JPH07228346A - 搬送装置、搬送処理装置及び被処理物搬送処理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】半導体基板等の被処理物を搭載した被搬送物体
について、主搬送路と分岐又は交差した副搬送路との間
において無摺動で高速切り替え搬送を可能にして被処理
物を多数の製造装置の各々に投入できるようにしてプロ
セス処理を施す。 【構成】被搬送物体を搬送するための主搬送路１２０
と、被搬送物体を搬送するための副搬送路１２１と、交
差点若しくは分岐点において主搬送路１２０と副搬送路
１２１とを交差若しくは分岐させる交差若しくは分岐搬
送路部１２２とを備え、被搬送物体を浮上させるための
浮上手段１４と、浮上される被搬送物体を、交差点若し
くは分岐点の近傍における主搬送路１２０及び副搬送路
１２１の各々に沿って誘導し、交差若しくは分岐搬送路
部１２２において被搬送物体２０の回転を抑制する誘導
手段と、被搬送物体を磁気的若しくは電磁気的に駆動し
て搬送する磁気若しくは電磁気駆動手段と、交差若しく
は分岐搬送路部１０ｃの電磁気駆動切替制御手段とを備
える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体基板等の被処理
物を搭載した被搬送物体を、主搬送路と該主搬送路と分
岐又は交差した副搬送路との間において無摺動で高速切
り替え搬送を可能にし、被処理物を処理装置に投入して
プロセス処理できるようにした搬送装置、搬送処理装置
及び被処理物搬送処理方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ガス浮上の搬送装置として、例え
ば特開平２−７０６１７号公報記載のように搬送路の左
右に電極を設け、この電極と被搬送物体からなる静電力
で被搬送物体を搬送路の中心付近に保って搬送するもの
や、例えば特開平２−３３０３１号公報記載のように搬
送路長手方向に第１の磁性体を設け、被搬送物体に回転
対称もしくは１軸対称に第２の磁性体を設け、これらの
磁性体間の磁力によって被搬送物体を搬送路の中央付近
に保って搬送する装置が知られていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】実際の半導体等の製造
ラインにおいて被処理物の搬送を考えた場合、被処理物
が多数の製造装置に投入されて製造されるため、被処理
物を搭載した被搬送物体の分岐合流が多くの個所で必要
となる。即ち、通常の多数の製造装置が並列に配置さ
れ、被処理物が各製造装置にほぼ並列に投入される関係
で、ほぼ直角に交差又は分岐する搬送路が必要である。

【０００４】しかしながら、上記従来技術においては、
この交差又は分岐搬送を、発塵の少ない無摺動で、しか
も高速で実現しようとすることについては、考慮されて
いなかった。

【０００５】一方、従来は、上記交差又は分岐点に機械
的な回転テーブルやシフトテーブル等を備えて、該回転
テーブルやシフトテーブル上に被搬送物体を載せて回転
テーブルやシフトテーブルを駆動することによって被搬
送物体の搬送方向を替えていた。このように、交差又は
分岐搬送に、機械的動作を伴うため高速な搬送ができ
ず、しかも摺動が伴うため発塵が生じるという課題を有
していた。

【０００６】本発明の目的は、上記従来技術の課題を解
決すべく、被搬送物体に対して分岐または交差搬送を無
摺動で、しかも高速で実現した搬送装置を提供すること
にある。

【０００７】また本発明の他の目的は、半導体基板等の
被処理物を搭載した被搬送物体について、主搬送路と該
主搬送路と分岐又は交差した副搬送路との間において無
摺動で高速切り替え搬送を可能にして被処理物を多数の
製造装置の各々に投入できるようにしてプロセス処理を
施すようにした搬送処理装置および被処理物搬送処理方
法を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、被搬送物体を搬送するための主搬送路
と、前記被搬送物体を搬送するための副搬送路と、交差
点若しくは分岐点において前記主搬送路と前記副搬送路
とを交差若しくは分岐させる交差若しくは分岐搬送路部
とを備え、前記被搬送物体を前記主搬送路、前記副搬送
路及び前記交差若しくは分岐搬送路部の各々から浮上さ
せるための浮上手段を前記主搬送路、前記副搬送路及び
前記交差若しくは分岐搬送路部の各々に備え、前記浮上
手段で浮上される被搬送物体を、少なくとも前記交差点
若しくは分岐点の近傍における主搬送路及び副搬送路の
各々に沿って誘導し、前記交差若しくは分岐搬送路部に
おいて前記被搬送物体の回転を抑制する誘導手段を前記
主搬送路、前記副搬送路及び前記交差若しくは分岐搬送
路部の各々に備え、該誘導手段で主搬送路及び副搬送路
の各々に沿って誘導される被搬送物体を磁気的若しくは
電磁気的に駆動して搬送する磁気若しくは電磁気駆動手
段を備え、前記誘導手段及び前記磁気若しくは電磁気駆
動手段によって前記主搬送路又は副搬送路に沿って誘導
搬送されて交差点若しくは分岐点に到達した被搬送物を
該交差点若しくは分岐点から前記誘導手段及び前記磁気
若しくは電磁気駆動手段によって副搬送路又は主搬送路
に沿って誘導搬送させるように、前記交差若しくは分岐
搬送路部において磁気的若しくは電磁気的に駆動力付与
方向を切り替えて制御する磁気若しくは電磁気駆動切替
制御手段を備えたことを特徴とする搬送装置である。

【０００９】また本発明は、被搬送物体を搬送するため
の主搬送路と、前記被搬送物体を搬送するための副搬送
路と、交差点若しくは分岐点において前記主搬送路と前
記副搬送路とを交差若しくは分岐させる交差若しくは分
岐搬送路部とを備え、前記被搬送物体を前記主搬送路、
前記副搬送路及び前記交差若しくは分岐搬送路部の各々
から浮上させるための浮上手段を前記主搬送路、前記副
搬送路及び前記交差若しくは分岐搬送路部の各々に備
え、前記浮上手段で浮上される被搬送物体を、少なくと
も前記交差点若しくは分岐点の近傍における主搬送路及
び副搬送路の各々に沿って磁気的若しくは電磁気的に誘
導しながら磁気的若しくは電磁気的に駆動して搬送する
磁気若しくは電磁気誘導・駆動手段を備え、該磁気若し
くは電磁気誘導・駆動手段によって前記主搬送路又は副
搬送路に沿って誘導搬送されて交差点若しくは分岐点に
到達した被搬送物を該交差点若しくは分岐点から前記磁
気若しくは電磁気誘導・駆動手段によって副搬送路又は
主搬送路に沿って誘導搬送させるように、前記交差若し
くは分岐搬送路部において磁気的若しくは電磁気的に駆
動力付与方向を切り替えて制御する磁気若しくは電磁気
駆動切替制御手段を備えたことを特徴とする搬送装置で
ある。また本発明は、前記搬送装置において、前記磁気
若しくは電磁気誘導・駆動手段は、前記被搬送物体の底
部に設けられた磁石体と前記主搬送路及び副搬送路の各
々の上面に搬送方向に沿って延びて配設された磁性体と
の間で作用する磁力によって前記被搬送物体を主搬送路
及び副搬送路の各々に沿って誘導するように構成した磁
気若しくは電磁気誘導手段を有することを特徴とする。
また本発明は、前記搬送装置において、前記磁気若しく
は電磁気誘導・駆動手段は、前記被搬送物体の底部に設
けられた磁性体若しくは電導体と前記主搬送路及び副搬
送路の各々の上面に搬送方向に沿って延びて配設された
推進磁界発生体との間で作用する推進力によって前記被
搬送物体を主搬送路及び副搬送路の各々に沿って駆動し
て搬送するように構成した磁気若しくは電磁気駆動手段
を有することを特徴とする。また本発明は、前記搬送装
置において、前記磁気若しくは電磁気駆動切替制御手段
は、前記被搬送物体の底部に交差するように複数設けら
れた磁性体若しくは電導体と前記交差若しくは分岐搬送
路部の上面に交差するように複数配設された推進磁界発
生体との各々の間で作用する推進力を切り替え制御する
ことによって前記被搬送物体を交差若しくは分岐する主
搬送路の搬送方向と副搬送路の搬送方向との間において
切り替え駆動して交差搬送若しくは分岐搬送するように
構成したことを特徴とする。また本発明は、前記搬送装
置において、前記磁気若しくは電磁気駆動切替制御手段
は、更に前記被搬送物体の底部に交差するように複数設
けられた磁石体と前記交差若しくは分岐搬送路部の上面
に交差するように配設された磁性体との間で作用する磁
力によって前記被搬送物体を交差する各々の方向に沿っ
て誘導するように構成したことを特徴とする。

【００１０】また本発明は、被処理物を搭載した被搬送
物体を搬送するための主搬送路と、前記被搬送物体を搬
送するための副搬送路と、交差点若しくは分岐点におい
て前記主搬送路と前記副搬送路とを交差若しくは分岐さ
せる交差若しくは分岐搬送路部とを備え、前記被搬送物
体を前記主搬送路、前記副搬送路及び前記分岐させる交
差若しくは分岐搬送路部の各々から浮上させるための浮
上手段を前記主搬送路、前記副搬送路及び前記交差若し
くは分岐搬送路部の各々に備え、前記浮上手段で浮上さ
れる被搬送物体を、少なくとも前記交差点若しくは分岐
点の近傍における主搬送路及び副搬送路の各々に沿って
磁気的若しくは電磁気的に誘導しながら磁気的若しくは
電磁気的に駆動して搬送する磁気若しくは電磁気誘導・
駆動手段を備え、該磁気若しくは電磁気誘導・駆動手段
によって前記主搬送路又は副搬送路に沿って誘導搬送さ
れて交差点若しくは分岐点に到達する被搬送物体を該交
差点若しくは分岐点から前記磁気若しくは電磁気誘導・
駆動手段によって前記副搬送路又は主搬送路に沿って誘
導搬送させるように、前記交差若しくは分岐搬送路部に
おいて磁気的若しくは電磁気的に駆動力付与方向を切り
替え制御する磁気若しくは電磁気駆動切替制御手段を備
え、前記被処理物に対して処理を施す処理装置を、前記
副搬送路の所定個所に関連した位置に設置し、前記副搬
送路において前記所定個所へ搬送されてきた前記被搬送
物体に搭載された被処理物を前記処理装置の投入口へ移
し替える移し替え手段を設置したことを特徴とする搬送
処理装置である。

