JPH06144842A - フライアイレンズの製造方法 - Google Patents
フライアイレンズの製造方法Info
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- JPH06144842A JPH06144842A JP4302188A JP30218892A JPH06144842A JP H06144842 A JPH06144842 A JP H06144842A JP 4302188 A JP4302188 A JP 4302188A JP 30218892 A JP30218892 A JP 30218892A JP H06144842 A JPH06144842 A JP H06144842A
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- JP
- Japan
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- glass material
- fly
- optical glass
- eye lens
- mold
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B11/00—Pressing molten glass or performed glass reheated to equivalent low viscosity without blowing
- C03B11/06—Construction of plunger or mould
- C03B11/08—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses
- C03B11/082—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses having profiled, patterned or microstructured surfaces
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2215/00—Press-moulding glass
- C03B2215/40—Product characteristics
- C03B2215/41—Profiled surfaces
- C03B2215/414—Arrays of products, e.g. lenses
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
- Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 複数の光学機能面（凸面）を有するフライア
イレンズを、高精度に、低価格で製造する方法を提供す
る。 【構成】 両面を研磨した光学ガラス材料１と上型２と
外型４と下型３を準備し上型２と外型４と下型３はプレ
ス機にセットする。光学ガラス材料１を加熱炉で加熱し
これを、上型２と下型３を組合せた中に移送しプレスす
ることにより、上型２と下型３の金型仕上げ面を光学ガ
ラス材料１の研磨面に加圧転写させフライアイレンズが
完成する。
イレンズを、高精度に、低価格で製造する方法を提供す
る。 【構成】 両面を研磨した光学ガラス材料１と上型２と
外型４と下型３を準備し上型２と外型４と下型３はプレ
ス機にセットする。光学ガラス材料１を加熱炉で加熱し
これを、上型２と下型３を組合せた中に移送しプレスす
ることにより、上型２と下型３の金型仕上げ面を光学ガ
ラス材料１の研磨面に加圧転写させフライアイレンズが
完成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば半導体製造装置
等の光学装置において、照度均一性が要求される光学系
で用いられる、照度不均一な光を照度均一な光に変換さ
せるためのフライアイレンズの製造方法に関するもので
ある。
等の光学装置において、照度均一性が要求される光学系
