮上制御切換用センサ１０によって可動子
１に取付けられている浮上制御切換用センサターゲット
１４が検出され、可動子１の位置が検知される。可動子
１は浮上用永久磁石１２によって上方向に吸引され、一
方制御用電磁石１６によって下方向への吸引力が働くよ
うになっているので、この電磁石の吸引力を制御するこ
とによって、浮上方向，ピッチング方向，ローリング方
向の制御が行なわれる。案内方向とヨーイング方向は、
浮上用永久磁石１２と浮上用永久磁石継鉄１１と浮上制
御用電磁石１６と浮上制御用電磁石継鉄１５との接線方
向復元力によって受動的に制御される。図４に示した磁
気浮上搬送装置は、固定子２の下段２ｃ上部に浮上制御
用電磁石１６を設け、可動子１の下部に浮上制御用電磁
石継鉄１５を設け、可動子１の上部にセンサターゲット
５を設けることにより、浮上制御用電磁石１６の磁束が
センサターゲット５にまで及ぶことはなく、センサ出力
に干渉の問題を生じることがないという特徴がある。
【０００８】そして、上述の磁気浮上搬送装置は、本願
発明者が特願平３−１５８６８３で提案した制御装置に
よって、固定子２上に配置されたセンサ電磁石の上を走
行するように制御される。すなわち、ギャップセンサと
して長形のセンサヘッドを用いることにより、センサと
電磁石の切換回数を減らして制御対象の走行に大きな変
動を生じさせないという利点がある。
発明者が特願平３−１５８６８３で提案した制御装置に
よって、固定子２上に配置されたセンサ電磁石の上を走
行するように制御される。すなわち、ギャップセンサと
して長形のセンサヘッドを用いることにより、センサと
電磁石の切換回数を減らして制御対象の走行に大きな変
動を生じさせないという利点がある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ところで、真空トンネ
ルにおいては、メンテナンス，雰囲気制御などを行なう
目的のために、途中にゲートバルブを設けて仕切る必要
がある。しかしながら、固定子２上に配置されているセ
ンサヘッド６や浮上制御用電磁石１６は、それぞれ隣接
するセンサや電磁石との間の隙間をできるだけ小さくす
る必要があり、固定子２を途中で分断し、ゲートバルブ
のための隙間を設けることは構造上困難であり、しかも
隙間を設けたとしても、センサをいかに配置すべきかが
問題であった。
ルにおいては、メンテナンス，雰囲気制御などを行なう
目的のために、途中にゲートバルブを設けて仕切る必要
がある。しかしながら、固定子２上に配置されているセ
ンサヘッド６や浮上制御用電磁石１６は、それぞれ隣接
するセンサや電磁石との間の隙間をできるだけ小さくす
る必要があり、固定子２を途中で分断し、ゲートバルブ
のための隙間を設けることは構造上困難であり、しかも
隙間を設けたとしても、センサをいかに配置すべきかが
問題であった。
【００１０】それゆえに、この発明の主たる目的は、固
定子側のゲートバルブを挿入できるように隙間を設け、
可動子がその隙間上を滑らかに走行できるような磁気浮
上搬送装置を提供することである。
定子側のゲートバルブを挿入できるように隙間を設け、
可動子がその隙間上を滑らかに走行できるような磁気浮
上搬送装置を提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明は電磁石と走行
位置センサなどの能動部品を固定子レール側に配置し、
それらを可動子の進行方向位置に応じて選択的に切換え
て磁気浮上のための制御を行なう磁気浮上搬送装置であ
って、固定子レールの途中にゲートバルブ弁板を挿入す
るための隙間が設けられるとともに、隙間の前後の固定
子レール上に隙間通過位置センサが設けられ、可動子隙
間を通過するときに、走行位置センサから隙間通過位置
センサを切換えるように構成される。
位置センサなどの能動部品を固定子レール側に配置し、
それらを可動子の進行方向位置に応じて選択的に切換え
て磁気浮上のための制御を行なう磁気浮上搬送装置であ
って、固定子レールの途中にゲートバルブ弁板を挿入す
るための隙間が設けられるとともに、隙間の前後の固定
子レール上に隙間通過位置センサが設けられ、可動子隙
間を通過するときに、走行位置センサから隙間通過位置
センサを切換えるように構成される。
【００１２】
