JPH06144503A - 塵埃を嫌う物品を取り扱うための建築物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 クリーンルームを有効利用出来るようにす
る。 【構成】 クリーンルーム８の床壁５の下方にクリーン
倉庫１０が設置され、このクリーン倉庫１０内とクリー
ンルーム８内とが連通室２１によって接続され、この連
通室２１内及びクリーン倉庫１０内に昇降台２６が設け
られている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は塵埃を嫌う物品を取り
扱うための建築物に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の建築物として以下の如き
ものは知られている。即ち、クリーンルーム内にクリー
ン倉庫が設置されており、塵埃を嫌う物品（例えば、半
導体ウエハ）をクリーン倉庫内に収納・保管しておき、
必要に応じてクリーン倉庫から取り出して、クリーンル
ーム内においてそこに設置された装置によって所定の加
工・処理を施した後、クリーンルームから搬出したり、
場合によっては再びクリーン倉庫に一時保管するように
したものは知られている。

【０００３】

【従来技術の欠点】前記従来の建築物は、クリーンルー
ム内にクリーン倉庫を設置したものであるから、クリー
ン倉庫から取り出した物品が塵埃にさらされない利点は
あるが、以下の如き欠点があった。即ち、クリーン倉
庫、即ち、自ら所定のクリーン度を保持することが出来
るクリーン倉庫をクリーンルーム内に設置するものであ
るため、クリーンルームの床面積が減少し、その分だけ
クリーンルームを有効利用することが出来ないという欠
点があった。

【０００４】

【前記欠点を解消するための手段】この発明は前記欠点
を解消するために以下の如き手段を採用した。この発明
は、クリーンルームの床壁の下方にクリーン倉庫が設置
され、このクリーン倉庫内とクリーンルーム内とが連通
室によって接続され、この連通室内及びクリーン倉庫内
に渡って昇降装置が設けられているものである。

【０００５】

【発明の作用】この発明は以下の如き作用をなすもので
ある。クリーン倉庫をクリーンルーム内に設けない分だ
けクリーンルームを有効利用することが出来る。また、
クリーン倉庫内とクリーンルーム内とが連通室によって
接続されているので、クリーン倉庫とクリーンルームと
の間での物品移載に際して、物品を塵埃にさらすことも
ない。

【０００６】

【実施例】以下にこの発明を図面に示す実施例に基づい
て説明する。なお、この明細書において、前とは図１紙
面表側を、後とは同裏側をいい、左とは図１左側を、右
とは同図右側をいう。

【０００７】建築物１は、１階部分２が普通の部屋で、
２階部分３がクリーンルーム８となされている。

【０００８】図１〜図３に示す如く、１階部分２の１階
床壁４にクリーン倉庫１０が設置されている。このクリ
ーン倉庫１０は、後述のスライドフォーク１７の上下方
向の移動を許容する間隙を有する、上下・左右の多数の
物品収納棚１２を備えた前後一対のラック装置１１と、
前記前後のラック装置１１間において左右動自在に設け
られたスタッカークレーン１３とを有している。前記ス
タッカークレーン１３は、走行台車１４と、この走行台
車１４に設けられたマスト１５に昇降自在となされた昇
降台１６と、この昇降台１６に前後方向に摺動自在に設
けられたスライドフォーク１７とを有している。前記ス
ライドフォーク１７は、公知のごとく、物品Ｗの下方へ
の突出・昇降台１６の上昇による物品Ｗの持ち上げ・昇
降台１６側への退入という動作を行なって物品Ｗを昇降
台１６に引き込み、前記と逆の動作によって物品収納棚
１２等に物品Ｗを降ろすことが出来る。

【０００９】前記ラック装置１１各々の左側に前後一対
の物品搬入・搬出ステーション１８が設けられ、これら
物品搬入・搬出ステーション１８各々に、搬送方向を左
右方向に向けた正逆駆動自在な駆動ローラーコンベア１
９が設置されている。これら駆動ローラーコンベア１９
の、ラック装置１１に近接した側には、公知の物品昇降
機が設けられている。前記物品昇降機は、駆動ローラー
コンベア１９のローラー下方の公知の昇降装置によって
昇降自在な昇降台と、この昇降台に立設されていて、駆
動ローラーコンベア１９のローラー間に位置する一対の
支承枠とを有している。この物品昇降機は、支承枠によ
って物品Ｗを持ち上げることによって、駆動ローラーコ
ンベア１９の搬送面と物品Ｗの下面との間にフォーク挿
入間隙を形成し、また、上昇した位置の支承枠によって
スライドフォーク１７から物品Ｗを受け取り、その後、
下降することによって駆動ローラーコンベア１９に物品
Ｗを降ろす作用をなすものである。

【００１０】前記クリーン倉庫１０は、公知の如く、そ
の内部に一定の空気の循環経路を有しており、その空気
の循環経路の途中にフィルターを介在させて空気の浄化
を図るようになっている。

【００１１】前記クリーン倉庫１０の頂壁の、左側部に
形成された開口２０の周縁に下方が開口した縦長の連通
室２１が接続・立設され、この連通室２１の上部は、２
階床壁５に形成された開口２２を気密状態で貫通してク
リーンルーム８に突出している。

【００１２】前記連通室２１の上部には第１搬出入口２
３が形成され、また、連通室２１の、クリーンルーム８
部分の下部には、前後２つの第２搬出入口２４が形成さ
れている。