【００１１】また本発明は、被搬送物体を搬送するため
の主搬送路と、前記被搬送物体を搬送するための副搬送
路と、交差点若しくは分岐点において前記主搬送路と前
記副搬送路とを交差若しくは分岐させる交差若しくは分
岐搬送路部とを備え、前記被搬送物体を前記主搬送路、
前記副搬送路及び前記交差若しくは分岐搬送路部の各々
から気体圧によって浮上させるための気体浮上手段を前
記主搬送路、前記副搬送路及び前記交差若しくは分岐搬
送路部の各々に備え、前記被搬送物体の両側面に気体を
吹き付けて前記被搬送物体の横方向の振動を抑える気体
振動抑制手段を前記主搬送路及び前記副搬送路の各々に
おける少なくとも前記交差点若しくは分岐点の近傍に備
え、前記気体浮上手段で浮上され、前記気体振動抑制手
段で横方向の振動が抑えられる被搬送物体を、少なくと
も前記交差点若しくは分岐点の近傍における主搬送路及
び副搬送路の各々に沿って磁気的若しくは電磁気的に駆
動して搬送する磁気若しくは電磁気駆動手段を備え、該
磁気若しくは電磁気駆動手段によって前記主搬送路又は
副搬送路に沿って搬送されて交差点若しくは分岐点に到
達する被搬送物体を該交差点若しくは分岐点から前記磁
気若しくは電磁気駆動手段によって前記副搬送路又は主
搬送路に沿って搬送させるように、前記交差若しくは分
岐搬送路部において磁気的若しくは電磁気的に駆動力付
与方向を切り替え制御する磁気若しくは電磁気駆動切替
制御手段を備えたことを特徴とする搬送装置である。

【００１２】また本発明は、被処理物を搭載した被搬送
物体を搬送するための主搬送路と、前記被搬送物体を搬
送するための副搬送路と、交差点若しくは分岐点におい
て前記主搬送路と前記副搬送路とを交差若しくは分岐さ
せる交差若しくは分岐搬送路部とを備え、前記被搬送物
体を前記主搬送路、前記副搬送路及び前記交差若しくは
分岐搬送路部の各々から気体圧によって浮上させるため
の気体浮上手段を前記主搬送路、前記副搬送路及び前記
交差若しくは分岐搬送路部の各々に備え、前記被搬送物
体の両側面に気体を吹き付けて前記被搬送物体の横方向
の振動を抑える気体振動抑制手段を少なくとも前記主搬
送路及び前記副搬送路の各々における少なくとも前記交
差点若しくは分岐点の近傍に備え、前記気体浮上手段で
浮上され、前記気体振動抑制手段で横方向の振動が抑え
られる被搬送物体を、少なくとも前記交差点若しくは分
岐点の近傍における主搬送路及び前記副搬送路の各々に
沿って磁気的若しくは電磁気的に駆動して搬送する磁気
若しくは電磁気駆動手段を備え、該磁気若しくは電磁気
駆動手段によって前記主搬送路又は副搬送路に沿って搬
送されて交差点若しくは分岐点に到達する被搬送物体を
該交差点若しくは分岐点から前記磁気若しくは電磁気駆
動手段によって前記副搬送路又は主搬送路に沿って搬送
させるように、前記交差若しくは分岐搬送路部において
磁気的若しくは電磁気的に駆動力付与方向を切り替え制
御する磁気若しくは電磁気駆動切替制御手段を備え、前
記被処理物に対して処理を施す処理装置を、前記副搬送
路の所定個所に関連した位置に設置し、前記副搬送路に
おいて前記所定個所へ搬送されてきた前記被搬送物体に
搭載された被処理物を前記処理装置の投入口へ移し替え
る移し替え手段を設置したことを特徴とする搬送処理装
置である。

【００１３】また本発明は、被処理物を搭載した被搬送
物体を主搬送路に沿って浮上手段で浮上させて搬送し
て、被搬送物体を前記主搬送路における交差点若しくは
分岐点の近傍において浮上手段で浮上させながら磁気若
しくは電磁気誘導・駆動手段により前記主搬送路に沿っ
て交差点若しくは分岐点に向かって磁気的若しくは電磁
気的に誘導搬送し、この誘導搬送された被搬送物体に対
して交差点若しくは分岐点において浮上手段で浮上させ
ながら磁気若しくは電磁気駆動切替制御手段により磁気
的若しくは電磁気的に駆動力付与方向を切り替え制御
し、この切り替え制御された被搬送物体を、前記主搬送
路と交差若しくは分岐して設けられた副搬送路における
交差点若しくは分岐点の近傍において浮上手段で浮上さ
せながら磁気若しくは電磁気誘導・駆動手段により前記
副搬送路に沿って交差点若しくは分岐点から離れる方向
に向かって磁気的若しくは電磁気的に誘導搬送して、更
に被搬送物体を前記副搬送路に沿って浮上させて所定個
所まで搬送し、この所定個所へ搬送されてきた被搬送物
体に搭載された被処理物を移し替え手段により処理装置
の投入口へ移し替え、この移し替えされた被処理物を処
理装置において投入して所定の処理を施すことを特徴と
する被処理物搬送処理方法である。

【００１４】また本発明は、被処理物を搭載した被搬送
物体を主搬送路に沿って気体圧で浮上させて搬送して、
被搬送物体を前記主搬送路における交差点若しくは分岐
点の近傍において気体圧で浮上させながら、更に両側面
に気体を吹き付けて被搬送物体の横方向の振動を抑えな
がら、磁気若しくは電磁気駆動手段により前記主搬送路
に沿って交差点若しくは分岐点に向かって磁気的若しく
は電磁気的に搬送し、この搬送された被搬送物体に対し
て交差点若しくは分岐点において浮上手段で浮上させな
がら磁気若しくは電磁気駆動切替制御手段により磁気的
若しくは電磁気的に駆動力付与方向を切り替え制御し、
この切り替え制御された被搬送物体を、前記主搬送路と
交差若しくは分岐して設けられた副搬送路における交差
点若しくは分岐点の近傍において浮上手段で浮上させな
がら磁気若しくは電磁気誘導・駆動手段により前記副搬
送路に沿って交差点若しくは分岐点から離れる方向に向
かって磁気的若しくは電磁気的に誘導搬送して、更に被
搬送物体を前記副搬送路に沿って浮上させて所定個所ま
で搬送し、この所定個所へ搬送されてきた被搬送物体に
搭載された被処理物を移し替え手段により処理装置の投
入口へ移し替え、この移し替えされた被処理物を処理装
置において投入して所定の処理を施すことを特徴とする
被処理物搬送処理方法である。

【００１５】また本発明は、被搬送物体に対して浮上気
体を吹き付けて被搬送物体を搬送路から浮上させる浮上
手段と、該浮上手段で浮上される被搬送物体を、前記搬
送路に沿って磁気的若しくは電磁気的に誘導しながら磁
気的若しくは電磁気的に駆動して搬送する磁気若しくは
電磁気誘導・駆動手段とを備えたことを特徴とする搬送
装置である。また本発明は、被搬送物体に対して浮上気
体を吹き付けて被搬送物体を搬送路から浮上させる浮上
手段と、該浮上手段で浮上される被搬送物体の両側面に
気体を吹き付けて被搬送物体の少なくとも横方向の振動
を抑える気体振動抑制手段と、前記浮上手段で浮上さ
れ、前記気体振動抑制手段により横方向の振動が抑えら
れた被搬送物体を、前記搬送路に沿って磁気的若しくは
電磁気的に誘導しながら磁気的若しくは電磁気的に駆動
して搬送する磁気若しくは電磁気誘導・駆動手段とを備
えたことを特徴とする搬送装置である。

【００１６】

【作用】前記構成により、例えば、半導体等の製造ライ
ンにおいて、多数の製造装置（例えばレジスト塗布装
置、投影露光装置、現像装置、スパッタ成膜装置、ＣＶ
Ｄ装置、エッチング装置、洗浄装置等）で処理される半
導体基板（ウエハ）等の被処理物を被搬送物体に搭載し
て上記多数の製造装置間を、主搬送路、副搬送路及び該
主搬送路と副搬送路を交差又は分岐させた交差又は分岐
搬送路部を用いて無摺動により発塵の発生を著しく低減
して、しかも高速で搬送することができ、その結果、半
導体基板（ウエハ）等の被処理物を、多数の処理装置
（製造装置）の各々に投入できるようにしてプロセス処
理を施すことができる。即ち、半導体基板（ウエハ）等
の被処理物について、プロセス処理を施す多数の処理装
置（製造装置）間において、無摺動により発塵の発生を
著しく低減して、しかも高速で搬送することができ、高
歩留まりで、被処理物のストックを低減した生産性の優
れた半導体等の製造ラインを構築することができる。

