JPH06147211A - セラミックス製締着用ねじ - Google Patents
セラミックス製締着用ねじInfo
- Publication number
- JPH06147211A JPH06147211A JP4296095A JP29609592A JPH06147211A JP H06147211 A JPH06147211 A JP H06147211A JP 4296095 A JP4296095 A JP 4296095A JP 29609592 A JP29609592 A JP 29609592A JP H06147211 A JPH06147211 A JP H06147211A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- screw
- ceramic
- fastening
- slit
- base material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】締着時または使用時に折損した場合において
も、基材内部に残存する折損片を容易に基材外部に除去
することが可能なセラミックス製締着用ねじを提供す
る。 【構成】セラミックス材によりねじ頭５およびねじ軸部
６が一体に形成され、ねじ軸部６のねじ先端面７にねじ
脱着用のスリット８を形成したことを特徴とする。また
セラミックス材はサイアロン（Ｓｉ−Ａｌ−Ｏ−Ｎ），
窒化けい素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）および酸化ジルコニウム（Ｚ
ｒＯ2 ）の少くとも１種から構成する。
も、基材内部に残存する折損片を容易に基材外部に除去
することが可能なセラミックス製締着用ねじを提供す
る。 【構成】セラミックス材によりねじ頭５およびねじ軸部
６が一体に形成され、ねじ軸部６のねじ先端面７にねじ
脱着用のスリット８を形成したことを特徴とする。また
セラミックス材はサイアロン（Ｓｉ−Ａｌ−Ｏ−Ｎ），
窒化けい素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）および酸化ジルコニウム（Ｚ
ｒＯ2 ）の少くとも１種から構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はセラミックス製締着用ね
じに係り、特に使用時に折損または破損した場合におい
ても容易にその破損片を締着材から除去することが可能
なセラミックス製締着用ねじに関する。
じに係り、特に使用時に折損または破損した場合におい
ても容易にその破損片を締着材から除去することが可能
なセラミックス製締着用ねじに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の金属材料と比較して耐熱性、電気
絶縁性、耐食性、耐摩耗性、軽量性などの諸特性に優れ
たセラミックス材が、半導体装置、電子機器材料、エン
ジン用部品、高速切削工具材料、ノズル、ベアリング部
品、ねじ材など、従来の金属材料の及ばない過酷な温
度、摩耗条件下で使用される機械部品や構造材料として
広く使用されている。
絶縁性、耐食性、耐摩耗性、軽量性などの諸特性に優れ
たセラミックス材が、半導体装置、電子機器材料、エン
ジン用部品、高速切削工具材料、ノズル、ベアリング部
品、ねじ材など、従来の金属材料の及ばない過酷な温
度、摩耗条件下で使用される機械部品や構造材料として
広く使用されている。
【０００３】例えば半導体製造用スパッタリング装置に
おいては、板状のマスキング材等の治工具類を装置本体
に締着するためにセラミックス製の締着用ねじ（止めね
じ）が使用されている。このセラミックス製締着用ねじ
を使用することにより、締着部に耐熱性が付与され、腐
食環境下においても良好な締着状態が保持される。特に
セラミックス製締着用ねじの電気絶縁特性により、装置
本体とそれに取り付ける被締着材との間の導通が効果的
に防止できる効果が発揮される。
おいては、板状のマスキング材等の治工具類を装置本体
に締着するためにセラミックス製の締着用ねじ（止めね
じ）が使用されている。このセラミックス製締着用ねじ
を使用することにより、締着部に耐熱性が付与され、腐
食環境下においても良好な締着状態が保持される。特に
セラミックス製締着用ねじの電気絶縁特性により、装置
本体とそれに取り付ける被締着材との間の導通が効果的
に防止できる効果が発揮される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら前記のよ
うなスパッタリング装置のマスキング材等の治工具類
は、製品半導体の種類に応じて適宜変更されるため、セ