【作用】この発明に係る磁気浮上搬送装置は、固定子レ
ールの途中に、隙間と隙間通過位置センサを設け、可動
子が隙間を通過するときに、通常の走行位置センサから
隙間通過位置センサを切換えることにより、隙間にゲー
トバルブ弁板を挿入することが可能になるばかりでな
く、ゲートバルブ弁板を引抜いたときに、可動子がその
隙間上を滑らかに走行するこが可能となる。
ールの途中に、隙間と隙間通過位置センサを設け、可動
子が隙間を通過するときに、通常の走行位置センサから
隙間通過位置センサを切換えることにより、隙間にゲー
トバルブ弁板を挿入することが可能になるばかりでな
く、ゲートバルブ弁板を引抜いたときに、可動子がその
隙間上を滑らかに走行するこが可能となる。
【００１３】
【実施例】図１はこの発明の一実施例における可動子を
裏面から見た図であり、図２は可動子と固定子の断面図
であり、特に、図２（ａ）は隙間部分でないところの断
面図であり、図２（ｂ）は隙間部分での断面図である。
裏面から見た図であり、図２は可動子と固定子の断面図
であり、特に、図２（ａ）は隙間部分でないところの断
面図であり、図２（ｂ）は隙間部分での断面図である。
【００１４】図２（ａ）に示すように、固定子３０の隙
間のない部分では浮上用位置センサ３１ａ，３１ｂが設
けられており、隙間のある部分では図２（ｂ）に示すよ
うに、浮上用位置センサ３１ａ，３１ｂと、隙間通過浮
上用位置センサ３２ａ，３２ｂとが設けられている。
間のない部分では浮上用位置センサ３１ａ，３１ｂが設
けられており、隙間のある部分では図２（ｂ）に示すよ
うに、浮上用位置センサ３１ａ，３１ｂと、隙間通過浮
上用位置センサ３２ａ，３２ｂとが設けられている。
【００１５】一方、可動子２０には、図１に示すよう
に、浮上用位置センサ３１ａ，３１ｂに対応するように
四隅にセンサターゲット２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１
ｄが設けられ、さらに隙間通過浮上用位置センサ３２
ａ，３２ｂに対応するようにセンサターゲット２２ａ，
２２ｂ，２２ｃ，２２ｄが設けられている。隙間部分で
はないところでは、図２（ａ）に示すように、センサヘ
ッド３１ａ，３１ｂを用いて可動子２０のセンサターゲ
ット２１ｃ，２１ｄの位置が検出され、可動子２０の上
下方向の変位が検出される。一方、隙間部分では、図２
（ｂ）に示すように、センサヘッド３１ａ，３１ｂがセ
ンサヘッド３２ａ，３２ｂに切換えられ、可動子２０の
センサターゲット２２ｃ，２２ｄの位置が測定され、可
動子２０の上下方向の変位が検出される。
に、浮上用位置センサ３１ａ，３１ｂに対応するように
四隅にセンサターゲット２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１
ｄが設けられ、さらに隙間通過浮上用位置センサ３２
ａ，３２ｂに対応するようにセンサターゲット２２ａ，
２２ｂ，２２ｃ，２２ｄが設けられている。隙間部分で
はないところでは、図２（ａ）に示すように、センサヘ
ッド３１ａ，３１ｂを用いて可動子２０のセンサターゲ
ット２１ｃ，２１ｄの位置が検出され、可動子２０の上
下方向の変位が検出される。一方、隙間部分では、図２
（ｂ）に示すように、センサヘッド３１ａ，３１ｂがセ
ンサヘッド３２ａ，３２ｂに切換えられ、可動子２０の
センサターゲット２２ｃ，２２ｄの位置が測定され、可
動子２０の上下方向の変位が検出される。
【００１６】図３は隙間通過時における浮上用位置セン
サヘッドの切換を説明するための図であり、固定子およ
び可動子の片側部分のみを図示したものである。図３
（ａ）に示すように、固定子３０には走行方向に沿って
センサヘッド４１ａ〜４１ｊが配置されており、ゲート
バルブ弁（図示せず）が挿入される隙間５０付近には、
センサヘッド４１ｆ〜４１ｉに対して平行にセンサヘッ
ド４２ｆ〜４２ｉが設けられている。今、図３（ｂ）に
示す位置から図３（ｃ）に示す位置に移動する間は、セ
ンサヘッド４１ｇと４１ｆが用いられ、これらの検出出
力を平均化することによりセンサターゲット２１ａの位
置を測定し、可動子２０の前部の変位が検出される。ま
た、センサヘッド４１ｂと４１ｃでセンサターゲット２
１ｃの位置が測定され、可動子２０の後部の変位が検出