【００１７】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明
する。図１は主要部の斜視図である。搬送路１０は、直
線駆動部分ユニット１０ａ、直線非駆動部分ユニット１
０ｂ、交差部分ユニット１０ｃに分割可能で、各々はユ
ニット構造であり、建屋構造や製造装置配置に併せて搬
送路１０を任意に組み合わせることにより実現できる。
即ち、搬送路１０は、図１２に示すように、直線駆動部
分ユニット１０ａ1と直線駆動部分ユニット１０ａ4と直
線非駆動部分ユニット１０ｂ1とで構成された主搬送路
１２０と、該主搬送路から交差部分ユニット１０ｃにお
いて交差若しくは分岐し、直線駆動部分ユニット１０ａ
3と直線非駆動部分ユニット１０ｂ2と直線駆動部分ユニ
ット１０ｄとで構成された副搬送路１２１と、前記交差
部分ユニット１０ｃ等で構成された交差若しくは分岐搬
送路部１２２とで構成される。そして、副搬送路１２１
の所定の個所には、搬送されてきた被搬送物１００に搭
載された例えばカセットに収納された半導体ウエハ等の
被処理物をカセットと一緒に処理装置（製造装置：例え
ばレジスト塗布装置、投影露光装置、現像装置、スパッ
タ成膜装置、ＣＶＤ装置、エッチング装置、洗浄装置
等）１２５の投入口１２６へ移し替えるロボット等で構
成されたハンドリング装置１２７が設置されている。な
お、このハンドリング装置は、移動可能であっても良
い。また副搬送路１２１は、処理装置１２５の投入口と
接続され、処理装置１２５内において、被搬送物１００
に搭載された例えばカセットに収納された半導体ウエハ
等の被処理物を移し替えても良い。

【００１８】各ユニット１０ａ〜ｃは、アルミ合金性の
支持体１１ａ〜１１ｃによって形作られており、中心軸
上の表面に珪素鋼板の積層体である誘導用軟磁性体１２
ａ〜１２ｃを有している。特に交差点部分１０ｃでは誘
導用軟磁性体１２ｃは十文字に構成されている。また、
誘導用軟磁性体１２ａ〜１２ｃは中心部分に溝１６を有
している。また、直線駆動部分１０ｂ、交差点部分１０
ｃにおいては、搬送路の中心軸を対称軸として進行磁界
発生コイル１３ａ及び１３ｃが２組配置されている。交
差点部分１０ｃでは進行磁界発生コイル１３ｃは＃記号
の形状に配置されている。また、溝１６は進行磁界発生
コイル１３の誘導用軟磁性体１２に交差する部分の表面
にも存在する。また、各ユニット１０ａ〜ｃの両端部付
近には一定の間隔で複数の気体ノズル１４が設置され、
気体ノズル１４は互いに気体通路１５で連結されてお
り、気体通路１５内部に高圧の気体を充填することで気
体ノズル１４から空気等の気体が噴出するようになって
いる。

【００１９】また、各ユニット１０ａ〜ｃは、表面を溝
１６を除いて概略平面状に成形されている。また、各ユ
ニット１０ａ〜ｃの側面には、交差点の近くに移動体２
０（被搬送物１００）が来たことを検知する反射式の光
センサ１７が設置されている。

【００２０】移動体２０は、支持体２１と、該支持体２
１上に設置された被搬送物１００を積載する積載台２８
とで構成されている。上記アルミ合金性の支持体２１
は、アルミ合金によって形作られており、搬送路１２
０、１２１、１２２上に形成された誘導用軟磁性体１２
ａ〜ｃに対向する位置に４辺の中央付近に永久磁石２２
を埋め込んでいる。また支持体２１は、４辺に平行し
て、搬送路１２０、１２１、１２２上に形成された進行
磁界発生コイル１３に対向する位置に、櫛歯状の軟磁性
体と歯の間を埋める非磁性体から構成された軟磁性体２
３が設けられいる。そしてこの軟磁性体２３は、搬送路
１２０、１２１、１２２上に設けた進行磁界発生コイル
１３と共にリニアモータを構成している。

【００２１】また支持体２１（移動体２０）の中央部に
溝１６に余裕をもって入り込む大きさのローラユニット
２６が設けられ、図１にはその一部である回転軸が見え
ている。図１には図示していないが、移動体２０の下面
にローラ２６ａが突出し、溝１６に余裕を持って入り込
んでいるため、通常の搬送中はローラ２６ａと溝１６は
接触しないが、万一の異常の場合に、ローラ２６ａが溝
１６の側壁に回転接触し、移動体２０の移動を制限する
ため、搬送路１０からの脱落を防止できる。

【００２２】また、支持体２１（移動体２０）の下面
は、ローラ２６ａ以外は概略平面に成形されているた
め、搬送路１０の上面と対向し、搬送路１０に設けられ
た気体ノズル（気体浮上手段）１４から噴出する空気等
の気体によって気体浮上を実現しており、無摺動搬送を
実現している。また、支持体２１（移動体２０）の裏面
には、櫛歯状のドグ２７（図示せず）が設置されてお
り、このドグ２７が光センサ１７の上を通過すること
で、移動体２０の位置と速度が判る位置・速度センサを
形成している。このドグ２７は、裏面に印刷によって描
かれた縞模様であり、浮上力のアンバランスや、電磁気
上の影響を発生しない。

【００２３】図２は、図１の横断面図をしめす。図１で
は省略した整流板１８が搬送路１０の両端部に設置され
ている。この整流板１８は、移動体２０の前後において
浮上用の空気等の噴出気体が塵挨を巻き上げて移動体２
０に設けた積載台２８に搭載された被処理物１００を汚
染することの無いように、噴出気体を下方に降ろす効果
がある。また搬送路１０は、タイロッド１９で一体に固
定されている。タイロッド１９は、ボルト部１９ａとナ
ット部１９ｂから構成され、ボルト部１９ａの首部分に
は、一定の太さの部分が設けてあり、この部分が搬送路
１０の対応する部品の穴部分と勘合し、搬送路１０の部
品がずれることを防止している。

【００２４】図３は、本実施例のリニアモータの部分縦
断面図である。軟磁性体２３は、微細な櫛歯を等間隔で
設けた積層珪素鋼板からなる磁心２３１と、各々の微細
な櫛歯の凹み部分を充填し表面を平滑にする非磁性の充
填材２３３から構成されている。一方、進行磁界発生コ
イル１３は、連続した櫛歯上の概略形状を有し、更に櫛
歯の先端にも微細な櫛歯を有する形状の積層珪素鋼板か
らなる磁心１３１と、各々の大きな方の櫛歯に巻き付け
られたコイル１３２と、コイルの空隙及び微細な櫛歯の
凹み部分を充填し表面を平滑にする非磁性の充填材１３
３から構成されている。

【００２５】ここで、軟磁性体２３と進行磁界発生コイ
ル１３は、気体浮上によるわずかな空隙を介して近接し
ている。ここで、進行磁界発生コイル１３の微細な櫛歯
は、大きな櫛歯毎に僅かに軟磁性体２３の微細な櫛歯と
位相ズレを起こす位置に配置されており、このため、各
々のコイルに多相の電流を流して、進行磁界を発生させ
ると、駆動力が発生する。なお、磁心１３１には先に述
べたタイロッド１９と勘合する穴１３１１が設けられて
いる。図４に本実施例の制御系をしめす。制御系３０
は、位置検出ユニット３１、速度検出ユニット３２、状
態推定ユニット３３、運行計画ユニット３４、偏差評価
ユニット３５、異常監視ユニット３６および出力ユニッ
ト３７から構成される。複数の光センサ１７からの検出
信号は、位置検出ユニット３１および速度検出ユニット
３２に各々入力される。位置検出ユニット３１は、既知
のセンサ１７の配置と入力信号から現時点の移動体２０
の位置を検出する。一方、速度検出ユニット３２は入力
信号の周波数から現時点の移動体２０の移動速度を検出
する。両ユニット３１および３２は、移動体２０がいず
れかの光センサ１７を通過中にのみ有為の信号を出力す
る。

【００２６】位置検出ユニット３１および速度検出ユニ
ット３２の出力信号は、状態推定ユニット３３に入力さ
れる。状態推定ユニット３３は、間欠的に得られる移動
体２０の状態量（位置及び速度）である入力信号（位置
信号及び速度信号）から、連続的な移動体（被搬送物
体）２０の移動状態（被搬送物体２０の搬送状態、特に
被処理物１００が交差点に入る状態、交差点から出る状
態）を補完して推定する。状態推定ユニット３３の出力
信号は、運行計画ユニット３４および偏差評価ユニット
３５に入力される。

【００２７】一方、中央制御コンピュータ３８は、入力
される半導体ウエハ等の被処理物の製造計画（生産計
画）に基づいて、各被処理物を多数の処理装置（製造装
置）１２５の各々の投入口へ投入計画を立案し、該投入
計画に基づいて、例えばカセットに収納した状態で被処
理物１００を搭載した移動体（被搬送物体）２０につい
て、搬送路１０上における搬送経路を算出して運行計画
ユニット３４に提供する。運行計画ユニット３４は、中
央制御コンピュータ３８からの半導体ウエハ等の被処理
物を搭載した被搬送物の搬送路１０上における搬送経路
要求に基づいて、状態推定ユニット３３の出力（被搬送
物（移動体）２０の搬送状態、特に被搬送物が交差点に
入る状態、交差点から出る状態）を勘案して運行計画を
立案し、出力信号として偏差評価ユニット３５に入力す
る。なお、運行計画ユニット３４は、別途、異常監視ユ
ニット３６からも異常信号を受け付け、異常発生時には
非常停止やう回路選定等の対応策を計画する。