ラミックス製締着用ねじは治工具類を脱着交換するたび
に繰り返してねじりモーメントを受ける。そしてこのよ
うな高頻度の脱着操作により、特にねじ頭とねじ軸部と
の境界部またはねじ軸部に形成された雄ねじの途中の部
位に剪断応力が集中し易くなり、当該部位で折損または
破損が生じ易い。この場合、セラミックス製締着用ねじ
の折損部がねじを植え込んだ基材の外部であれば、基材
に残存する折損片の除去も容易であるが、図３に示すよ
うに、セラミックス製締着用ねじ１の折損部２が基材３
の内部で発生した場合には、基材３の内部に残存した折
損片４を除去することは極めて困難であり、装置の保守
管理に多大な労力およびコストを要する問題点があっ
た。
うなスパッタリング装置のマスキング材等の治工具類
は、製品半導体の種類に応じて適宜変更されるため、セ
ラミックス製締着用ねじは治工具類を脱着交換するたび
に繰り返してねじりモーメントを受ける。そしてこのよ
うな高頻度の脱着操作により、特にねじ頭とねじ軸部と
の境界部またはねじ軸部に形成された雄ねじの途中の部
位に剪断応力が集中し易くなり、当該部位で折損または
破損が生じ易い。この場合、セラミックス製締着用ねじ
の折損部がねじを植え込んだ基材の外部であれば、基材
に残存する折損片の除去も容易であるが、図３に示すよ
うに、セラミックス製締着用ねじ１の折損部２が基材３
の内部で発生した場合には、基材３の内部に残存した折
損片４を除去することは極めて困難であり、装置の保守
管理に多大な労力およびコストを要する問題点があっ
た。
【０００５】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたものであり、締着時または使用時に折損した場合に
おいても、基材内部に残存する折損片を容易に基材外部
に除去することが可能なセラミックス製締着用ねじを提
供することを目的とする。
れたものであり、締着時または使用時に折損した場合に
おいても、基材内部に残存する折損片を容易に基材外部
に除去することが可能なセラミックス製締着用ねじを提
供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係るセラミックス製締着用ねじは、セラミ
ックス材によりねじ頭およびねじ軸部が一体に形成さ
れ、ねじ軸部のねじ先端面にねじ脱着用のスリットを形
成したことを特徴とする。
め、本発明に係るセラミックス製締着用ねじは、セラミ
ックス材によりねじ頭およびねじ軸部が一体に形成さ
れ、ねじ軸部のねじ先端面にねじ脱着用のスリットを形
成したことを特徴とする。
【０００７】またセラミックス材はサイアロン（Ｓｉ−
Ａｌ−Ｏ−Ｎ），窒化けい素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）および酸化
ジルコニウム（ＺｒＯ2 ）の少くとも１種から構成する
とよい。
Ａｌ−Ｏ−Ｎ），窒化けい素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）および酸化
ジルコニウム（ＺｒＯ2 ）の少くとも１種から構成する
とよい。
【０００８】
【作用】上記構成に係るセラミックス製締着用ねじによ
れば、ねじ軸部のねじ先端面にねじ脱着用のスリットが
形成されているため、締着用ねじが折損し、ねじ先部分
が基材内部に折損片として残存した場合においても、上
記スリットにドライバーなどのねじ回しを差し込み、回
転することにより、折損片を容易に基材外部に排出する
ことが可能となる。従ってセラミックス製締着用ねじを
使用する装置の保守管理が容易になる。
れば、ねじ軸部のねじ先端面にねじ脱着用のスリットが
形成されているため、締着用ねじが折損し、ねじ先部分
が基材内部に折損片として残存した場合においても、上
記スリットにドライバーなどのねじ回しを差し込み、回
転することにより、折損片を容易に基材外部に排出する
ことが可能となる。従ってセラミックス製締着用ねじを
使用する装置の保守管理が容易になる。
【０００９】
【実施例】次に本発明の一実施例について添付図面を参
照して説明する。図１は本発明に係るセラミックス製締
着用ねじの皿小ねじとしての実施例を示す断面図であ
る。
照して説明する。図１は本発明に係るセラミックス製締
着用ねじの皿小ねじとしての実施例を示す断面図であ
る。
【００１０】すなわち本実施例に係るセラミックス製締
着用ねじ１ａは、セラミックス材により形成されたねじ
頭５およびねじ軸部６が一体に形成され、ねじ軸部６の
ねじ先端面７にねじ脱着用のスリット８を形成して構成
される。またねじ頭５の上端面には締着時にドライバー
等のねじ回しの先端を当てがい回転するための溝状のす
り割り１０が形成される。
着用ねじ１ａは、セラミックス材により形成されたねじ