で用いられる、照度不均一な光を照度均一な光に変換さ
せるためのフライアイレンズの製造方法に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】シリコン等のウエハ上に集積回路（Ｉ
Ｃ）の微細パターンを露光・転写する光リソグラフィ技
術においては、ステッパーと呼ばれる露光装置（半導体
製造装置）が用いられる。一般に、ステッパーの照明系
には、複数の２次光源を形成し、物体面（マスク面）を
多数光束で照明することによりマスクによる回折像を除
去するとともに、ムラのない均一な照明を得るためにフ
ライアイレンズが用いられている。フライアイレンズ用
の光学材料としては、ほう珪クラウンガラスやリン酸塩
系ガラス、ｉ線（３６５ｎｍ）よりも短波長のＫｒＦ
（２４８ｎｍ）やＡｒＦ（１９３ｎｍ）エキシマレーザ
ー用には短波長での光透過率の高い合成石英ガラスやＣ
ａＦ2（蛍石）などのフッ化物単結晶が用いられる。
Ｃ）の微細パターンを露光・転写する光リソグラフィ技
術においては、ステッパーと呼ばれる露光装置（半導体
製造装置）が用いられる。一般に、ステッパーの照明系
には、複数の２次光源を形成し、物体面（マスク面）を
多数光束で照明することによりマスクによる回折像を除
去するとともに、ムラのない均一な照明を得るためにフ
ライアイレンズが用いられている。フライアイレンズ用
の光学材料としては、ほう珪クラウンガラスやリン酸塩
系ガラス、ｉ線（３６５ｎｍ）よりも短波長のＫｒＦ
（２４８ｎｍ）やＡｒＦ（１９３ｎｍ）エキシマレーザ
ー用には短波長での光透過率の高い合成石英ガラスやＣ
ａＦ2（蛍石）などのフッ化物単結晶が用いられる。
【０００３】従来、フライアイレンズは、図８に示すよ
うな角型棒状の凸レンズを一個一個製造し、図７に示す
様に個々のレンズを接着剤で貼り合わせることにより、
凸面の集合体を構成する方法で製造されていた。
うな角型棒状の凸レンズを一個一個製造し、図７に示す
様に個々のレンズを接着剤で貼り合わせることにより、
凸面の集合体を構成する方法で製造されていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来の製造方法においては、角型棒状の凸レンズ
を一個一個製造するため、個々のレンズの長さにバラツ
キが発生し、貼り合わせにより構成された凸面集合体の
個々の凸面の高さが不均一になり、フライアイレンズと
しての光学性能を劣化させる問題があった。
ような従来の製造方法においては、角型棒状の凸レンズ
を一個一個製造するため、個々のレンズの長さにバラツ
キが発生し、貼り合わせにより構成された凸面集合体の
個々の凸面の高さが不均一になり、フライアイレンズと
しての光学性能を劣化させる問題があった。
【０００５】また、個々のレンズを貼り合わせるため、
貼り合わせに使った接着材が硬化する際の収縮によっ
て、レンズが引っ張られ、大きな歪が発生することによ
り、フライアイレンズとしての光学性能の劣化という問
題もあった。さらに、実際に光学系に組み込んで長期間
使用した場合、光を吸収することによる接着剤の劣化に
よって、個々のレンズの貼り合わせ精度が低下するとい
う問題もあった。
貼り合わせに使った接着材が硬化する際の収縮によっ
て、レンズが引っ張られ、大きな歪が発生することによ
り、フライアイレンズとしての光学性能の劣化という問
題もあった。さらに、実際に光学系に組み込んで長期間
使用した場合、光を吸収することによる接着剤の劣化に
よって、個々のレンズの貼り合わせ精度が低下するとい
う問題もあった。
【０００６】その上、角型棒状レンズ一個一個を高精度
研磨加工により製造するため、加工に長時間を要し、大
変高価なフライアイレンズとなってしまう問題があっ
た。本発明は、このような問題を解決し、高精度かつ安
価なフライアイレンズの製造方法を提供することを目的
とする。
研磨加工により製造するため、加工に長時間を要し、大
変高価なフライアイレンズとなってしまう問題があっ
た。本発明は、このような問題を解決し、高精度かつ安
価なフライアイレンズの製造方法を提供することを目的