【００２８】偏差評価ユニット３５は、状態推定ユニッ
ト３３の出力信号と、運行計画ユニット３４の出力信号
を比較し、なおかつ移動体２０がリニアモータの有効範
囲にある場合は、移動体２０の加速・減速または保持の
指令及び交差点において搬送方向の切り替え制御する指
令を出力ユニット３７に行う。また、状態推定ユニット
３３の出力信号と、運行計画ユニット３４の出力信号の
偏差が過大で回復不能と判断した場合は、異常監視ユニ
ット３６に異常信号を出力する。また、偏差評価ユニッ
ト３５は、異常監視ユニット３６からの非常停止信号を
受け付け非常停止処理を行う。

【００２９】出力ユニット３７は、偏差評価ユニット３
５からの指令もとに各コイル１３２に流す駆動電流を計
算し、計算された駆動電流を複数のコイル１３２の内の
必要なコイル１３２に駆動電流を供給し、主搬送路１２
０における各直線駆動部分ユニット１０ａ1、１０ａ4の
各進行磁界発生コイル１３ａ1’，１３ａ1”、１３ａ
4’，１３ａ4”を駆動制御し、副搬送路１２１における
各直線駆動部分ユニット１０ａ2の各進行磁界発生コイ
ル１３ａ2’，１３ａ2”を駆動制御し、交差若しくは分
岐搬送路部１２２における井桁状の各進行磁界発生コイ
ル１３ｃ’、１３ｃ”を切り替え駆動制御する。さらに
出力ユニット３７は電流の異常を監視し、電流を流すべ
きコイル１３２に過大な電流が流れた場合や、過大な電
圧が発生した場合は、対応するコイル１３２の短絡もし
くは断線と判断し、異常監視ユニット３６に異常信号を
出力する。

【００３０】異常監視ユニット３６は、偏差評価ユニッ
ト３６及び出力ユニット３７からの出力並びに電源・気
体源異常等の外部異常（図示せず）を受け付け、その緊
急度に応じて運行計画ユニット３４に各種警告信号およ
び非常停止信号を出力し、また非常停止信号は、偏差評
価ユニット３５にも出力する。なお、移動体２０は、必
要に応じて複数個運行するので、制御系３０の各ユニッ
ト３１から３７は、複数の移動体２０を同時に判別して
制御することが可能な内部構成を取っている。

【００３１】次に動作について説明する。例えば、図１
２に示すように、ある処理装置（製造装置）１２５でプ
ロセス処理された被処理物（半導体基板等）１００は、
投入口１２６に出され、ロボット等で構成されたハンド
リング装置１２７によって副搬送路１２１の所定個所に
来ている被搬送物体（移動体）２０上に搭載される。該
副搬送路１２１の所定個所において、被処理物１００が
搭載された被搬送物（移動体）２０は、気体浮上手段１
３で浮上させられた状態で、その部分に設けられた直線
駆動部分１０ｄによって駆動されて分岐点方向へ進行搬
送される。そして、被搬送物（移動体）２０は、上記直
線駆動部分ユニット１０ｄの駆動力によって直線非駆動
部分ユニット１０ｂ2を気体浮上手段１３で浮上させら
れた状態で進行して搬送され、直線駆動部分ユニット１
０ａ3に到達する。このとき、図１０に示すように、被
搬送物（移動体）２０に対して、両側から気体ノズル
（気体振動抑制手段）３０１から気体を吹き付けて、被
搬送物（移動体）２０が横方向及び回転方向に振動する
のを抑制するのが良い。被搬送物（移動体）２０が直線
駆動部分ユニット１０ａ3に到達すると光センサ１７に
よって移動速度も含めて検知され、この検知された移動
速度、及び光センサ１７と交差点との間の距離に基づい
て交差点において被搬送物２０が停止するように偏差評
価ユニット３５から進行磁界発生コイル１３ａ3’，１
３ａ3”及び交差部分（交差若しくは分岐搬送路部１２
２）の一方の進行磁界発生コイル１３ｃ”への駆動制御
指令信号が出力され、出力ユニット３７は、交差点にお
いて被搬送物２０が停止するように進行磁界発生コイル
１３ａ3’，１３ａ3”及び進行磁界発生コイル１３ｃ”
への駆動制御する。なお、被搬送物（移動体）２０の支
持体２１の２個所には、軟磁性体２３ｂ、２３ｄが設け
られているので、直線駆動部分ユニット１０ａ3に設け
られた進行磁界発生コイル１３ａ3’，１３ａ3”との間
で駆動力が生じ、更に交差部分ユニット１０ｃに設けら
れた進行磁界発生コイル１３ｃ”との間で駆動力が生じ
る。更にこのとき被搬送物（移動体）２０の支持体２１
の２個所に埋め込まれた磁石手段２２ａ、２２ｃと直線
駆動部分ユニット１０ａ3の中央に設けられた直線状の
磁性体１２ａ3および交差部分ユニット１０ｃに設けら
れた直線状の磁性体１２ｃ”との間に作用する磁力によ
り、被搬送物（移動体）２０は、副搬送路１２１に沿っ
て交差点まで誘導され、進行磁界発生コイル１３ａ
3’，１３ａ3”及び進行磁界発生コイル１３ｃ”の駆動
力によって搬送されて交差点において停止し、状態推定
ユニット３３から被搬送物（移動体）２０が交差点に到
達したことが出力される。

【００３２】次に、中央制御コンピュータ３８から、被
搬送物（移動体）２０を交差点から何方の方向へ搬送す
れば良いか運行計画ユニット３４に入力される。運行計
画ユニット３４は、状態推定ユニット３３から出力され
る被搬送物（移動体）２０が交差点に到達した信号に基
づいて、中央制御コンピュータ３８からの指令に基づい
て被搬送物（移動体）２０の搬送方向を決めて、偏差評
価ユニット３５へ搬送指令信号を入力する。偏差評価ユ
ニット３５は、進行磁界発生コイル１３ｃ”から進行磁
界発生コイル１３ｃ’へと駆動力を切り替えると共に推
進力を一方の主搬送路１２０へと被搬送物（移動体）２
０を搬送させるように指令を出力する。出力ユニット３
７は、偏差評価ユニット３５から入力される指令に基づ
いて、進行磁界発生コイル１３ｃ”から進行磁界発生コ
イル１３ｃ’へと駆動力を切り替えると共に推進力を一
方の主搬送路１２０へと被搬送物（移動体）２０を搬送
させるように駆動制御する。その結果、交差部分ユニッ
ト１０ｃ上に進行磁界発生コイル１３ｃ”に対して井桁
状（交差するよう）に設けられた進行磁界発生コイル１
３ｃ’と被搬送物（移動体）２０の支持体２１の２個所
に設けられた軟磁性体２３ａ、２３ｃとの間の駆動力に
よって被搬送物（移動体）２０は、交差部分ユニット１
０ｃから一方の主搬送路１２０へと、被搬送物（移動
体）２０の支持体２１の２個所に埋め込まれた磁石手段
２２ｂ、２２ｄと交差部分ユニット１０ｃに設けられた
直線状の磁性体１２ｃ’との間に作用する磁力により誘
導されながら搬送される。そして被搬送物（移動体）２
０が、気体浮上手段１４で浮上しながら、一方の主搬送
路１２０の直線駆動部分ユニット１０ａ4に到達する
と、状態推定ユニット３３からの指令に基づいて偏差評
価ユニット３５を経て出力ユニット３７へ駆動指令が入
力され、進行磁界発生コイル１３ａ4’、１３ａ4”が駆
動されて推進力が生じて、被搬送物（移動体）２０の支
持体２１の２個所に埋め込まれた磁石手段２２ｂ、２２
ｄと直線駆動部分ユニット１０ａ4に設けられた直線状
の磁性体１２ａ4との間に作用する磁力により誘導され
ながら搬送され、直線非駆動部分ユニット１０ｂ1へと
進行する。このとき、図１０に示すように、被搬送物
（移動体）２０に対して、両側から気体ノズル（気体振
動抑制手段）３０１から気体を吹き付けて、被搬送物
（移動体）２０が横方向及び回転方向に振動するのを抑
制するのが良い。この後、被搬送物（移動体）２０が交
差部分ユニットに到達しよとすると同様に駆動制御され
て、中央制御コンピュータ３８から与えられる搬送経路
に沿って被搬送物（移動体）２０が搬送され、該被搬送
物（移動体）２０に搭載された被処理物１００は、所定
の処理装置（製造装置）１２５に投入されて、所定の処
理が施される。

【００３３】以上説明したように、被処理物１００を搭
載した被搬送物（移動体）２０は、互いに交差若しくは
分岐した主搬送路１２０と副搬送路１２１へと塵埃の発
生を最小限にした無摺動で、高速搬送を可能とし、所定
の処理装置（製造装置）１２５の投入口１２６に多数の
被処理物１００を貯蔵すること（ストックすること）を
低減でき、歩留まりを向上し、しかも生産性を向上させ
た製造ラインを構築することができる。

【００３４】以上で、本発明の１実施例を説明したが、
本発明は上記１実施例以外に代案変形例を包含する。以
下、本発明のその他の実施例に付いて順次説明する。

【００３５】第１の実施例では誘導用の磁性体のうち、
移動体２０上に設けた磁性体２２を永久磁石で構成し、
搬送路１０に設けた磁性体１２を軟磁性体で構成した
が、この構成は材質を逆転しても同様に実施可能であ
る。一般に永久磁石材料の方が軟磁性材料よりも高価で
あるので、第１の実施例の方がコスト的に有利である
が、被搬送物（移動体）２０が外部磁界に弱い場合に、
移動体に永久磁石を使用しない方が有利になる場合があ
る。