頭５およびねじ軸部６が一体に形成され、ねじ軸部６の
ねじ先端面７にねじ脱着用のスリット８を形成して構成
される。またねじ頭５の上端面には締着時にドライバー
等のねじ回しの先端を当てがい回転するための溝状のす
り割り１０が形成される。
【００１１】ねじ頭５およびねじ軸部６を構成するセラ
ミックス材は、特に限定されないが、本実施例の場合の
ように、特に過大なねじりモーメントが繰り返して作用
する締着用ねじの構成材としては、破壊靭性値が相対的
に高いサイアロン（Ｓｉ−Ａｌ−Ｏ−Ｎ），窒化けい素
（Ｓｉ3 Ｎ4 ）および酸化ジルコニウム（ＺｒＯ2）の
少くとも１種を使用することが望ましい。
ミックス材は、特に限定されないが、本実施例の場合の
ように、特に過大なねじりモーメントが繰り返して作用
する締着用ねじの構成材としては、破壊靭性値が相対的
に高いサイアロン（Ｓｉ−Ａｌ−Ｏ−Ｎ），窒化けい素
（Ｓｉ3 Ｎ4 ）および酸化ジルコニウム（ＺｒＯ2）の
少くとも１種を使用することが望ましい。
【００１２】またねじ先端面７に形成するスリット８の
形状例を図２に示す。このスリット８は−（マイナス）
形のドライバーを着脱用工具として使用する場合に形成
される。このスリット８の幅および深さは、締着用ねじ
の外径および脱着用工具の刃先の寸法に応じて設定され
るが、一般に幅は１ｍｍ程度、深さも１ｍｍ程度で十分
である。
形状例を図２に示す。このスリット８は−（マイナス）
形のドライバーを着脱用工具として使用する場合に形成
される。このスリット８の幅および深さは、締着用ねじ
の外径および脱着用工具の刃先の寸法に応じて設定され
るが、一般に幅は１ｍｍ程度、深さも１ｍｍ程度で十分
である。
【００１３】本実施例に係るセラミックス製締着用ねじ
は、例えばＳｉ3 Ｎ4 ねじの場合、以下のような工程で
製造される。すなわちＳｉ3 Ｎ4 セラミックス原料粉末
に必要に応じて焼結助剤や他の添加剤を配合した原料混
合体を冷間静水圧（ＣＩＰ）処理することにより緻密な
円柱状の成形体を形成し、この成形体をグリーン加工し
てねじ頭、ねじ軸部、ねじ、スリットを形成し、加工し
た成形体を脱脂し、さらに非酸化性雰囲気等の下に温度
１７００〜１８００℃で４〜６時間焼結して製造され
る。なおスリットは、焼結体にレーザ加工することによ
り形成することも可能であるが、軟質な成形体の段階で
加工形成する方がコスト的に有利である。
は、例えばＳｉ3 Ｎ4 ねじの場合、以下のような工程で
製造される。すなわちＳｉ3 Ｎ4 セラミックス原料粉末
に必要に応じて焼結助剤や他の添加剤を配合した原料混
合体を冷間静水圧（ＣＩＰ）処理することにより緻密な
円柱状の成形体を形成し、この成形体をグリーン加工し
てねじ頭、ねじ軸部、ねじ、スリットを形成し、加工し
た成形体を脱脂し、さらに非酸化性雰囲気等の下に温度
１７００〜１８００℃で４〜６時間焼結して製造され
る。なおスリットは、焼結体にレーザ加工することによ
り形成することも可能であるが、軟質な成形体の段階で
加工形成する方がコスト的に有利である。
【００１４】こうして形成されたセラミックス製締着用
ねじ１ａは図１に示すように、マスキング材などの被締
着材１２の固定穴に挿通された後に、基材３に形成され
た雌ねじ１１に螺合される。
ねじ１ａは図１に示すように、マスキング材などの被締
着材１２の固定穴に挿通された後に、基材３に形成され
た雌ねじ１１に螺合される。
【００１５】そして締着用ねじ１ａが、図３に示すよう
に折損し、ねじ先部分が基材３内部に折損片として残存
した場合においては、図１に示すように上記スリット８
にドライバーなどのねじ回し等の先端部を差し込み、回
転することにより、折損片を容易に基材外部に排出する
ことが可能となる。従ってセラミックス製締着用ねじ１
ａを使用する装置の保守管理が容易になる。
に折損し、ねじ先部分が基材３内部に折損片として残存
した場合においては、図１に示すように上記スリット８
にドライバーなどのねじ回し等の先端部を差し込み、回
転することにより、折損片を容易に基材外部に排出する
ことが可能となる。従ってセラミックス製締着用ねじ１
ａを使用する装置の保守管理が容易になる。
【００１６】以上の実施例においては皿小ねじを例にと
り本発明に係るセラミックス製締着用ねじを説明した
が、本発明は上記小ねじに限定されるものではなく、雄
ねじの外径が大きなボルトにも適用できることは言うま
でもない。
り本発明に係るセラミックス製締着用ねじを説明した
が、本発明は上記小ねじに限定されるものではなく、雄
ねじの外径が大きなボルトにも適用できることは言うま
でもない。
【００１７】
【発明の効果】以上説明の通り本発明に係るセラミック
ス製締着用ねじによれば、ねじ軸部のねじ先端面にねじ