とする。
【０００７】
【課題を解決する為の手段】そこで、本発明者らは鋭意
研究した結果、このような凸面の集合体を形成するの
に、複数の凹面からなる上下型の凹面パターンを、加熱
軟化させた光学ガラス材料に加圧転写することにより上
記問題点を解決できることを見い出し、本発明を成すに
至った。
研究した結果、このような凸面の集合体を形成するの
に、複数の凹面からなる上下型の凹面パターンを、加熱
軟化させた光学ガラス材料に加圧転写することにより上
記問題点を解決できることを見い出し、本発明を成すに
至った。
【０００８】よって、本発明は第１に、光学ガラス材料
を加熱軟化させる工程と、該軟化した光学ガラス材料を
高精度研磨した複数の凹面パターンを有する一対の上下
型の間に移送する工程と、該上下型のパターンを前記軟
化した光学ガラス材料に加圧転写する工程とからなるフ
ライアイレンズの製造方法を提供するものである（第１
の発明）。
を加熱軟化させる工程と、該軟化した光学ガラス材料を
高精度研磨した複数の凹面パターンを有する一対の上下
型の間に移送する工程と、該上下型のパターンを前記軟
化した光学ガラス材料に加圧転写する工程とからなるフ
ライアイレンズの製造方法を提供するものである（第１
の発明）。
【０００９】また、本発明は第２に、高精度研磨した複
数の凹面パターンを有する一対の上下型の間に光学ガラ
ス材料を配置する工程と、前記光学ガラス材料を挟持し
た上下型を加熱することにより前記光学材料を軟化する
工程と、前記上下型のパターンを前記軟化した光学ガラ
ス材料に加圧転写する工程とからなるフライアイレンズ
の製造方法を提供するものである（第２の発明）。
数の凹面パターンを有する一対の上下型の間に光学ガラ
ス材料を配置する工程と、前記光学ガラス材料を挟持し
た上下型を加熱することにより前記光学材料を軟化する
工程と、前記上下型のパターンを前記軟化した光学ガラ
ス材料に加圧転写する工程とからなるフライアイレンズ
の製造方法を提供するものである（第２の発明）。
【００１０】
【作用】本発明においては、まず、複数の凹面を有する
上下型は、炭化タングステン、高速度鋼、セラミックス
等からなり、高精度な研磨加工が可能で、個々の凹面も
高精度となり、長さのバラツキは極めて少なく、この上
下型より加圧転写された凸面パターンは、従来のような
高さのバラツキは無く高精度に製造できる。
上下型は、炭化タングステン、高速度鋼、セラミックス
等からなり、高精度な研磨加工が可能で、個々の凹面も
高精度となり、長さのバラツキは極めて少なく、この上
下型より加圧転写された凸面パターンは、従来のような
高さのバラツキは無く高精度に製造できる。
【００１１】また、従来の様な接着剤による貼り合わせ
が必要無いことから、接着剤の硬化する際の収縮による
歪の発生や、光の吸収による接着剤の劣化等の不都合が
全く無い。さらに、凸面パターンを、複数の高精度研磨
した凹面を有する上下型の凹面パターンを加圧転写する
方法で製造するために、従来のような長い加工時間を必
要とせず、極めて短時間で製造することができる。
が必要無いことから、接着剤の硬化する際の収縮による
歪の発生や、光の吸収による接着剤の劣化等の不都合が
全く無い。さらに、凸面パターンを、複数の高精度研磨
した凹面を有する上下型の凹面パターンを加圧転写する
方法で製造するために、従来のような長い加工時間を必
要とせず、極めて短時間で製造することができる。
【００１２】光学ガラス材料を加熱軟化させる工程にお
いては、光学ガラス材料によっても加熱の温度範囲は変
わってくるが、例えば、ほう珪ガラスでは６５０℃〜７
００℃、石英ガラスでは１２００℃〜１２５０℃が好ま
しい。一般に、加熱温度を高めに設定し、上下型として
高速度鋼等の型を用いる場合には、設備・上下型等のコ
ストが安く済むという利点がある。加熱温度を低めに設
定し、上下型として炭化タングステン等の超硬合金製の
金型を用いる場合には、高精度のフライアイレンズが得
られるという利点がある。
いては、光学ガラス材料によっても加熱の温度範囲は変
わってくるが、例えば、ほう珪ガラスでは６５０℃〜７