【００３６】また、上記両者の磁性体１２及び２２を共
に永久磁石で構成し、対向する面が互いに吸引する配置
に設置することも可能である。この場合、どちらか一方
を軟磁性体で構成した場合より、永久磁石同士の吸引力
の方が強力であるので、誘導がより正確になる利点があ
る。但し、この場合も、永久磁石材料が高価であるので
第１の実施例に比較して、コスト的に不利になる点があ
る。また、第１の実施例では誘導用の磁性体と駆動用の
磁性体を別途用意したが、両者を兼用にする構成も可能
である。この場合の主要部の斜視図を図５に示す。この
場合、誘導用軟磁性体１２と進行磁界発生コイル１３は
同一部品である誘導駆動部品１２’になり、同様に永久
磁石２２と軟磁性体２３は同一部品である被誘導駆動部
品２２’になる。

【００３７】この場合の誘導駆動部品１２’と被誘導駆
動部品２２’の縦断面図を図６に示す。誘導駆動部品１
２’は、第１の実施例と外見上何等変更はないが、被誘
導駆動部品２２’は第１の実施例の軟磁性体の上側の部
分を永久磁石２２’ａで構成した。この実施例では、部
品点数が軽減できる利点があるが、第１の実施例と比較
し、同一の部品を誘導と駆動に兼用するため、駆動が誘
導に悪影響を及ぼす可能性が高く、さらに誘導駆動部品
１２’と被誘導駆動部品２２’を共に磁気的に非飽和状
態で使用する必要があるため、誘導の吸引力も、駆動力
も、共に第１の実施例よりも弱くなり、また、磁心材料
の磁気的非線形性の影響で制御が困難になる。

【００３８】これとは別に、第１の実施例の誘導用軟磁
性体１２ｃの一部を電磁石に置き換えて切り替え制御す
ることにより、交差部分ユニット１０ｃにおいて被搬送
物（移動体）２０に対する交差・分岐切り替え搬送動作
または交差点の切り替え誘導動作をより円滑に行うこと
ができる。この実施例の主要部分の斜視図を図７に示
す。今交差点を、移動体２０が単に通過する場合を想定
する。この時、第１の実施例では、本来誘導に使用して
いない横方向の永久磁石２２が、横方向の誘導用軟磁性
体１２ａをも吸引し、交差点の中心で移動体２０が搬送
路１０に他の場所での力と比較して大きな力で吸引され
る。そこで、図７に示した本実施例では、交差点通過時
に永久磁石２２に対向する部分の誘導用軟磁性体１２ａ
を、電磁石１２ａ’に置き換える。移動体２０が交差点
を通過する際に、電磁石１２ａ’のうち誘導に使用して
いない方向の電磁石１２ａ’を対向する永久磁石２２と
同極が対向するように、僅かに電流を流す。この僅かな
電流で永久磁石２２の吸引力を打ち消し、不要な吸引力
の発生を防止できる。但し、この時の電流が過大な場合
はかえって不要な反発力を生じて、かえって性能を劣化
させる恐れがあり、また、磁心材料の磁気的な非線形性
が影響して制御が困難であるため、制御系が複雑にな
る。

【００３９】これとは別に、第１の実施例で駆動系に用
いていたリニアステッピングモータを、別のリニアモー
タで置き換えることも可能である。例えば、移動体２０
から軟磁性体２２を除き、支持体２１を厚くし、進行磁
界発生コイル１３の磁界による支持体２１内部の誘導電
流を用いた非同期モータを構成することでも実施可能で
ある。この実施例では、駆動系が非同期モータであるた
め移動体２０と進行磁界発生コイル１３の駆動電流の位
相合わせが厳密で無くとも、駆動力に急変を生じない利
点があるが、反面、非同期モータの推進力は移動体２０
の移動速度に影響を受けるので、推進力の制御が困難に
なり、更に非同期モータの場合は移動体２０を静止状態
で保持する力に欠ける問題が生じる。

【００４０】これに対して、移動体２０の軟磁性体２３
に永久磁石を併用し、進行磁界発生コイル１３と共にリ
ニア同期モータを構成する構造も可能である。この場合
はリニアステッピングモータを用いた第１の実施例と比
較し、厳密なサーボモータ系を構築することが可能であ
り、移動体２０の位置決めの精度が高められる利点があ
るが、反面、制御系が高価になる欠点もある。

【００４１】更に別の実施例として、進行磁界の発生方
法を機械的手段を併用する構成も可能である。図８に示
した実施例では進行磁界発生コイル１３の替わりに、螺
旋状に着磁し、円柱磁石１３０１と、これを保持する軸
受機構１３０２、円柱磁石を回転駆動するプーリ１３０
３、プーリ１３０３を回転させるモータ１３０４から構
成されている。この実施例では軸受機構１３０２が端部
に存在するため、進行磁界をユニット間の継ぎ目部分で
も切れ目無く発生することはできない欠点と、円柱磁石
１３０１自体が高価な部品であり、機械部品を併用する
ため部品の摩擦が発生する。この摩擦により、塵埃が発
生することになり、完全に密封する必要がある。

【００４２】この実施例の変形として、円柱磁石１３０
１の替わりに、螺旋形状のネジ状部品１３０１’を用
い、軟磁性体２３上面に永久磁石２３ａを配置した構成
とした実施例を図９に示す。この場合は、高価な円柱磁
石１３０１を使用しないので先の実施例よりも安価にで
きる利点はあるが、進行磁石をユニット間の継ぎ目部分
でも切れ目無く発生することはできない欠点と、機械部
品を併用するため部品の摩耗が発生する。この摩擦によ
り、塵埃が発生することになり、完全に密封する必要が
ある。これとは別に、誘導機構を中心軸上に配置せず、
誘導機構と駆動機構の配置を逆転させた構成も可能であ
る。この場合は、誘導機構より高価な駆動機構が少なく
て良いため、コスト的に有利になる利点がある。

【００４３】図１０、図１１に別の実施例を示す。図１
０は、本実施例の搬送路全体の斜視図であり、図１１
は、本実施例の直線非駆動部分ユニット１０ｂ1、１０
ｂ2、横方向気体噴出ユニット（横方向振動抑制手段）
３００と移動体（被搬送物体）２０を含む面での断面図
である。本実施例は、第１の実施例の変形であり、主搬
送路１２０及び副搬送路１２１の両外側に横方向気体噴
出ユニット（横方向振動抑制手段）３００を設置してあ
る。また、移動体（被搬送物体）２０からローラユニッ
ト２６を、交差部分ユニット１０ｃと直線駆動部分ユニ
ット１０ａとから誘導用軟磁性体１２ｃ、１２ａにある
溝１６を、直線非駆動ユニット１０ｂから誘導用磁性体
１２ｂと誘導用磁性体１２ｂにある溝１６を省略してい
る。

【００４４】横方向気体噴出ユニット（横方向振動抑制
手段）３００には、気体ノズル３０１が多数あり、この
気体ノズル３０１から噴出する気体は移動体２０の支持
体２１の側面に当たり、移動体２０を横方向に押す働き
がある。図１１に示すように、支持体２１と横方向気体
噴出ユニット３００とは僅かなクリアランスを持ってい
る。移動体２０がなんらかの外力により僅かに横方向に
変位した場合、この気体ノズル３０１から噴出する気体
の圧力が移動体２０を搬送路の中心軸に沿って移動する
ように働く。なお、支持体２１が気体ノズル３０１に近
づくほど、支持体２１を遠ざける方向に押す力は大きく
なるので、通常の使用では、支持体２１が横方向気体噴
出ユニット３００に接触することはない。また、なんら
かの急激な衝撃等が移動体２０に加わっても横方向気体
噴出ユニット３００に接触するので、移動体２０が搬送
路から脱落する恐れはない。

【００４５】移動体２０が直線非駆動部部分ユニット１
０ｂから直線駆動部分ユニット１０ａに進入した場合、
移動体２０上の永久磁石２２のうち搬送路上の誘導用軟
磁性体１２に対応する２つの永久磁石２２が吸引力によ
って誘導される。また同時に、ここではまだ横方向気体
噴出ユニット３００による誘導も働いている。

【００４６】直線駆動部分ユニット１０ａを移動体２０
が移動していくと、徐々に支持体２１と横方向気体噴出
ユニット３００とのクリアランスが広くなって、横方向
の気体ノズル３０１から噴出する気体が移動体２０を誘
導する力は、徐々になくなっていく。交差部分ユニット
１０ｃでは、横方向の気体ノズル３０１から噴出する気
体が移動体２０を誘導する力は完全になくなり、移動体
２０は誘導用軟磁性体１２ｃと永久磁石２２の吸引力の
みで誘導される。もちろん交差部分ユニット１０ｃの誘
導用軟磁性体１２ｃか、移動体２０の永久磁石２２かの
少なくともどちらかがない場合には、交差部で移動体２
０が外乱により回転してしまい、横方向気体噴出ユニッ
ト３００と接触してしまって移動できなくなったり、発
塵する等の問題がある。対向する横方向気体噴出ユニッ
ト３００間の距離が交差部に近づくほど大きくなってい
る理由を以下に述べる。

【００４７】まず第１に、移動体２０が交差部に進入し
てきたときに、急に横方向気体噴出ユニット３００がな
くなると、移動体２０に加わる力に急激な変化が生じ、
瞬間的に移動体２０に非対称な外力が働くことで移動体
２０に回転力が加わり、その結果として移動体２０が横
方向気体噴出ユニット３００に接触する可能性がある。
このため、対向する横方向気体噴出ユニット間の距離を
徐々に大きくし、横方向の気体ノズル３０１から噴出す
る気体が移動体２０を誘導する力を徐々になくしていく
ことで、移動体２０が横方向気体噴出ユニット３００と
接触するのをさけることができる。