【００１３】図１、図３及び図４に示す如く、前記連通
室２１及びクリーン倉庫１０の左側部に、昇降装置２５
を構成する、前後２つの昇降台２６が、平面から見て駆
動ローラーコンベア１９と並ぶかたちで、公知の昇降装
置によって昇降自在となされている。これら昇降台２６
各々は、搬送方向を左右方向に向けた正逆駆動自在な駆
動ローラーコンベア２７によって構成されている。そし
て、駆動ローラーコンベア２７が駆動ローラーコンベア
１９に並んだ位置で停止することによって、駆動ローラ
ーコンベア２７（昇降台２６）と駆動ローラーコンベア
１９との間で物品Ｗの移載を行なうことが出来る。な
お、昇降装置はバーチカルコンベアの如きものであって
もよい。

【００１４】また、駆動ローラーコンベア１９の上方で
あって、第２搬出入口２４に対応する高さ位置におい
て、連通室２１内に搬送方向を左右方向に向けた正逆駆
動自在な駆動ローラーコンベア３１が設置されている。
このような構成によって、駆動ローラーコンベア２７
（昇降台２６）を駆動ローラーコンベア３１につながる
位置で停止させることによって、駆動ローラーコンベア
２７（昇降台２６）と駆動ローラーコンベア３１との間
で物品Ｗの移載を行なうことが出来る。そして、第２搬
出入口２４近くまで搬送された物品Ｗは、物品移載ロボ
ットを荷台面に有する公知の無人搬送車（図示略）によ
ってクリーンルーム８の所定位置に搬送される。

【００１５】なお、連通室２１内には一定の空気の循環
経路が形成され、その空気の循環経路の途中にフィルタ
ーを介在させて空気の浄化を図るようになっている。

【００１６】図１、図５及び図６に示す如く、後側の駆
動ローラーコンベア３１の上方であって、第１搬出入口
２３に対応する高さ位置において、連通室２１外に搬送
方向を左右方向に向けた正逆駆動自在な駆動ローラーコ
ンベア３３が設置されている。このような構成によっ
て、駆動ローラーコンベア２７（昇降台２６）を駆動ロ
ーラーコンベア３３につながる位置で停止させることに
よって、駆動ローラーコンベア２７（昇降台２６）と駆
動ローラーコンベア３３との間で物品Ｗの移載を行なう
ことが出来る。

【００１７】前記連通室２１の上部後方にガイドレール
３５が長手方向を左右方向に向けるようにして設けら
れ、このガイドレール３５に沿って走行台車３６がリニ
アーモーター（図示略）等の走行駆動装置によって走行
自在となされている。

【００１８】前記駆動ローラーコンベア３３との間で物
品Ｗを移載するために停止した走行台車３６と駆動ロー
ラーコンベア３３との間で物品Ｗを移載するトランスフ
ァーロボット３８が連通室２１の上部に設けられてい
る。このトランスファーロボット３８は、連通室２１の
上部に立設された固定ガイド筒３９と、この固定ガイド
筒３９に昇降自在で、且つ、回転自在に設けられた支持
軸４０と、この支持軸４０に、長さの中間において取り
付けられた水平旋回アーム４１と、この水平旋回アーム
４１の自由端部において、相互に近接・離隔自在に設け
られた一対のハンド片４２を有している。このような構
成によって、ハンド片４２によって物品ＷのフランジＦ
を支持した後、水平旋回アーム４１を上昇させ、その
後、１８０度水平旋回させて物品Ｗを今あった位置から
１８０度ずれた他方に移動させ、その後、水平旋回アー
ム４１を下降させて、物品Ｗを駆動ローラーコンベア３
３又は走行台車３６の荷台に載せ、その後、ハンド片４
２を開き、ハンド片４２が物品Ｗに衝突・干渉しないよ
うに再び上昇させることによって、物品Ｗの移載が行な
われる。

【００１９】なお、１階部分２をクリーンルーム８、２
階部分３を普通の部屋とし、２階部分３にクリーン倉庫
１０を設け、このクリーン倉庫１０とクリーンルーム８
とを連通室２１によって接続するようにしてもよい。

【００２０】

【発明の効果】この発明は、前記した如き構成によっ
て、以下の如き効果を奏するものである。クリーン倉庫
をクリーンルーム内に設けない分だけクリーンルームを
有効利用することが出来ると共に、クリーン倉庫内とク
リーンルーム内とが連通室によって接続されているの
で、クリーン倉庫とクリーンルームとの間での物品移載
に際して、物品を塵埃にさらすこともない。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例を示す縦断面図である。

【図２】図１のＡ部分拡大図である。

【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線拡大断面図である。

【図４】図１のＩＶ−ＩＶ線拡大断面図である。

【図５】図１のＶ−Ｖ線拡大断面図である。

【図６】図１のＶＩ−ＶＩ線拡大断面図である。

【符号の説明】

５ ２階床壁 ８ クリーンルーム １０ クリーン倉庫 ２１ 連通室 ２５ 昇降装置 ２６ 昇降台

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 クリーンルームの床壁の下方にクリーン
   倉庫が設置され、このクリーン倉庫内とクリーンルーム
   内とが連通室によって接続され、この連通室内及びクリ
   ーン倉庫内に渡って昇降装置が設けられている塵埃を嫌
   う物品を取り扱うための建築物。
2. 【請求項２】 クリーンルームの天井壁の上面にクリー
   ン倉庫が設置され、このクリーン倉庫内とクリーンルー
   ム内とが連通室によって接続され、この連通室内及びク
   リーン倉庫内に渡って昇降装置が設けられている塵埃を
   嫌う物品を取り扱うための建築物。