００℃、石英ガラスでは１２００℃〜１２５０℃が好ま
しい。一般に、加熱温度を高めに設定し、上下型として
高速度鋼等の型を用いる場合には、設備・上下型等のコ
ストが安く済むという利点がある。加熱温度を低めに設
定し、上下型として炭化タングステン等の超硬合金製の
金型を用いる場合には、高精度のフライアイレンズが得
られるという利点がある。
【００１３】また、軟化した光学ガラス材料に上下型の
凹面パターンを加圧転写する工程においては、加圧の圧
力は２０kgf／cm2 〜１００kgf／cm2 程度が好ましい。
以下、実施例を用いて第１の発明及び第２の発明を詳し
く説明するが、本発明はこれらに限られるものではな
い。
凹面パターンを加圧転写する工程においては、加圧の圧
力は２０kgf／cm2 〜１００kgf／cm2 程度が好ましい。
以下、実施例を用いて第１の発明及び第２の発明を詳し
く説明するが、本発明はこれらに限られるものではな
い。
【００１４】
【実施例１】図１、図２を用いて、光学ガラス材料とし
てほう珪クラウン光学ガラスを使用した第１の発明の実
施例について説明する。図２に示すような両面を研磨し
た光学ガラス材料１と上型２と外型４と下型３を準備
し、上型２と外型４と下型３はプレス機にセットする。
光学ガラス材料１を加熱炉で、研磨面に傷の発生や異物
の付着の無い様な状態を保持しながら７２０℃に加熱す
る。加熱された光学ガラス材料１を、研磨面に傷の発生
や異物の付着の無い様な状態を保持しながら、研磨面の
一方が下型４に接し、且つ、もう一方の研磨面が図１の
向きで上方に位置する様に、外型４と下型３を組合せた
中に移送し、前記プレス機を作動させてガラス材料１を
１６kgf／cm2 圧力で４０秒間プレスすることにより、
上型２と下型３の金型仕上げ面を光学ガラス材料１の研
磨面に加圧転写させる。プレス後、上型１を光学ガラス
材料１から放し、プレスされた光学ガラス材料１を５４
０℃まで冷却した後、外型４と下型３の組合せより取り
出し、徐冷炉で徐冷することにより、フライアイレンズ
が完成する。完成したフライアイレンズ凸面一個一個の
精度は、表面粗度Ｒmax１０ｎｍ以下、球面のニュート
ンリングのバラツキ±３本以下、凸面高さ±２μｍ以下
となった。
てほう珪クラウン光学ガラスを使用した第１の発明の実
施例について説明する。図２に示すような両面を研磨し
た光学ガラス材料１と上型２と外型４と下型３を準備
し、上型２と外型４と下型３はプレス機にセットする。
光学ガラス材料１を加熱炉で、研磨面に傷の発生や異物
の付着の無い様な状態を保持しながら７２０℃に加熱す
る。加熱された光学ガラス材料１を、研磨面に傷の発生
や異物の付着の無い様な状態を保持しながら、研磨面の
一方が下型４に接し、且つ、もう一方の研磨面が図１の
向きで上方に位置する様に、外型４と下型３を組合せた
中に移送し、前記プレス機を作動させてガラス材料１を
１６kgf／cm2 圧力で４０秒間プレスすることにより、
上型２と下型３の金型仕上げ面を光学ガラス材料１の研
磨面に加圧転写させる。プレス後、上型１を光学ガラス
材料１から放し、プレスされた光学ガラス材料１を５４
０℃まで冷却した後、外型４と下型３の組合せより取り
出し、徐冷炉で徐冷することにより、フライアイレンズ
が完成する。完成したフライアイレンズ凸面一個一個の
精度は、表面粗度Ｒmax１０ｎｍ以下、球面のニュート
ンリングのバラツキ±３本以下、凸面高さ±２μｍ以下
となった。
【００１５】製作したフライアイレンズを、実際の照明
系に組み込み、性能評価を実施した結果、従来品に較べ
て大きく光学性能が向上した。
系に組み込み、性能評価を実施した結果、従来品に較べ
て大きく光学性能が向上した。
【００１６】
【実施例２】図１〜図６を用いて、第２の発明の第１の
実施例を説明する。図２に示すような角型５０ｍｍ×５
０ｍｍで厚さが２０ｍｍに両面研磨したほう珪クラウン
ガラス（光学ガラス材料）１を、１０ｍｍ×１０ｍｍに
２５分割しそれぞれがＲ８ｍｍに凹面研磨仕上げされた
複数の仕上げ面をもつセラミックス製上型２及び下型３