【００４８】第２に、交差部分ユニット１０ｃから直線
駆動部分ユニット１０ａに移動体２０が移動する際、対
向する横方向気体噴出ユニット３００間の距離がすべて
の位置で同じ場合、移動体２０と横方向気体噴出ユニッ
ト３００とのクリアランスが小さいので、ほとんどの場
合横方向気体噴出ユニット３００に接触する。この為、
対向する横方向気体噴出ユニット３００間の距離は交差
部付近では大きくし、徐々に狭めていくことで気体ノズ
ル３０１から噴出する気体が移動体２０を誘導する力を
徐々に強くしていき、移動体２０と横方向気体噴出ユニ
ット３００との接触をさける。

【００４９】なお、この実施例の利点は、横方向気体噴
出ユニット３００が設置されている範囲内では移動体の
横方向の変位は、支持体２１と横方向気体噴出ユニット
３００の間のクリアランスに制限されるので、移動体２
０の回転及び横方向の振幅は、第１の実施例の場合と比
較して小さくなる。移動体２０の回転及び振幅を抑える
ことは、被処理物１００間の摺動や被処理物１００と積
載台２８との間の摺動を抑えるので、発塵を抑える効果
がある。更に移動体２０の搬送路１２０、１２１、１２
２からの落下の恐れがなくなるのでローラユニット２６
及びローラを案内するための溝１６を省略できる。また
横方向気体噴出ユニット３００が設置されている直線非
駆動部分ユニット１０ｂの範囲内では、磁力による案内
の必要がないので、誘導用軟磁性体１２ｂも省略でき
る。このため、直線非駆動部分ユニット１０ｂは、誘導
用軟磁性体１２ｂを埋め込む必要がなくなり、移動体は
ローラユニット２６の必要がなくなるので装置全体が簡
略化され、第１の実施例と比較して低コスト化がはかれ
る。

【００５０】以上説明した実施例において、浮上手段と
して気体浮上手段で構成した場合について、説明したが
磁気浮上手段で構成してもよいことは明らかである。ま
た直線非駆動部分ユニットにおいては、誘導手段と浮上
手段とで被搬送物体（移動体）２０を搬送させるように
構成したが、直線駆動部分ユニットと同様に進行磁界発
生コイルのような駆動手段を備えても良いことは明らか
である。

【００５１】以上説明した実施例によれば、次に説明す
る作用効果が得られる。即ち、求心力を搬送路にもうけ
た磁性体と、移動体に設けた磁性体との間の磁力で実現
しているので、分岐・交差・右左折動作の妨げになる突
起物などがなく、さらに、移動体に搬送路の複数方向に
延びた磁性体に対向して、複数軸対称に磁性体を設けて
いるため、交差点等において複数の進行方向へ進行でき
る。浮上力は気体の静圧力によって実現するので、荷重
変動や駆動力による浮上量変動が少なくて済み、気体流
の付着等の流体的な変動要因がないため駆動系による位
置決めを阻害する恐れがない。駆動力は、搬送路に埋設
した界磁発生用の磁気コイルと、移動体に設けた電気伝
導性材料もしくは磁性体によって構成される直動モータ
によって得るため、気体流の摩擦駆動を行う場合に比
べ、制御遅れによる位置決め不良の問題がなく、進行方
向の迅速な変更が可能となり、さらに運行中に搬送速度
の任意の変更が可能となる。

【００５２】なお、前記搬送路に設けた磁性体を永久磁
石とし、前記移動体に軟磁性体を設けることで搬送路の
永久磁石が移動体の軟磁性体を吸引することもできる
が、実際上は永久磁石は軟磁性体に比較して高価である
ので、総延長の長い搬送路の磁性体に軟磁性体を用い、
体積の小さくて済む移動体の磁性体に永久磁石を使用す
ることが好ましく、この場合でも誘導の効果は変わら
ず、低コストで実現できる効果がある。求心力が不足す
る場合は両方に永久磁石を使用することで吸引力を高め
誘導を正確にすることができる。

【００５３】さらに、移動体に設けた誘導装置の一部分
である磁性体を、前記移動体に設けた駆動機構の一部で
ある磁性体に兼用することでコスト低減ができる。ま
た、誘導装置の一部分である搬送路に設けられた磁性体
を交差状又は分岐状に配置し、また前記駆動機構を交差
状又は分岐状に配置し、さらに移動体を前後方向と左右
方向に同一構成の配置することで、従来の回転テーブル
やシフトテーブルなどの機械的な切換動作を用いないの
で、塵埃を発生することなく、高速で交差又は分岐搬送
を可能とすることができる。このとき、誘導装置の一部
分たる搬送路に設けられた磁性体の交差又は分岐部分を
電磁石によって構成し、移動体走行時に使用しない方向
の誘導装置を使用しないことで、交差点・分岐点通過時
に移動体が滑らかに移動しうるようにできる。

【００５４】また、搬送路のうち分岐又は交差動作及び
加減速動作を必要としない領域において駆動機構を省略
した構成とし、駆動機構を有する部分で加速された前記
移動体を、駆動機構を有しない部分においては静磁場に
よる誘導と気体浮上による摩擦低減のみを利用し、移動
体の慣性によって搬送することで、高価な駆動機構を一
部省略できるためコスト低減ができる。

【００５５】駆動機構は非接触で駆動できるリニアモー
タで有ればよく、リニア非同期モータ・リニア同期モー
タ・リニアステッピングモータのいずれでも可能で、さ
らには進行磁場発生機構は機械的に回転するネジ状着磁
の永久磁石または機械的に回転するネジ状形状の軟磁性
体であっても駆動は実現できる。移動体に電磁石等を搭
載する場合は通常接触子が必要であるが、電磁給電機構
を設けることで非接触で移動体に電磁石等を搭載するこ
とも可能となる。誘導装置と駆動機構は一つの搬送路に
対して１組ずつのみで構成される必要はなく、誘導機構
を搬送路の中心軸上に設け駆動機構を搬送路の中心軸を
挟んで対称に設けたり、誘導機構を搬送路の中心軸を挟
んで対称に設け駆動機構を搬送路の中心軸上に設けたり
することも可能でこれら場合は、駆動力が移動体の中心
軸上にかかるような構成が可能であるので、駆動力によ
って誘導が損なわれる心配がない。

【００５６】前記駆動機構に設けられた磁性体部品を、
表面付近が自発磁化を持たない軟磁性体で構成され、裏
面付近が自発磁化を有する永久磁石で構成することで、
軟磁性体の性質と永久磁石の性質を合わせもたせること
ができ、積極的に外部磁界を印加しない状態で外部に別
の軟磁性体が近接したときは吸引を、外部磁界印加状態
では極性によって吸引又は反発を実現でき、これによっ
て外部磁界を設けない場合は誘導機構として、外部磁界
を印加したときは駆動機構として使用できる。

【００５７】移動体の回転および横方向振動抑制機構と
して搬送路の両外側に気体噴出部を設けた。この気体噴
出部より噴出する気体は移動体の側面に当たることで移
動体の横方向の振動を抑え、移動体を搬送路の中央部に
案内する効果がある。この為、分岐部付近以外の直線搬
送路上を移動する移動体を搬送路上に誘導する為の誘導
用磁性体が不必要になる。さらに、横方向の振動もほと
んど生じなくなる。また、搬送路としては、床搬送に限
られるものではなく、天井搬送であっても良いことは明
らかである。

【００５８】

【発明の効果】本発明によれば、被搬送物体を、多数の
処理装置（製造装置）間において、スペース効率が優れ
た主搬送路、副搬送路及び該主搬送路と副搬送路を交差
又は分岐させた交差又は分岐搬送路部を用いて無摺動に
より発塵の発生を著しく低減して、しかも高速で搬送す
ることができる効果を奏する。

【００５９】また本発明によれば、半導体等の製造ライ
ンにおいて、多数の製造装置（例えばレジスト塗布装
置、投影露光装置、現像装置、スパッタ成膜装置、ＣＶ
Ｄ装置、エッチング装置、洗浄装置等）で処理される半
導体基板（ウエハ）等の被処理物について、プロセス処
理を施す多数の処理装置（製造装置）間において、無摺
動により発塵の発生を著しく低減して、しかも高速でス
ペース効率が優れた分岐若しくは交差搬送をすることが
でき、高歩留まりで、被処理物のストックを低減した生
産性の優れた半導体等の製造ラインを構築することがで
きる効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る第１の実施例の主要部を示す斜視
図である。

【図２】本発明に係る第１の実施例の横断面図である。

【図３】図１に示すリニアモータの部分縦断面図であ
る。

【図４】本発明に係る第１の実施例の制御系を示すブロ
ック図である。

【図５】本発明に係る第２の実施例の主要部を示す斜視
図である。

【図６】図５における部分縦断面図である。

【図７】本発明に係る第３の実施例の主要部を示す斜視
図である。

【図８】本発明に係る進行磁界発生手段の一実施例を示
す部分縦断面図である。

【図９】本発明に係る進行磁界発生手段の他の一実施例
を示す部分縦断面図である。

【図１０】本発明に係る第４の実施例の主要部を示す斜
視図である。

【図１１】図１０における部分断面図である。

【図１２】本発明に係る製造ライン構成の一部を示す図
である。

【符号の説明】

１０…搬送路、 ２０…移動体（被搬送物体）、 ３０
…制御系 １００…被処理物、 １１、２１…支持体 １２…誘導用軟磁性体（磁気若しくは電磁気誘導手段） １３…進行磁界発生コイル（磁気若しくは電磁気駆動手
段） １４…気体ノズル（浮上手段）、 １５…気体通路 １６…溝、 １７…光センサ、 １８…整流板、 ２２
…永久磁石 ２３…軟磁性体、 ２６…ローラユニット、 ２８…積
載台 ３１…位置検出ユニット、 ３２…速度検出ユニット ３３…状態推定ユニット、 ３４…運行計画ユニット ３５…偏差評価ユニット（駆動指令発生手段） ３６…異常監視ユニット、 ３７…出力ユニット（駆動
制御手段） ３８…中央制御コンピュータ、 １２０…主搬送路、
１２１…副搬送路 １２２…交差若しくは分岐搬送路部 ３００…横方向気体噴出ユニット（横方向振動抑制手
段：誘導手段） ３０１…気体ノズル