される。可動子２０が図３（ｃ）の位置まで走行したと
きに、前部の変位を検出するセンサターゲットが２１ａ
から２２ａに切換えられ、検出に用いるセンサヘッドが
４１ｇと４１ｆから４２ｆと４２ｇに切換えられ、これ
らの検出出力の平均値がセンサ信号とされる。可動子２
０の後部の変位はセンサヘッド４１ｃと４１ｄとが用い
られ、センサターゲット２１の位置を測定して検出す
る。
サヘッドの切換を説明するための図であり、固定子およ
び可動子の片側部分のみを図示したものである。図３
（ａ）に示すように、固定子３０には走行方向に沿って
センサヘッド４１ａ〜４１ｊが配置されており、ゲート
バルブ弁（図示せず）が挿入される隙間５０付近には、
センサヘッド４１ｆ〜４１ｉに対して平行にセンサヘッ
ド４２ｆ〜４２ｉが設けられている。今、図３（ｂ）に
示す位置から図３（ｃ）に示す位置に移動する間は、セ
ンサヘッド４１ｇと４１ｆが用いられ、これらの検出出
力を平均化することによりセンサターゲット２１ａの位
置を測定し、可動子２０の前部の変位が検出される。ま
た、センサヘッド４１ｂと４１ｃでセンサターゲット２
１ｃの位置が測定され、可動子２０の後部の変位が検出
される。可動子２０が図３（ｃ）の位置まで走行したと
きに、前部の変位を検出するセンサターゲットが２１ａ
から２２ａに切換えられ、検出に用いるセンサヘッドが
４１ｇと４１ｆから４２ｆと４２ｇに切換えられ、これ
らの検出出力の平均値がセンサ信号とされる。可動子２
０の後部の変位はセンサヘッド４１ｃと４１ｄとが用い
られ、センサターゲット２１の位置を測定して検出す
る。
【００１７】なお、図３（ｃ）の位置から図３（ｄ）に
至る間においては、図３（ｂ）から図３（ｃ）に至る通
常走行時とはセンサターゲットが異なり、制御対象に差
異が生じる。したがって、この間は制御回路の定数を変
更して浮上制御を行なう場合も生じる。
至る間においては、図３（ｂ）から図３（ｃ）に至る通
常走行時とはセンサターゲットが異なり、制御対象に差
異が生じる。したがって、この間は制御回路の定数を変
更して浮上制御を行なう場合も生じる。
【００１８】次に、可動子２０が図３（ｄ）の位置まで
走行したとき、前部の変位を検出するセンサターゲット
を２２ａから再び２１ａに切換え、検出に用いるセンサ
ヘッドを４２ｆと４２ｇから４１ｈと４１ｉとに切換え
られる。同様にして、後部はセンサヘッド４１ｃと４１
ｄから４１ｄと４１ｅに切換えられる。同時に、制御回
路の定数も通常走行時のものに戻される。
走行したとき、前部の変位を検出するセンサターゲット
を２２ａから再び２１ａに切換え、検出に用いるセンサ
ヘッドを４２ｆと４２ｇから４１ｈと４１ｉとに切換え
られる。同様にして、後部はセンサヘッド４１ｃと４１
ｄから４１ｄと４１ｅに切換えられる。同時に、制御回
路の定数も通常走行時のものに戻される。
【００１９】上述の動作により、可動子２０の前部は固
定子３０の隙間５０上を通過することが可能となり、後
部についても同様の動作により隙間５０の通過が可能に
なる。
定子３０の隙間５０上を通過することが可能となり、後
部についても同様の動作により隙間５０の通過が可能に
なる。
【００２０】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、固定
子レールの途中にゲートバルブ弁を挿入するための隙間
を設けるとともに、この隙間の前後の固定子レール上に
隙間通過位置センサを設け、可動子が隙間を通過すると
きに、走行位置センサから隙間通過位置センサに切換え
ることにより、可動子を隙間上でも滑らかに走行させる
ことが可能になる。
子レールの途中にゲートバルブ弁を挿入するための隙間
を設けるとともに、この隙間の前後の固定子レール上に
隙間通過位置センサを設け、可動子が隙間を通過すると
きに、走行位置センサから隙間通過位置センサに切換え
ることにより、可動子を隙間上でも滑らかに走行させる
ことが可能になる。
【図１】この発明の一実施例における可動子を裏面から
見た図である。
見た図である。
【図２】可動子と固定子の断面図である。
【図３】可動子が固定子レールの隙間を通過する動作を
説明するための図である。
説明するための図である。
【図４】本願発明者が提案した磁気浮上搬送装置の断面
図である。
図である。