の中間に配置し、外型（スリーブ）４の中に置く。この
光学ガラス材料１、上型２、下型３、スリーブ４がセッ
トされた状態のものを図４の装置の中にワーク５として
載せ台６の上に配置する。バルブ１６を開き、油回転ポ
ンプ１２によりチャンバー１８を粗引きする。粗引き
後、バルブ１６を閉じ、バルブ１４及びバルブ１５を開
き、油拡散ポンプ１３にて本引きする。真空計１９の真
空度が５×１０-5Ｔｏｒｒ以下になったら図５のスケジ
ュールでヒーター８により加熱を開始する。温度を３０
分で６５０℃まで上昇させ、１０分間６５０℃で保持
し、その後１０分間シリンダー１０を作動させ加圧す
る。加圧開始後５分間でヒーター８による加圧を終了し
温度を降下する。加圧終了時点で温度は５５０℃以下に
なっている。その後放冷し、室温になったらバルブ１５
を閉じ、リークバルブ１７を開き大気を導入する。大気
導入後、ワーク５を取り出し、上型２及び下型３を外せ
ば図３のようなフライアイレンズが完成する。完成した
フライアイレンズの凸面１個１個の精度は、表面粗度Ｒ
max９ｎｍ以下、球面のニュートンリングのばらつき±
２本以下となった。また、１個１個の凸面の高さのばら
つきは±１μｍ以下となった。
実施例を説明する。図２に示すような角型５０ｍｍ×５
０ｍｍで厚さが２０ｍｍに両面研磨したほう珪クラウン
ガラス（光学ガラス材料）１を、１０ｍｍ×１０ｍｍに
２５分割しそれぞれがＲ８ｍｍに凹面研磨仕上げされた
複数の仕上げ面をもつセラミックス製上型２及び下型３
の中間に配置し、外型（スリーブ）４の中に置く。この
光学ガラス材料１、上型２、下型３、スリーブ４がセッ
トされた状態のものを図４の装置の中にワーク５として
載せ台６の上に配置する。バルブ１６を開き、油回転ポ
ンプ１２によりチャンバー１８を粗引きする。粗引き
後、バルブ１６を閉じ、バルブ１４及びバルブ１５を開
き、油拡散ポンプ１３にて本引きする。真空計１９の真
空度が５×１０-5Ｔｏｒｒ以下になったら図５のスケジ
ュールでヒーター８により加熱を開始する。温度を３０
分で６５０℃まで上昇させ、１０分間６５０℃で保持
し、その後１０分間シリンダー１０を作動させ加圧す
る。加圧開始後５分間でヒーター８による加圧を終了し
温度を降下する。加圧終了時点で温度は５５０℃以下に
なっている。その後放冷し、室温になったらバルブ１５
を閉じ、リークバルブ１７を開き大気を導入する。大気
導入後、ワーク５を取り出し、上型２及び下型３を外せ
ば図３のようなフライアイレンズが完成する。完成した
フライアイレンズの凸面１個１個の精度は、表面粗度Ｒ
max９ｎｍ以下、球面のニュートンリングのばらつき±
２本以下となった。また、１個１個の凸面の高さのばら
つきは±１μｍ以下となった。
【００１７】製作したフライアイレンズを実際の光学系
に組み込み、性能評価をしたところ従来品に比べて光学
性能が大きく向上した。
に組み込み、性能評価をしたところ従来品に比べて光学
性能が大きく向上した。
【００１８】
【実施例３】図１〜図６を用いて、第２の発明の第２の
実施例を説明する。図２に示すような角型２５ｍｍ×２
５ｍｍで厚さが１５ｍｍに両面研磨した石英ガラス（光
学ガラス材料）１を５ｍｍ×５ｍｍに２５分割しそれぞ
れがＲ６ｍｍに凹面研磨仕上げされた複数の仕上げ面を
持つセラミックス製上型２及び下型３の中間に置き、ス
リーブ４の中に配置する。この石英ガラス１、上型２、
下型３、スリーブ４がセットされた状態のものを図４の
装置の中にワーク５として載せ台６の上に配置する。バ
ルブ１６を開き、油回転ポンプ１２によりチャンバー１
８を粗引きする。粗引き後、バルブ１６を閉じ、バルブ
１４及びバルブ１５を開き、油拡散ポンプ１３にて本引
きする。真空計１９の真空度が５×１０-5Ｔｏｒｒ以下
になったら図６の加熱スケジュールでヒーター８により
加熱を開始する。温度を５０分で１２００℃まで上昇さ
せ１０分間１２００℃で保持し、その後１０分間シリン
ダー１０を作動させ加圧する。加圧開始後５分間でヒー
ター８による加熱を終了し温度を降下する。加圧終了時
点で温度は１０００℃以下になっている。その後放冷