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｌ Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ (72)発明者 鈴木 高道 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式 会社日立製作所生産技術研究所内

Claims (15)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被搬送物体を搬送するための主搬送路と、
   前記被搬送物体を搬送するための副搬送路と、交差点若
   しくは分岐点において前記主搬送路と前記副搬送路とを
   交差若しくは分岐させる交差若しくは分岐搬送路部とを
   備え、 前記被搬送物体を前記主搬送路、前記副搬送路及び前記
   交差若しくは分岐搬送路部の各々から浮上させるための
   浮上手段を前記主搬送路、前記副搬送路及び前記交差若
   しくは分岐搬送路部の各々に備え、 前記浮上手段で浮上される被搬送物体を、少なくとも前
   記交差点若しくは分岐点の近傍における主搬送路及び副
   搬送路の各々に沿って誘導し、前記交差若しくは分岐搬
   送路部において前記被搬送物体の回転を抑制する誘導手
   段を前記主搬送路、前記副搬送路及び前記交差若しくは
   分岐搬送路部の各々に備え、 該誘導手段で主搬送路及び副搬送路の各々に沿って誘導
   される被搬送物体を磁気的若しくは電磁気的に駆動して
   搬送する磁気若しくは電磁気駆動手段を備え、 前記誘導手段及び前記磁気若しくは電磁気駆動手段によ
   って前記主搬送路又は副搬送路に沿って誘導搬送されて
   交差点若しくは分岐点に到達した被搬送物を該交差点若
   しくは分岐点から前記誘導手段及び前記磁気若しくは電
   磁気駆動手段によって副搬送路又は主搬送路に沿って誘
   導搬送させるように、前記交差若しくは分岐搬送路部に
   おいて磁気的若しくは電磁気的に駆動力付与方向を切り
   替えて制御する磁気若しくは電磁気駆動切替制御手段を
   備えたことを特徴とする搬送装置。
2. 【請求項２】被搬送物体を搬送するための主搬送路と、
   前記被搬送物体を搬送するための副搬送路と、交差点若
   しくは分岐点において前記主搬送路と前記副搬送路とを
   交差若しくは分岐させる交差若しくは分岐搬送路部とを
   備え、 前記被搬送物体を前記主搬送路、前記副搬送路及び前記
   交差若しくは分岐搬送路部の各々から浮上させるための
   浮上手段を前記主搬送路、前記副搬送路及び前記交差若
   しくは分岐搬送路部の各々に備え、 前記浮上手段で浮上される被搬送物体を、少なくとも前
   記交差点若しくは分岐点の近傍における主搬送路及び副
   搬送路の各々に沿って磁気的若しくは電磁気的に誘導し
   ながら磁気的若しくは電磁気的に駆動して搬送する磁気
   若しくは電磁気誘導・駆動手段を備え、 該磁気若しくは電磁気誘導・駆動手段によって前記主搬
   送路又は副搬送路に沿って誘導搬送されて交差点若しく
   は分岐点に到達した被搬送物を該交差点若しくは分岐点
   から前記磁気若しくは電磁気誘導・駆動手段によって副
   搬送路又は主搬送路に沿って誘導搬送させるように、前
   記交差若しくは分岐搬送路部において磁気的若しくは電
   磁気的に駆動力付与方向を切り替えて制御する磁気若し
   くは電磁気駆動切替制御手段を備えたことを特徴とする
   搬送装置。
3. 【請求項３】前記磁気若しくは電磁気誘導・駆動手段
   は、前記被搬送物体の底部に設けられた磁石体と前記主
   搬送路及び副搬送路の各々の上面に搬送方向に沿って延
   びて配設された磁性体との間で作用する磁力によって前
   記被搬送物体を主搬送路及び副搬送路の各々に沿って誘
   導するように構成した磁気若しくは電磁気誘導手段を有
   することを特徴とする請求項２記載の搬送装置。
4. 【請求項４】前記磁気若しくは電磁気誘導・駆動手段
   は、前記被搬送物体の底部に設けられた磁性体若しくは
   電導体と前記主搬送路及び副搬送路の各々の上面に搬送
   方向に沿って延びて配設された推進磁界発生体との間で
   作用する推進力によって前記被搬送物体を主搬送路及び
   副搬送路の各々に沿って駆動して搬送するように構成し
   た磁気若しくは電磁気駆動手段を有することを特徴とす
   る請求項２記載の搬送装置。
5. 【請求項５】前記磁気若しくは電磁気駆動切替制御手段
   は、前記被搬送物体の底部に交差するように複数設けら
   れた磁性体若しくは電導体と前記交差若しくは分岐搬送
   路部の上面に交差するように複数配設された推進磁界発
   生体との各々の間で作用する推進力を切り替え制御する
   ことによって前記被搬送物体を交差若しくは分岐する主
   搬送路の搬送方向と副搬送路の搬送方向との間において
   切り替え駆動して交差搬送若しくは分岐搬送するように
   構成したことを特徴とする請求項２記載の搬送装置。
6. 【請求項６】前記磁気若しくは電磁気駆動切替制御手段
   は、更に前記被搬送物体の底部に交差するように複数設
   けられた磁石体と前記交差若しくは分岐搬送路部の上面
   に交差するように配設された磁性体との間で作用する磁
   力によって前記被搬送物体を交差する各々の方向に沿っ
   て誘導するように構成したことを特徴とする請求項５記
   載の搬送装置。
7. 【請求項７】被処理物を搭載した被搬送物体を搬送する
   ための主搬送路と、前記被搬送物体を搬送するための副
   搬送路と、交差点若しくは分岐点において前記主搬送路
   と前記副搬送路とを交差若しくは分岐させる交差若しく
   は分岐搬送路部とを備え、 前記被搬送物体を前記主搬送路、前記副搬送路及び前記
   分岐させる交差若しくは分岐搬送路部の各々から浮上さ
   せるための浮上手段を前記主搬送路、前記副搬送路及び
   前記交差若しくは分岐搬送路部の各々に備え、 前記浮上手段で浮上される被搬送物体を、少なくとも前
   記交差点若しくは分岐点の近傍における主搬送路及び副
   搬送路の各々に沿って磁気的若しくは電磁気的に誘導し
   ながら磁気的若しくは電磁気的に駆動して搬送する磁気
   若しくは電磁気誘導・駆動手段を備え、 該磁気若しくは電磁気誘導・駆動手段によって前記主搬
   送路又は副搬送路に沿って誘導搬送されて交差点若しく
   は分岐点に到達する被搬送物体を該交差点若しくは分岐
   点から前記磁気若しくは電磁気誘導・駆動手段によって
   前記副搬送路又は主搬送路に沿って誘導搬送させるよう
   に、前記交差若しくは分岐搬送路部において磁気的若し
   くは電磁気的に駆動力付与方向を切り替え制御する磁気
   若しくは電磁気駆動切替制御手段を備え、 前記被処理物に対して処理を施す処理装置を、前記副搬
   送路の所定個所に関連した位置に設置し、 前記副搬送路において前記所定個所へ搬送されてきた前
   記被搬送物体に搭載された被処理物を前記処理装置の投
   入口へ移し替える移し替え手段を設置したことを特徴と
   する搬送処理装置。
8. 【請求項８】被搬送物体を搬送するための主搬送路と、
   前記被搬送物体を搬送するための副搬送路と、交差点若
   しくは分岐点において前記主搬送路と前記副搬送路とを
   交差若しくは分岐させる交差若しくは分岐搬送路部とを
   備え、 前記被搬送物体を前記主搬送路、前記副搬送路及び前記
   交差若しくは分岐搬送路部の各々から気体圧によって浮
   上させるための気体浮上手段を前記主搬送路、前記副搬
   送路及び前記交差若しくは分岐搬送路部の各々に備え、 前記被搬送物体の両側面に気体を吹き付けて前記被搬送
   物体の横方向の振動を抑える気体振動抑制手段を前記主
   搬送路及び前記副搬送路の各々における少なくとも前記
   交差点若しくは分岐点の近傍に備え、 前記気体浮上手段で浮上され、前記気体振動抑制手段で
   横方向の振動が抑えられる被搬送物体を、少なくとも前
   記交差点若しくは分岐点の近傍における主搬送路及び副
   搬送路の各々に沿って磁気的若しくは電磁気的に駆動し
   て搬送する磁気若しくは電磁気駆動手段を備え、 該磁気若しくは電磁気駆動手段によって前記主搬送路又
   は副搬送路に沿って搬送されて交差点若しくは分岐点に
   到達する被搬送物体を該交差点若しくは分岐点から前記
   磁気若しくは電磁気駆動手段によって前記副搬送路又は
   主搬送路に沿って搬送させるように、前記交差若しくは
   分岐搬送路部において磁気的若しくは電磁気的に駆動力
   付与方向を切り替え制御する磁気若しくは電磁気駆動切
   替制御手段を備えたことを特徴とする搬送装置。
9. 【請求項９】被処理物を搭載した被搬送物体を搬送する
   ための主搬送路と、前記被搬送物体を搬送するための副
   搬送路と、交差点若しくは分岐点において前記主搬送路
   と前記副搬送路とを交差若しくは分岐させる交差若しく