【符号の説明】 ２０ 可動子 ２１ａ〜２１ｄ，２２ａ〜２２ｄ センサターゲット ３１ａ，３１ｂ，３２ａ，３２ｂ，４１ａ〜４１ｊ，４
２ｆ〜４２ｉ センサヘッド ３０ 固定子レール ５０ 隙間
２ｆ〜４２ｉ センサヘッド ３０ 固定子レール ５０ 隙間
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｂ６１Ｂ 13/08 Ｂ 9255−3Ｄ
Claims (1)
- 【請求項１】 電磁石と走行位置センサなどの能動部品
を固定子レール側に配置し、それらを可動子の進行方向
位置に応じて選択的に切換えて磁気浮上のための制御を
行なう磁気浮上搬送装置において、 前記固定子レールの途中にゲートバルブ弁板を挿入する
ための隙間が設けられるとともに、前記隙間の前後の前
記固定子レール上に隙間通過位置センサが設けられ、 前記可動子が前記隙間を通過するときに、前記走行位置
センサから前記隙間通過位置センサに切換えるようにし
たことを特徴とする、磁気浮上搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4167140A JPH0614412A (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 磁気浮上搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4167140A JPH0614412A (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 磁気浮上搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0614412A true JPH0614412A (ja) | 1994-01-21 |
Family
ID=15844172
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4167140A Withdrawn JPH0614412A (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 磁気浮上搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0614412A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110844184A (zh) * | 2019-12-13 | 2020-02-28 | 晋江海纳机械有限公司 | 一种高速堆垛机及方法 |
| JP2022142568A (ja) * | 2021-03-16 | 2022-09-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板を処理する装置及び基板を搬送する方法 |
| JP2025019258A (ja) * | 2020-08-24 | 2025-02-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板を処理する装置、及び基板を処理する方法 |
-
1992
- 1992-06-25 JP JP4167140A patent/JPH0614412A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110844184A (zh) * | 2019-12-13 | 2020-02-28 | 晋江海纳机械有限公司 | 一种高速堆垛机及方法 |
| JP2025019258A (ja) * | 2020-08-24 | 2025-02-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板を処理する装置、及び基板を処理する方法 |
| JP2022142568A (ja) * | 2021-03-16 | 2022-09-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板を処理する装置及び基板を搬送する方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990831 |