し、室温になったらバルブ１５を閉じ、リークバルブ１
７を開き大気を導入する。大気導入後ワーク５を取り出
し、上型２及び下型３を外せば図３のようなフライアイ
レンズが完成する。完成したフライアイレンズの凸面１
個１個の精度は、表面粗度Ｒmax９ｎｍ以下、球面のニ
ュートンリングのばらつき±２本以下となった。また、
１個１個の凸面の高さのばらつきは±１μｍ以下となっ
た。
実施例を説明する。図２に示すような角型２５ｍｍ×２
５ｍｍで厚さが１５ｍｍに両面研磨した石英ガラス（光
学ガラス材料）１を５ｍｍ×５ｍｍに２５分割しそれぞ
れがＲ６ｍｍに凹面研磨仕上げされた複数の仕上げ面を
持つセラミックス製上型２及び下型３の中間に置き、ス
リーブ４の中に配置する。この石英ガラス１、上型２、
下型３、スリーブ４がセットされた状態のものを図４の
装置の中にワーク５として載せ台６の上に配置する。バ
ルブ１６を開き、油回転ポンプ１２によりチャンバー１
８を粗引きする。粗引き後、バルブ１６を閉じ、バルブ
１４及びバルブ１５を開き、油拡散ポンプ１３にて本引
きする。真空計１９の真空度が５×１０-5Ｔｏｒｒ以下
になったら図６の加熱スケジュールでヒーター８により
加熱を開始する。温度を５０分で１２００℃まで上昇さ
せ１０分間１２００℃で保持し、その後１０分間シリン
ダー１０を作動させ加圧する。加圧開始後５分間でヒー
ター８による加熱を終了し温度を降下する。加圧終了時
点で温度は１０００℃以下になっている。その後放冷
し、室温になったらバルブ１５を閉じ、リークバルブ１
７を開き大気を導入する。大気導入後ワーク５を取り出
し、上型２及び下型３を外せば図３のようなフライアイ
レンズが完成する。完成したフライアイレンズの凸面１
個１個の精度は、表面粗度Ｒmax９ｎｍ以下、球面のニ
ュートンリングのばらつき±２本以下となった。また、
１個１個の凸面の高さのばらつきは±１μｍ以下となっ
た。
【００１９】製作したフライアイレンズを実際の光学系
に組み込み、性能評価したところ従来品に比べて光学性
能が大きく向上した。
に組み込み、性能評価したところ従来品に比べて光学性
能が大きく向上した。
【００２０】
【発明の効果】以上のように本発明の製造方法によれ
ば、複数の光学機能面を有するフライアイレンズが高精
度に製造できるため、実際の照明系の中に組み込んだと
き、その照明系が非常に高い性能を発揮する。また、接
着剤を使用しないで製造できるので、接着剤が硬化する
際の収縮による歪の発生が無い上、光の吸収による接着
剤の劣化が全く無いことから、長期間使用しても全く性
能低下が無いという効果もある。
ば、複数の光学機能面を有するフライアイレンズが高精
度に製造できるため、実際の照明系の中に組み込んだと
き、その照明系が非常に高い性能を発揮する。また、接
着剤を使用しないで製造できるので、接着剤が硬化する
際の収縮による歪の発生が無い上、光の吸収による接着
剤の劣化が全く無いことから、長期間使用しても全く性
能低下が無いという効果もある。
【００２１】さらに、加工時間の大幅な短縮により、従
来は極めて高価であったフライアイレンズが非常に低価
格で供給可能になった。
来は極めて高価であったフライアイレンズが非常に低価
格で供給可能になった。
【図１】 本発明のフライアイレンズの製造方法の断面
図である。
図である。
【図２】 本発明に用いた光学ガラス材料の上面図及び
側面図である。
側面図である。
【図３】 本発明により製造したフライアイレンズの上
面図及び側面図である。
面図及び側面図である。
【図４】 本発明に用いた製造装置の概略図である。
【図５】 実施例２の加熱スケジュール図である。
【図６】 実施例３の加熱スケジュール図である。
【図７】 従来の製造方法により製造したフライアイレ
ンズの上面図及び側面図である。
ンズの上面図及び側面図である。
【図８】 従来のフライアイレンズの製造方法に用いる
貼り合わせ用１個の凸レンズの上面及び側面図である。
貼り合わせ用１個の凸レンズの上面及び側面図である。