   は分岐搬送路部とを備え、 前記被搬送物体を前記主搬送路、前記副搬送路及び前記
   交差若しくは分岐搬送路部の各々から気体圧によって浮
   上させるための気体浮上手段を前記主搬送路、前記副搬
   送路及び前記交差若しくは分岐搬送路部の各々に備え、 前記被搬送物体の両側面に気体を吹き付けて前記被搬送
   物体の横方向の振動を抑える気体振動抑制手段を少なく
   とも前記主搬送路及び前記副搬送路の各々における少な
   くとも前記交差点若しくは分岐点の近傍に備え、 前記気体浮上手段で浮上され、前記気体振動抑制手段で
   横方向の振動が抑えられる被搬送物体を、少なくとも前
   記交差点若しくは分岐点の近傍における主搬送路及び前
   記副搬送路の各々に沿って磁気的若しくは電磁気的に駆
   動して搬送する磁気若しくは電磁気駆動手段を備え、 該磁気若しくは電磁気駆動手段によって前記主搬送路又
   は副搬送路に沿って搬送されて交差点若しくは分岐点に
   到達する被搬送物体を該交差点若しくは分岐点から前記
   磁気若しくは電磁気駆動手段によって前記副搬送路又は
   主搬送路に沿って搬送させるように、前記交差若しくは
   分岐搬送路部において磁気的若しくは電磁気的に駆動力
   付与方向を切り替え制御する磁気若しくは電磁気駆動切
   替制御手段を備え、 前記被処理物に対して処理を施す処理装置を、前記副搬
   送路の所定個所に関連した位置に設置し、 前記副搬送路において前記所定個所へ搬送されてきた前
   記被搬送物体に搭載された被処理物を前記処理装置の投
   入口へ移し替える移し替え手段を設置したことを特徴と
   する搬送処理装置。
10. 【請求項１０】被搬送物体を直線状に搬送するための第
    １の直線状搬送路、前記被搬送物体を直線状に搬送する
    ための第２の直線状搬送路及び交差点若しくは分岐点に
    おいて前記第１の直線状搬送路と前記第２の直線状搬送
    路とを交差若しくは分岐させる交差若しくは分岐搬送路
    部を備え、 前記被搬送物体を前記第１及び第２の直線状搬送路並び
    に前記交差若しくは分岐搬送路部から浮上させるための
    浮上手段を前記第１及び第２の直線状搬送路並びに前記
    交差若しくは分岐搬送路に備え、 前記浮上手段で浮上される被搬送物体を、少なくとも前
    記交差点若しくは分岐点の近傍における前記第１及び第
    ２の直線状搬送路の各々に沿って磁気的若しくは電磁気
    的に誘導しながら磁気的若しくは電磁気的に駆動して搬
    送する磁気若しくは電磁気誘導・駆動手段を備え、 該磁気若しくは電磁気誘導・駆動手段によって前記第１
    の直線状搬送路又は第２の直線状搬送路に沿って誘導搬
    送されて交差点若しくは分岐点に到達する被搬送物体を
    該交差点若しくは分岐点から前記磁気又は電磁気誘導・
    駆動手段によって前記第２の直線状搬送路又は第１の直
    線状搬送路に沿って誘導搬送させるように、前記交差若
    しくは分岐搬送路部において磁気的若しくは電磁気的に
    被搬送物体への駆動力付与方向を切り替え制御する磁気
    又は電磁気駆動切替制御手段を備えたことを特徴とする
    搬送装置。
11. 【請求項１１】被搬送物体を直線状に搬送するための第
    １の直線状搬送路、前記被搬送物体を直線状に搬送する
    ための第２の直線状搬送路及び交差点若しくは分岐点に
    おいて前記第１の直線状搬送路と前記第２の直線状搬送
    路とを交差若しくは分岐させる交差若しくは分岐搬送路
    部を備え、 前記被搬送物体を前記第１及び第２の直線状搬送路並び
    に前記交差若しくは分岐搬送路部の各々から浮上させる
    ための浮上手段を前記第１及び第２の直線状搬送路並び
    に前記交差若しくは分岐搬送路部の各々に備え、 前記被搬送物体の両側面に気体を吹き付けて前記被搬送
    物体の横方向の振動を抑える気体振動抑制手段を前記第
    １及び第２の直線状搬送路の各々における少なくとも前
    記交差点若しくは分岐点の近傍に備え、 前記浮上手段で浮上され、前記気体振動抑制手段により
    横方向の振動が抑えられる被搬送物体を、少なくとも前
    記交差点若しくは分岐点の近傍における第１及び第２の
    直線状搬送路の各々に沿って磁気的若しくは電磁気的に
    駆動して搬送する磁気若しくは電磁気駆動手段を備え、 該磁気若しくは電磁気駆動手段によって前記第１の直線
    状搬送路又は第２の直線状搬送路に沿って搬送されて交
    差点若しくは分岐点に到達する被搬送物体を該交差点若
    しくは分岐点から前記磁気又は電磁気駆動手段によって
    前記第２の直線状搬送路又は第１の直線状搬送路に沿っ
    て搬送させるように、前記交差若しくは分岐搬送路部に
    おいて磁気的若しくは電磁気的に駆動力付与方向を切り
    替え制御する磁気又は電磁気駆動切替制御手段を備えた
    ことを特徴とする搬送装置。
12. 【請求項１２】被処理物を搭載した被搬送物体を主搬送
    路に沿って浮上手段で浮上させて搬送して、被搬送物体
    を前記主搬送路における交差点若しくは分岐点の近傍に
    おいて浮上手段で浮上させながら磁気若しくは電磁気誘
    導・駆動手段により前記主搬送路に沿って交差点若しく
    は分岐点に向かって磁気的若しくは電磁気的に誘導搬送
    し、 この誘導搬送された被搬送物体に対して交差点若しくは
    分岐点において浮上手段で浮上させながら磁気若しくは
    電磁気駆動切替制御手段により磁気的若しくは電磁気的
    に駆動力付与方向を切り替え制御し、 この切り替え制御された被搬送物体を、前記主搬送路と
    交差若しくは分岐して設けられた副搬送路における交差
    点若しくは分岐点の近傍において浮上手段で浮上させな
    がら磁気若しくは電磁気誘導・駆動手段により前記副搬
    送路に沿って交差点若しくは分岐点から離れる方向に向
    かって磁気的若しくは電磁気的に誘導搬送して、更に被
    搬送物体を前記副搬送路に沿って浮上させて所定個所ま
    で搬送し、 この所定個所へ搬送されてきた被搬送物体に搭載された
    被処理物を移し替え手段により処理装置の投入口へ移し
    替え、 この移し替えされた被処理物を処理装置において投入し
    て所定の処理を施すことを特徴とする被処理物搬送処理
    方法。
13. 【請求項１３】被処理物を搭載した被搬送物体を主搬送
    路に沿って気体圧で浮上させて搬送して、被搬送物体を
    前記主搬送路における交差点若しくは分岐点の近傍にお
    いて気体圧で浮上させながら、更に両側面に気体を吹き
    付けて被搬送物体の横方向の振動を抑えながら、磁気若
    しくは電磁気駆動手段により前記主搬送路に沿って交差
    点若しくは分岐点に向かって磁気的若しくは電磁気的に
    搬送し、 この搬送された被搬送物体に対して交差点若しくは分岐
    点において浮上手段で浮上させながら磁気若しくは電磁
    気駆動切替制御手段により磁気的若しくは電磁気的に駆
    動力付与方向を切り替え制御し、 この切り替え制御された被搬送物体を、前記主搬送路と
    交差若しくは分岐して設けられた副搬送路における交差
    点若しくは分岐点の近傍において浮上手段で浮上させな
    がら磁気若しくは電磁気誘導・駆動手段により前記副搬
    送路に沿って交差点若しくは分岐点から離れる方向に向
    かって磁気的若しくは電磁気的に誘導搬送して、更に被
    搬送物体を前記副搬送路に沿って浮上させて所定個所ま
    で搬送し、 この所定個所へ搬送されてきた被搬送物体に搭載された
    被処理物を移し替え手段により処理装置の投入口へ移し
    替え、 この移し替えされた被処理物を処理装置において投入し
    て所定の処理を施すことを特徴とする被処理物搬送処理
    方法。
14. 【請求項１４】被搬送物体に対して浮上気体を吹き付け
    て被搬送物体を搬送路から浮上させる浮上手段と、該浮
    上手段で浮上される被搬送物体を、前記搬送路に沿って
    磁気的若しくは電磁気的に誘導しながら磁気的若しくは
    電磁気的に駆動して搬送する磁気若しくは電磁気誘導・
    駆動手段とを備えたことを特徴とする搬送装置。
15. 【請求項１５】被搬送物体に対して浮上気体を吹き付け
    て被搬送物体を搬送路から浮上させる浮上手段と、該浮
    上手段で浮上される被搬送物体の両側面に気体を吹き付
    けて被搬送物体の横方向の振動を抑える気体振動抑制手
    段と、前記浮上手段で浮上され、前記気体振動抑制手段
    で横方向の振動が抑えられた被搬送物体を、前記搬送路
    に沿って磁気的若しくは電磁気的に誘導しながら磁気的
    若しくは電磁気的に駆動して搬送する磁気若しくは電磁
    気誘導・駆動手段とを備えたことを特徴とする搬送装
    置。