脱着用のスリットが形成されているため、締着用ねじが
折損し、ねじ先部分が基材内部に折損片として残存した
場合においても、上記スリットにドライバーなどのねじ
回しを差し込み、回転することにより、折損片を容易に
基材外部に排出することが可能となる。従ってセラミッ
クス製締着用ねじを使用する装置の保守管理が容易にな
る。
ス製締着用ねじによれば、ねじ軸部のねじ先端面にねじ
脱着用のスリットが形成されているため、締着用ねじが
折損し、ねじ先部分が基材内部に折損片として残存した
場合においても、上記スリットにドライバーなどのねじ
回しを差し込み、回転することにより、折損片を容易に
基材外部に排出することが可能となる。従ってセラミッ
クス製締着用ねじを使用する装置の保守管理が容易にな
る。
【図１】本発明に係るセラミックス製締着用ねじの一実
施例を示す断面図。
施例を示す断面図。
【図２】ねじ先端面に形成した脱着用のスリットの形状
例を示す図。
例を示す図。
【図３】従来のセラミックス製締着用ねじが折損した状
態を示す断面図。
態を示す断面図。
１，１ａ セラミックス製締着用ねじ ２ 折損部 ３ 基材 ４ 折損片 ５ ねじ頭 ６ ねじ軸部 ７ ねじ先端面 ８ スリット １０ すり割り １１ 雌ねじ
Claims (1)
- 【請求項１】 セラミックス材によりねじ頭およびねじ
軸部が一体に形成され、ねじ軸部のねじ先端面にねじ脱
着用のスリットを形成したことを特徴とするセラミック
ス製締着用ねじ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4296095A JPH06147211A (ja) | 1992-11-05 | 1992-11-05 | セラミックス製締着用ねじ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4296095A JPH06147211A (ja) | 1992-11-05 | 1992-11-05 | セラミックス製締着用ねじ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06147211A true JPH06147211A (ja) | 1994-05-27 |
Family
ID=17829067
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4296095A Pending JPH06147211A (ja) | 1992-11-05 | 1992-11-05 | セラミックス製締着用ねじ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06147211A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09201U (ja) * | 1996-11-19 | 1997-04-08 | 品川白煉瓦株式会社 | 超高温抵抗炉のライニング構造 |
| JPH09209251A (ja) * | 1996-01-26 | 1997-08-12 | Kanebo Ltd | ストッキングのフロート柄の編成方法 |
| KR100432164B1 (ko) * | 2001-04-19 | 2004-05-17 | 이부락 | 세라믹 볼트 너트 초음파 성형 방법 및 가공방법 |
| JP2007120625A (ja) * | 2005-10-28 | 2007-05-17 | Meidensha Corp | セラミックスボルトの製造方法及びセラミックスボルト |
-
1992
- 1992-11-05 JP JP4296095A patent/JPH06147211A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09209251A (ja) * | 1996-01-26 | 1997-08-12 | Kanebo Ltd | ストッキングのフロート柄の編成方法 |
| JPH09201U (ja) * | 1996-11-19 | 1997-04-08 | 品川白煉瓦株式会社 | 超高温抵抗炉のライニング構造 |
| KR100432164B1 (ko) * | 2001-04-19 | 2004-05-17 | 이부락 | 세라믹 볼트 너트 초음파 성형 방법 및 가공방법 |
| JP2007120625A (ja) * | 2005-10-28 | 2007-05-17 | Meidensha Corp | セラミックスボルトの製造方法及びセラミックスボルト |
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