１・・・光学ガラス材料 ２・・・上型 ３・・・下型 ４・・・外型（スリーブ） ５・・・ワーク ６・・・載せ台 ７・・・プレス軸 ８・・・ヒーター ９・・・断熱板 １０・・・シリンダー １１・・・本体 １２・・・油回転ポンプ １３・・・油拡散ポンプ １４・・・バルブ １５・・・バルブ １６・・・バルブ １７・・・リークバルブ １８・・・チャンバー １９・・・真空計 ２０・・・接着剤
フロントページの続き (72)発明者 高瀬 裕嗣 東京都千代田区丸の内３丁目２番３号 株 式会社ニコン内
Claims (2)
- 【請求項１】光学ガラス材料を加熱軟化させる工程と、
該軟化した光学ガラス材料を高精度研磨した複数の凹面
パターンを有する一対の上下型の間に移送する工程と、
該上下型のパターンを前記軟化した光学ガラス材料に加
圧転写する工程とからなるフライアイレンズの製造方
法。 - 【請求項２】高精度研磨した複数の凹面パターンを有す
る一対の上下型の間に光学ガラス材料を配置する工程
と、前記光学ガラス材料を挟持した上下型を加熱するこ
とにより前記光学材料を軟化する工程と、前記上下型の
パターンを前記軟化した光学ガラス材料に加圧転写する
工程とからなるフライアイレンズの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30218892A JP3198673B2 (ja) | 1992-11-12 | 1992-11-12 | フライアイレンズの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30218892A JP3198673B2 (ja) | 1992-11-12 | 1992-11-12 | フライアイレンズの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06144842A true JPH06144842A (ja) | 1994-05-24 |
| JP3198673B2 JP3198673B2 (ja) | 2001-08-13 |
Family
ID=17905998
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30218892A Expired - Lifetime JP3198673B2 (ja) | 1992-11-12 | 1992-11-12 | フライアイレンズの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3198673B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002361597A (ja) * | 2001-06-11 | 2002-12-18 | Nikon Corp | マイクロレンズアレイの製造方法、マイクロレンズアレイ、光学系、投影露光装置 |
| JP2005247603A (ja) * | 2004-03-02 | 2005-09-15 | Okamoto Glass Co Ltd | ガラス製品あるいは結晶化ガラス製品の加工方法及び製造方法 |
-
1992
- 1992-11-12 JP JP30218892A patent/JP3198673B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002361597A (ja) * | 2001-06-11 | 2002-12-18 | Nikon Corp | マイクロレンズアレイの製造方法、マイクロレンズアレイ、光学系、投影露光装置 |
| JP2005247603A (ja) * | 2004-03-02 | 2005-09-15 | Okamoto Glass Co Ltd | ガラス製品あるいは結晶化ガラス製品の加工方法及び製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3198673B2 (ja) | 2001-08-13 |
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